JPH0868221A - 間仕切り装置 - Google Patents
間仕切り装置Info
- Publication number
- JPH0868221A JPH0868221A JP20356794A JP20356794A JPH0868221A JP H0868221 A JPH0868221 A JP H0868221A JP 20356794 A JP20356794 A JP 20356794A JP 20356794 A JP20356794 A JP 20356794A JP H0868221 A JPH0868221 A JP H0868221A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- partition
- panel
- partition panel
- clean room
- connecting mold
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、工業用クリーンルームの間仕切り
に使用されるミニマムリーク型の間仕切り装置に関し、
鉄骨構造梁あるいはルーフトラスの撓みを容易に吸収で
きるとともに、シート材を配置することなくエアーリー
ク量を少なくすることを目的とする。 【構成】 エアフィルタを有する天井面と格子状床面と
により構成されるクリーンルーム内を他のエリアと区画
する間仕切り装置において、クリーンルーム内を他のエ
リアと区画する間仕切りパネルの下端を格子状床面に気
密に固定し、間仕切りパネルの上端部を、天井面の外側
に配設される吊り部材の下端に設けた連結用型材内に相
対摺動可能に嵌合するとともに、間仕切りパネルの上端
面と連結用型材の上面との間にシール部材を配置し、こ
のシール部材の下面を間仕切りパネルの上端面から上方
に向けて突設される押圧部材により押圧し、シール部材
の上面を連結用型材の上面に密着して構成する。
に使用されるミニマムリーク型の間仕切り装置に関し、
鉄骨構造梁あるいはルーフトラスの撓みを容易に吸収で
きるとともに、シート材を配置することなくエアーリー
ク量を少なくすることを目的とする。 【構成】 エアフィルタを有する天井面と格子状床面と
により構成されるクリーンルーム内を他のエリアと区画
する間仕切り装置において、クリーンルーム内を他のエ
リアと区画する間仕切りパネルの下端を格子状床面に気
密に固定し、間仕切りパネルの上端部を、天井面の外側
に配設される吊り部材の下端に設けた連結用型材内に相
対摺動可能に嵌合するとともに、間仕切りパネルの上端
面と連結用型材の上面との間にシール部材を配置し、こ
のシール部材の下面を間仕切りパネルの上端面から上方
に向けて突設される押圧部材により押圧し、シール部材
の上面を連結用型材の上面に密着して構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体工場、食品工
場、薬品工場などの工業用クリーンルームの間仕切りに
使用されるミニマムリーク型の間仕切り装置に関する。
場、薬品工場などの工業用クリーンルームの間仕切りに
使用されるミニマムリーク型の間仕切り装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体工場などの工業用クリー
ンルームを構成する建物は、図６に示すように、鉄骨構
造の柱１、梁２およびルーフトラス３等を組立てること
により構成されている。
ンルームを構成する建物は、図６に示すように、鉄骨構
造の柱１、梁２およびルーフトラス３等を組立てること
により構成されている。
【０００３】建物の各階は、天井（ＨＥＰＡ天井）上の
ダクトスペース（圧力チャンバ）４、床（アリセス床）
下のリターンプレナムエリア５、およびこのダクトスペ
ース４とリターンプレナムエリア５間に形成される清浄
作業エリア６とに区画されている。
ダクトスペース（圧力チャンバ）４、床（アリセス床）
下のリターンプレナムエリア５、およびこのダクトスペ
ース４とリターンプレナムエリア５間に形成される清浄
作業エリア６とに区画されている。
【０００４】そして、空調設備（図示せず）からダクト
スペース４の天井面に取り付けたＨＥＰＡ（High Effic
iency Particulate Air ）フィルタ７を通して作業エリ
ア６に清浄空気を供給するとともに、作業エリア６に供
給された空気は格子状床面８を通してリターンプレナム
エリア５に流れ込み、再び空調設備に還流することによ
り、作業エリア６内を清浄状態に維持するようにしてい
る。
スペース４の天井面に取り付けたＨＥＰＡ（High Effic
iency Particulate Air ）フィルタ７を通して作業エリ
ア６に清浄空気を供給するとともに、作業エリア６に供
給された空気は格子状床面８を通してリターンプレナム
エリア５に流れ込み、再び空調設備に還流することによ
り、作業エリア６内を清浄状態に維持するようにしてい
る。
【０００５】また、作業エリア６内は、間仕切り９によ
って半導体製造に供されるクリーンルーム１０およびメ
ンテナンスエリアまたはバッファゾーン１１などに区画
される。
って半導体製造に供されるクリーンルーム１０およびメ
