CN114787465A - 无尘室设施 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种抑制虫向无尘室的侵入的低成本的无尘室设施。无尘室设施(100)具备：精整片材(6)，其设置在无尘室(R)的地板基座(2)的上侧，形成无尘室(R)的地板面；以及预贴片材(5)，其介于地板基座(2)与精整片材(6)之间，预贴片材(5)还设置在作为无尘室(R)的侧壁的面板部件(1)的下侧，并且延伸至包含无尘室(R)的建筑物的外壁(20)的附近。
Description
技术领域
本发明涉及无尘室设施。
背景技术
除了再生医疗、医药品的制造以外，在半导体、精密机械的制造等中，使用空气的清洁度高的无尘室。作为防止虫侵入这样的无尘室的技术，例如，在专利文献1中记载了设置“用于防止昆虫类在对象区域内沿着地板面侵入的昆虫类侵入防止装置”。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2011-223926号公报
发明内容
发明所要解决的课题
在专利文献1所记载的昆虫类侵入防止装置中，为了利用送风机的空气压排除昆虫类，在地板下空间设置送风机。在这样设置送风机专用的地板下空间的结构中，无尘室设施的设备成本变高。另外，例如，难以在已设的地板基座的地板下空间新设置送风机。
因此，本发明的课题在于提供一种抑制虫向无尘室的侵入的低成本的无尘室设施。
用于解决课题的方案
为了解决上述课题，本发明的无尘室设施具备：第一片材，其设置在无尘室的地板基座的上侧，并形成所述无尘室的地板面；以及第二片材，其介于所述地板基座与所述第一片材之间，所述第二片材还设置在所述无尘室的侧壁即面板部件的下侧，而且延伸至包括所述无尘室的建筑物的外壁的附近。另外，关于其它，在实施方式中进行说明。
发明效果
根据本发明，能够提供一种抑制虫向无尘室的侵入的低成本的无尘室设施。
附图说明
图1是表示实施方式的无尘室设施的各房间的布局的说明图。
图2是实施方式的无尘室设施的局部剖视图。
图3是实施方式的无尘室设施的局部分解立体图。
图4是实施方式的无尘室设施的其它部位的局部剖视图。
图5是表示在实施方式的无尘室设施中俯视时的预贴片材的设置范围的说明图。
图6A是第一变形例的无尘室设施的包含外壁、地板基座以及预贴片材的剖视图。
图6B是第二变形例的无尘室设施的包含外壁、地板基座以及预贴片材的剖视图。
图6C是第三变形例的无尘室设施的包含外壁、地板基座以及预贴片材的剖视图。
图6D是第四变形例的无尘室设施的包含外壁、地板基座以及预贴片材的剖视图。
图7是比较例的无尘室设施的局部剖视图。
具体实施方式
《实施方式》
图1是表示实施方式的无尘室设施100的各房间的布局的说明图。
另外，在图1中，用空心的虚线箭头表示在预定的门(例如，门Dm)被打开的情况下空气流动的方向。另外，以下，作为一例，对无尘室设施100被用作再生医疗设施的情况进行说明，但并不限定于此。
图1所示的无尘室设施100是具有前处理室R3、调制室R7等多个无尘室的设施。在这样的无尘室设施100中，大多设置多个空气的清洁度不同的无尘室。而且，为了抑制从清洁度低的无尘室向清洁度高的无尘室的空气的泄漏，对相邻的无尘室的室压设置压差。
列举其一例，图1所示的前处理室R3的室压比一次更衣室R2的室压高。因此，例如，当操作员在从一次更衣室R2进入前处理室R3时打开门De时，如图1的虚线箭头所示，空气从高压侧的前处理室R3流入低压侧的一次更衣室R2，但由于以不产生反向流动的方式控制室压，因此几乎不会产生反向流动。由此，抑制尘埃从一次更衣室R2流入前处理室R3，保持前处理室R3的清洁度。另外，在图1中，表示从相邻的两个无尘室的一方朝向另一方的空心的虚线箭头的情况下，所述的一方的无尘室的室压比另一方的室压高。
