JP7073157B2 - 物品搬出入装置および物品搬出入方法 - Google Patents

Description

本発明は、物品の搬出入を行う搬出入口の構造に関し、特に、外部環境との隔離が必要な場所との物品の搬出入に適用して有効な技術に関する。

半導体製造工場や医薬品製造施設等のクリーンルームにおける物品の搬出入、原子炉建屋内部からの燃料デブリの取り出し等、外部環境との隔離が必要な場所での物品の搬出入においては、隔離状態を維持しつつ、物品を容易に通過可能な搬出入口の構造が求められている。

本技術分野の背景技術として、例えば、特許文献１のような技術がある。特許文献１には、「入り口のドアやシャッターなどの代わりに水平方向に振幅するように波状に湾曲させた可撓性シートを入り口の手前から奥に向かって配置して、そのシートの山と谷とで入り口を閉鎖し、出入りの際にはシートに前進波動を起こさせて、シートの端部が山もしくは谷になったとき出入りを行い、その山もしくは谷の前進とともに移動するようにした閉鎖部材および閉鎖構造」が開示されている。

特開平１１－１３３６６号公報

上述したように、隔離状態を維持しつつ、物品を容易に通過可能な搬出入口は、様々な産業分野において需要があり、例えば、従来の一般的なクリーンルームでは、前室にエアーシャワー装置を設け、HEPAフィルター（High-Efficiency Particulate Air filter）で清浄化された高速ジェットエアーを、人や搬入物の表面に直接当てて、付着した塵埃を除塵している。また、ドアを二重に設け、それらのドアが同時に開放しない構造とすることで外気とクリーンルームとを遮断するエアーロック機能なども備えている。

ところで、従来のエアーシャワー装置による除塵では、搬入しようとする物品の形状が複雑である場合、高速ジェットエアーが直接当たらない箇所の除塵が不十分であったり、質量が大きく運動エネルギーの高い拡散物質に対してはエアーシャワーでは十分に隔離できない可能性がある。

上記特許文献１の閉鎖構造は、可撓性シートに前進波動を起こさせるための駆動装置が必要であるなど構造が複雑で、前進波動に合せたコンベアの制御が必要であるなど物品の搬出入も容易ではない。

そこで、本発明の目的は、比較的簡単な構造で、確実に外部環境との隔離状態を維持しつつ、物品の通過が容易な物品搬出入装置を提供することにある。

また、本発明は、比較的簡便な方法で、確実に外部環境との隔離状態を維持しつつ、物品の通過が容易な物品搬出入方法を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明は、外部環境との隔離が必要な空間と前記外部環境との間において物品の搬出入を行う物品搬出入装置であって、前記空間と前記外部環境の間に設けられた隔壁と、前記隔壁に設けられ、前記空間と前記外部環境とを連通する貫通孔と、前記貫通孔に設けられ、前記空間と前記外部環境とを隔離する変形自在な伸縮部材と、を備え、前記伸縮部材は、動摩擦係数が０．０１以下である材料からなる低摩擦伸縮部材であることを特徴とする。

また、本発明は、外部環境との隔離が必要な空間と前記外部環境との間において物品の搬出入を行う物品搬出入方法であって、前記物品の搬出入方向に延在して設けられた前記外部環境と前記空間とを隔離するハイドロゲルの切り込みに沿って、前記物品を搬出入することを特徴とする。