ンテナンスエリアまたはバッファゾーン１１などに区画
される。
【０００６】ところで、作業エリア６内を間仕切り９に
より区画する場合、この間仕切り９は、格子状床面８と
ダクトスペース４の天井面１２間に配設され、天井面１
２は吊り部材などによりルーフトラス３に結合されてい
る。
より区画する場合、この間仕切り９は、格子状床面８と
ダクトスペース４の天井面１２間に配設され、天井面１
２は吊り部材などによりルーフトラス３に結合されてい
る。
【０００７】この場合、ルーフトラス３または梁を支え
る柱のスパンが８〜１０ｍ程度のときは、風圧あるいは
積雪によるルーフトラス３あるいは梁の撓み量は小さい
ため、間仕切り９が破損されるような問題が生じない
が、ルーフトラス３または梁を支える柱のスパンが１０
ｍ以上になると、ルーフトラス３または梁が風圧あるい
は積雪による荷重を受けたときの撓み量は±数１０mmと
大きくなり、これによる撓み荷重が間仕切り９に作用す
ると、間仕切り９が破損したりする問題があるほか、こ
の破損部分から空気がリークしてクリーンルーム内の清
浄度を低下させ、半導体製造などに悪影響を及ぼすとい
う問題があった。
る柱のスパンが８〜１０ｍ程度のときは、風圧あるいは
積雪によるルーフトラス３あるいは梁の撓み量は小さい
ため、間仕切り９が破損されるような問題が生じない
が、ルーフトラス３または梁を支える柱のスパンが１０
ｍ以上になると、ルーフトラス３または梁が風圧あるい
は積雪による荷重を受けたときの撓み量は±数１０mmと
大きくなり、これによる撓み荷重が間仕切り９に作用す
ると、間仕切り９が破損したりする問題があるほか、こ
の破損部分から空気がリークしてクリーンルーム内の清
浄度を低下させ、半導体製造などに悪影響を及ぼすとい
う問題があった。
【０００８】本出願人は、先に、このような問題を解決
した間仕切り装置を開発し、実願平４−７４５６１号と
して出願した。図７は、この間仕切り装置を示すもの
で、この間仕切り装置は、エアフィルタ１３を有する天
井面と格子状床面１４とにより構成されるクリーンルー
ム１５内を他のエリアと区画する間仕切り装置におい
て、前記クリーンルーム１５内を他のエリアと区画する
間仕切りパネル１６の下端を前記格子状床面１４に気密
に固定し、前記間仕切りパネル１６の上端部を前記天井
面の外側に配設される側面パネル１７の下端に設けた連
結用型材１８内に相対摺動可能に嵌合し、前記天井面の
エアフィルタ取付枠１９と前記間仕切りパネル１６に前
記連結用型材１８と間仕切りパネル１６との嵌合部から
のエア漏れを防止するシート材２０を張設して構成され
ている。
した間仕切り装置を開発し、実願平４−７４５６１号と
して出願した。図７は、この間仕切り装置を示すもの
で、この間仕切り装置は、エアフィルタ１３を有する天
井面と格子状床面１４とにより構成されるクリーンルー
ム１５内を他のエリアと区画する間仕切り装置におい
て、前記クリーンルーム１５内を他のエリアと区画する
間仕切りパネル１６の下端を前記格子状床面１４に気密
に固定し、前記間仕切りパネル１６の上端部を前記天井
面の外側に配設される側面パネル１７の下端に設けた連
結用型材１８内に相対摺動可能に嵌合し、前記天井面の
エアフィルタ取付枠１９と前記間仕切りパネル１６に前
記連結用型材１８と間仕切りパネル１６との嵌合部から
のエア漏れを防止するシート材２０を張設して構成され
ている。
【０００９】この間仕切り装置では、クリーンルーム１
５の間仕切りパネル１６の下端を格子状床面１４に固定
し、かつ間仕切りパネル１６の上端部を天井面の外側に
配設される側面パネル１７の下端に設けた連結用型材１
８に相対摺動可能に嵌合したから、クリーンルーム１５
を構築する鉄骨構造の梁あるいはルーフトラスに風圧ま
たは積雪荷重で大きな撓みが生じても、この撓みを容易
にかつ確実に吸収することができる。
５の間仕切りパネル１６の下端を格子状床面１４に固定
し、かつ間仕切りパネル１６の上端部を天井面の外側に
配設される側面パネル１７の下端に設けた連結用型材１
８に相対摺動可能に嵌合したから、クリーンルーム１５
を構築する鉄骨構造の梁あるいはルーフトラスに風圧ま
たは積雪荷重で大きな撓みが生じても、この撓みを容易
にかつ確実に吸収することができる。
【００１０】また、連結用型材１８と間仕切りパネル１
６との嵌合部分はシート材２０によりシールされている
から、特別構造の間仕切りパネルが不要になり、間仕切
りの低コスト化が可能になるほか、連結用型材１８から
のエア漏も最小限にすることができる。
６との嵌合部分はシート材２０によりシールされている
から、特別構造の間仕切りパネルが不要になり、間仕切
りの低コスト化が可能になるほか、連結用型材１８から
のエア漏も最小限にすることができる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな間仕切り装置では、連結用型材１８と間仕切りパネ
ル１６との嵌合部分を可撓性のシート材２０によりシー
ルしているため、シート材２０の設置に多大な工数が必
要なり、また、シート材２０に塵等が付着する虞れがあ
るという問題があった。
うな間仕切り装置では、連結用型材１８と間仕切りパネ
ル１６との嵌合部分を可撓性のシート材２０によりシー
