KR20170102333A - 청정 가스 캐빈 - Google Patents

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KR20170102333A
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structural core
clean gas
plates
gas cabin
plate
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KR1020177021719A
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Inventor
게르하르드 스프레이처
마틴 쾨프게
토마스 불트만
Original Assignee
엠. 브라운 이너르트가스-시스템 게엠베하
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Abstract

본 발명은 주변에 대해 밀봉되고 측벽들(30, 30.1 - 30.10)로 둘러싸인 내부 공간을 포함하는 청정 가스 캐빈(10)에 관한 것이다. 청정 가스 캐빈의 측벽들 중 적어도 일부분은 각각 2개의 커버판(12.1, 12.2) 및 그 사이에 배치되는 구조 코어(12.3)를 포함하는 하나 이상의 구조 코어판(12), 특히 하나 이상의 벌집형 코어판으로 구성되고, 청정 가스 캐빈의 에지를 따라 일 커버판은 절곡되고, 타 커버판 및 구조 코어는 분리된다. 구조 코어판을 포함하는 청정 가스 캐빈의 구조를 통해 청정 가스 캐빈의 중량은 현저하게 감소한다.

Description

청정 가스 캐빈
본 발명은 주변에 대해 밀봉되고 측벽들로 둘러싸인 내부 공간을 포함하는 청정 가스 캐빈에 관한 것이다.
생산 및 연구 개발 분야에서 다수의 제조 공정 및 작업 단계들은 일반적인 환경 조건하에 실시되어야 할 뿐만 아니라 별도의 분위기(atmosphere)를 필요로 한다. 그러한 제조 공정은 예컨대 반도체 제조를 위한 코팅 공정, LCD 또는 OLED 제조를 위한 봉지 단계 또는 예컨대 의약품 분야에서 고순도 원재료의 제조 공정 및 특히 티타늄 용접과 같은 용접 경우를 들 수 있다. 이러한 공정들은 예컨대 청정실 조건, 낮은 습도, 불활성 가스 분위기 또는 이러한 다양한 조건과 다른 조건들의 혼재를 요구할 수 있다.
필요한 조건에 맞게 분위기가 조절될 수 있는 폐쇄된 공간에서 그러한 제조 공정 또는 작업 단계를 실시하는 것은 공지되어 있다. 폐쇄된 공간은 에어록(air-lock)을 구비하고, 이러한 에어록을 통해 필요한 물질들이 폐쇄된 공간 안으로 진입하고, 생산물이 배출될 수 있다.
그러한 공간은 예컨대 문헌으로 충분히 기술되어 있는 바와 같은 소위 글로브 박스(glove box)에서 형성된다("Reinraumtechnik(청정실 기술)", 3차 개정 및 확장판, Springer, p.202-207 참조). 그러한 글로브 박스는 주로 스테인리스 스틸로 제조된다. 글로브 박스에서, 장갑을 끼고 글로브 박스 내에서 원하는 작업 단계를 수행할 수 있다. 필요한 분위기를 조절하기 위해, 적합한 가스 공급부 또는 순환 라인이 구비되고, 이를 이용하여 글로브 박스에서 가스가 추출되고 적어도 하나의 가스 컨디셔닝 유닛을 통과한 후 다시 글로브박스에 공급된다. 그러한 글로브 박스의 구조에 의해, 글로브 박스는 특히 대형 제조 설비에서 생산 라인에 통합되기 어려울 수 있는데, 주변 설비들이 제공된 에어록을 통해서만 글로브 박스 안으로 진입할 수 있기 때문이다.
따라서 후드 설계의 불활성 가스 하우징이 공지되어 있다. 이러한 후드는 밑판과 함께 하나의 닫힌 공간을 형성하고, 이러한 공간에서 필요한 분위기가 조절될 수 있다. 사전에 조립된 후드는 위로부터 밑판 위에 설치 및 밀봉된다. 필요한 관통홀, 에어록, 앞에 연결되는 챔버 및 기타 필요한 장치 및 조립체는 바람직하게는 이미 후드에 취부되어 검사를 거친다. 불활성 가스 하우징은 제공된 작업장 또는 생산장소에 신속하게 설치될 수 있다. 후드 설계 방식을 통해 임의의 설비 또는 설비 부품이 밀폐된 공간 내에서 작동할 수 있고, 이러한 공간의 분위기는 필요에 따라 조절될 수 있다. 이를 위해 후드의 크기는 각각의 설비에 따라 조정된다. 불활성 가스 하우징의 제조를 위해 사용되는 물질은, 이러한 물질의 본질적 분위기가 예컨대 오염 또는 탈기(outgassing)에 의해 바뀌지 않도록 설비된다. 또한, 하우징은 불활성 가스 하우징의 내부 공간과 주변 간의 가스 교환이 일어나지 않도록 형성된다. 스테인리스 스틸 또는 알루미늄 소재의 불활성 가스 하우징은 공지되어 있다. 이러한 불활성 가스 하우징의 단점은 중량이 높다는 것인데, 이는 전술한 구조 및 사용 물질로 인하여 발생한다. 중량이 높으면 한편으로 후드를 위에서 각 설비 위에 씌우는 일이 어려워지는데, 이에 부합하는 하중 지지 가능한 리프트 장치가 구비되어야 하기 때문이다. 또한, 이러한 불활성 가스 하우징은 주변 설비에 더하여 바닥 하중을 높인다. 이는 청정 가스 캐빈이 설치되어야 하는 건물의 바닥 하중 지지 능력이 불충분한 경우 바닥의 안전율을 높이기 위해 포괄적이고 비용 집약적인 개축 조치를 필요로 한다.
따라서 본 발명의 과제는 설비 또는 설비 부품을 수용하는 청정 가스 캐빈을 제공하되, 이러한 가스 캐빈의 내부 공간은 주변으로부터 밀봉되고, 가스 캐빈의 분위기는 설비 또는 설비 부품의 구동 요건에 맞게 조절될 수 있으며 고유 중량은 낮은 청정 가스 캐빈을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제는, 청정 가스 캐빈의 측벽들 중 적어도 일부가 하나 이상의 구조 코어판, 특히 하나 이상의 벌집형 코어판으로 구성되되, 각각 2개의 커버판 및 그 사이에 배치된 구조 코어를 포함하는 구조 코어판으로 구성됨으로써 해결된다. 본 발명의 범위 내에서 구조 코어판이란, 특히, 샌드위치 구조를 가지고 2개 이상의 커버판을 포함하며 커버판 사이에 구조 코어가 배치되는 그러한 판상 부품으로 이해해야 할 것이다. 이때 구조 코어는 임의의 구조물, 특히 경량 구조물일 수 있다.
구조 코어는 예컨대 벌집형 코어, 파형 또는 소용돌이형 물질, 발포재 등으로 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 청정 가스 캐빈은 필요한 분위기가 조절될 수 있는 하우징이다. 이를 위해 하우징은 주변에 대해 기밀적으로(gastight) 제조된다. 하우징 내에서는 별도의 분위기를 전제로 하는 제조 공정 및 작업 단계가 수행될 수 있다. 이를 위해 예컨대 로봇과 같은 적합한 제조 장치 또는 실험실 장비는 청정 가스 캐빈 내에 배치된다. 분위기 요건은 청정도, 습기 함량 또는 조성에 관련할 수 있다. 그러므로 예컨대 특정한 공정은 불활성 가스 분위기 하에서만 수행될 수 있다. 예컨대 온도 또는 박스 압력과 같은 다른 파라미터도 마찬가지로 조절될 수 있다. 따라서 청정 가스 캐빈에는 적합한 가스 컨디셔닝 유닛이 부속한다. 청정 가스 캐빈은 다각형 밑면 및 주변에 대해 밀봉되며 측벽들로 둘러싸인 내부 공간을 포함하는 캐빈을 의미할 수 있고, 이러한 캐빈은 적어도 하나의 순환 라인을 구비하며, 이러한 순환 라인을 통해 청정 가스 캐빈에서 가스가 추출되어 적어도 하나의 가스 컨디셔닝 유닛을 통과한 후 다시 청정 가스 캐빈으로 공급된다. 박스는 층류형 시스템을 구비할 수 있다.
구조 코어판으로 이루어진 측벽은 유사한 기계적 하중 지지 능력을 가지며 단일체(massive)로 형성되는 측벽에 비해 현저하게 더 낮은 중량을 포함한다. 구조 코어판의 구조는 서로 이격되어 배치되는 2개의 커버판을 포함하고, 이러한 커버판이 구조 코어를 통해 연결되는 방식으로, 이를 통해 측벽은 매우 높은 하중 지지 능력을 갖게 된다. 구조 코어판은 높은 굽힘 강성을 포함하여, 구조 코어판으로 형성되는 측벽은 하중이 있을 시 탄성적으로 굽혀지지 않거나 근소한 정도로만 굽혀진다. 구조 코어판은 양측에 배치되는 커버판에 기반하여 사용된 커버판의 투과 특성에 맞게 면 법선 방향으로 기밀성을 가진다. 특히, 커버판 및 구조 코어가 알루미늄으로 구성되는 벌집형 알루미늄 코어판은 청정 가스 캐빈의 기밀식 측벽 제조를 위해 적합하다. 구조 코어는, 구조 코어판 내부에서 이러한 코어판의 면 법선을 가로지르는 방향으로 가스가 유동하는 것을 방지한다. 이를 통해, 예컨대 가장자리를 통해 또는 커버판 내에 오프셋(offset) 가공된 관통홀을 통해 청정 가스 캐빈 안으로 또는 청정 가스 캐빈으로부터 가스 유동이 발생하지 않도록 보장된다.
