JPH0640226U - 間仕切り装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 風圧、積雪荷重による鉄骨構造梁あるいはル
ーフトラスの撓みを容易に吸収し、エアリーク量を最小
限にする間仕切装置を提供することにある。 【構成】 クリーンルーム２１内を他のエリア３３と区
画する間仕切りパネル３２の下端を格子状床面３５に気
密に固定し、この間仕切りパネル３２の上端部を天井面
の内側に配設された側面パネル２８の下端に設けた連結
用型材３４内に相対擢動可能に嵌合する。そして、天井
面のエアフィルタ取付枠２０と連結用型枠３４と間仕切
りパネル３２との嵌合部からのエア漏れを防止する帯電
防止型のシート材４０を張設する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体工場、食品工場、薬品工場などの工業用クリーンルームの間 仕切りに使用されるミニマムリーク型の間仕切り装置に係り、特に、間仕切りパ ネルがルーフトラスなどの荷重変形に応じて伸縮できる間仕切り装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体工場などの工業用クリーンルームを構成する建物は、図２に示すように 、鉄骨構造の柱１、梁２およびルーフトラス３等を組立てることにより構成され ている。

【０００３】 建物の各階は、天井（ＨＥＰＡ天井）上のダクトスペース（圧力チャンバ）４ 、床（アリセス床）下のリターンプレナムエリア５、およびこのダクトスペース ４とリターンプレナムエリア５間に形成される清浄作業エリア６とに区画されて いる。

【０００４】 そして、空調設備（図示せず）からダクトスペース４の天井面に取り付けたＨ ＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air ）フィルタ７を通して作業エリア６ に清浄空気を供給するとともに、作業エリア６に供給された空気は格子状床面８ を通してリターンプレナムエリア５に流れ込み、再び空調設備に還流することに より、作業エリア６内を清浄状態に維持するようにしている。

【０００５】 また、作業エリア６内は、間仕切り９によって半導体製造に供されるクリーン ルーム１０およびメンテナンスエリアまたはバッファゾーン１１などに区画され る。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、作業エリア６内を間仕切り９により区画する場合、この間仕切り９ は、格子状床面８とダクトスペース４の天井面１２間に配設され、天井面１２は 吊り部材などによりルーフトラス３に結合されている。

【０００７】 この場合、ルーフトラス３または梁を支える柱のスパンが８〜１０ｍ程度のと きは、風圧あるいは積雪によるルーフトラス３あるいは梁の撓み量は小さいため 、間仕切り９が破損されるような問題が生じないが、ルーフトラス３または梁を 支える柱のスパンが１０ｍ以上になると、ルーフトラス３または梁が風圧あるい は積雪による荷重を受けたときの撓み量は±数１０mmと大きくなり、これによる 撓み荷重が間仕切り９に作用すると、間仕切り９が破損したりする問題があるほ か、この破損部分から空気がリークしてクリーンルーム内の清浄度を低下させ、 半導体製造などに悪影響を及ぼすという問題があった。

【０００８】 本考案は、上述のような問題を解決するものであり、風圧、積雪荷重による鉄 骨構造梁あるいはルーフトラスの撓みを容易に吸収できるとともに、エアクリー ク量の少ない間仕切り装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために本考案は、エアフィルタを有する天井面と格子状床 面とにより構成されるクリーンルーム内を他のエリアと区画する間仕切り装置に おいて、前記クリーンルーム内を他のエリアと区画する間仕切りパネルの下端を 前記格子状床面に気密に固定し、前記間仕切りパネルの上端部を前記天井面の外 側に配設される側面パネルの下端に設けた連結用型材内に相対擢動可能に嵌合し 、前記天井面のエアフィルタ取付枠と前記間仕切りパネルに前記連結用型材と間 仕切りパネルとの嵌合部からのエア漏れを防止するシート材を張設したものであ る。

【００１０】

【作用】

クリーンルームを構築する鉄骨構造の梁あるいはルーフトラスが風圧または積 雪荷重で撓むと、間仕切りパネルと側面パネル間は連結用型材の部分で伸縮する 。

【００１１】 よって、梁あるいはルーフトラスの撓みを吸収できる。また、連結用型材と間 仕切りパネルとの嵌合部分はシート材によりクリーンルーム側からシールされる から、連結用型材からのエア漏れを最小限にできる。

【００１２】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。 図１は、工業用クリーンルームの間仕切り装置の一実施例を示す要部の断面図 である。

【００１３】 図１において、２０は、図２に示す場合と同様にクリーンルーム２１とダクト スペース（圧力チャンバ）２２間を区画する天井面に配置したフィルタ取付枠で ある。

【００１４】 このフィルタ取付枠２０は結合金具２３により吊りロッド２４の下端に結合さ れ、吊りロッド２４の上端は鉄骨構造の梁またはルーフトラス（図示せず）に結 合される。

【００１５】 ２５は、クリーンルーム２１の天井面に配置されたＨＥＰＡフィルタである。 このＨＥＰＡフィルタ２５を支持するフィルタ枠２６はフィルタ取付枠２０内 に係合され、その係合部分はフィルタ取付枠２０内に充填したシール材２７によ ってシールされている。

【００１６】 また、２８は、フィルタ取付枠２０に近接してダクトスペース（圧力チャンバ ）２２側に配置したチャンバ側面パネルである。 このチャンバ側面パネル２８の上端は、図２に示す場合と同様にダクトスペー ス２２の天井面（図示せず）に結合され、さらに、チャンバ側面パネル２８の下 端にはチャネル状のレベル調整型材２９がタッピングねじ３０により固定されて いる。

【００１７】 また、チャンバ側面パネル２８の下端部側面とこれに対向するフィルタ取付枠 ２０との接触面間にはコーキングしたシリコンシーラントなどのシール材３１が 介在され、これによって両接触面間をシールしている。

【００１８】 図１中、３２は、クリーンルーム２１と清浄度の異なる他のクリーンルーム、 例えばメンテナンスエリアまたはバッファゾーン３３間を区画する間仕切りパネ ルである。

【００１９】 この間仕切りパネル３２の上端部は、チャンバ側面パネル２８の下端にタッピ ングねじ３０によりレベル調節型材２９と一体に取り付けたチャネル状の間仕切 りパネル連結用型材３４に上下方向にスライド可能に嵌合される。

【００２０】 また、間仕切りパネル３２の下端は、格子状床面３５にタッピングねじ３６に より固定したアング材３７にタッピングねじ３８によって固着され、さらに、ク リーンルーム２１側の間仕切りパネル３２の下端部と格子状床面３５間には、コ ーキング処理したシリコンシーラント材３９が介在されている。

【００２１】 図１中、４０は、間仕切りパネル３２と連結用型材３４とからエア漏れを防止 する帯電防止型のシート材である。 このエア漏れを防止する帯電防止型のシート材４０の一端部は押え板４１を介 してフィルタ取付枠２０の下面にねじ４２により気密に固定されているとともに 、シート材４０の他端部は押え板４３を介して間仕切りパネル３２の側面にねじ ４４などにより固定されている。

【００２２】 なお、シート材４０の間仕切りパネル３２への固定方法は、押え板４３に限ら す、マグネットあるいはマジックテープ（登録商標）により固定するようにして もよい。

【００２３】 上述のような本実施例の間仕切り装置においては、チャンバ側面パネル２８の 下端とクリーンルーム側間仕切りパネル３２の上端間を連結用型材３４により伸 縮可能に連結したので、鉄骨構造の梁あるいはルーフトラスが風圧または積雪荷 重で撓むことにより、チャンバ側面パネル２８が上下動しても、その上下運動、 即ち梁あるいはルーフトラスの撓みを結合型材３４により容易に吸収することが できる。その結果、チャンバ側面パネル２８および間仕切りパネル３２が破損さ れるのを未然に防止できる。

【００２４】 また、チャンバ側面パネル２８と間仕切りパネル３２間の連結部分をクリーン ルーム２１側からエア漏れを防止する帯電防止型のシール材４０により覆う構成 にしたので、クリーンルーム２１外へのエアの漏れを最小限にすることができる とともに、特別構造の間仕切りパネルが不要になり、標準規格の間仕切りパネル を使用でき、間仕切りの低コスト化できる。

【００２５】 なお、本考案の間仕切り装置は、上記実施例に示す構成のものに限らず、請求 項に記載した範囲を逸脱しない限り、種々の変形が可能である。

【００２６】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、クリーンルームの間仕切りパネルの下端 を格子状床面に固定し、かつ間仕切りパネルの上端部を天井面の外側に配設され る側面パネルの下端に設けた連結用型材に相対擢動可能に嵌合したから、クリー ンルームを構築する鉄骨構造の梁あるいはルーフトラスに風圧または積雪荷重で 大きな撓みが生じても、この撓みを容易にかつ確実に吸収することができる。

【００２７】 また、連結用型材と間仕切りパネルとの嵌合部分はシート材によりシールされ ているから、特別構造の間仕切りパネルが不要になり、間仕切りの低コスト化が 可能になるほか、連結用型材からのエア漏も最小限にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案による間仕切り装置の一実施例を示す要
部の断面図である。

【図２】工業用クリーンルームを構成する鉄骨造建物の
概略断面図である。

【符号の説明】

２０ 天井面のフィルタ取付枠 ２１ クリーンルーム ２２ ダクトスペース ２４ 吊りロッド ２５ ＨＥＰＡフィルタ ２８ チャンバ側面パネル ３２ 間仕切りパネル ３３ バッファゾーン（他のエリア） ３４ 連結用型材 ３５ 格子状床面 ４０ シート材

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 エアフィルタを有する天井面と格子状床
   面とにより構成されるクリーンルーム内を他のエリアと
   区画する間仕切り装置において、 前記クリーンルーム内を他のエリアと区画する間仕切り
   パネルの下端を前記格子状床面に気密に固定し、前記間
   仕切りパネルの上端部を前記天井面の外側に配設される
   側面パネルの下端に設けた連結用型材内に相対擢動可能
   に嵌合し、前記天井面のエアフィルタ取付枠と前記間仕
   切りパネルに前記連結用型材と間仕切りパネルとの嵌合
   部からのエア漏れを防止するシート材を張設したことを
   特徴とする間仕切り装置。