ルしているため、シート材２０の設置に多大な工数が必
要なり、また、シート材２０に塵等が付着する虞れがあ
るという問題があった。
【００１２】そして、さらに、クリーンルーム１５内に
シート材２０が露出するため、見栄えが悪いという問題
があった。本発明は、上述のような問題を解決したもの
で、風圧、積雪荷重による鉄骨構造梁あるいはルーフト
ラスの撓みを容易に吸収できるとともに、シート材を配
置することなくエアーリーク量を少なくすることができ
る間仕切り装置を提供することを目的とする。
シート材２０が露出するため、見栄えが悪いという問題
があった。本発明は、上述のような問題を解決したもの
で、風圧、積雪荷重による鉄骨構造梁あるいはルーフト
ラスの撓みを容易に吸収できるとともに、シート材を配
置することなくエアーリーク量を少なくすることができ
る間仕切り装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】請求項１の間仕切り装置
は、エアフィルタを有する天井面と格子状床面とにより
構成されるクリーンルーム内を他のエリアと区画する間
仕切り装置において、前記クリーンルーム内を他のエリ
アと区画する間仕切りパネルの下端を前記格子状床面に
気密に固定し、前記間仕切りパネルの上端部を、前記天
井面の外側に配設される吊り部材の下端に設けた連結用
型材内に相対摺動可能に嵌合するとともに、前記間仕切
りパネルの上端面と前記連結用型材の上面との間にシー
ル部材を配置し、このシール部材の下面を前記間仕切り
パネルの上端面から上方に向けて突設される押圧部材に
より押圧し、前記シール部材の上面を前記連結用型材の
上面に密着してなるものである。
は、エアフィルタを有する天井面と格子状床面とにより
構成されるクリーンルーム内を他のエリアと区画する間
仕切り装置において、前記クリーンルーム内を他のエリ
アと区画する間仕切りパネルの下端を前記格子状床面に
気密に固定し、前記間仕切りパネルの上端部を、前記天
井面の外側に配設される吊り部材の下端に設けた連結用
型材内に相対摺動可能に嵌合するとともに、前記間仕切
りパネルの上端面と前記連結用型材の上面との間にシー
ル部材を配置し、このシール部材の下面を前記間仕切り
パネルの上端面から上方に向けて突設される押圧部材に
より押圧し、前記シール部材の上面を前記連結用型材の
上面に密着してなるものである。
【００１４】請求項２の間仕切り装置は、請求項１にお
いて、前記シール部材は、粘弾性材料からなるものであ
る。請求項３の間仕切り装置は、請求項１または２にお
いて、前記押圧部材の上面が、円弧状に形成されている
ものである。
いて、前記シール部材は、粘弾性材料からなるものであ
る。請求項３の間仕切り装置は、請求項１または２にお
いて、前記押圧部材の上面が、円弧状に形成されている
ものである。
【００１５】請求項４の間仕切り装置は、請求項１ない
し３において、前記連結用型材および前記間仕切りパネ
ルの上端部は、金属からなり、嵌合面にテフロン塗装が
施されているものである。
し３において、前記連結用型材および前記間仕切りパネ
ルの上端部は、金属からなり、嵌合面にテフロン塗装が
施されているものである。
【００１６】請求項５の間仕切り装置は、請求項１ない
し４において、前記吊り部材には照明灯が支持されてい
るものである。請求項６の間仕切り装置は、請求項１な
いし５において、前記間仕切りパネルは、透明材料から
なるものである。
し４において、前記吊り部材には照明灯が支持されてい
るものである。請求項６の間仕切り装置は、請求項１な
いし５において、前記間仕切りパネルは、透明材料から
なるものである。
【００１７】
【作用】請求項１の間仕切り装置では、クリーンルーム
を構築する鉄骨構造の梁あるいはルーフトラスが風圧ま
たは積雪荷重で撓むと、間仕切りパネルと吊り部材間は
連結用型材の部分で伸縮し、梁あるいはルーフトラスの
撓みが吸収される。
を構築する鉄骨構造の梁あるいはルーフトラスが風圧ま
たは積雪荷重で撓むと、間仕切りパネルと吊り部材間は
連結用型材の部分で伸縮し、梁あるいはルーフトラスの
撓みが吸収される。
【００１８】そして、この時に、間仕切りパネルの上端
面と連結用型材の上面との間の距離が変動するが、この
変動に応じて、押圧部材により上方に押圧されるシール
部材が弾性変形し、シール部材の上面が連結用型材の上
面に、また、押圧部材がシール部材に常に密着され、連
結用型材からのエア漏れが防止される。
面と連結用型材の上面との間の距離が変動するが、この
変動に応じて、押圧部材により上方に押圧されるシール
部材が弾性変形し、シール部材の上面が連結用型材の上
面に、また、押圧部材がシール部材に常に密着され、連
結用型材からのエア漏れが防止される。
【００１９】請求項２の間仕切り装置では、シール部材
が、粘弾性材料により形成されるため、特にその粘性に
より、押圧部材とシール部材との密着状態が良好にな
る。請求項３の間仕切り装置では、押圧部材の上面が円
弧状に形成されるため、押圧部材とシール部材との接触
面積が増大し、気密性が向上される。
が、粘弾性材料により形成されるため、特にその粘性に
より、押圧部材とシール部材との密着状態が良好にな