구조 코어판은 그 구조상 전체적으로 바로 절곡될(bended) 수 없는데, 외부 커버판은 연신되고, 내부 커버판은 굽어지게 될 것이기 때문이며, 이에 상응하여 비틀림이 발생한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 청정 가스 캐빈의 에지를 따라 일 커버판은 절곡되고, 타 커버판 및 구조 코어는 분리될 수 있거나, 일 커버판은 타 커버판의 방향으로 구조 코어 안으로 들어가며 형성되고, 구조 코어판은 이러한 변형 영역에서 꺾일 수 있다.
청정 가스 캐빈의 에지를 따라 일 커버판은 절곡되고 타 커버판 및 구조 코어는 분리됨에도 불구하고, 구조 코어판들에 의해 에지들은 형성될 수 있다. 바람직하게는, 추후 에지의 외각 측에 위치하는 커버판은 구조 코어와 함께 이에 대향되는 커버판에 이르기까지 분리된다. 이후, 내부 커버판은 외부 커버판에서의 틈새를 따라, 그리고 구조 코어를 따라 청정 가스 캐빈의 원하는 에지 각도로 절곡된다. 이때 틈새는 확장된다.
또는, 추후에 에지의 내각에 위치하는 커버판 및 그 아래 위치하는 구조 코어는 추후 에지를 따라 대향 커버판까지 분리될 수 있다. 틈새는 분리되지 않은 커버판으로부터 시작하여 분리된 커버판까지 웨지형으로 확장되도록 형성될 수 있다. 필요한 틈새 개구각은 형성될 에지의 각도에 의해 정해진다. 이후, 분리되지 않은 커버판은 틈새를 따라 절곡됨으로써 외각을 형성한다. 이때 틈새는 다시 압축된다.
유리하게도, 각각의 분리되지 않은 커버판에 의해 구조 코어판은 형성된 에지 영역에서도 기밀성을 가진다. 구조 코어는 가스가 틈새로부터 시작하여 구조 코어판 내에서 확산되는 것을 방지한다.
커버판들 중 일 커버판이 타 커버판의 방향으로 구조 코어 안으로 들어가며 형성되고, 구조 코어판이 변형 영역에서 절곡되면, 매우 간단한 방식으로 기밀성 에지가 형성될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 분리된 커버판 및 구조 코어 내에서 청정 가스 캐빈의 일 에지를 따라 형성되는 틈새는 에지 커버에 의해 덮일 수 있고 및/또는 에지 커버는 서로 각이 지게 배치되는 2개의 숄더를 포함하며 각각 틈새의 일 측에서 구조 코어판과 밀봉적으로 연결되고, 특히 밀봉적으로 접착될 수 있다. 에지 커버는 에지 영역에서 측벽의 안정성을 증대시킨다. 에지 커버는 에지의 각도를 확정하고, 예컨대 분리되지 않은 커버판이 굽으면서 측벽이 하중을 받았을 때 이러한 각도가 변경되는 것을 방지한다. 또한, 에지 커버는 에지를 따라 측벽의 추가적인 밀봉 효과를 가져온다.
측벽의 가장자리를 기계적 손상으로부터 보호하는 것은, 측벽들의 상단 및 하단에서 구조 코어판들의 가장자리에는 프로파일 레일들이 덧씌워지고, 특히 끼워지며, 구조 코어판들과 밀봉적으로 연결되고, 특히 밀봉적으로 접착됨으로써 가능할 수 있다. 이러한 프로파일 레일들에 의해 청정 가스 캐빈의 바닥 및 리드에서 측벽들이 밀봉적으로 연결될 수 있다.
기타 부품을 간편하고 안전하게 구조 코어판들에 고정할 수 있으려면, 구조 코어판들에 적어도 하나의 나사 수용부가 배치되고 이러한 나사 수용부가 2개의 커버판 중 하나의 커버판 및 커버판들 사이에 배치된 구조 코어판의 적어도 일부를 관통할 수 있고 및/또는 나사 수용부는 2개의 커버판들 및 구조 코어를 관통하고 고정 부재가 삽입되면 적어도 일 측에서 밀봉될 수 있다. 나사 수용부에 의해 2개의 커버판들 중 1개의 커버판만 관통되면, 구조 코어판은 나사 수용부의 영역에서 기밀성을 가진다. 예컨대 나사 체결부의 기계적 하중이 증가하여 2개의 커버판이 나사 수용부에 의해 관통되는 것이 필요하면, 밀봉 장치를 이용하여, 외부로부터 청정 가스 캐빈으로 또는 청정 가스 캐빈으로부터 주변으로 가스가 통과하는 경우가 방지될 수 있다.
서로 이웃하는 2개의 구조 코어판의 기밀식 연결은, 서로 이웃한 2개의 구조 코어판이 적어도 하나의 연결 레일에 의해 연결되고, 연결 레일은 부착부를 포함하며, 부착부는 이웃한 구조 코어판의 각 커버판과 밀봉적으로 연결되고, 특히 밀봉적으로 접착됨으로써, 가능할 수 있다. 따라서 연결 레일의 부착부는 서로 이웃하는 2개의 구조 코어판 사이에서 기밀식으로 형성되는 브리지를 형성한다. 유리하게도, 구조 코어판들의 연결은 청정 가스 캐빈의 측벽의 직선 영역 내에서 이루어진다. 그러한 연결은 청정 가스 캐빈의 에지에서의 연결보다 더 간단하게 밀봉될 수 있다. 접착에 대한 대안적 또는 부가적으로, 각각의 구조 코어판과 이에 부착되는 연결 레일의 부착부 사이에 밀봉 부재가 구비될 수 있다.
연결 레일은 중공 프로파일 및 이에 형성된 부착부를 구비하여 압출 가공된 프로파일이고, 서로 인접하는 구조 코어판들은 중공 프로파일을 따라 양측에 배치되며, 이러한 중공 프로파일에 의해 서로 이격됨으로써, 구성적으로 구조가 간결해질 수 있다. 중공 프로파일에 의해, 연결 레일의 높은 강성 및 안정성이 달성된다. 이를 통해 연결 레일과 연결되는 측벽들이 더 보강된다. 또한, 중공 프로파일은 인접한 구조 코어판의 정확한 포지셔닝을 야기한다. 연결 레일은 압출 공정을 통해 간단하고 비용 효과적으로 제조될 수 있다. 청정 가스 캐빈의 경량 구조를 위해, 연결 레일은 알루미늄으로 제조되는 것이 바람직하다.
청정 가스 캐빈의 조립은, 서로 인접하는 구조 코어판들 중에 적어도 하나의 구조 코어판의 일 가장자리는 부착부 및 이에 대향하여 중공 프로파일에 형성된 대응 레일 사이의 영역 안으로 삽입 및 고정됨으로써, 간단해질 수 있다. 대응 레일 및 이에 대향하는 부착부는 중공 프로파일과 함께 U형의 수용부를 형성하고, 이러한 수용부 내에 구조 코어판의 일 가장자리가 삽입 및 고정될 수 있다. 따라서 대응 레일은 구조 코어판으로부터 연결 레일로 가는 이행 영역에서 추가적인 밀봉 효과 및 안정성 증대를 가져온다.
청정 가스 캐빈의 내부 공간을 아래쪽에서 밀봉하기 위해, 측벽들은 직접적 또는 간접적으로 청정 가스 캐빈의 바닥과 연결되고, 바닥은 구조 코어판, 특히 벌집형 코어판으로 형성되는 하나 이상의 바닥판으로 구성될 수 있다. 측벽들은 바닥과 기밀식으로 결합한다. 구조 코어판들을 포함하는 바닥의 구성은 단일체 바닥 구성에 비해 청정 가스 캐빈의 중량을 현저하게 줄인다.
청정 가스 캐빈의 바닥과 측벽들이 간단하게 조립 가능하면서 밀봉적으로 연결되는 것은, 측벽들 위에 덧씌워진, 특히 끼워진 프로파일 레일들이 바닥 위에 세워지고 고정 브라켓을 통해 바닥에 고정되고, 프로파일 레일들과 바닥 사이에 밀봉 부재들이 구비되며 및/또는 프로파일 레일들이 바닥과 접착됨으로써 가능할 수 있다.
이웃한 바닥판들 사이에 미끄럼 방지 특성이 있으면서 기밀식으로 연결이 이루어지려면, 이웃한 바닥판들의 서로 접하는 가장자리들에 서로 맞물리는 바닥 레일들이 형성되거나 접착되고 바닥 레일들이 서로 밀봉적으로 결합됨으로써 가능할 수 있다.
본 발명의 다른 바람직한 실시예에 따르면, 청정 가스 캐빈은 적어도 하나의 리드판으로 구성되는 리드에 의해 위가 닫히고, 리드판은 구조 코어판, 특히 벌집형 코어판으로 형성될 수 있다. 이 경우에도 구조 코어판은 전술한 이점들, 즉 낮은 중량, 근소한 꺾임에도 높은 기계적 하중 지지 능력 및 기밀성을 제공한다.
청정 가스 캐빈의 리드와 측벽들이 간단하게 조립 가능하면서 밀봉적으로 연결되는 것은, 측벽들 위에 덧씌워진, 특히 끼워진 프로파일 레일들이 직접적 또는 간접적으로 적어도 하나의 리드판과 연결되고 및/또는 프로파일 레일들과 리드판 사이에 밀봉 부재들이 구비되고 및/또는 프로파일 레일들이 리드판과 접착됨으로써 가능할 수 있다.