在图1的示例中，穿脱室R1、一次更衣室R2、前处理室R3、脱衣室R10以及前室R11依次彼此相邻地设置。在操作员在前处理室R3中进行作业的情况下，例如，按照上述的顺序穿过各无尘室。在前处理室R3设置有用于处理预定的试样的生物安全柜BSC1。在生物安全柜BSC1中使用的试样依次经由前室R4和传递箱PB1被搬入。另一方面，由生物安全柜BSC1制作的产品(细胞加工品等)依次经由传递箱PB2和前室R5被搬出。另外，传递箱PB1、PB2是用于抑制污染(试样污染)的空间。
另外，穿脱室R1、一次更衣室R2、二次更衣室R6、气闸AL1、调制室R7、气闸AL2、脱衣室R10以及前室R11依次相邻设置。在操作员在调制室R7中进行作业的情况下，例如，按照上述的顺序穿过各无尘室。气闸AL1、AL2是用于抑制尘埃向清洁度高的调制室R7流入的空间，与其它无尘室相比，室压变高。
另外，调制室R7与前处理室R3之间也能够经由传递箱PB5进行试样等的出入。调制室R7的清洁度比前处理室R3高，另外，室压比前处理室R3高。由此，能够抑制门Dx、门Dy被打开的情况下的污染(试样污染)。
在图1的例子中，在调制室R7中设置有用于处理预定的试样的生物安全柜BSC2、BSC3。由生物安全柜BSC2、BSC3制作的产品(细胞加工品等)依次经由传递箱PB3和前室R8被搬出。另一方面，废弃物等依次经由传递箱PB4和前室R9被搬出。
图1所示的空气处理单元30是调整向各无尘室供给的空气的温度等的设备。在图1的例子中，空气处理单元30经由壁与传递箱PB3、PB4之间的预定的空间R13相邻。图1所示的风扇过滤器单元41～46进行来自预定的无尘室的排气(或向未图示的腔室的回气)。
另外，图1所示的穿脱室R1、一次更衣室R2、前处理室R3、前室R4、R5、二次更衣室R6、调制室R7、前室R8、R9、脱衣室R10、前室R11以及气闸AL1、AL2分别相当于“无尘室”。而且，各个无尘室的温度、室压被维持为预定。
另外，如图1所示，具有多个无尘室的建筑物10被外壁20包围。外壁20例如可以是混凝土制，另外，也可以由其它材料构成。另外，虽然在图1中省略了图示，但是在外壁20上设置有至少一个门，从而能够经由该门而出入。
图2是无尘室设施100的局部剖视图。
如图2所示，无尘室设施100除了上述的外壁20(也参照图1)以外，还具备面板部件1、地板基座2、轨道部件3以及承受部件4。而且，无尘室设施100具备预贴片材5(第二片材)和精整片材6(第一片材)。
面板部件1是将无尘室R与其它(无尘室R的外侧的空间)隔开的绝热性的板状部件。通过该面板部件1形成无尘室R的侧壁。在面板部件1的下表面设置有向上侧凹陷而成的槽1a。另外，面板部件1与外壁20对置。
这样，具有与外壁20对置的面板部件1(侧壁)的无尘室R例如可以是图1所示的调制室R7，另外，也可以是其它无尘室。具体而言，如图2所示，其周围被其它无尘室等包围的前处理室R3(参照图1)以外的大部分无尘室存在面板部件1与外壁20对置的部位。另外，在设置有风扇过滤器单元41～46(参照图1)的部位，构成无尘室R的侧壁的面板部件1的下端附近也与外壁20对置。
图2所示的地板基座2是除了面板部件1的下侧的承受部件4以外，还对设置于无尘室R的各设备(未图示)进行支承的壁厚的板状部件。这样的地板基座2例如由混凝土形成，沿水平方向延伸。如上所述，图2所示的外壁20是以包围无尘室R的建筑物10(参照图1)的方式设置的壁。以下，除了图2以外，还参照图3的分解立体图进行说明。