る。請求項３の間仕切り装置では、押圧部材の上面が円
弧状に形成されるため、押圧部材とシール部材との接触
面積が増大し、気密性が向上される。
【００２０】請求項４の間仕切り装置では、連結用型材
および間仕切りパネルの上端部が金属により形成され、
嵌合面にテフロン塗装が施されるため、連結用型材と間
仕切りパネルとの摺動が円滑になり、塵等の発生が抑制
される。
および間仕切りパネルの上端部が金属により形成され、
嵌合面にテフロン塗装が施されるため、連結用型材と間
仕切りパネルとの摺動が円滑になり、塵等の発生が抑制
される。
【００２１】請求項５の間仕切り装置では、吊り部材に
照明灯が支持されるため、照明灯を天井に設置すること
が容易に可能になる。請求項６の間仕切り装置では、間
仕切りパネルが透明材料により形成されるため、外部か
らクリーンルーム内を目視することが可能になる。
照明灯が支持されるため、照明灯を天井に設置すること
が容易に可能になる。請求項６の間仕切り装置では、間
仕切りパネルが透明材料により形成されるため、外部か
らクリーンルーム内を目視することが可能になる。
【００２２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１および図２は、工業用クリーンルームの間仕
切り装置の第１の実施例を示す要部の断面図および斜視
図である。
する。図１および図２は、工業用クリーンルームの間仕
切り装置の第１の実施例を示す要部の断面図および斜視
図である。
【００２３】図１および図２において、符号３１は、ク
リーンルーム３３の天井面の側方に配置される吊り部材
である。この吊り部材３１は、フィルタ取付枠３５の上
面に固定される吊り部３７と、フィルタ取付枠３５の下
面に固定される連結用型材３９とを有している。
リーンルーム３３の天井面の側方に配置される吊り部材
である。この吊り部材３１は、フィルタ取付枠３５の上
面に固定される吊り部３７と、フィルタ取付枠３５の下
面に固定される連結用型材３９とを有している。
【００２４】吊り部３７は、結合金具４１により吊りロ
ッド４３の下端に結合され、吊りロッド４３の上端は、
図示しない鉄骨構造の梁またはルーフトラスに連結され
ている。
ッド４３の下端に結合され、吊りロッド４３の上端は、
図示しない鉄骨構造の梁またはルーフトラスに連結され
ている。
【００２５】符号４５は、クリーンルーム３３の天井面
に配置されたＨＥＰＡフィルタである。このＨＥＰＡフ
ィルタ４５を支持するフィルタ枠４７は、ガスケット４
９を介してフィルタ取付枠３５の上面に乗せられてい
る。
に配置されたＨＥＰＡフィルタである。このＨＥＰＡフ
ィルタ４５を支持するフィルタ枠４７は、ガスケット４
９を介してフィルタ取付枠３５の上面に乗せられてい
る。
【００２６】符号５１は、クリーンルーム３３と清浄度
の異なる他のクリーンルーム、例えばメンテナンスエリ
アまたはバッファゾーン５３間を区画する間仕切りパネ
ルである。
の異なる他のクリーンルーム、例えばメンテナンスエリ
アまたはバッファゾーン５３間を区画する間仕切りパネ
ルである。
【００２７】この間仕切りパネル５１の下端部および上
端部には、金属製の下枠５２および上枠５５が固定され
ている。下枠５２は、格子状床面５７に、コーキング処
理したシリコンシーラント材５９を介して気密に固定さ
れている。
端部には、金属製の下枠５２および上枠５５が固定され
ている。下枠５２は、格子状床面５７に、コーキング処
理したシリコンシーラント材５９を介して気密に固定さ
れている。
【００２８】しかして、この実施例では、間仕切りパネ
ル５１の上枠５５が、フィルタ取付枠３５の下面に固定
されるチャネル状の間仕切りパネル連結用型材３９に上
下方向にスライド可能に嵌合されている。
ル５１の上枠５５が、フィルタ取付枠３５の下面に固定
されるチャネル状の間仕切りパネル連結用型材３９に上
下方向にスライド可能に嵌合されている。
【００２９】そして、間仕切りパネル５１の上端面と、
連結用型材３９の上面との間には、シール部材６１が配
置されている。このシール部材６１は、粘弾性材料によ
り形成されている。
連結用型材３９の上面との間には、シール部材６１が配
置されている。このシール部材６１は、粘弾性材料によ
り形成されている。
【００３０】なお、粘弾性材料としては、ポリエチレン
系ゲル材料，粘弾性ウレタン材料，シリコン・ゲル材料
等がある。ポリエチレン系ゲル材料は、ポリスチレンと
ポリエチレンの重合体であり、例えば、引っ張り強度が
７．９kg／cm2 であり、１３００〜１５００％の伸び率
を有している。
系ゲル材料，粘弾性ウレタン材料，シリコン・ゲル材料
等がある。ポリエチレン系ゲル材料は、ポリスチレンと
ポリエチレンの重合体であり、例えば、引っ張り強度が
７．９kg／cm2 であり、１３００〜１５００％の伸び率
を有している。
【００３１】粘弾性ウレタン材料は、例えば、引っ張り
強度が７．１〜９．５kg／cm2 であり、９７５〜９８４
％の伸び率を有している。シリコン・ゲル材料は、例え
ば、引っ張り強度が１０kg／cm2 であり、７５０％の伸
び率を有している。
強度が７．１〜９．５kg／cm2 であり、９７５〜９８４
％の伸び率を有している。シリコン・ゲル材料は、例え