이하, 본 발명은 도면에 예시된 실시예를 참조로 하여 더 상세하게 설명된다. 도면은 다음과 같다.
도 1은 청정 가스 캐빈의 외부 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 청정 가스 캐빈의 내부 사시도이다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 청정 가스 캐빈의 분해도이다.
도 4는 청정 가스 캐빈의 에지의 상부 단면도이다.
도 5는 도 3에 도시된 부분에서 청정 가스 캐빈의 에지의 외부 사시도이다.
도 6은 도 3에 도시된 부분에서 청정 가스 캐빈의 에지의 내부 사시도이다.
도 7은 도 3에 도시된 부분에서 청정 가스 캐빈의 에지의 외부 사시도 및 분해도이다.
도 8은 도 3에 도시된 부분에서 2개의 연결 레일의 영역에서 청정 가스 캐빈의 에지의 외부 사시도이다.
도 9는 도 8에 도시된 연결 레일 및 말단측에서 서로 접하는 2개의 측벽의 단면도이다.
도 10은 도 3에 도시된 부분에서 수직으로 배치된 연결 레일의 외부 도면이다.
도 11은 도 3에 도시된 부분에서 수직으로 배치된 연결 레일 및 제1 수직 측벽의 상부 끝단의 외부 도면이다.
도 12는 도 3에 도시된 부분에서 수직으로 배치된 연결 레일 및 제1 수직 측벽의 하부 끝단의 외부 도면이다.
도 13은 도 3에 도시된 부분에서 수직으로 배치된 연결 레일 및 제5 및 제6 측벽의 하부 끝단의 내부 도면이다.
도 14는 서로 인접하는 2개의 바닥판의 영역에서 도 3에 도시된 부분의 분해도이다.
도 15는 청정 가스 캐빈의 빔(beam)의 사시도이다.
도 16은 도 15에 도시된 빔으로, 이러한 빔의 길이 연장 방향에서의 단면도이다.
도 17은 도 3에 도시된 부분에서 청정 가스 캐빈의 리드 영역의 도면이다.
도 18은 도 3에 도시된 부분에서 청정 가스 캐빈의 지지 구조물의 고정 영역의 도면이다.
도 1은 청정 가스 캐빈(10)의 외부 사시도를 도시한다. 이하, 보다 이해를 돕기 위해 청정 가스 캐빈(10)의 전면측(10.1) 및 후면측(10.2)은 자유롭게 정하였다.
청정 가스 캐빈(10)은 다각형의 기본 윤곽을 포함한다. 도시된 실시예에서, 이러한 윤곽은 육각형이다. 이에 상응하는 육각형 바닥(20) 위에 측벽들(30)이 세워진다. 측벽들(30)은 외부에서 바닥(20)에 구비되는 포지셔닝 부재들(21)을 향해 있다. 전면측(10.1)을 선택하여 볼 때, 좌측에 제1 수직 측벽(30.1)이 배치되고, 제1, 제2 및 제3 수평 측벽(30.8, 30.9, 30.10)이 위, 아래로 배치된다. 다른 수직 측벽들(30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7)은 도 3에 도시되어 있다. 제1 수직 측벽(30.1)은 청정 가스 캐빈(10)의 제1 에지(11.1)를 포함한다. 3개의 수평 측벽들(30.8, 30.9, 30.10)은 제2 및 제3 에지(11.2, 11.3)에 걸쳐 있다. 제2 수평 측벽(30.9)의 중앙 영역에 위치한 부분(31)이 구비되고, 이러한 부분 내에 중간 도어(35)가 삽입된다.
측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10) 사이의 이행 구간들에 연결 레일들(60)이 구비되고, 연결 레일들은 연결 브라켓들(61)을 이용하여 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)과 연결된다.
상부에서 청정 가스 캐빈(10)은 리드(lid)(40)로 닫힌다. 리드(40)도 마찬가지로 육각형 기본 구조를 포함한다. 리드(40)의 면적은 4개의 리드판들(43)로 구성된다. 리드판들(43)은 고정 부재들(44) 및 테두리 고정 부재들(45)을 이용하여 고정된다. 리드판들(43)을 빙 둘러 테두리 부분(42)이 구비되고, 여기에 난간(41)이 고정된다.
청정 가스 캐빈(10)의 측면에는 직사각형 채널 형태를 가진 2개의 순환 라인(50.1, 50.2)이 고정된다. 순환 라인들(50.1, 50.2)은 도 1, 2, 3에 도시된 바와 같이 공급부들(51.1, 51.2) 및 배출부들(52.1, 52.2)을 통해 청정 가스 캐빈(10)의 내부 공간과 연결된다. 이를 위해 제1 및 제3 수평 측벽(30.8, 30.10) 및 도 3에 도시된 제2 수직 측벽(30.2) 내에 적합한 관통홀들이 구비된다.
청정 가스 캐빈(10)은 주변에 대해 밀봉되는 하우징을 나타낸다. 청정 가스 캐빈(10) 내부에 제조 설비 또는 실험실 장비 등이 배치될 수 있다. 또한, 청정 가스 캐빈(10) 내에서 소정의 분위기가 조절될 수 있다. 이를 위해 소정의 조성을 포함하는 특정한 가스 또는 가스 혼합물이 청정 가스 캐빈(10)의 내부 공간에 제공될 수 있다. 가스 또는 가스 혼합물이란 불활성 가스를 의미할 수 있다. 또한, 가스 또는 가스 혼합물의 습도가 조절될 수 있다. 부가적 요건으로서 청정 가스 캐빈(10)을 위해 필요한 청정실 등급이 규정될 수 있다. 이러한 요건들은 단독적으로 적용될 뿐만 아니라 함께 적용될 수 있다. 부가적으로, 예컨대 온도 및 압력과 같은 다른 분위기 매개변수가 조절될 수 있다. 본 발명에 부합하는 청정 가스는 요구된 요건에 부합하는 분위기를 의미할 수 있다.
필요한 분위기에 따라, 청정 가스 캐빈(10)은 이러한 분위기를 준비 또는 생성하기 위한 적절한 장치들을 구비한다. 본원의 실시예에서 청정 가스 캐빈(10)은 2개의 순환 라인(50.1, 50.2)을 포함한다. 가스는 이러한 순환 라인을 통해 배출부들(52.1, 52.2)에서 배출되고, 공급부들(51.1, 51.2)을 통해 다시 청정 가스 캐빈(10)에 공급된다. 이때 가스는 도 2에 도시된 가스 컨디셔닝 유닛(55)에 공급된다. 가스 컨디셔닝 유닛(55)은 청정 가스 캐빈(10)의 내부 공간과 연결된다. 가스 컨디셔닝 유닛(55) 내에서 컨디셔닝된 가스는 가스 컨디셔닝 유닛(55)을 통과한 후 배출부들(52.1, 52.2), 순환 라인들(50.1, 50.2) 및 공급부들(51.1, 51.2)을 통하여 청정 가스 캐빈(10)의 내부 공간으로 공급된다. 가스 컨디셔닝은 청정 가스 캐빈(10)의 내부 공간을 위해 필요한 분위기 조절을 포함한다.
청정 가스 캐빈(10)을 이용하여 특정한 분위기를 요구하는 제조 공정 또는 작업 단계를 수행할 수 있다. 그러한 제조 단계는 코팅 공정, 봉지 공정 또는 예컨대 약학 분야의 고순도 물질의 가공 또는 제조일 수 있다. 필요한 재료 및 물질의 공급은 제공된 에어록을 통해, 본원의 실시예에서 예컨대 중간 도어(35)를 통해 이루어진다. 중간 도어(35)는 청정 가스 캐빈(10)에 이어진/연결된 챔버와의 연결부를 나타낼 수 있다.
본 발명에 따르면, 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)은 도 4에 더 상세하게 설명되는 바와 같이 구조 코어판들(12)로 구성된다. 이러한 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)은 벌집형 코어판 또는 알루미늄 벌집형 코어판으로 형성될 수 있다. 구조 코어판들은 다층 구조를 포함한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 서로 이격된 적어도 2개의 커버판(12.1, 12.2)은 구조 코어(12.3)와 평면적으로 연결된다. 커버판들(12.1, 12.2) 및 구조 코어(12.3)는 본원의 실시예에서 알루미늄으로 제조된다. 구조 코어(12.3)는 벌집형 코어로 형성된다. 이러한 방식으로 높은 굽힘 강성을 가지면서 동시에 낮은 중량을 포함하는 판들이 생성된다. 따라서 청정 가스 캐빈(10)은 단일체 알루미늄 또는 스테인리스 스틸 벽을 포함하는 청정 가스 캐빈보다 현저하게 더 낮은 중량을 포함한다. 이를 통해, 외장 부착물들 및 청정 가스 캐빈(10)의 중량으로 발생하는 바닥 하중은 현저하게 줄어든다. 그러므로 청정 가스 캐빈(10)은 바닥 하중 지지 능력이 낮은 건물에서도 사용될 수 있다. 또한, 중량이 가벼워짐으로써 청정 가스 캐빈(10)을 사용 장소에 설치하는 것이 용이하게 되는데, 이를 위해 근소한 하중 지지 능력을 포함한 리프트 장치가 불필요하기 때문이다.
청정 가스 캐빈(10)의 중량을 더욱 줄이기 위해, 리드판들(43)은 구조 코어판들(12)로 구성되고, 본원의 실시예에서 알루미늄 벌집형 코어 판들로 구성된다.
도 2는 도 1에 도시된 청정 가스 캐빈(10)을 내부 사시도로 도시한다. 이는 청정 가스 캐빈(10)의 후면측(10.2)에서 관찰한 도면이다.