图3是无尘室设施100的局部分解立体图。
另外，在图3中，省略了外壁20(参照图2)的图示。
图3所示的轨道部件3是用于使面板部件1沿着其上表面平滑地移动的部件。轨道部件3由树脂或金属形成，与面板部件1的下表面的槽1a卡合(也参照图2)。
图3所示的承受部件4是支承轨道部件3的金属制(例如铝制)的部件。该承受部件4设置于地板基座2的上侧，沿与轨道部件3相同的方向延伸。后述的预贴片材5介于地板基座2与轨道部件3之间(也参照图2)。
另外，在无尘室设施100的施工时，在无尘室R(参照图2)与其外部空间(其它无尘室等)之间的俯视下的边界线上设置有承受部件4。进而，轨道部件3嵌入承受部件4，用螺钉等(未图示)固定。并且，通过使轨道部件3与面板部件1的槽1a卡合，从而设置面板部件1。另外，在直线状的轨道部件3上依次设置多张面板部件1的情况较多。而且，操作员通过使面板部件1沿着轨道部件3移动至预定位置，从而使相邻的面板部件1的侧面(图2的纸面的近前侧、里侧的面)相互接触。
图2、图3所示的预贴片材5(第二片材)是用于防止虫(例如，轮虫)侵入无尘室R的片材。作为这样的预贴片材5的构成材料，例如使用氯乙烯树脂(聚氯乙烯)，但并不限定于此。另外，预贴片材5所包含的“预贴”这样的用语是指，为了防止虫向无尘室R的侵入而以从无尘室R的内部看不到的方式粘贴的片材。
如图2所示，预贴片材5在无尘室R的俯视时的区域中，介于地板基座2与精整片材6之间。另外，预贴片材5也设置在作为无尘室R的侧壁的面板部件1的下侧。在图2的例子中，预贴片材5介于面板部件1的下侧的承受部件4与地板基座2之间。
预贴片材5延伸至包含无尘室R的建筑物10(参照图1)的外壁20的附近。另外，优选预贴片材5延伸至外壁20的无尘室R侧的壁面20a的下端附近。在图2的例子中，预贴片材5的缘部位于外壁20的无尘室R侧的壁面20a的下端。即，设置于地板基座2与精整片材6之间的预贴片材5经由面板部件1的下侧延伸至外壁20的壁面20a的下端。详细内容后述，通过将预贴片材5设置到外壁20的附近，从而防止虫向无尘室R的侵入。
另外，预贴片材5在其使用前大多为卷绕成卷状的状态。在无尘室设施100施工时，操作员使卷状的预贴片材5在地板基座2上滚动，解除其卷绕，由此将带状的预贴片材5设置于地板基座2。具体而言，使用预定的粘接剂，将预贴片材5粘接于地板基座2的上表面。另外，相邻的多个带状的预贴片材5例如用将预贴片材5熔化而成为液状的材料(或与预贴片材5同样的构成材料)熔接而一体化。
图2、图3所示的精整片材6(第一片材)是形成无尘室R的地板面的片材，设置在无尘室R的地板基座2的上侧。如上所述，预贴片材5介于该精整片材6与地板基座2之间。另外，作为精整片材6的构成材料，例如使用氯乙烯树脂，但并不限定于此。例如，在精整片材6中，除了耐化学药品性以外，还可以追加使用用于提高防滑性、抗静电性的预定物质。在图2的例子中，精整片材6的缘部在承受部件4的附近弯曲，进而设置到承受部件4的上端。
精整片材6也与预贴片材5同样地，在其使用前大多为卷绕成卷状的状态。在无尘室设施100施工时，操作员将卷状的精整片材6在预贴片材5上滚动，解除其卷绕，由此设置带状的精整片材6。带状的精整片材6与无尘室R的形状匹配地被切断成预定的形状。然后，使用预定的粘接剂，将精整片材6粘接在预贴片材5的上表面。另外，相邻的多个带状的精整片材6例如通过将精整片材6熔化而成为液状的材料(或与精整片材6同样的构成材料)熔接而一体化。这样的一体化后的精整片材6分别设置于各个无尘室R。
图4是无尘室设施100的其它部位的局部剖视图。
另外，图4所示的地板基座2、外壁20与图2所示的结构相同。图4所示的无尘室R例如是图1所示的前室R9。另外，图4所示的门7例如是图1所示的前室R9的门Dw。另外，图4所示的无尘室R并不限定于前室R9，例如也可以是图1所示的穿脱室R1，另外，也可以是前室R4、R5、R11等。另外，在图4中，门7与外壁20之间的间隙变窄，但实际上，设置有在打开门7时外壁20不与门7干涉的程度的间隙。
如图4所示，无尘室设施100除了上述的地板基座2、外壁20、精整片材6(第一片材)、预贴片材5(第二片材)之外，还具备门7、外框8、密封部件9a、9b。
门7是在人从无尘室R出入时开闭的门。门7具备作为框体的框架7a和设置于该框架7a的内侧的绝热材料(未图示)。
如图4所示，能够开闭的门7自身的框架7a的内部7b为中空。另外，在框架7a的下表面设置有开口7c。并且，中空的框架7a的内部7b与开口7c连通。另外，在关闭状态的门7的框架7a的下侧也设置有预贴片材5。
外框8是以包围关闭状态的门7的方式设置的四边框状的金属部件。在外框8设置有用于将门7轴支承为能够开闭的铰链(未图示)。如图4所示，外框8具备限制部8a和衬垫8b。限制部8a是限制门7打开时的转动的朝向的部分。
在图4的例子中，在外框8中，在门7的下端附近的无尘室R侧(内侧)设置有限制部8a。另外，与门7的下端相比，限制部8a的上端的高度位置更高。而且，在人从无尘室R出来时，通过按压门7的把手等(未图示)来打开门7。在限制部8a的门7侧设置有用于提高无尘室R的气密性的衬垫8b。
密封部件9a、9b除了用于提高无尘室R的气密性之外，还用于防止虫侵入无尘室R，设置在门7的外框8的内侧、外侧。作为这样的密封部件9a、9b，例如使用硅酮。两个密封部件9a、9b分别在剖视时呈L字状(或倒L字状)，并沿着门7的外框8延伸。另外，密封部件9a、9b设置在外框8与预贴片材5接触的面8c的边缘附近。
一个密封部件9a在图4所示的面8c的边缘附近，设置在外框8的无尘室R侧(内侧)。即，密封部件9a紧贴于外框8的无尘室R侧(内侧)的壁面，并且紧贴于预贴片材5的上表面。另外，精整片材6的缘部没有特别弯曲，与密封部件9a抵接。即，在外框8与预贴片材5接触的面8c的边缘附近，精整片材6与密封部件9a相连。由此，即使在虫进入外框8与地板基座2之间的微小的间隙的情况下，也能够防止该虫侵入无尘室R。另外，由于密封部件9a与精整片材6成为大致表面一致，因此从无尘室R的内部观察时的美观性变得良好。
另一个密封部件9b在图4所示的面8c的边缘附近设置在外框8的外壁20侧(外侧)。该密封部件9a紧贴于外框8的外壁20侧(外侧)的壁面，并且紧贴于预贴片材5的上表面。通过设置这些密封部件9a、9b，能够防止虫经由外框8与地板基座2之间的微小的间隙侵入无尘室R。
如上所述，预贴片材5介于地板基座2与精整片材6之间。另外，预贴片材5也设置在无尘室R的门7的外框8的下侧，进而延伸至包含无尘室R的建筑物10(参照图1)的外壁20的附近。在图4的例子中，预贴片材5的缘部位于外壁20的无尘室R侧的壁面20a的下端。即，设置在地板基座2与精整片材6之间的预贴片材5经由门7的外框8的下侧延伸至外壁20的无尘室R侧的壁面20a的下端。
图5是表示俯视时的预贴片材5的设置范围的说明图。
另外，图5所示的外壁20与图1所示的外壁20相同。另外，在图5中，用点划线表示具有多个无尘室的建筑物10(参照图1)的俯视下的范围。进而，在图5中，用点显示来表示预贴片材5(也参照图2)的俯视下的设置范围。
在图5所示的建筑物10中，如上所述，设置有多个无尘室(图1所示的前处理室R3、调制室R7等)。而且，遍及多个无尘室一体地设置有预贴片材5。进而，在图5的例子中，俯视时，预贴片材5延伸至外壁20的内侧(无尘室R侧：参照图2)的壁面的位置。另外，在外壁20中设置有门(未图示)的部位，例如，直至门的外框的位置为止设置有预贴片材5。
根据这样的结构，在进行无尘室设施100(参照图1)的施工时，即使在地板基座2(参照图2)上存在虫(或者虫的卵)的情况下，也能够利用预贴片材5防止虫侵入无尘室R(参照图2)。即，如图5所示，由于在由外壁20包围的范围的大致整个区域设置有预贴片材5，因此能够将存在于预贴片材5与地板基座2(参照图2)之间的微小间隙的虫封闭在该间隙中。另外，有可能侵入无尘室R的虫在施工时大多已经存在于地板基座2之上。
图7是比较例的无尘室设施的局部剖视图。
在图7的比较例中，在地板基座2上未设置预贴片材5，另外，在无尘室R的区域中，在地板基座2上设置有精整片材6。另外，在图7的比较例中，用于防止虫向无尘室R侵入的密封部件9c、9d设置在承受部件4的内侧、外侧。
在图7所示的结构中，例如，在无尘室设施的施工时，在面板部件1的外侧(外壁20侧)的地板基座2上存在虫(或者虫的卵)的情况下，存在虫通过图7的虚线箭头所示的路径侵入无尘室R的可能性。例如，虫有可能经由面板部件1与轨道部件3之间的间隙侵入无尘室R。
另外，除了上述的间隙以外，在轨道部件3与承受部件4之间也存在微小的间隙。虫经由这些间隙沿着轨道部件3的延伸方向移动，在无尘室R的周围来回移动，结果有可能侵入无尘室R。除此之外，存在于地板基座2与精整片材6之间的虫也有可能经由精整片材6的缘部与承受部4的微小的间隙而侵入无尘室R。
另外，例如，在无尘室R的设有门7(参照图4)的部位，虫在中空的框架7a的内部7b爬升，进而，虫有可能经由门7的钥匙的插入口(未图示)附近的微小的间隙侵入无尘室R。这样，在未设置预贴片材5的比较例的结构中，虫有可能通过各种路径侵入无尘室R。
如上所述，有可能侵入无尘室R的虫在施工时大多已经存在于地板基座2上。特别是，在使用已设的地板基座2来建造(或者改装)无尘室设施的情况下，在施工时大多无法完全除去地板基座2上的虫(或者虫的卵)，残留在地板基座2上的虫侵入无尘室R的可能性变高。另外，为了完全除去地板基座2上的虫，需要进行药剂散布等，但实际上大多无法充分进行药剂散布等。这是因为，在使用杀虫剂等药剂的情况下，除了药剂向产品(细胞加工品等)的混入之外，还有可能伴随对人体、环境的风险。
与此相对，根据本实施方式，在无尘室R中，预贴片材5介于地板基座2与精整片材6之间(参照图2、图4)，进而，预贴片材5经由面板部件1(或者门7的外框8)的下侧延伸至外壁20的附近(也参照图5)。由此，即使在地板基座2上存在虫的情况下，虫也被封闭在预贴片材5与地板基座2之间。即，虫向上方的移动被预贴片材5妨碍。其结果是，能够防止虫经由面板部件1(参照图2)的下侧的间隙等侵入无尘室R。
另外，在本实施方式中，如上述的专利文献1那样，不需要特别在地板下空间设置用于利用空气压排除虫的送风机(未图示)，因此能够削减无尘室设施100的设备成本。这样，根据本实施方式，能够提供抑制虫侵入无尘室R的低成本的无尘室设施100。
《变形例》
以上，通过实施方式对本发明的无尘室设施100进行了说明，但本发明并不限定于这些记载，能够进行各种变更。
例如，在实施方式中，如图2、图4所示，说明了预贴片材5延伸至外壁20的无尘室R侧的壁面20a的下端的情况，但不限于此。即，也可以是图6A～图6D那样的结构。