ば、引っ張り強度が１０kg／cm2 であり、７５０％の伸
び率を有している。
【００３２】シール部材６１の下面は、間仕切りパネル
５１の上端面から上方に向けて突設される押圧部材６３
により上方に向けて押圧されている。そして、シール部
材６１の上面が、連結用型材３９の上面３９ａに密着さ
れている。
５１の上端面から上方に向けて突設される押圧部材６３
により上方に向けて押圧されている。そして、シール部
材６１の上面が、連結用型材３９の上面３９ａに密着さ
れている。
【００３３】押圧部材６３は、図２に示すように、断面
円環状の押圧部６３ａと、この押圧部６３ａを支持する
支持部６３ｂとからなり、支持部６３ｂが、上枠５５に
固定されている。
円環状の押圧部６３ａと、この押圧部６３ａを支持する
支持部６３ｂとからなり、支持部６３ｂが、上枠５５に
固定されている。
【００３４】しかして、上述した間仕切り装置では、ク
リーンルーム３３を構築する鉄骨構造の梁あるいはルー
フトラスが風圧または積雪荷重で撓むと、間仕切りパネ
ル５１と吊り部材３１間が連結用型材３９の部分で伸縮
し、梁あるいはルーフトラスの撓みが吸収されるため、
風圧、積雪荷重による鉄骨構造梁あるいはルーフトラス
の撓みを容易に吸収することができる。
リーンルーム３３を構築する鉄骨構造の梁あるいはルー
フトラスが風圧または積雪荷重で撓むと、間仕切りパネ
ル５１と吊り部材３１間が連結用型材３９の部分で伸縮
し、梁あるいはルーフトラスの撓みが吸収されるため、
風圧、積雪荷重による鉄骨構造梁あるいはルーフトラス
の撓みを容易に吸収することができる。
【００３５】また、この時に、間仕切りパネル５１の上
端面と連結用型材３９の上面３９ａとの間の距離が変動
するが、この変動に応じて、押圧部材６３により上方に
押圧されるシール部材６１が弾性変形し、シール部材６
１の上面が連結用型材３９の上面３９ａに、また、押圧
部材６３がシール部材６１に常に密着され、連結用型材
３９からのエア漏れが防止される。
端面と連結用型材３９の上面３９ａとの間の距離が変動
するが、この変動に応じて、押圧部材６３により上方に
押圧されるシール部材６１が弾性変形し、シール部材６
１の上面が連結用型材３９の上面３９ａに、また、押圧
部材６３がシール部材６１に常に密着され、連結用型材
３９からのエア漏れが防止される。
【００３６】従って、従来のようにシート材を配置する
ことなくエアーリーク量を少なくすることができる。さ
らに、上述した間仕切り装置では、シール部材６１が、
粘弾性材料により形成されるため、特にその粘性によ
り、押圧部材６３とシール部材６１との密着状態が良好
になり、エアーリーク量をより低減することができる。
ことなくエアーリーク量を少なくすることができる。さ
らに、上述した間仕切り装置では、シール部材６１が、
粘弾性材料により形成されるため、特にその粘性によ
り、押圧部材６３とシール部材６１との密着状態が良好
になり、エアーリーク量をより低減することができる。
【００３７】また、押圧部材６３の押圧部６３ａが円弧
状に形成されるため、押圧部６３ａとシール部材６１と
の接触面積が増大し、気密性がより向上される。さら
に、上述した間仕切り装置では、連結用型材３９および
間仕切りパネル５１の上枠５５が金属により形成され、
嵌合面にテフロン塗装が施されるため、連結用型材３９
と間仕切りパネル５１との摺動が円滑になり、塵等の発
生を低減することができる。
状に形成されるため、押圧部６３ａとシール部材６１と
の接触面積が増大し、気密性がより向上される。さら
に、上述した間仕切り装置では、連結用型材３９および
間仕切りパネル５１の上枠５５が金属により形成され、
嵌合面にテフロン塗装が施されるため、連結用型材３９
と間仕切りパネル５１との摺動が円滑になり、塵等の発
生を低減することができる。
【００３８】図３は、第２の実施例を示すもので、この
実施例では、吊り部材３１のフィルタ取付枠３５に、電
線を敷設するためのダクト６５が固定され、このダクト
６５の下面に、照明灯６７が固定されている。
実施例では、吊り部材３１のフィルタ取付枠３５に、電
線を敷設するためのダクト６５が固定され、このダクト
６５の下面に、照明灯６７が固定されている。
【００３９】そして、ダクト６５の外側面に、直角三角
形をした支持枠６９が固定され、この支持枠６９の底面
に連結用型材３９が固定されている。この実施例におい
ても、第１の実施例とほぼ同様の効果を得ることができ
るが、この実施例では、ダクト６５に照明灯６７が支持
されるため、照明灯６７を、クリーンルーム３３内の天
井に設置することが容易に可能になる。
形をした支持枠６９が固定され、この支持枠６９の底面
に連結用型材３９が固定されている。この実施例におい
ても、第１の実施例とほぼ同様の効果を得ることができ
るが、この実施例では、ダクト６５に照明灯６７が支持
されるため、照明灯６７を、クリーンルーム３３内の天
井に設置することが容易に可能になる。
【００４０】図４は、第３の実施例を示すもので、この
実施例では、第２の実施例における支持枠６９の底面に
連結用型材７１が固定されている。一方、この実施例で
は、間仕切りパネル７３が、例えば、ガラスからなる透