청정 가스 캐빈(10)의 바닥 위에 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)을 따라 가스 공급 채널(53)이 구비된다. 가스 공급 채널(53)은 바닥(20) 및 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)과 연결된다. 순환 라인들(50.1, 50.2)의 제1 공급부(52.1) 및 도 3에 도시된 제2 공급부(52.2)는 가스 공급 채널(53)안으로 이어진다. 가스 공급 채널은 천공된 격자 커버(54)를 통해 청정 가스 캐빈(10)의 실내 공간과 연결되고, 격자 커버는 가스 공급 채널(53)상의 위와 측면에 배치된다.
도시된 수평 측벽들(30.8, 30.9, 30.10) 사이에 연결 레일들(60)이 배치되고, 연결 레일들은 청정 가스 캐빈(10)의 내부 공간 쪽으로 각각 하나의 형성된 중공 프로파일(60.2)을 포함한다. 측벽들(30.8, 30.9, 30.10)은 중공 프로파일(60.2)에 인접한다. 도시된 실시예에 따른 연결 레일들(60)의 구조는 도 9에서 확대 단면도로 도시되어 있다.
청정 가스 캐빈(10)의 내부 공간의 상부 영역은 지지 구조물(70)에 의해 한정된다. 지지 구조물(70)에는 아래쪽으로 천정(ceiling)(13)이 고정되고, 이러한 천정은 적어도 부분적으로 천공형 천정으로 형성된다. 지지 구조물(70) 상에서 가스 컨디셔닝 유닛(55)의 필터들(및 경우에 따라 물-공기 열 교환기 형태의 온도 조절 장치)(56)이 지지되어 있다. 필터(열 교환기) 위에 하부 구조물(46)이 배치되고, 하부 구조물 상에 청정 가스 캐빈(10)의 리드(40)가 지지되어 있다. 지지 구조물(70) 및 하부 구조물(46)은 빔들(80)을 포함하여 제조되고, 이러한 빔들은 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)에 고정된다.
제조 설비 또는 실험실 장비 등은 청정 가스 캐빈(10)의 바닥 위에 세워질 수 있다. 제조 설비 또는 실험실 장비는 예컨대 로봇일 수 있고, 이러한 로봇은 청정 가스 캐빈(10)의 조절된 분위기에서 하나 이사의 작업 단계를 수행한다.
가스는 배출부들(52.1, 52.2)을 통해 청정 가스 캐빈(10)의 내부 공간으로부터 배출되고, 공급부들(51.1, 51.2)을 통해 다시 내부 공간으로 공급된다. 이를 위해 가스는 천정(13)과 리드(40) 사이의 중간 공간에서 필터(56)에 의해 흡입되고, 순환 라인들(50.1, 50.2)에 공급된다. 천정(13)은 필터(56)의 아래에서 천공되어 형성된다. 대안적으로, 천정(13)은 필터(56)의 아래에서 홈이 파여 있을 수 있다. 따라서 청정 가스 캐빈(10)의 내부 공간은 위로부터 아래로 가스가 관류한다. 이를 위해 순환 라인들(50.1, 50.2)에는 미도시된 적절한 환기 장치들이 구비된다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 청정 가스 캐빈(10)을 분해도로 도시한다.
청정 가스 캐빈(10)의 제4 에지(11.4)는 제7 수직 측벽(30.7) 내에 배치된다. 제5 에지(11.5)는 제5 수직 측벽(30.5) 내에 연장되는 반면, 제6 에지(11.6)는 제3 수직 측벽(30.3)을 따라 연장된다. 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10) 사이의 이음 가장자리는 청정 가스 캐빈(10)의 에지(11.1, 11.2, 11.3, 11.4, 11.5, 11.6)를 따라 연장되지 않는다. 이러한 이음 가장자리는 청정 가스 캐빈(10)의 외벽의 직선 부분을 따라 배치된다. 따라서 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10) 사이의 이행 구간은 양호하게 밀봉될 수 있다.
측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)에는 지지 구조물(70)의 고정을 위해 고정 레일들(71)이 설치된다.
바닥(20)은 서로 인접한 바닥판들(22.1, 22.2, 22.3)으로 구성된다. 본원의 실시예에서 3개의 바닥판(22.1, 22.2, 22.3)이 구비된다. 청정 가스 캐빈(10)의 중량을 줄이기 위해, 바닥판들(22.1, 22.2, 22.3)은 구조 코어판들(12)로 구성되고, 본원의 실시예에서 벌집형 알루미늄 코어판들로 구성된다.
부분(V, VI, VII, VIII, X, XI, XII, XIII, XIV, XVII, XVLLL)은 도 5, 6, 7, 8, 10, 11, 12, 13, 14, 17, 18에 확대 도시되어 있다.
제조 시 청정 가스 캐빈(10)의 다양한 부품들이 사전에 제조된다. 바닥판들(22.1, 22.2, 22.3), 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10), 리드판들(43)이 구조 코어판들(12)으로부터 재단된다. 중간 도어(35)를 위한 부분(31) 및 순환 라인들(50.1, 50.2)의 배출부들(52.1, 52.2) 및 공급부들(51.1, 51.2)과 같은 필요한 리세스들은 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10) 내에 가공된다. 에지 영역들에 배치되는 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)은 청정 가스 캐빈(10)의 추후 에지(11.1, 11.2, 11.3, 11.4, 11.5, 11.6)를 따라 절곡되며, 이는 도 4에 더 상세하게 설명된 바와 같다. 빔들(80)은 재단되고, 지지 구조물(70) 및 하부 구조물(46)을 형성하도록 조립된다. 리드판들(43)은 고정 부재들(44)을 이용하여 하부 구조물(46)과 연결된다.
청정 가스 캐빈(10)의 조립 시, 바닥판들(22.1, 22.2, 22.3)이 연결되어 하나의 바닥(22)을 이루고, 포지셔닝 부재들(21)이 구비된다. 제조 설비 또는 실험실 장비는 바닥(22) 위에서 포지셔닝된다. 이후, 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)은 세워지고 연결 레일들(60)을 이용하여 서로 간에 그리고 바닥판들(22.1, 22.2, 22.3)과도 기밀적으로 연결된다. 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)은 일 측에서 포지셔닝 부재들(21)에 인접한다. 고정 레일들(71)은 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)에 고정되고 지지 구조물(70) 내에 삽입된다. 가스 컨디셔닝 유닛(55)의 장치들은 설치된다. 이후, 리드(40)가 안착하고, 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)과 기밀적으로 연결된다. 중간 도어(35)와 같은 출구가 취부된다. 마지막으로 순환 라인들(50.1, 50.2), 가스 공급 채널(53), 테두리 부분(42), 난간(41)과 같은 다른 조립체가 설치된다. 이러한 과정의 이점은, 사전에 제조되는 후드가 전체로서 수송될 필요 없이 개별 부품들이 현장에서 장착된다는 것이다. 따라서 리프트 장치가 불필요하고 설치 장소로의 부품 수송은 간편하고 비용 효과적으로 이루어진다.
대안적 과정에서, 우선 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10), 지지 구조물(70) 및 하부 구조물(46)로 구성되는 청정 가스 캐빈(10)의 후드가 리드(40)와 함께 사전에 조립된다. 각 상황에 따라 다른 부품들 및 조립체들이 후드에 먼저 조립될 수 있다.
청정 가스 캐빈(10)의 설치 시 바닥(20)이 제조되고, 이에 포지셔닝 부재(21)가 설치되며 제조 설비 또는 실험실 장비가 그 위에 세워진다. 이후, 사전 조립된 후드가 위로부터 바닥(20) 위에 세워진다. 후드는 그 기능 및 밀봉성이 이미 사전에 검증할 수 있는 것이 유리하다. 또한, 현장에서의 설치는 신속하고 예컨대 연속 제조 공정을 길게 중단시키는 일 없이 수행될 수 있다.
도 4는 청정 가스 캐빈(10)의 에지(11)의 상부 단면도로 도시한다. 에지(11)는 이미 설명한 에지들(11.1, 11.2, 11.3, 11.4, 11.5, 11.6)을 대표하는 것이다. 구조 코어판(12)은 서로 이격되어 대향된 2개의 커버판(12.1, 12.2) 및 구조 코어(12.3)으로 구성된다. 구조 코어(12.3)는 2개의 커버판(12.1, 12.2)을 연결한다. 구조 코어판(12)은 에지(11)를 형성한다. 이를 위해 외부의 제2 커버판(12.2) 및 구조 코어(12.3)는 본 발명에 따르면 에지(11)를 따라 분리된다. 내부의 제1 커버판(12.1)은 에지(11)를 따라 절곡된다. 내부의 제1 커버판(12.1)은 에지(11)를 따라 절곡되되, 구조 코어(12.3)로부터 멀어지는 방향의 측면에서 내각을 형성하도록 절곡된다. 구조 코어판(12)의 절곡에 의해 제1 커버판(12.1) 및 구조 코어(12.3)의 분리선을 따라 개방된 틈새(32)가 형성된다. 이러한 틈새는 에지 커버(33)에 의해 덮인다. 에지 커버(33)는 서로 각이 지게 형성되는 2개의 숄더(33.1, 33.2)로 구성된다. 이때의 각도는 청정 가스 캐빈(10)의 필요한 에지(11) 각도에 부합한다. 숄더들(33.1, 33.2)은 각각 틈새(32)의 일 측에서 구조 코어판(12)의 외부의 제2 커버판(12.1)과 연결되고, 특히 접착된다.