图6A是第一变形例的无尘室设施的包括外壁20、地板基座2以及预贴片材5A的剖视图。
另外，在图6A中，除了精整片材6(参照图2、图4)之外，还省略了面板部件1(参照图2)、轨道部件3(参照图2)、承受部件4(参照图2)等的图示。在图6A所示的第一变形例中，在预贴片材5A的缘部与外壁20的无尘室侧的壁面20a的下端之间设置有间隙M1。在这样的结构中，通过设置预贴片材5A，也能够抑制虫从地板基座2向无尘室R的侵入。另外，图6A所示的结构也包含在预贴片材5A延伸至外壁20的附近的事项中。
图6B是第二变形例的无尘室设施的包括外壁20、地板基座2以及预贴片材5B的剖视图。
在图6B所示的第二变形例中，预贴片材5B的缘部弯折成大致直角。而且，在地板基座2的上表面粘接有预贴片材5B，并且在外壁20的无尘室侧的壁面20a的下端附近粘接有预贴片材5B的缘部。即使是这样的结构，通过设置预贴片材5B，也能够抑制虫从地板基座2向无尘室R的侵入。另外，图6B所示的结构也包含在预贴片材5B延伸至外壁20的附近这样的事项中。
图6C是第三变形例的无尘室设施的包括外壁20、地板基座2以及预贴片材5C的剖视图。
在图6C所示的第三变形例中，在外壁20与地板基座2之间也设置有预贴片材5C。即使是这样的结构，通过设置预贴片材5，也能够抑制虫从地板基座2向无尘室R的侵入。另外，图6C所示的结构也包含在预贴片材5C延伸至外壁20的附近这样的事项中。
图6D是第四变形例的无尘室设施的包括外壁20、地板基座2以及预贴片材5D的剖视图。
在图6D所示的第四变形例中，外壁20构成为具备其下端部向无尘室侧(图6D的纸面右侧)突出而成的突出部20b。预贴片材5D从地板基座2的上表面以沿着突出部20b的壁面的方式弯折成预定的形状。而且，在地板基座2的上表面、突出部20b的壁面粘接有预贴片材5D。
在图6D的例子中，预贴片材5D延伸至突出部20b的上表面的中途的预定位置。即使是这样的结构，通过设置预贴片材5D，也能够抑制虫从地板基座2向无尘室R的侵入。另外，图6D所示的结构也包含在预贴片材5D延伸至外壁20的附近这样的事项中。另外，在图6D中示出了突出部20b是外壁20的一部分的情况，但也可以与外壁20分开地设置突出部20b。
另外，除了实施方式(参照图2、图4)以外，也可以适当地组合第一～第四变形例(参照图6A～图6D)。例如，也可以是，在无尘室设施100的包围建筑物10的外壁20(参照图1)的预定范围内，预贴片材5为实施方式(参照图2)的结构，在外壁20的其它范围内，为第一变形例的结构(参照图6A)。除此之外，还能够进行各种组合。
另外，在实施方式中，对无尘室设施100(参照图1)的建筑物10被外壁20包围的情况进行了说明，但不限于此。即，外壁20的一部分也可以开放。在这样的情况下，在外壁20开放的部位，例如也可以将预贴片材5设置到将外壁20的壁面20a的下端延长并连结的线的附近。
另外，在实施方式中，对在无尘室R设置单开式的门7(参照图4)的情况进行了说明，但不限于此。例如，除了双开式的门以外，也可以是拉门式的门，另外，也可以是基于人检测传感器(未图示)、门锁(未图示)的检测结果而自动地打开的门。
另外，在实施方式中，对精整片材6、预贴片材5的构成材料中含有氯乙烯树脂的情况进行了说明，但不限于此。即，只要是几乎不会被虫咬破的材料，也可以使用其它的构成材料作为精整片材6、预贴片材5。
另外，在实施方式中，对在门7(参照图4)的外框8的内侧、外侧设置密封部件9a、9b的情况进行了说明，但也可以省略这些密封部件9a、9b。