明材料により形成され、間仕切りパネル７３の上下に
は、間仕切りパネル７３の上端および下端を支持する上
枠７５および下枠７７が配置されている。
実施例では、第２の実施例における支持枠６９の底面に
連結用型材７１が固定されている。一方、この実施例で
は、間仕切りパネル７３が、例えば、ガラスからなる透
明材料により形成され、間仕切りパネル７３の上下に
は、間仕切りパネル７３の上端および下端を支持する上
枠７５および下枠７７が配置されている。
【００４１】そして、上枠７５は、連結用型材７１内に
嵌合されている。この実施例においても、第１および第
２の実施例とほぼ同様の効果を得ることができるが、こ
の実施例では、間仕切りパネル７３が透明材料により形
成されるため、外部からクリーンルーム３３内を目視す
ることができる。
嵌合されている。この実施例においても、第１および第
２の実施例とほぼ同様の効果を得ることができるが、こ
の実施例では、間仕切りパネル７３が透明材料により形
成されるため、外部からクリーンルーム３３内を目視す
ることができる。
【００４２】なお、以上述べた実施例では、押圧部材６
３の押圧部６３ａを断面円環状にした例について説明し
たが、本発明はかかる実施例に限定されるものではな
く、例えば、図５の（ａ）に示すように、先端先細り状
でも良く、また、（ｂ）に示すように先端に円弧部を形
成しただけのものでも良い。
３の押圧部６３ａを断面円環状にした例について説明し
たが、本発明はかかる実施例に限定されるものではな
く、例えば、図５の（ａ）に示すように、先端先細り状
でも良く、また、（ｂ）に示すように先端に円弧部を形
成しただけのものでも良い。
【００４３】なお、本発明の間仕切り装置は、上記実施
例に示す構成のものに限らず、請求項に記載した範囲を
逸脱しない限り、種々の変形が可能である。
例に示す構成のものに限らず、請求項に記載した範囲を
逸脱しない限り、種々の変形が可能である。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の間仕切
り装置では、クリーンルームを構築する鉄骨構造の梁あ
るいはルーフトラスが風圧または積雪荷重で撓むと、間
仕切りパネルと吊り部材間が連結用型材の部分で伸縮
し、梁あるいはルーフトラスの撓みが吸収されるため、
風圧、積雪荷重による鉄骨構造梁あるいはルーフトラス
の撓みを容易に吸収することができる。
り装置では、クリーンルームを構築する鉄骨構造の梁あ
るいはルーフトラスが風圧または積雪荷重で撓むと、間
仕切りパネルと吊り部材間が連結用型材の部分で伸縮
し、梁あるいはルーフトラスの撓みが吸収されるため、
風圧、積雪荷重による鉄骨構造梁あるいはルーフトラス
の撓みを容易に吸収することができる。
【００４５】また、この時に、間仕切りパネルの上端面
と連結用型材の上面との間の距離が変動するが、この変
動に応じて、押圧部材により上方に押圧されるシール部
材が弾性変形し、シール部材の上面が連結用型材の上面
に、また、押圧部材がシール部材に常に密着され、連結
用型材からのエア漏れが防止されるため、シート材を配
置することなくエアーリーク量を少なくすることができ
る。
と連結用型材の上面との間の距離が変動するが、この変
動に応じて、押圧部材により上方に押圧されるシール部
材が弾性変形し、シール部材の上面が連結用型材の上面
に、また、押圧部材がシール部材に常に密着され、連結
用型材からのエア漏れが防止されるため、シート材を配
置することなくエアーリーク量を少なくすることができ
る。
【００４６】請求項２の間仕切り装置では、シール部材
が、粘弾性材料により形成されるため、特にその粘性に
より、押圧部材とシール部材との密着状態を良好にする
ことができる。
が、粘弾性材料により形成されるため、特にその粘性に
より、押圧部材とシール部材との密着状態を良好にする
ことができる。
【００４７】請求項３の間仕切り装置では、押圧部材の
上面が円弧状に形成されるため、押圧部材とシール部材
との接触面積が増大し、気密性をより向上することがで
きる。
上面が円弧状に形成されるため、押圧部材とシール部材
との接触面積が増大し、気密性をより向上することがで
きる。
【００４８】請求項４の間仕切り装置では、連結用型材
および間仕切りパネルの上端部が金属により形成され、
嵌合面にテフロン塗装が施されるため、連結用型材と間
仕切りパネルとの摺動が円滑になり、塵等の発生を低減
することができる。
および間仕切りパネルの上端部が金属により形成され、
嵌合面にテフロン塗装が施されるため、連結用型材と間
仕切りパネルとの摺動が円滑になり、塵等の発生を低減
することができる。
【００４９】請求項５の間仕切り装置では、吊り部材に
照明灯が支持されるため、照明灯を天井に設置すること
が容易に可能になる。請求項６の間仕切り装置では、間
仕切りパネルが透明材料により形成されるため、外部か
らクリーンルーム内を目視することができるという利点
がある。
照明灯が支持されるため、照明灯を天井に設置すること
が容易に可能になる。請求項６の間仕切り装置では、間
仕切りパネルが透明材料により形成されるため、外部か
らクリーンルーム内を目視することができるという利点
がある。
【図１】本発明の間仕切り装置の第１の実施例を示す要