구조 코어판(12)은 그 구조 때문에 높은 안정성 및 굽힘 강성을 가짐과 동시에 낮은 고유 중량을 포함한다. 그러므로 단일체 알루미늄 또는 스테인리스 스틸과 같은 종래의 벽 물질에 비해 매우 낮은 중량을 가진 청정 가스 캐빈(10)이 제조될 수 있다. 2개의 커버판(12.1, 12.2)에 의해 구조 코어판은 기밀성을 가진다. 커버판들(12.1, 12.2) 사이에서도 가스는 구조 코어(12.3) 내에서 구조 코어판(11)의 면 법선을 가로지르는 방향으로 유동할 수 없는데, 구조 코어 부재들이 이러한 방향으로 서로 간에, 그리고 커버판(12.1, 12.2)과 밀봉적으로 연결되기 때문이다. 본원의 실시예에서, 구조 코어판들(12)은 구조 코어(12.3)로서의 벌집형 코어를 구비한다. 벌집형 코어는 구조 코어판(12)의 높은 굽힘 강성을 야기하는 한편, 구조 코어판(12)의 면 법선을 가로지르는 방향으로 기밀적으로 형성될 수 있다.
에지(11)의 형성을 위해 오로지 외부의 제2 커버판(12.2) 및 구조 코어(12.3)만이 분리되었고, 내부의 제1 커버판(12.1)은 본 발명에 따라 분리되지 않고 절곡만 되었으므로, 구조 코어판(12)은 에지(11)의 영역에서 기밀성을 유지한다. 이는 청정 가스 캐빈(10)의 측벽(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)으로 사용되기 위한 기본적 전제이다. 구조 코어판(12)은 면 법선을 가로지르는 방향으로 기밀성을 가지므로, 틈새(32)를 통해 가스가 유입되어 구조 코어판(12)을 가로지르는 방향에서 에지(11)로부터 이격된 내부의 제1 커버판(12.1)의 가능한 관통홀에 도달하여 청정 가스 캐빈(10)의 내부에 도달할 수 없다.
에지 커버(33)에 의해 에지(11)의 각도가 정해지고, 안정화된다. 부가적으로, 에지 커버(33)는 틈새(32)의 영역을 밀봉한다. 또한, 에지 커버는 내부의 제1 커버판(12.1)이 과실로 외부로부터 틈새(32)를 통해 손상되는 경우를 방지한다. 바람직하게는, 에지 커버(33)는 이러한 커버의 길이 연장면을 따라 절곡된 레일, 특히 알루미늄 소재의 레일이다.
본원의 실시예에서, 구조 요소판(12)은 벌집형 알루미늄 코어판으로 형성된다. 커버판들(12.1, 12.2) 및 구조 코어(12.3)는 알루미늄으로 제조된다. 구조 코어(12.3)는 벌집형 구조를 포함한다. 이를 통해 밀봉성을 가지면서 기계적으로 매우 안정적인 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)이 얻어진다. 유리하게도, 알루미늄의 거동은 대부분 청정 가스 캐빈(10) 내에서 요구되는 분위기와 무관하다.
도 5는 도 3에 도시된 부분(V)에서 청정 가스 캐빈(10)의 제2 에지(11.2)를 외부 사시도로 도시한다. 제2 에지(11.2)를 따라 에지 커버는 구조 코어판(12)의 외부의 제2 커버판(12.2) 상에 접착된다. 제1의 수평 측벽(30.8)의 상부 가장자리에 2개의 프로파일 레일(62)이 끼워진다. 제1 수평 측벽(30.8)은 인접한 프로파일 레일들(62)의 수용부 영역들(62.2) 내에 진입한다. 수용부 영역들(62.2)의 개구부들에 대향되는 프로파일 레일들(62)의 측면들에는 양측으로 2개의 지지 스트립(62.1)이 일체형으로 수용부 영역들(62.2)에 형성되어 있다. 제2 에지(11.2)의 영역에서 연귀(miter) 방식으로 절단된 프로파일 레일들(62)이 서로 접합한다.
프로파일 레일들(62)은 구조 코어판(12)으로 형성된 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)의 위쪽으로 개방된 가장자리를 덮는다. 청정 가스 캐빈(10)이 조립된 상태에서 지지 스트립들(62.1)은 지지될 리드(40)와의 접촉면들을 형성한다. 이때 이러한 접촉면들은 예컨대 접착 또는 압착에 의해 리드(40)와 밀봉적으로 연결될 수 있다. 밀봉을 위해 접촉면들을 따라 밀봉부들(sealings)이 배치될 수 있다. 바람직하게는, 프로파일 레일들(62)과 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10) 사이의 접촉 영역들도 밀봉된다. 이를 위해 수용부 영역들(62.2) 내에 밀봉 부재들이 구비될 수 있거나, 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)은 수용부 영역들(62.2)의 구간에서 프로파일 레일들(62)과 접착된다.
도 6은 도 3에 도시된 부분(VI)에서 청정 가스 캐빈(10)의 제5 에지(11.5)의 내부 사시도를 도시한다. 부분(VI)은 도 5의 도면에 상응하나, 측벽(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)의 상부 끝단 영역에서 에지(11.1, 11.2, 11.3, 11.4, 11.5, 11.6)의 내각을 관찰한 도면이다.
제5 수직 측벽(30.5)은 구조 코어판(12)으로 형성된다. 구조 코어판(12)의 내부의 제1 커버판(12.1)은 제5 에지(11.5)를 따라 절곡됨으로써, 내각이 형성된다. 내부의 제1 커버판(12.1)은 제5 에지(11.5)의 영역에서 관통되지 않으므로, 제5 에지(11.5)의 영역은 기밀성을 유지한다.
도 7은 도 3에 도시된 부분(VII)에서 청정 가스 캐빈(10)의 제2 에지(11.2)의 외부 사시도 및 분해도로 도시한다.
프로파일 레일들(62)은 제2 에지(11.2)의 각도에 상응하여 연귀 방식으로 절단된다. 프로파일 레일들은 아래쪽으로 개방된 수용부 영역들(62.2)을 포함하고, 이러한 수용부 영역들을 이용하여 도시된 부분(VII)에서 수평의 제1 측벽(30.8)의 상부 가장자리에 끼워진다.
에지 커버(33)는 알루미늄 프로파일로서, 덮을 에지 영역의 높이만큼 재단된다. 제2 에지(11.2)를 따라, 제8 측벽(30.8)의 절곡 후 외부의 제2 커버판(12.2) 및 구조 코어(12.3)의 분리로 인하여 형성되는 틈새(32)가 노출된다.
위, 아래로 배치되는 제1 및 제2 수평 측벽들(30.8, 30.9) 사이에 연결 레일들(60)이 구비된다. 연결 레일들은 연결 브라켓들(61) 및 적합한 고정 부재들, 특히 나사를 이용하여 제1 및 제2 수평 측벽(30.8, 30.9)에 취부된다.
도 8은 2개의 연결 레일(60)의 영역에서 도 3에 도시된 부분(VIII)에서 청정 가스 캐빈(10)의 제2 에지(11.2)의 외부 사시도로 도시한다.
연결 레일들(60)은 제1 및 제2 수평 측벽(30.8, 30.9) 사이에 배치된다. 연결 레일들(60)의 부착부들(60.1)은 제1 및 제2 수평 측벽(30.8, 30.9)에 대면적으로 인접한다. 연결 레일들(60)은 연결 브라켓들(61)을 이용하여 제1 및 제2 수평 측벽(30.8, 30.9)에 고정된다. 연결 브라켓들(61)은 보어들(61.1)을 포함한다. 보어들(61.1)을 통해 고정 부재들, 특히 나사가 진입할 수 있고, 이를 이용하여 연결 브라켓들(61)은 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)에, 도시된 부분(VII)에서 제1 및 제2 수평 측벽(30.8, 30.9)에 고정될 수 있다.
부착부들(60.1)과 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10) 사이의 영역은 바람직하게는 밀봉된다. 이를 위해 부착부들(60.1)과 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10) 사이에 밀봉 부재들이 구비될 수 있거나, 부착부들(60.1)은 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)과 접착될 수 있다. 연결 레일들(60)에 의해, 인접한 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10) 사이의 기밀식 연결이 가능해진다.
제2 에지(11.2)에서 연결 레일들(60)은 연귀 방식으로 절단된다.
도 9는 말단측에서 서로 접하는 2개의 측벽(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)을 도 8에 도시된 연결 레일(60)을 포함하여 단면도로 도시한다. 제1 및 제2 수평 측벽(30.8, 30.9) 사이의 이음 영역이 도시되어 있다.
