JPH0446005Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［考案の目的］ 産業上の利用分野 本考案はLSI、超LSIの製造又は病院等で必要
な清浄空気室、無菌室等のクリーンルームの天井
を構成する骨組みに関する。

従来の技術 従来よりHEPAフイルター等のフイルターを
天井に取り付け、この天井を吹出口として天井よ
り吹出された気流を床面に向けて垂直に流し、床
に吸込口を形成させた垂直層流式クリーンルー
ム、又は同様に天井から吹出された気流を壁面下
部に形成した吸込口より吸込む乱流方式のクリー
ンルームが知られている。これらのクリーンルー
ムの天井構造は全体を１枚のフイルターで構成さ
せることが望ましいが、強度上、構造上及びフイ
ルターのメンテナンスの都合上現実にはほぼ不可
能である。そこで従来は枠材をＸ，Ｙ方向に格子
状に骨組みし、その各区画にフイルターを取り付
けている。フイルターは従来からさまざまなもの
が提案されており、クリーンルームに必要な要求
を満たすことができるのは周知の通りである。

ところで、上記のようにフイルターを枠材に取
り付けるので、フイルターと枠材との間のみなら
ず、骨組みされた枠材の接合部を完全に密閉しな
ければならない。枠材自体はアルミニウム合金の
形材等で構成されるので、それ自体から空気が漏
れることはないが、その接合箇所のシールが不完
全であると、フイルターを通らない空気が不完全
なシール部分からクリーンルーム内に入り込む。
従つて、クリーンルームの天井を構成する骨組み
の枠材同士の接合箇所は、確実にシールされてい
なければならない。従来の上記骨組みの枠材同士
の接合は、十字状に形成されたコネクタを枠材が
交差する箇所にあらかじめ建築物の天井から吊り
下げておき、このコネクタに所定の長さの枠材を
取り付ける構成のものが提案されている（特開昭
59−158856）。

考案が解決しようとする問題点 十字形のコネクターで枠材を取り付ける従来の
枠材の骨組みは、枠材のコネクターと枠材との間
を取付作業と同時にシール作業を行なわなければ
ならないため作業が困難であつた。しかも、コネ
クターが十字形であるので各コネクターで４箇所
をシールしなければならず、シール箇所の増加と
ともにその作業性の困難さのためシールが不完全
となる恐れがあつた。

従つて、本考案の目的は骨組みの作業性が良
く、かつ、枠材同士の接合箇所から空気が漏れる
恐れのないクリーンルームの天井を構成する骨組
みを提供することである。

［考案の構成］ 問題点を解決するための手段 そのため、本考案は枠材をフイルターを載せる
中空状支持部と、該支持部の上面中央部にその面
から垂直に立ち上る取付部とを有するものとし、
連結金具を前記取付部に取り付けて枠材同士を固
定させるようにしたことを特徴とするものであ
る。前記連結金具は取付部の上端を覆う幅でその
両端に取付部を挟み込む抱持部を形成させた板状
カバー部をＬ字状に、かつ、その出隅部を45度に
切除した形状としたものを使用することが望まし
い。

作 用 上記のように枠材をフイルターを載せる支持部
と、支持部上方に取付部を有するものとしている
ので、枠材同士の接合はシールを考慮することの
ない取付部に連結金具を取り付けることにより行
なう。従つて、枠材の骨組み作業は枠材自体の固
定とその接合部のシールとを別に行なうことがで
き、作業性が良くなる上、シールを確実にするこ
とができる。さらに、枠材の接合箇所のシール材
を中空状支持体の全周にわたつて形成することに
より２重シールとなり、シールの確実性が増す。
また、連結金具として出隅部を45度に切除したＬ
字状に形成された板状のものを用いれば、２個の
連結金具の出隅部を合わせることにより枠材を十
字状に正確に接合することが容易にできる。

実施例 第１図は本実施例によるクリーンルーム１であ
り、このクリーンルーム１全体が清浄空気室とさ
れるとともに、このクリーンルームの一部に清浄
度のより高い空間２が形成されている。この空間
２に本実施例で骨組みされた天井３が用いられて
いる。この天井３はクリーンルーム１の天井５か
ら吊り下げられている。また、天井３にはフイル
ター４が取り付けられており、天井３の上方のク
リーンルーム１の天井５、周囲の側壁６並びにク
リーンルーム１の壁体１ａにより空間７を形成さ
せている。フイルター４は本実施例の枠材を格子
状に骨組みしたものに取り付けられる。第１図は
上記のようにクリーンルーム１の一部を清浄度の
高い空間２とし、この部分にのみ清浄空気の吹出
口を有する天井構造としたために特に側壁６を必
要としているが、クリーンルーム１の天井５全体
を吹出口とする場合には、側壁６はクリーンルー
ム１の壁体１ａを利用することもできる。上記ク
リーンルーム１の天井５並びに壁体１ａ、側壁６
及び天井３で形成される空間７は従来同様フアン
を有する空気循環装置並びに空気調和装置（図示
せず）に接続されたエアチヤンバーを構成するこ
とはいうまでもない。

上記天井５、壁体１ａ並びに側壁６は内部にウ
レタンホームを有するサンドイツチパネルを使用
している。すなわち、第２図に示すようにアルミ
ニウム合金板等の板の間にウレタンホームを発泡
充填し、その周囲並びに連結部に合成樹脂等の形
材で形成した枠を取り付けたものである。これら
自体は特別新規なものではない。また枠の断面形
状も図示のものに限るものではなく、適宜組み合
わせることができるならどのようなものでも良い
が、図示のように天井５の側壁６に接する部分を
凹とし、側壁６の枠９の天井５と接する部分を凸
として、凸の部分を凹の部分に入れるようにする
ことが望ましい。また、双方の枠８，９の接する
部分はシリコンシーラント等によりコーキングし
て空気の漏れをなくすようにする。

フイルター４はフイルター枠１０内にろ材を折
り返して収納させたいわゆるHEPAフイルター
であり、枠材１１，１２により格子状に骨組みさ
れた各区画に後述のように取り付けられる。この
フイルターは通常の市販されているものを使用す
ることができる。

枠材１１，１２は共に同一断面形状のものであ
り、その断面形状は第２図に示す通りである。上
下の面１３，１４が側面１５より大とされた中空
の四角形の支持部１６と、上面１３の中央で立ち
上る取付部１７とを有する形状である。この取付
部１７は上面１３からほぼ垂直に立ち上る立上り
面１８を両側に有し、その先端に固定具１９の鍔
２０を摺動自在に保持する保持部２１を形成させ
てある。また、中間部には双方の立上り面間に梁
２２を渡してある。上記固定具１９はこの枠材１
１をクリーンルーム全体の天井５に固定する固定
ボルト２３を固定させるため、並びに後述の連結
金具を固定させるためのもので、外周に形成させ
た鍔２０とめねじを形成させた本体とからなつて
いる。固定具１９にねじ込まれた固定ボルト２３
にはさらに取付部１７の上側からナツト２４で締
付けて枠材１１を吊るようになつている。また、
この固定ボルト２３は天井５よりさらに上方に突
き出し、クリーンルーム１が設置されている建物
に支持される。これにより天井３及び天井５は共
に建物に支持される。なお、ボルト２３′は天井
５を建物に支持するためのものである。

本実施例枠材は一方の枠材１１を長尺物とし、
他方１２を短尺物としている。この短尺物の枠材
１２が平行に配置された枠材１１，１１の間に直
角に取り付けられ格子状とされている。どちらを
長いものとしても差し支えない。これらの接合箇
所を示したのが第４図であり、２個の連結金具２
５，２５により連結固定されている。以下この連
結金具について説明する。

この連結金具２５はアルミニウム合金ダイキヤ
ストで第６図に示す形状に作成される。図は裏側
から見た絵であり、その平面図は第５図に示す通
りである。この第５図に示したものは骨組の周辺
部における枠材が直角に結合される部分のもので
ある。

この連結金具２５の表面部（上面）は枠材の取
付部１７の上端を覆うことができる幅を有するカ
バー部２６，２７を直角にＬ字状に形成させ、そ
の出隅部２８を45度に切除し、傾斜させている。
この出隅部は第４図に示すように双方の連結金具
２５，２５をそれぞれの出隅部２８を合せたとき
にそれぞれのカバー部が直線状となり、十字形と
なる位置に形成されている。カバー部２６は長尺
物の枠材１１の、カバー部２７は短尺物の枠材１
２の取付部の上端を覆うものである。カバー部２
６は第６図に示すように両端に腕部２９と壁部３
０とを直角に立上らせ、この腕部と壁部とにより
取付部１７を挟み込む抱持部を形成させている。
同様にカバー部２７も取付部を挟むための腕部３
１を両側に形成させ抱持部としている。

前記壁部３０にはカバー部２７と同一方向に突
出した突出体３２が形成されている。この突出体
３２は枠材１２の上面１３と取付部１７の梁２２
とで形成される空間に挿入され、枠材の連結をよ
り安定させるものであるが、必ずしも必要なもの
ではない。この突出体３２を設けない場合は連結
金具は単なる板状のもので良く、その場合、壁部
３０は腕部２９に置き代えられる。双方のカバー
部の先端付近に孔３３が形成され、この孔へボル
ト３４を通して固定する。取付部１７には前記し
た鍔２０を有する固定具１９があらかじめ取り付
けられ、前記ボルト３４はこの固定具１９にねじ
込まれて固定される。

枠材１２は枠材１１，１１間の長さよりわずか
短く、第７図に示すようにその先端と枠材１１の
側面１５との間にシリコンシーラント等のシール
材３５が充填される。図示のように中空の支持部
１６の中にシール受材３６（第８図参照）を入
れ、このシール受材を先端から突出させ、その周
囲にシール材３５を詰め、シール材が枠材内に入
るのを防いでいる。このシール受材３６は枠材１
１の側面１５に接触しない程度極わずか離れるよ
うにされ、温度変化による膨張、伸縮に対応させ
ている。その位置決めのため、一部に先端から所
定の長さの切り込みを入れて曲げ起し、ストツパ
ー３７を形成させている。また、図示のように本
実施例ではシール受材３６の先端部に段部３６′
を形成させているが、これはシール材の容積を大
きくするためである。

また、部屋の大きさにもよるが、長尺物の枠材
１１の長さが不足する場合には第９図に示すよう
に中空の支持部の中に中央に溝３８を形成させた
スリーブ３９を入れ、溝３８を接合部に配置して
シール材を充填する。

上記のようにして格子状に骨組みした枠材１
１，１２の全ての区画にフイルター４を載せれば
クリーンルームの天井となる。フイルター４は周
知のように周囲にフイルター枠１０を有している
ので、その下面４１を支持部１６の上面１３に載
せる。その際第２図図示のようにフイルター枠の
下面４１と枠材の上面１３との間及びフイルター
枠の側面４２と立上り面１８との間をシール材４
３でシールする。このフイルター取り付け作業は
あらかじめ枠材１１，１２の支持部１６の上面１
３並びに立上り面１８にシール材４３を設けてお
けば、フイルター４を室内側から取付区画を通し
て一旦上に上げ、位置を整えて下すだけで上記の
通りシールすることができる。