部の断面図である。
部の断面図である。
【図２】図１の分解斜視図である。
【図３】本発明の間仕切り装置の第２の実施例を示す要
部の断面図である。
部の断面図である。
【図４】本発明の間仕切り装置の第３の実施例を示す要
部の断面図である。
部の断面図である。
【図５】押圧部材の他の例を示す断面図である。
【図６】従来の間仕切り装置を示す要部の断面図であ
る。
る。
【図７】工業用クリーンルームを構成する鉄骨造建物の
概略断面図である。
概略断面図である。
３１ 吊り部材 ３３ クリーンルーム ３９ 連結用型材 ４５ ＨＥＰＡフィルタ ５１ 間仕切りパネル ５７ 格子状床面 ６１ シール部材 ６３ 押圧部材
Claims (6)
- 【請求項１】 エアフィルタを有する天井面と格子状床
面とにより構成されるクリーンルーム内を他のエリアと
区画する間仕切り装置において、 前記クリーンルーム内を他のエリアと区画する間仕切り
パネルの下端を前記格子状床面に気密に固定し、前記間
仕切りパネルの上端部を、前記天井面の外側に配設され
る吊り部材の下端に設けた連結用型材内に相対摺動可能
に嵌合するとともに、前記間仕切りパネルの上端面と前
記連結用型材の上面との間にシール部材を配置し、この
シール部材の下面を前記間仕切りパネルの上端面から上
方に向けて突設される押圧部材により押圧し、前記シー
ル部材の上面を前記連結用型材の上面に密着してなるこ
とを特徴とする間仕切り装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の間仕切り装置において、 前記シール部材は、粘弾性材料からなることを特徴とす
る間仕切り装置。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２記載の間仕切り
装置において、 前記押圧部材の上面が、円弧状に形成されていることを
特徴とする間仕切り装置。 - 【請求項４】 請求項１ないし請求項３のいずれか１項
記載の間仕切り装置において、 前記連結用型材および前記間仕切りパネルの上端部は、
金属からなり、嵌合面にテフロン塗装が施されているこ
とを特徴とする間仕切り装置。 - 【請求項５】 請求項１ないし請求項４のいずれか１項
記載の間仕切り装置において、 前記吊り部材には照明灯が支持されていることを特徴と
する間仕切り装置。 - 【請求項６】 請求項１ないし請求項５のいずれか１項
記載の間仕切り装置において、 前記間仕切りパネルは、透明材料からなることを特徴と
する間仕切り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20356794A JP3433398B2 (ja) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | 間仕切り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20356794A JP3433398B2 (ja) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | 間仕切り装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0868221A true JPH0868221A (ja) | 1996-03-12 |
| JP3433398B2 JP3433398B2 (ja) | 2003-08-04 |
Family
ID=16476272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20356794A Expired - Fee Related JP3433398B2 (ja) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | 間仕切り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3433398B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0989329A (ja) * | 1995-09-26 | 1997-04-04 | Benitsukusu Kk | クリーンルームの間仕切構造 |
| JPH0989328A (ja) * | 1995-09-26 | 1997-04-04 | Benitsukusu Kk | クリーンルームの間仕切構造 |
| JP2003041703A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Kokuyo Co Ltd | 天井板固定枠及びその固定枠を使用した天井構造 |
| CN103993758A (zh) * | 2014-06-04 | 2014-08-20 | 深圳麦克维尔空调有限公司 | 一种用于风柜测试的实验室 |
| CN110093995A (zh) * | 2019-05-09 | 2019-08-06 | 陆彬燕 | 一种可调节光照量的建筑钢结构 |