本発明によれば、比較的簡単な構造で、確実に外部環境との隔離状態を維持しつつ、物品の通過が容易な物品搬出入装置を実現できる。

また、本発明によれば、比較的簡便な方法で、確実に外部環境との隔離状態を維持しつつ、物品の通過が容易な物品搬出入方法を実現できる。

上記した以外の課題、構成および効果は、以下の実施形態の説明によって明らかにされる。

本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の正面図である。 本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の正面図である。 図１ＡにおけるＡ－Ａ’断面図である。 図１ＣにおけるＢ－Ｂ’断面図である。 図１ＤにおけるＣ－Ｃ’断面図である。 本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の搬出動作を示す図である。 本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の搬出動作を示す図である。 本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の搬出動作を示す図である。 本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の正面図である。 図３ＡにおけるＤ－Ｄ’断面図である。 本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の正面図である。 図４ＡにおけるＥ－Ｅ’断面図である。 本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の断面図である。 本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の断面図である。 本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の断面図である。 本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の断面図である。 本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の断面図である。 本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の正面図である。 図６ＡにおけるＦ－Ｆ’断面図である。 本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の正面図である。 図７ＡにおけるＧ－Ｇ’断面図である。 本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置のゲルを概念的に示す図である。 本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の正面図である。 図９ＡにおけるＨ－Ｈ’断面図である。 本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の正面図である。 図１０ＡにおけるＩ－Ｉ’断面図である。 本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の正面図である。 図１１ＡにおけるＪ－Ｊ’断面図である。

以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。なお、各図面において、同一の構成については同一の符号を付し、重複する部分についてはその詳細な説明は省略する。

図１Ａから図２Ｃを参照して、実施例１の物品搬出入装置と物品搬出入方法について説明する。図１Ａおよび図１Ｂは扉（内扉６）に搬入・搬出物用の開口部８を設け、その内部（内側）にゲル９を設置する本実施例の物品搬出入装置１の正面図である。図１Ａは外扉５が閉じた状態を示し、図１Ｂは外扉５が開いた状態を示している。なお、本実施例では外扉５をスライド式扉の例で図示しているが、必ずしもこれに限定されるものではなく、例えば搬入・搬出方向に開閉する開き扉であってもよい。

図１Ｃは図１ＡのＡ－Ａ’断面図であり、物品搬出入装置１の断面構造を示している。図１Ｄは図１ＣのＢ－Ｂ’断面図であり、開口部８を拡大し内扉６を省略して示している。図１Ｅは図１ＤのＣ－Ｃ’断面図であり、ゲル９の固定方法を示している。また、図２Ａから図２Ｃは物品搬出入装置１による搬出物１３の搬出動作を示している。

なお、本実施例では汚染環境下から外部環境へ物品（搬出物１３）を搬出する例で説明するが、逆の手順により外部環境から汚染環境下への物品（搬入物１３）の搬入も可能である。

また、以下の各実施例においては、環境の清浄度を基準に「汚染環境」、「外部環境」と呼ぶこととする。従って、例えば半導体製造工場のクリーンルームのような場合には、各図における「汚染環境」はクリーンルーム外の環境に該当し、「外部環境」はクリーンルーム内の環境に該当する。

図１Ｃに示すように、本実施例の物品搬出入装置１は汚染環境側から見て、汚染環境下から作業セル３へ搬出物１３を運ぶ台車Ａ１０と、作業セル３（作業セル壁４）の外側に設けられたスライド式の外扉５と、作業セル３（作業セル壁４）の内側に設けられ、ゲル９が設置された開口部８をもつ内扉６と、作業セル３内部において搬出物１３を運ぶセル内輸送用の台車Ｂ１１と、外部環境において搬出物１３を運ぶセル外輸送用の台車Ｃ１２とで構成されている。

作業セル３は汚染環境と外部環境の間に設けられた中間室である。通常時は、図１Ａに示すように、作業セル３（作業セル壁４）に設けられた作業セル壁面開口部７を覆うように外扉５が閉められた状態で汚染環境と外部環境が隔離されている。一方、汚染環境から外部環境へ搬出物１３を搬出する際は、図１Ｂに示すように、床２上をスライドさせて外扉５を開け、内扉６は閉めた状態で、内扉６の開口部８に設置されたゲル９を介して物品（搬出物１３）を搬出する。外扉５と内扉６は互いに独立して開閉可能に構成されている。

ゲル９は、図１Ｄに示すように、内扉６に設けられた開口部８の内部（内側）に配置されており、ストッパＡ１５およびストッパＢ１６により開口部８の内部（内側）に固定されている。また、ゲル９には、ゲル９を介して物品（搬出物／搬入物１３）の搬出入が容易になるように、切り込み１４が設けられている。

図１Ｅに示すように、内扉６の開口部８には、内扉６に固定されたストッパＡ１５と、固定手段であるボルト１７で内扉６に固定された取り外し式のストッパＢ１６により、中心に切り込み１４を入れたゲル９が固定されており、ゲル９によって汚染環境と作業セル３（または外部環境）との隔離状態が維持されている。物品搬出時には搬出物１３をゲル９に押し込むことにより、ゲル９が搬出物１３と密着した状態で隔離状態を保ちつつ搬出する。

ゲル９の交換は、外扉５を閉めて汚染環境と作業セル３を隔離し、ストッパＢ１６を取り外してゲル９を引き抜き、新しいゲルと交換した後、ストッパＢ１６を再びボルト１７により内扉６に固定することによって実施する。なお、外扉５を設置せず、ストッパＡ１５側にシャッター等の隔離機構を設けておき、それを閉めることでゲルの交換を実施しても良い。

図２Ａから図２Ｃに本実施例により物品を搬出する様子を示す。物品の搬出は、先ず、図２Ａに示すように、台車Ａ１０で搬出物１３をゲル９が設置された開口部８の近傍まで運んだ後、作業セル３または作業セル３の近傍に設置されたマニピュレータ（駆動機構）や専用装置（図示せず）により搬出物１３をゲル９に押し込み、ゲル９の切り込み１４を通過させた後、作業セル３内の台車Ｂ１１に着座させる。

次に、図２Ｂに示すように、反対側（外部環境側）の同じくゲル９が設置された開口部８の近傍まで運び、同様にマニピュレータ（駆動機構）や専用装置（図示せず）で搬出物１３をゲル９に押し込み、ゲル９の切り込み１４を通過させた後、作業セル外の台車Ｃ１２に着座させる。その後、図２Ｃに示すように、作業セル外の台車Ｃ１２により搬出物１３を搬出（移動）させることによって実施する。

物品（搬出物１３）の通過前はゲル９の切り込み１４は互いに密着しており、物品（搬出物１３）の通過中はゲル９が物品（搬出物１３）と密着し、物品（搬出物１３）の通過後はゲル９が元の形状に戻るため再度密着する。これにより、隔離状態を維持したまま、物品（搬出物１３）を搬出することができる。また、作業セル３内では搬出物１３の汚染除去や汚染状況の確認等の作業を実施することが可能である。

なお、ゲル９が設置された開口部８よりも大きな物品（搬出物１３）を搬出する場合は、汚染環境側の内扉６を開けて搬出物１３を作業セル３内に入れ、作業セル３内の雰囲気を清浄な空気と置換しつつ搬出物１３の汚染を除去した後に搬出側（外部環境側）の内扉６を開けて搬出することにより隔離状態を維持することもできる。

また、より安全性を高める場合には、換気空調設備により汚染環境側を負圧環境にして作業セル３側に汚染が拡大しないようにする対策との組み合わせも考えられる。

また、ゲル９には、含水系の高分子材料からなる、いわゆるハイドロゲルを用いるのが好適である。汚染環境と外部環境の隔離性、汚染や異物等の除去性能を比較的長期間に渡って維持することができるためである。

また、汚染環境と外部環境の隔離性、汚染や異物等の除去性能を担保できれば、ゲル（ハイドロゲル）以外の変形自在な伸縮部材を用いることも可能である。この場合、物品（搬出物１３）の搬出がスムーズになるように、動摩擦係数が０．０１以下の低摩擦伸縮部材を用いるのが望ましい。

以上説明したように、本実施例によれば、比較的簡単な構造で、外部環境との隔離状態を確実に維持しながら、搬出物１３を搬出することができる。また、搬出物１３を搬出する際に、搬出物１３に付着したダストや汚染をゲル９に吸着させることで効果的に除去することができる。

図３Ａから図５Ｅを参照して、実施例２の物品搬出入装置と物品搬出入方法について説明する。本実施例は、汚染環境との隔壁（建屋壁）に設けた貫通部（貫通孔）に対し、貫通部の形状に合せたフレームを設け、なおかつ、内部に切込みを入れたゲルを充填した物品搬出入装置を設置し、ゲルによって汚染環境との隔離を維持した状態で物品を搬出入する例である。本実施例では円形の貫通部に対して物品を搬入する例で説明する。但し、貫通部の断面形状はこれに限定されるものではなく、矩形や特定の物品の断面形状に合わせた形状などであってもよい。

図３Ａはゲル設置前の物品搬出入装置の正面図である。図３Ｂは図３ＡのＤ－Ｄ’断面図であり、物品搬出入装置の断面構造を示している。本実施例の物品搬出入装置は、図３Ａおよび図３Ｂに示すように、隔壁（建屋壁）に設けた貫通部を貫通して設置されるフレーム１８に予めストッパＡ１５が取り付けられている。

図４Ａは物品搬出入装置に、切り込み１４を入れたゲル９を設置した場合の正面図である。図４Ｂは図４ＡのＥ－Ｅ’断面図である。図４Ａおよび図４Ｂに示すように、ゲル９はストッパＡ１５およびストッパＢ１６により物品搬出入装置のフレーム１８内に保持、固定される。

隔壁（建屋壁）に設けた貫通部への物品搬出入装置の設置から、物品（ここではケーブル付のクローラ型ロボット等）の搬入までの様子を図５Ａから図５Ｅに示す。

先ず、図５Ａに示すように、建屋壁（壁）２０に設けた汚染環境との貫通部（貫通孔）２１を塞いだ状態または貫通部２１付近をビニールハウスのような簡易的（仮設的）なもので隔離した状態（いずれも図示せず)で、貫通部２１にフレーム１８を設置し、汚染環境と反対側に仮設の簡易セル１９を設置する。フレーム１８には予めストッパＡ１５が取り付けられている。

次に、図５Ｂに示すように、簡易セル１９からケーブル２２が接続されたクローラ型ロボット２３を汚染環境内に搬入する。クローラ型ロボット２３は、例えば、災害現場や人が立ち入ることが困難な空間において、外部環境からの遠隔操作により作業や情報収集を行うＣＷＤ（Crawler Wheel Drive）方式のロボット（自動駆動装置）である。

次に、図５Ｃに示すように、クローラ型ロボット２３を汚染環境内へ搬入後、中心にケーブル２２が通っている状態のゲル９を簡易セル１９からストッパＡ１５まで押し込み、フレーム１８内へ配置する。

次に、図５Ｄに示すように、ストッパＢ１６でゲル９を物品搬出入装置のフレーム１８に固定する。

以上の作業により、汚染環境との隔離状態はゲル９によって維持されるため、図５Ｅに示すように、簡易セル１９を取り外すことが可能となる。

汚染環境下でクローラ型ロボット２３が動くとケーブル２２も追従して引っ張られるが、ゲル９に低摩擦のゲル材料を用いることによりケーブル２２の追従性を妨げることなく、隔離状態を維持することが可能となる。また、簡易セル１９を取り外せるため、クローラ型ロボット２３による作業を行う際に簡易セル１９を設置していたスペースを有効活用することも可能となる。

なお、ゲル９の交換は再度簡易セル１９を設置し、ストッパＢ１６を取り外してゲル９を引き抜き、新しいゲルを設置することによって実施できる。

実施例１および実施例２では、物品の搬出入経路となる開口部８や貫通部２１内に中心に切り込み１４を入れたゲル９を設置する例を取り上げたが、開口部８または貫通部２１内に汚染環境との隔離を目的として設置するゲル９には様々な形状や組合せが考えられる。本実施例では、図６Ａから図１１Ｂを参照して、汚染環境との隔離のために開口部８または貫通部２１内に設置するゲル９のバリエーション（変形例）について説明する。