另外，在实施方式中，也可以在承受部件4(参照图2)的内侧、外侧设置密封部件(未图示)。由此，能够进一步抑制虫向无尘室R的侵入。
另外，在实施方式(参照图2、图4)中，说明了在无尘室设施100中设置预贴片材5、精整片材6的情况，但也可以追加设置其它片材。例如，也可以在预贴片材5与精整片材6之间设置其它的片材(未图示)。另外，也可以在地板基座2与预贴片材5之间设置其它的片材(未图示)。
另外，图1所示的无尘室设施100的结构是一个例子，并不限定于此，也能够将实施方式应用于各种布局的无尘室设施。
另外，在实施方式中，对无尘室设施100被用作再生医疗设施的情况进行了说明，但不限于此。即，在工业品的制造、食品工业、医药品的制造等其它各种领域中也能够应用实施方式。
另外，各实施方式是为了容易理解地说明本发明而详细记载的，并不限定于必须具备所说明的全部结构。另外，对于实施方式的结构的一部分，能够进行其它结构的追加、删除、置换。
另外，上述的机构、结构示出了认为说明上必要的结构，并不一定示出了产品上所有的机构、结构。
符号说明
1—面板部件；2—地板基座；3—轨道部件；4—承受部件；5、5A、5B、5C、5D—预贴片材(第二片材)；6—精整片材(第一片材)；7—门；7a—框架；7b—内部；7c—开口；8—外框；8a—限制部；8b—衬垫；8c—面；9a、9b—密封部件；10—建筑物；20—外壁；20a—壁面；100—无尘室设施；AL1、AL2—气闸(无尘室)；R—无尘室；R1—穿脱室(无尘室)；R2—一次更衣室(无尘室)；R3—前处理室(无尘室)；R4、R5、R8、R9、R11—前室(无尘室)；R6—二次更衣室(无尘室)；R7—调制室(无尘室)；R10—脱衣室(无尘室)。
Claims (9)
1.一种无尘室设施，其特征在于，具备：
第一片材，其设置在无尘室的地板基座的上侧，并形成所述无尘室的地板面；以及
第二片材，其介于所述地板基座与所述第一片材之间，
所述第二片材还设置在所述无尘室的侧壁即面板部件的下侧，而且延伸至包括所述无尘室的建筑物的外壁的附近。
2.一种无尘室设施，其特征在于，具备：
第一片材，其设置在无尘室的地板基座的上侧，并形成所述无尘室的地板面；以及
第二片材，其介于所述地板基座与所述第一片材之间，
所述第二片材还设置在所述无尘室的门的外框的下侧，而且延伸至包括所述无尘室的建筑物的外壁的附近。
3.根据权利要求2所述的无尘室设施，其特征在于，
所述门自身的框架的内部为中空，
在所述框架的下侧也设置有所述第二片材。
4.根据权利要求3所述的无尘室设施，其特征在于，
在所述框架的下表面设置有开口，
中空的所述框架的所述内部与所述开口连通。
5.根据权利要求2所述的无尘室设施，其特征在于，
具备密封部件，该密封部件设置在所述外框与所述第二片材接触的面的边缘附近。
6.根据权利要求5所述的无尘室设施，其特征在于，
在所述面的边缘附近，所述第一片材与设置在所述外框的所述无尘室侧的所述密封部件相连。
7.根据权利要求1或2所述的无尘室设施，其特征在于，
在所述建筑物中设置有多个所述无尘室，
遍及多个所述无尘室一体地设置有所述第二片材。
8.根据权利要求1或2所述的无尘室设施，其特征在于，
所述外壁设置为包围所述建筑物，
所述第二片材延伸至所述外壁的所述无尘室侧的壁面的下端附近。
9.根据权利要求1或2所述的无尘室设施，其特征在于，
所述第二片材的构成材料中含有氯乙烯树脂。
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