| JP2021127839A (ja) * | 2020-02-10 | 2021-09-02 | Ｆｔｂ研究所株式会社 | 気流制御装置、気流制御方法及び気流制御システム |
| JP7083074B1 (ja) * | 2021-09-16 | 2022-06-09 | 日立グローバルライフソリューションズ株式会社 | クリーンルーム施設 |
-
1994
- 1994-08-29 JP JP20356794A patent/JP3433398B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0989329A (ja) * | 1995-09-26 | 1997-04-04 | Benitsukusu Kk | クリーンルームの間仕切構造 |
| JPH0989328A (ja) * | 1995-09-26 | 1997-04-04 | Benitsukusu Kk | クリーンルームの間仕切構造 |
| JP2003041703A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Kokuyo Co Ltd | 天井板固定枠及びその固定枠を使用した天井構造 |
| CN103993758A (zh) * | 2014-06-04 | 2014-08-20 | 深圳麦克维尔空调有限公司 | 一种用于风柜测试的实验室 |
| CN110093995A (zh) * | 2019-05-09 | 2019-08-06 | 陆彬燕 | 一种可调节光照量的建筑钢结构 |
| JP2021127839A (ja) * | 2020-02-10 | 2021-09-02 | Ｆｔｂ研究所株式会社 | 気流制御装置、気流制御方法及び気流制御システム |
| JP7083074B1 (ja) * | 2021-09-16 | 2022-06-09 | 日立グローバルライフソリューションズ株式会社 | クリーンルーム施設 |
| CN114787465A (zh) * | 2021-09-16 | 2022-07-22 | 日立环球生活方案株式会社 | 无尘室设施 |
| WO2023042332A1 (ja) * | 2021-09-16 | 2023-03-23 | 日立グローバルライフソリューションズ株式会社 | クリーンルーム施設 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3433398B2 (ja) | 2003-08-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5125203A (en) | Floating connector system between ceiling and wall structure | |
| JP3433398B2 (ja) | 間仕切り装置 | |
| KR20170102333A (ko) | 청정 가스 캐빈 | |
| JP2523102Y2 (ja) | 間仕切り装置 | |
| JP2504147Y2 (ja) | 間仕切り装置 | |
| JPS6238617B2 (ja) | ||
| US10612236B1 (en) | Non-walkable clean room ceiling, mounting system, and method | |
| JPH0515928Y2 (ja) | ||
| JP3271543B2 (ja) | システム天井 | |
| KR102569797B1 (ko) | 공조 장비용 립씰 판넬 및 이를 이용하여 제작된 하우징 케이스 | |
| JPH0217627Y2 (ja) | ||
| JP3261705B2 (ja) | 簡易クリーンルーム | |
| JP5723755B2 (ja) | クリーンルームの天井構造およびその施工方法 | |
| JP4820380B2 (ja) | ダクト用たわみ継手 | |
| JP3872573B2 (ja) | クリーンルーム用天井構造 | |
| JP6831659B2 (ja) | アイソレーター及びアイソレーターの組み立て方法 | |
| JP2505563Y2 (ja) | フレ−ム構造 | |
| CN216664723U (zh) | 洁净车间防火库板 | |
| JP2900984B2 (ja) | 下り壁パネルの取付構造 | |
| JPH11216323A (ja) | フィルタユニットの取付構造 | |
| JP6678808B1 (ja) | 橋梁カバー、辺縁シールおよび橋梁カバー設置方法 | |
| JP2002267224A (ja) | 既設室のクリーンルーム化方法及び外付け式フィルタユニット | |
| KR100772144B1 (ko) | 지붕 구조물용 연결구 조립체 | |
| JPS6237447A (ja) | 積雪地の鉄骨造クリ−ンル−ムにおける天井取付構造 | |
| JP2542769B2 (ja) | 建築用パネル |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090530 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |