JPH0353006B2

JPH0353006B2 -

Info

Publication number: JPH0353006B2
Application number: JP12234587A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiko Ootsuka
Original assignee: Nitta Corp
Current assignee: Nitta Corp
Priority date: 1987-05-18
Filing date: 1987-05-18
Publication date: 1991-08-13
Also published as: JPS63287519A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、クリーンルームにおけるエアフイ
ルタ取付用フレームに関するものであり、さらに
言えば被吊下物の吊下構造に関するものである。

〔従来の技術〕

半導体工業、電子工業、精密機械工業、病院手
術室等で使用されるクリーンルームには、天井の
全面にエアフイルタを取り付けたものが見られ
る。エアフイルタを天井に取り付けるには、エア
フイルタ取付用フレームを使用し、天井に格子状
に組み立てられた同フレームにエアフイルタを置
き密着（シール）するものである。これによつ
て、エアフイルタの支持及びエアフイルタとエア
フイルタ取付用フレームとの間のシールを行う。

このエアフイルタ取付用フレームにはＵ型チヤ
ンネルと角パイプの２種類がある。Ｕ型チヤンネ
ル２４は、第４図に示すように、深さ、幅のほぼ
等しいＵ字状チヤンネルであり、シール材１２を
充填したシール部２５にエアフイルタの枠に取り
付けたスカートを挿入し、エアフイルタの支持と
シールを行うものである。

これに対して、角パイプ２６は、第５図に示す
ように、四角形断面のフレームにエアフイルタ１
９を置きコーキング材２７等によつてエアフイル
タ枠とフレームとの間のシールを行うものであ
る。

ところでクリーンルームは照明器具、スプリン
クラ、煙感知器等を天井に取り付けなければなら
ないほか、ときには重量物、例えばウエハー搬送
装置パネル、つい立て、たれ壁等を天井から吊り
下げる必要がある。

従来のエアフイルタ取付用フレームは、照明器
具、スプリンクラ、煙感知器のような比較的軽い
物については、同フレームに直接的あるいは間接
的に取り付けることが行われている。例えば、第
４図のＵ型チヤンネル２４は、強度及びシール性
の点から直接穴開けができないため、補助フレー
ム２８を使つて煙感知器２９を支持し、この補助
フレーム２８を２本のＵ型チヤンネル２４のシー
ル部２５に挿入し、間接的に煙感知器２９を取り
付けている。また、第５図の角パイプ２６では、
下壁に直接照明器具、スプリンクラ、煙感知器等
を取り付けることができる（図示せず）。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、従来のエアフイルタ取付用フレ
ームは、取り付ける器具の重量をフレーム自体で
支えるので、軽い物を取り付けることはできても
重量物を吊り下げることはできない。重量物をク
リーンルームに吊り下げるには天井から吊ボルト
によつて直接吊り下げることが必要であり、その
ためには天井に取り付けた吊ボルトはエアフイル
タ取付用フレームを貫通して下方に突出させる必
要がある。しかしながら、穴開けのできないＵ型
チヤンネル２４では貫通孔を設けることはでき
ず、また角パイプ２６では、貫通孔を開けること
はできるが、コーキング材では十分なシールがで
きないため、事実上貫通孔を設けることができな
い。それゆえ、Ｕ型チヤンネル２４も角パイプ２
６も吊ボルトを通すことができない。

そこで、この発明は、エアフイルタ取付用フレ
ームについて、大きな荷重をかけることなく且つ
シール性を確保しつつ重量物を吊り下げることが
できるようにすることを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

第１の発明は、エアフイルタ取付用フレーム
を、上壁２ａ上に一対の突壁７を上方へ突設し、上
壁２ａと一対の突壁７で囲まれた部分にシール材
１２を充填してシール部８を形成し、この上壁２
ａに貫通孔９を設け、下壁２ｂに切欠き部１０を
設けた角パイプ本体２と、上壁２ａに取り付けられて貫通孔９を塞ぐフラ
ンジ４と、フランジ４の上面に突出する接続手段３と、フランジ４の下面に免震体５を介して取り付け
られた吊下手段６と、から構成したものである。

第２の発明は、角パイプ本体２とフランジ４に
ついては第１の発明と共通するが、接続手段３が
フランジ４を貫通し、この接続手段３の下端に免
震体５を介して吊下手段６を取り付けたものであ
る。

〔作用〕

この発明は、接続手段３と吊下手段６が、フラ
ンジ４及び免震体５を挾んで（第１の発明）ある
いは免震体５を挾んで（第２の発明）、接続され
て一体となつている。従つて、接続手段３に天井
に固定した吊ボルトを接続し、吊下手段６に被吊
下物（第２図、第３図の１８）を接続すれば、角
パイプ本体２に大きな荷重をかけることなく、被
吊下物１８を天井から直接吊り下げることができ
る。

また、いずれの発明も、シール部８を設けてい
るので、エアフイルタの上流側とクリーンルーム
内を遮断することできる。従つて、上壁２ａとフ
ランジ４の間、接続手段３がフランジ４を貫通す
る箇所（第２の発明のみ）から、汚染された送風
がクリーンルーム内に漏れることはない。

〔実施例〕

この発明の実施例を図面に基づき説明する。

この発明の第１実施例を第１図及び第２図に例
示する。第１実施例の被吊下物の吊下構造は、概
略、エアフイルタ取付用フレーム１の角パイプ本
体２内に、これを貫通するように接続手段３、フ
ランジ４、免震体５及び吊下手段６を一体に取り
付けたものである。

角パイプ本体２は、断面が四角形であつて、上
壁２ａの両側縁に一対の短い突壁７を上方へ突設
し、上壁２ａ及び一対の突壁７で囲まれた部分に
浅いシール部８を形成している。角パイプ本体２
の上壁２ａに貫通孔９を設け、下壁２ｂに長さ方
向全長にわたつて切欠き部１０を形成している。

角パイプ本体２は、アルミニウム等の軽量板材
を溶接あるいは押出成形して製造される。

接続手段３、フランジ４、免震体５及び吊下手
段６は、第２図に示すように、順次接続された一
体物である。そして、フランジ４を角パイプ本体
２の上壁２ａに取り付けて貫通孔９を塞ぎ、貫通
孔９周縁にコーキング材１１を充填した後、シー
ル部８にシール材１２を充填している。シール材
１２には、シリコーン・ゲルあるいはこれと同等
の粘弾性を有する粘弾性シール材を使用する。シ
リコーン・ゲルを使用すれば、シリコーン・ゲル
が非流動性であるので、エアフイルタ取付用フレ
ームの製造時にあらかじめ充填しておくことがで
きる。他の流体シール材を使用するときは、流動
性を有するため現場で充填をしなければならな
い。

接続手段３と吊下手段６は、第２図に示すボル
トに限らず、雌ネジであつてもよい。

免震体５の材質は、ゴムその他の免震体であ
る。

次に、以上の構成から成るエアフイルタ取付用
フレーム１を天井に組み立て被吊下物を吊り下げ
る方法について説明する。

まず、エアフイルタ取付用フレーム１を天井に
組み立てる方法は、第１図に示すように、同フレ
ーム１を継手１３で連結して格子状に組み立て、
この組立枠１４を、吊ボルト１５で天井側吊ボル
ト１６のターンバツクル１７に接続すればよい。

次に、被吊下物１８を吊り下げる方法は、接続
手段３を天井側吊ボルトのターンバツクル（図示
せず）に接続し、吊下手段６にウエハー搬送装
置、パネル、つい立て、たれ壁等の被吊下物１８
を接続する。

また、シール部８にエアフイルタ１９を設置す
る方法は、従来のＵ型チヤンネル２４と同様に、
エアフイルタ１９の枠に取り付けたスカート２０
をシール部８に挿入すればよい。

以上のように、第１実施例は、接続手段３と吊
下手段６がフランジ４と免震体５を挾んで接続さ
れているので、被吊下物１８を天井から直接吊り
下げることができる。また、シール部８を設けて
いるので、上壁２ａとフランジ４の間を完全にシ
ールすることができる。また、フランジ４を上壁
２ａに取り付けているので、貫通孔９からシール
材１２が流亡するのを防止することができる。

ところで、第１実施例は、上壁２ａにフランジ
４を介して免震体５を取り付けているので、上壁
２ａに荷重がかかることが考えられるが、免震体
５と被吊下物１８の重量は天井に支持されてお
り、荷重がかかるとしてもわずかである。また、
このように上壁２ａに免震体５を取り付けている
ので、吊下手段６の位置すなわち被吊下物１８の
接続位置を高くできる利点がある。

この発明の第２実施例を第３図に例示する。第
２実施例は、第１実施例と同じ角パイプ本体２を
使用して角パイプ本体２の上壁２ａにフランジ４
を取り付けたこと、免震体５の下面に吊下手段６
を取り付けたことは第１実施例と同じである。第
１実施例と異なるのは、上壁２ａを貫通して接続
手段３を取り付け、この接続手段３を角パイプ本
体２内のソケツト２２を介して免震体５に接続し
た点である。そして、免震体５を角パイプ本体２
の下位に配置すると共に免震体５の上面にフラン
ジ２３を設け、このフランジ２３が上壁２ａに接
触するものとしている。

第２実施例のエアフイルタ取付用フレーム１に
被吊下物１８を吊り下げる方法は、第１実施例と
同様に、接続手段３を天井側吊ボルトに接続する
と共に吊下手段６に被吊下物１８を接続する。

以上のように、第２実施例は、接続手段３と吊
下手段６がソケツト２２及び免震体５（フランジ
２３を含む）を挾んで接続されているので、被吊
下物１８を直接天井から吊り下げることができ
る。しかも、接続手段３は、フランジ４を貫通し
ているので、上壁２ａには全く被吊下物１８の荷
重がかからない。また、シール部８を設けている
ので、上壁２ａとフランジ４の間、接続手段３が
フランジ４を貫通する箇所を完全にシールするこ
とができる。

また、以上の第１、第２実施例では工場におい
て接続手段３、フランジ４、免震体５、吊下手段
６等を角パイプ本体２に取り付けるので、現場で
の施工性が格段に向上する。また、シール材１２
としてシリコーン・ゲルを使用すれば工場での充
填が可能になることも、施工性の向上に役立つ。
しかも、免震体５を介して被吊下物１８を吊り下
げることにより、地震等による角パイプ本体２の
横ゆれが被吊下物１８に伝わるのを防止すること
ができる。

尚、一対の突壁７は上壁２ａの両側縁に限ら
ず、上壁２ａ上の適宜位置に突設することができ
る。

〔発明の効果〕

この発明は、上方の接続手段３と下方の吊下手
段６を角パイプ本体２内で接続しているので、被
吊下物を直接天井から吊り下げることができる。
また、シール部８を設けているので、接続手段３
と吊下手段６を角パイプ本体２内で接続するため
に起る、汚れた送風がクリーンルーム内に漏れる
事態を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図はこの発明の第１実施例を示
す図面。第１図はエアフイルタ取付用フレームの
組立状態を示す斜視図。第２図は第１図のＡ−Ａ
断面。第３図はこの発明の第２実施例を示す図面
であつて、要部の断面図。第４図及び第５図は従
来技術を示す図面。第４図はＵ型チヤンネルの吊
下構造を示す断面図。第５図は角パイプの使用状
態を示す断面図。１……エアフイルタ取付用フレーム、２……角
パイプ本体、２ａ……上壁、２ｂ……下壁、３…
…接続手段、４……フランジ、５……免震体、６
……吊下手段、７……突壁、８……シール部、９
……貫通孔、１０……切欠き部。

Claims

【特許請求の範囲】１上壁２ａ上に一対の突壁７を上方へ突設し、
上壁２ａと一対の突壁７で囲まれた部分にシール
材１２を充填してシール部８を形成し、この上壁
２ａに貫通孔９を設け、下壁２ｂに切欠き部１０
を設けた角パイプ本体２と、上壁２ａに取り付けられて貫通孔９を塞ぐフラ
ンジ４と、フランジ４の上面に突出する接続手段３と、フランジ４の下面に免震体５を介して取り付け
られた吊下手段６と、から構成されたことを特徴とするエアフイルタ取
付用フレーム。２上壁２ａ上に一対の突壁７を上方へ突設し、
上壁２ａと一対の突壁７で囲まれた部分にシール
材１２を充填してシール部８を形成し、この上壁
２ａに貫通孔９を設け、下壁２ｂに切欠き部１０
を設けた角パイプ本体２と、上壁２ａに取り付けられて貫通孔９を塞ぐフラ
ンジ４と、フランジ４を貫通した接続手段３と、接続手段３の下端に免震体５を介して取り付け
られた吊下手段６と、から構成されたことを特徴とするエアフイルタ取
付用フレーム。