연결 레일(60)은 중공 프로파일(60.2) 및 이에 일체형으로 형성된 부착부(60.1)로 구성된다. 부착부(60.1)에 대향하여, 제2 수평 측벽(30.9)의 측면으로 대응 레일(60.3)은 중공 프로파일(60.2)에 형성되어 있다. 대응 레일(60.3)은 제2 수평 측벽(30.9)의 두께에 상응하여 부착부(60.1)로부터 이격된다. 부착부(60.1), 대응 레일(60.3) 및 중공 프로파일(60.2) 사이에 U형으로 포괄되는 영역이 형성되고, 이러한 영역 내에 제2 수평 측벽(30.9)이 끼워진다. 말단측에서 제1 및 제2 수평 측벽(30.8, 30.9)은 중공 프로파일(60.2)에 인접한다. 중공 프로파일(60.2)은 제1 및 제2 수평 측벽(30.8, 30.9) 사이의 간격을 정한다. 연결 레일(60)의 부착부(60.1)는 외부에서 제1 및 제2 수평 측벽(30.8, 30.9)에 인접한다. 연결 브라켓(61)은 부착부의 길이 연장면을 가로지르는 방향으로 부착부(60.1) 위에 걸쳐 있다. 부착부(60.1) 측에서 연결 브라켓(61) 내에 보어들(61.1)이 가공되어 있다. 보어들(61.1)에 맞추어 나사 수용부들(34)이 제1 및 제2 수평 측벽(30.8, 30.9) 내에 가공된다. 연결 브라켓(61)은 미도시된 나사에 의해 제1 및 제2 수평 측벽(30.8, 30.9)과 연결되고, 이러한 나사는 연결 브라켓들(61)의 보어들(61.1)을 통해 나사 수용부들(34) 안으로 진입한다. 따라서 연결 레일(60)이 고정된다. 이와 동시에 연결 브라켓(61)은 제1 및 제2 수평 측벽(30.8, 30.9)이 서로 분리되는 것을 방지한다. 유리하게는, 연결 레일(60)과 제1 및 제2 수평 측벽(30.8, 30.9) 사이의 영역은 밀봉되고, 예컨대 밀봉 부재 또는 접착에 의해 그러하다. 측벽(30.9)이 U형의 수용부 안으로 밀봉 접착되는 경우를 고려할 수 있다. 또한, 프로파일 종 방향으로 연장되는 밀봉부를 중간에 개재한 상태에서 제2 측벽(30.8)이 부착부(60.1)에서 지지될 수 있는 경우를 고려할 수 있고, 유리하다. 이때 밀봉부는 부착부(60.1)에서 중공 프로파일(60.2)로부터 멀어지는 가장자리 영역에 배치되는 것이 권장된다. 이러한 밀봉부는 압축될 때 측면에서 부착부 위로 밀려날 수 있다. 돌출부 또한 마찬가지로 밀봉 목적으로 사용될 수 있으며, 예컨대 이를 통해 직각으로 또는 각이 지게 연결 레일에 연결되는 부품과 밀봉적인 결합을 이룰 수 있다.
나사 수용부들(34)은 제1 및 제2 수평 측벽(30.8, 30.9)을 완전히 관통한다. 이 위치에서 청정 가스 캐빈(10)으로의 가스 유입을 방지하기 위해 밀봉 부재가 구비되고, 이러한 밀봉 부재는 나사 체결 후에 나사 수용부들(34)을 밀봉한다. 대안적 실시예에서, 나사 수용부들(34)은 구조 코어판(12)의 내부의 제1 커버판(12.1)까지만 이어질 수 있다. 내부의 제1 커버판은 닫힌 상태로 유지되므로, 나사 수용부(34)를 통해 가스가 유입될 수 없거나 청정 가스 캐빈(10)에서 가스가 새 나올 수도 없다. 구조 코어(12.3)는 나사 수용부(34)로부터 시작하여 제1 또는 제2 수평 측벽(30.8, 30.9)을 가로지르는 방향으로 가스가 확산되는 것을 방지한다.
대응 레일(63.3)은 청정 가스 캐빈(10)의 조립을 간단하게 만든다. 대응 레일(63.3)에 의해 연결 레일(60)은 우선 연결될 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10) 중 하나 위에 끼워질 수 있다. 이를 통해 연결 레일(60)이 고정된다. 이후, 이에 접하는 측벽(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)은 연결 레일(60)에 의해 연결될 수 있다.
도 10은 도 3에 도시된 부분(X)에서 수직으로 배치된 연결 레일(60)의 외부 도면을 도시한다.
수직으로 배치된 연결 레일(60)은 도시된 제1 수직 측벽(30.1)을 도 3에 도시된 3개의 수평 측벽들(30.8, 30.9, 30.10)과 연결한다. 연결 레일(60)에 의해 수평 및 수직으로 배치되는 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)이 서로 기밀적으로 연결될 수 있다.
도 11은 도 3에 도시된 부분(XI)에서 수직으로 배치된 연결 레일(60) 및 제1 수직 측벽(30.1)의 상부 끝단의 외부 도면을 도시한다.
제1 수직 측벽(30.1)은 청정 가스 캐빈(10)의 리드(40) 쪽으로, 그 위에 끼워지는 프로파일 레일(62)에 의해 덮인다. 가이드 부재(63)의 접합부(63.2)는 연결 레일(60)의 중공 프로파일(60.2)의 개방 단부 내에 끼워진다. 접합부(63.2)에 말단부(63.1)가 형성되어 있다. 말단부(63.1)는 인접한 프로파일 레일(62)의 지지 스트립(62.1)과 동일한 프로파일을 포함한다. 따라서 말단부(63.1) 및 지지 스트립(62.1)은 연속한 면을 형성한다. 이러한 면은 리드(40) 쪽으로 향해 있다. 가이드 부재(63) 및 프로파일 레일(62)에 의해, 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)이 그 상부 가장자리를 따라 그리고 서로 인접하는 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)의 영역에서 리드(40)와 밀봉적 결합을 이룰 수 있다.
도 12는 도 3에 도시된 부분(XII)에서 수직으로 배치된 연결 레일(60) 및 제1 수직 측벽(30.1)의 하부 끝단의 외부 도면을 도시한다.
도 11에서 제1 수직 측벽(30.1)의 상부 끝단과 관련하여 도시되어 있는 바와 같이, 제1 수직 측벽의 하부 끝단에는 프로파일 레일(62)이 배치되고, 제1 수직 측벽의 연장 부분에는 가이드 부재(63)가 배치되며, 가이드 부재는 접합부(63.2)에서 연결 레일(60)의 중공 챔버 프로파일(60.2) 내에 끼워진다. 이 경우에도 가이드 부재(63)의 말단부(63.1) 및 인접한 프로파일 레일(62)의 지지 스트립(62.1)은 연속한 면을 형성한다. 이러한 면은 청정 가스 캐빈(20)의 바닥을 향해 있다. 가이드 부재(63) 및 프로파일 레일들에 의해, 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)이 그 하부 가장자리를 따라 그리고 서로 인접하는 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)의 영역에서 바닥(40)과 밀봉적으로 연결될 수 있다.
도 13은 도 3에 도시된 부분(XII)에서 수직으로 배치된 연결 레일(60) 및 제5 및 제6 수직 측벽(30.5, 30.6)의 하부 끝단의 내부 도면을 도시한다.
제5 및 제6 수직 측벽(30.5, 30.6)의 하부 가장자리는 관련 프로파일 레일(62)의 수용부 영역들(62.2) 내에 끼워진다. 제5 및 제6 수직 측벽(30.5, 30.6) 사이에 연결 레일(60)이 배치된다. 제5 수직 측벽(30.5)은 대응 레일(60.3), 이에 대향하여 배치되며 도 12에 도시된 부착부(60.1) 및 중공 프로파일(60.2)에 의해 형성되는 U형의 영역 내에 끼워진다. 대응 레일(60.3)에 대향하여 조립용 앵글(angle)(64)이 중공 프로파일(60.2)에 인접한다. 바람직하게는, 조립용 앵글(64)은 중공 프로파일(60.2)과 연결된다. 조립용 앵글(64)은 제6 수직 측벽(30.6)과 연결된다. 연결 레일(60)에 의해 제5 및 제6 수직 측벽(30.5, 30.6)은 기밀적으로 서로 연결된다.
가이드 부재(63)의 접합부(63.2)는 연결 레일(60)의 중공 프로파일(60.2) 내에 적어도 부분적으로 삽입된다. 이를 위해 접합부(63.2)의 외부 윤곽은 이러한 접합부(63.2)가 삽입되는 중공 프로파일(60.2)의 중공 윤곽에 맞춰진다. 접합부(63.2)에 스토퍼가 구비되고, 스토퍼는 접합부(63.2)가 중공 프로파일(60.2) 내에 삽입될 수 있는 정도를 한정한다.
프로파일 레일(62)의 지지 스트립(62.1) 및 가이드 부재(3)의 말단부(63.1)는 청정 가스 캐빈(10)의 바닥(20)을 향해 있는 연속적인 면을 형성하고, 이러한 면을 통해 바닥(20)에 인접한다. 프로파일 레일(62) 및 제5 및 제6 수직 측벽(30.5, 30.6)은 고정 브라켓(65)을 이용하여 바닥과 연결되고, 고정 브라켓은 바닥(20)에 고정되어 있고, 여기에 프로파일 레일(62)의 지지 스트립(62.1)의 일부가 물린다.
도 14는 도 3에 도시된 부분(XIV)에서 서로 인접하는 2개의 바닥판(22.1, 22.2)의 영역의 분해도를 도시한다. 2개의 바닥판(22.1, 22.2)의 서로 접하는 가장자리에서 서로 맞물리는 바닥 레일들(23.1, 23.2)이 설치된다. 바닥 레일들(23.1, 23.2)은 연결 부재들을 위한 수용부들을 포함하고, 이러한 연결 부재들에 의해 바닥 레일들(23.1, 23.2)이 연결될 수 있다.
본원의 실시예에서, 바닥 레일들(23.1, 23.2)은 별도의 부품으로 형성되고, 이러한 부품은 바닥판들(22.1, 22.2)에 정면측에 설치되고, 특히 접착된다. 대안적 실시예에 따르면, 바닥 레일들(23.1, 23.2)은 바닥판(22.1, 22.2)에 일체형으로 형성되어 있을 수 있다.
바닥판들(23.1, 23.2)의 테두리에 포지셔닝 부재(21)가 구비된다. 포지셔닝 부재(21)에 대향하여 고정 브라켓(65)이 배치된다. 포지셔닝 부재들(21) 및 고정 브라켓들(65)과 함께 조립되면, 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)은 프로파일 레일(62)에서 바닥(20) 위에 포지셔닝 및 고정된다.
도 15는 청정 가스 캐빈(10)의 빔(80)을 사시도로 도시한다. 빔(90)은 제1 플랜지(flange)(80), 웹(web)(82) 및 제2 플랜지(83)를 포함하는 더블-T-빔으로서 형성된다. 웹(82)을 따라 빔(80)은 조립용 보어들(84)을 포함한다. 제1 플랜지(81)의 말단측에 모따기면(chamfer)(81.1)이 구비된다.
본 발명에 따르면 빔(80)은 구조 코어판들(12)로 구성된다. 이를 위해 제1 및 제2 플랜지(81, 82) 및 웹(82)은 이에 상응하게 재단된 구조 코어판들(12)로 제조된다. 본원의 실시예에서 플랜지들(81, 83) 및 웹(82)도 벌집형 알루미늄 코어판들로 구성된다.
구조 코어판들(12)로 구성된 빔(80)이 제조됨으로써, 단일체 구조를 갖는 종래의 빔(80)에 비해 중량이 현저하게 감소할 수 있다. 사용되는 구조 코어판들(12)의 높은 굽힘 강성 및 더블 T 빔 형태의 구조에 의해, 하중 지지 능력이 높은 빔(80)이 얻어지고, 이러한 빔은 하중을 받더라도 근소한 정도로만 굽혀진다.
미도시된 대안적 실시예에서, 구조 코어판들(12)로 제조되는 빔(80)은 싱글 T 빔 또는 U형 또는 L형 프로파일 또는 빔(80)을 위한 용도로 공지된 기타 프로파일을 포함하는 빔(80)으로 형성될 수 있다.
도 16은 도 15에 도시된 빔(80)으로, 이러한 빔(80)의 길이 연장 방향에서의 단면도이다.
제1 플랜지(81) 및 제2 플랜지(83)는 연결용 앵글(85)을 이용하여 웹(82)과 연결된다. 연결용 앵글(85)은 빔(80)의 길이 부분에 걸쳐 연장된다. 연결용 앵글들은 일 지지면에서 웹(82)에 인접하고, 제2 지지면에서 각각의 플랜지(81, 83)에 인접한다. 각각의 플랜지(81, 83)에는 서로 대향되어 웹(82)에 배치되는 2개의 연결용 앵글(85)이 부속한다. 연결용 앵글(85)은 웹(82) 및 각각의 플랜지(81, 83)와 고정적으로 연결된다. 특히 연결용 앵글(85)은 웹(82) 및/또는 플랜지(81, 83)와 접착된다.
빔(80)이 더블 T 형태와 상이한 빔 형태로 형성되면, 연결용 앵글(85)은 더블 T 빔에 대해 도시된 바와 같이 서로 접합된 구조 코어판들(12) 사이의 이음 영역들을 따라 배치될 수 있다. 이때 연결용 앵글(85)은 내부 앵글 및 외부 앵글로서 구비될 수 있다.
조립용 보어들(84)은 도시된 실시예에서 웹(82)을 따라 제1 플랜지(81) 내에 제공된다.
연결용 앵글(85)에 의해 플랜지들(81, 83)은 간편하고 신속하게 웹(82)과 연결될 수 있다. 이때 연결용 앵글(85)은 플랜지들(81, 83) 및 웹(82)과 대면적으로 접착됨으로써 고정적이고 하중 지지 능력이 있는 연결이 이루어진다. 웹(82)의 양측에 구비되는 연결용 앵글(85)에 의해, 빔(80)의 일 측에 하중이 발생하였을 때 웹(82)에 대해 플랜지(81, 82)가 기울어지는 경우가 확실하게 방지될 수 있다.
조립용 보어들(84) 내에 고정 부재들, 특히 나사가 고정될 수 있다. 이로써 청정 가스 캐빈(10)의 다른 부품들, 본원의 실시예에서 커버판들(43)은 빔(80)과 연결될 수 있다. 조립용 보어들(84)은 제1 플랜지(81)로서 사용된 구조 코어판(12)의 제1 커버판(12.1)으로부터 시작하여 구조 코어(12.3)만을 관통하여 제2 커버판(12.2)까지 안내된다. 제2 커버판(12.2)은 관통되지 않는다. 이를 통해, 빔(80)의 제1 플랜지(81)에서 청정 가스 캐빈(10)의 외부로부터 진입하는 고정 부재들이 조립용 보어들(84) 내에 진입하는 경우, 가스는 조립용 보어들(84)을 통해 청정 가스 캐빈(10)의 내부로 들어오거나 청정 가스 캐빈(10)으로부터 외부로 나갈 수 없다.
미도시된 실시예에 따르면 조립용 보어들(84)이 더 간단한 제조를 이유로 하여 2개의 커버판(12.1, 12.2)을 관통하여 형성되면, 이러한 보어들이 웹(82)을 따라 배치됨으로써 청정 가스 캐빈(10)의 내부 공간과 외부 공간 사이의 가스 교환을 방지한다. 제1 플랜지(81)의 측면에서 웹(82)의 양측에서 빔(80)의 길이 연장 방향에 걸쳐 접착되는 연결용 앵글(85)에 의해, 웹(82)으로부터 제1 플랜지(81)로 이행하는 구간이 밀봉된다. 따라서 조립용 보어들(84)로부터 제1 플랜지(81)와 웹(82) 사이의 접촉면을 따라 청정 가스 캐빈(10)의 내부 공간으로, 또는 이로부터 가스가 유동할 수 없다.
도 17은 도 3에 도시된 부분(XVII)에서 청정 가스 캐빈(10)의 리드(40)의 영역을 도시한다.
구조 코어판들(12)로 구성되는 커버판들(43)은 각각 프레임(43.1)에 의해 테두리가 정해진다. 프레임(43.1)은 U형의 프로파일을 포함하고, 리드판들(43)의 가장자리 위에 끼워지며, 특히 접착된다. 이를 통해 프레임(43.1)과 각각의 리드판(43) 사이의 밀봉적 연결이 획득된다. 리드판들(43)은 구조 코어판들(12), 특히 벌집형 알루미늄 코어판들로 제조된다.
리드판들(43)은 프레임(43.1)에서 도 15 및 도 16에 도시된 빔(80)의 제1 플랜지(81) 위에 제공된다. 이때 제1 플랜지(81)에 구비되는 모따기면(81)은 리드(40)의 외부 가장자리를 향해 있다.
빔(80)은 도 2에 도시된 리드(40)의 하부 구조물(46)의 일부이다. 리드판들(43)은 고정 부재들(44)을 이용하여 빔(80)에 고정된다. 고정 부재들(44)은 측면에서 서로 이격되어 배치되는 2개의 클램핑부(44.1)를 포함한다. 클램핑부들(44.1) 사이에 U형으로 절곡된 고정부(44.2)가 형성되어 있고, 이러한 고정부 내에는 빔(80)의 제1 웹(81) 내에 가공된 조립용 보어들(84)에 상응하는 미도시된 보어들이 가공된다. 그 위에서 적합한 나사를 이용하여 고정 부재(44)는 빔(80)에 조립된다. 클램핑부들(44.1)은 인접한 커버판들(43)의 프레임(43.1)을 파지하고, 이를 빔(80)에 고정적으로 압착시킨다. 인접한 커버판들(43)은 고정부(44.2)에 의해 이격되고 제 위치에 고정된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 리드(40)의 외부 가장자리에는 가장자리 고정 부재들(45)이 배치된다. 가장자리 고정 부재(45)는 S형으로 절곡되고 클램핑 숄더(45.1) 및 고정 숄더(45.2)를 포함한다. 고정 숄더(45.2) 내에 보어들이 가공된다. 클램핑 숄더(45.1)는 리드판(43)의 외부 프레임(43.1)을 파지한다. 고정 숄더(45.2)는 본원의 도면에 미도시된 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)의 상부 프로파일 레일들(62)에 고정된다. 리드판(43)의 프레임(43.1)은 클램핑 숄더(45.1)와 각각의 프로파일 레일(62)의 지지 스트립(62.1) 사이에서 압착된다. 이를 통해 리드는 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10) 상에 확실하게 고정된다. 바람직하게는, 프레임(43.1)의 지지 영역은 빔(80) 및 프로파일 레일(62) 상에서 밀봉된다.
도 18은 도 3에 도시된 부분(XVIII)에서 청정 가스 캐빈(10)의 지지 구조물(70)의 고정 영역을 도시한다. 지지 구조물(70)은 도 2에 도시된 가스 컨디셔닝 유닛(55) 및 이러한 유닛 내에 구비되는 필터(56)를 지지하는 역할을 한다.
청정 가스 캐빈(10)의 제5 에지(11.5)의 영역에서 지지 구조물(70)의 고정 부분이 도시되어 있다. 제5 수직 측벽(30.5)에는 이미 도 3에 도시된 U형의 고정 레일(71)이 구비된다. 고정 레일(71)에 빔 지지부(72)가 고정된다. 빔 지지부(72)는 하프 셸(half shell)을 형성하고, 이러한 하프 셸 내에 지지 구조물(70)의 빔(80)이 설치된다. 빔 지지부(72)의 영역에서 고정 레일(71)의 상부 숄더는 홈이 파임으로써, 빔(80)은 빔 지지부(72) 내에 설치될 수 있다. 이러한 홈은 커버(73)로 덮인다. 따라서 빔(80)은 제5 수직 측벽(30.5)에 확실하게 고정된다.
도 3에 도시된 지지 구조물(70)에서 빔(80)의 외부 단부 위치에서 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)에는 빔 지지부(72)가 구비된다. 청정 가스 캐빈(10)의 조립 시, 사전에 조립된 지지 구조물(70)을 위로부터 청정 가스 캐빈의 내부 공간으로 넣어 빔 지지부(72) 상에 내려놓을 수 있다. 바람직하게는, 지지 구조물(70)의 빔(80)은 빔 지지부(72)와 연결되고, 특히 나사 체결된다.
도 15 및 도 16에 도시된 빔(80)의 실시예와 달리, 지지 구조물(70)의 빔(80)의 조립용 보어들(84)은 빔(80)의 웹(82)의 측면에서 관통 보어로서 구비된다. 필터(56)의 고정 나사들은 조립용 보어들(84)을 관통하여, 아래쪽에서 너트를 이용하여 나사 체결될 수 있다. 지지 구조물(70)이 청정 가스 캐빈(10)의 내부 공간 내에 배치되므로 부가적인 밀봉 조처가 불필요하다.
도 1 내지 도 18에 도시되며 주로 구조 코어판들(12)로 제조되는 청정 가스 캐빈(10)은 종래의 청정 가스 캐빈에 비해 매우 낮은 중량을 가진다. 따라서 청정 가스 캐빈(10)은 더 간편하게 수송 및 설치될 수 있다. 설치 장소에서 바닥 하중 요건은 낮춰질 수 있다. 도시된 구조에 의해 청정 가스 캐빈(10)의 내부 공간은 주변에 대해 밀봉된다. 따라서 청정 가스 캐빈(10)의 내부 공간에서 필요한 분위기는 조절되고, 유지될 수 있다. 중요한 공정 및 작업 단계는 적합한 분위기에서 수행될 수 있다. 설명된 사상에 따라 제조되는 청정 가스 캐빈(10)의 크기는 각 필요 요건에 따라 간편하게 조정될 수 있다. 이를 위해, 구비되는 바닥판들(22.1, 22.2, 22.3), 측벽들(30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10), 리드판들(43) 및 필요한 지지 구조물(70)의 크기 및 개수는 적절하게 설계될 수 있다. 청정 가스 캐빈(10)의 기본 윤곽은 도시된 육각형 형태로부터 임의의 다른 다각형 형태로 조정될 수 있다.

Claims (16)

  1. 주변에 대해 밀봉되며 측벽들(30, 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)에 의해 둘러싸이는 내부 공간을 포함하는 청정 가스 캐빈(10)에 있어서,
    상기 청정 가스 캐빈(10)의 측벽들(30, 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)의 적어도 일부는 각각 2개의 커버판들(12.1, 12.2) 및 그 사이에 배치되는 구조 코어(12.3), 특히 벌집형 코어를 포함하는 하나 이상의 구조 코어판들(12), 특히 하나 이상의 벌집형 코어판들로 구성되는 것을 특징으로 하는 청정 가스 캐빈(10).
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 청정 가스 캐빈(10)의 에지(11, 11.1, 11.2, 11.3, 11.4, 11.5, 11.6)를 따라 일 커버판(12.1, 12.2)이 절곡되고, 타 커버판(12.2) 및 상기 구조 코어(12.3)는 분리되거나, 상기 커버판들(12.1, 12.2) 중 하나는 타 커버판(12.1, 12.2)의 방향으로 상기 구조 코어(12.3) 안으로 들어가며 형성되고, 상기 구조 코어판(12.3)은 이러한 변형 영역에서 꺾이는 것을 특징으로 하는 청정 가스 캐빈(10).
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 청정 가스 캐빈(10)의 에지(11, 11.1, 11.2, 11.3, 11.4, 11.5, 11.6)를 따라 상기 분리되는 커버판(12.1, 12.2)과 상기 구조 코어(12.3) 내에 형성되는 틈새(32)는 에지 커버(33)에 의해 덮이고 및/또는 상기 에지 커버(33)는 서로 각이 지게 배치되는 2개의 숄더(33.1, 33.2)를 이용하여 각각 상기 틈새(32)의 일 측에서 상기 구조 코어판(12)과 밀봉적으로 연결되고, 특히 밀봉적으로 접착되는 것을 특징으로 하는 청정 가스 캐빈(10).
  4. 제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구조 코어판들의 가장자리에서 상기 측벽들(30, 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)의 상단 및 하단에 프로파일 레일들(62)이 덧씌워지고, 특히 끼워지며, 상기 구조 코어판들(12)과 밀봉적으로 연결되고, 특히 밀봉적으로 접착되는 것을 특징으로 하는 청정 가스 캐빈(10).
  5. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구조 코어판(12) 내에 적어도 하나의 나사 수용부(34)가 배치되고, 상기 나사 수용부(34)는 상기 구조 코어판들(12)에서 상기 2개의 커버판들(12.1, 12.2) 중 일 커버판 및 상기 커버판들(12.1, 12.2) 사이에 배치되는 구조 코어(12.3)의 적어도 일부를 관통하고 및/또는 상기 나사 수용부(34)는 2개의 커버판들(12.1, 12.2) 및 상기 구조 코어(12.3)를 관통하고 고정 부재 삽입 시 적어도 일측에서 밀봉되는 것을 특징으로 하는 청정 가스 캐빈(10).
  6. 제1 항 내지 제5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    서로 인접하는 2개의 구조 코어판들(12)은 적어도 하나의 연결 레일(60)에 의해 연결되고, 상기 연결 레일(60)은 부착부(60.1)를 포함하고, 상기 부착부(60)는 인접한 구조 코어판들(12)의 각 하나의 커버판(12.1, 12.2)과 밀봉적으로 연결되고, 특히 밀봉적으로 접착되는 것을 특징으로 하는 청정 가스 캐빈(10).
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 연결 레일(60)은 중공 프로파일(60.2) 및 이에 형성된 부착부(60.1)를 포함하는 압출 가공된 프로파일이고, 서로 인접하는 구조 코어판들(12)은 양측에서 중공 프로파일(60.2)을 따라 배치되고, 상기 중공 프로파일에 의해 이격되는 것을 특징으로 하는 청정 가스 캐빈(10).
  8. 제7 항에 있어서,
    서로 인접하는 구조 코어판들(12) 중 적어도 하나의 가장자리는 상기 부착부(60.1) 및 상기 부착부(60.1)에 대향하여 상기 중공 프로파일(60.2)에 형성되는 대응 레일(60.3) 사이의 영역 내에 삽입 및 고정되는 것을 특징으로 하는 청정 가스 캐빈(10).
  9. 제1 항 내지 제8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 측벽들(30, 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)은 직접적 또는 간접적으로 상기 청정 가스 캐빈(10)의 바닥(20)과 연결되고, 상기 바닥(20)은 구조 코어판들(12), 특히 벌집형 코어판들로 형성되는 하나 이상의 바닥판들(22, 22.1, 22.2, 22.3)로 구성되는 것을 특징으로 하는 청정 가스 캐빈(10).
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 측벽들(30, 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)은 덧씌워진, 특히 끼워진 프로파일 레일들(62)을 이용하여 상기 바닥(20) 위에 세워지고, 고정 브라켓들(65)에 의해 상기 바닥(20)에 고정되며, 상기 프로파일 레일들(62)과 상기 바닥(20) 사이에 밀봉 부재들이 구비되고 및/또는 상기 프로파일 레일들(62)은 상기 바닥(20)과 접착되는 것을 특징으로 하는 청정 가스 캐빈(10).
  11. 제9 항 또는 제10 항에 있어서,
    인접한 바닥판들(22, 22.1, 22.2, 22.3)의 서로 접하는 가장자리에 서로 맞물리는 바닥 레일들(23.1, 23.2)이 형성되거나 접착되고, 상기 바닥 레일들(23.1, 23.2)이 서로 밀봉적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 청정 가스 캐빈(10).
  12. 제1 항 내지 제11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 청정 가스 캐빈(10)은 위쪽으로 적어도 하나의 리드판(43)으로 구성되는 리드(40)에 의해 닫히고, 상기 리드판(43)은 구조 코어판(12), 특히 벌집형 코어판들로 구성되는 것을 특징으로 하는 청정 가스 캐빈(10).
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 측벽들(30, 30.1, 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10)은 덧씌워진, 특히 끼워진 프로파일 레일들(60)을 이용하여 직접적 또는 간접적으로 상기 적어도 하나의 리드판(43)과 연결되고 및/또는 상기 프로파일 레일들(63)과 상기 리드판(43) 사이에 밀봉 부재들이 구비되고 및/또는 상기 프로파일 레일들(62)은 상기 리드판(43)과 접착되는 것을 특징으로 하는 청정 가스 캐빈(10).
  14. 제1 항 내지 제13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구조 코어판(12)은 상기 청정 가스 캐빈(10)의 에지 영역에서 방사형으로 꺾이는 것을 특징으로 하는 청정 가스 캐빈(10).
  15. 제1 항 내지 제14 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구조 코어판(12)은 그 외부 둘레에서 적어도 부분적으로 하나 이상의 프로파일 부분들로 둘러싸이는 것을 특징으로 하는 청정 가스 캐빈(10).
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 구조 코어판(12)은 상기 청정 가스 캐빈(10)의 내부 공간을 향해 있는 커버판(12.1, 12.2)에서 상기 프로파일 부분(들)에 대해 밀봉되고 및/또는 상기 구조 코어판(12)의 가장자리 영역은 외부 둘레의 적어도 일부분에서 덮이는 것을 특징으로 하는 청정 가스 캐빈(10).
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