本実施例においてシール材は接着性があまり強
くなく、わずか力を加えれば剥がすことのできる
シリコン係シール材を使用している。

上記のように本実施例はあらかじめ長尺物の枠
材１１を一定間隔で平行に取り付け、しかる後、
短尺物の枠材１２を連結金具２５で取り付ける。
このとき連結金具２５のカバー部２６，２７は枠
材の取付部１７の先端を抱持部で挟み込むように
されているので、確実に枠材１１に対して枠材１
２を直角にすることができる。また、出隅部２８
が45度に傾斜されているので、十字に交差させな
ければならない箇所で双方の出隅部２８を一致さ
せることにより、正確に十字状にすることができ
る。この枠材の組み付けの後、枠材１２の突付箇
所にシール材３５を充填する。この枠材の結合作
業は枠材の支持部１６から立ち上る取付部１７に
より行ない、シールは支持部で行なうので枠材の
結合作業とシール作業とを別に行なうことができ
それぞれの作業が容易となる。

上記のようにして枠材を組んだ後、支持部１６
の上面１３と立上り面１８とにシール材４３を塗
布し、フイルター４をその上に載せればクリーン
ルームの天井が完成する。シール材４３がフイル
ター枠１０の下面４１と側面４２とに配置されて
いるので、振動によつてフイルターが上下しても
側面のシール材によりシールが維持される。ま
た、枠材の接合箇所は、支持部１６が中空状であ
り、接合される枠材の支持部の中空状端部全周に
わたつてシール材３５が施されるための接合部の
シール材３５は天井３の上から下方に漏れようと
する気流に対してシールが二重になる。

［考案の効果］ 以上のように本考案によれば、フイルターを載
せる支持部の上方にある取付部で枠材同士を接合
させて骨組みする構成とされているので、組み付
け作業が容易となる。

また、連結金具はフイルターを載せる支持部の
上の取付部先端にあるので、室内から見えず室内
の美観を損なうことがないだけでなく、室内側に
塵埃などが付き易い凹凸のある部分が形成される
を防ぐことができ、室内をクリーンに保つことが
できる。

さらに、枠材の支持部を中空としているのでそ
の上下面並びに側面を平らにしても枠材にフイル
ターを支えるに十分な剛性を持たせることができ
る。したがつて枠材の側面並びに下面を平らにす
ることができるので、そこに塵埃の付着するのを
防止することができる。また枠材は格子状に骨組
みされるが、そのとき少なくとも一方の枠材を他
方のものに突き合わせなければならず、その際少
なくともフイルターを載せる支持部を突き付ける
箇所でシールしなければならないが、本考案にお
いてはその支持部が中空であるので、突き付ける
支持部の周囲をシールするだけでよく、シールを
確実に、且つ簡単に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案を用いたクリーンルームの一例
の概略図、第２図は本考案実施例の断面図、第３
図は本実施例骨組の一部の概略斜視図、第４図は
枠材の接合部の斜視図、第５図は他の箇所の枠材
の接合部の平面図、第６図は取付金具の斜視図、
第７図は枠材接合部の断面図、第８図はシール受
の斜視図、第９図は枠材の断面図。 ４……フイルター、１１，１２……枠材、１３
……上面、１５……側面、１６……支持部、１７
……取付部、１８……立上り面、２５……連結金
具、２６，２７……カバー部、３５……シール
材、４１……下面、４２……側面、４３……シー
ル材。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 直線状の枠材をＸ，Ｙ方向にそれぞれ平行に
   格子状に骨組みし、その各区画にフイルターを
   配設するクリーンルームの天井構造の骨組みに
   おいて、枠材をフイルターを載せる中空状支持
   部と、該支持部の上面中央にその面から垂直に
   立ち上る取付部とを有するものとし、連結金具
   を前記取付部に取り付けて枠材同士を固定させ
   るクリーンルームの天井を構成する骨組み。 (2) 前記連結金具が取付部の上端を覆う幅でその
   両端に取付部を挟み込む抱持部を形成させた板
   状カバー部をＬ字状に、かつ、その出隅部を45
   度に切除した形状とした実用新案登録請求の範
   囲第１項記載のクリーンルームの天井を構成す
   る骨組み。