＜変形例１＞
図６Ａおよび図６Ｂは、中心に切り込み１４を入れたゲル９と円形スペーサー２４を交互に設置した物品搬出入装置の正面図および断面図である。図６Ｂは図６ＡのＦ－Ｆ’断面を示している。図６Ａ，図６Ｂに示すように、切り込み１４付きのゲル９を開口部８や貫通部２１内に複数に分割して設け、ゲル９同士の間に円形スペーサー２４を挟むことにより開口部８または貫通部２１内に空間（隙間）が形成されるため、物品の搬出入方向においてゲル９が変形しやすくなり、物品の搬出入性を向上させることが可能である。なお、円形スペーサー２４はゲル９と同様にゲル材料で製作しても良いが、一般的なＯリング等でも良い。

＜変形例２＞
図７Ａおよび図７Ｂは、図６Ａおよび図６Ｂにおいて１枚のゲル９の厚みを薄くし、複数重ねて（ここでは６枚を積層して）設置することにより、より汚染環境との隔離性を向上させた物品搬出入装置の正面図および断面図である。図７Ｂは図７ＡのＧ－Ｇ’断面を示している。

１枚のゲル９の厚みを薄くして、複数重ねて設置することで、物品搬出入時の切り込み１４部の隔離性（気密性）および汚染除去能力を向上することができる。

また、図８に示すように、ゲル９の切り込み１４の位置（角度）を変えて組み合せて設置することで、隔離性（気密性）および汚染除去能力をさらに向上させることも可能である。

＜変形例３＞
図９Ａおよび図９Ｂは、床面に低摩擦のゲルマット２６を敷き、上面からカーテン状のゲル２５を垂らすことで汚染環境と隔離する物品搬出入装置の正面図および断面図である。図９Ｂは図９ＡのＨ－Ｈ’断面を示している。本変形例では、図９Ｂに示すように、開口部８や貫通部２１内において、物品の搬出入方向に沿って延在して設けられた低摩擦ゲルマット２６と、物品の搬出入方向に複数に分割して設けられ、低摩擦ゲルマット２６と対向する位置に固定されたゲルカーテン２５と、ゲルカーテン同士の間に開口部８や貫通部２１内に隙間を形成する門形スペーサー２７を備えている。

ゲルカーテン２５同士の間に門型スペーサー２７を挟むことにより開口部８または貫通部２１内に空間（隙間）が形成されるため、物品の搬出入方向においてゲルカーテン２５が変形しやすくなり、物品の搬出入性を向上させることが可能である。

また、ゲルカーテン２５を複数設置することで隔離性（気密性）を向上させると共に、低摩擦ゲルマット２６を床面に敷くことで物品が滑りやすくなり、搬出入性を向上させることが可能である。

＜変形例４＞
乾燥に弱いゲルを用いる場合や、薬品が付着する可能性がある場所または放射線の線量が高い場所でゲルを用いる場合等、厳しい環境でゲルのみを用いた場合、ゲルが直ぐに劣化し、隔離性（気密性）や汚染除去能力が低下し、頻繁にゲルの交換作業が必要になるおそれがある。

そのような環境下では、図１０Ａおよび図１０Ｂに示すように、外部と接する部分はゲル９に替えてゴム２８を用い、開口部８または貫通部２１の内部にはゲル９を用いることにより、薬品や放射線に対する物品搬出入装置の耐久性を高めることが可能となる。例えば、放射線の線量が高い環境で用いる場合は、外部と接する部分に耐放射線性の高いＥＰＤＭ（エチレンプロピレンジエン）ゴムを用いることが考えられる。

＜変形例５＞
上記の変形例１から５のように、ゲルとスペーサーの組み合わせでは、物品の通過後にゲルが元の位置（形状）に戻らず、十分な隔離性能を維持できないおそれがある。その場合、図１１Ａおよび図１１Ｂに示すように、ゲル９とゲル９の間に、ゲル９を強制的に元の位置に戻すための板バネ２９を設置することにより隔離機能を向上させることが可能となる。

なお、以上の各実施例において説明した物品搬出入装置および物品搬出入方法は、半導体製造工場や医薬品製造施設等のクリーンルームにおける物品の搬出入、原子炉建屋内部からの燃料デブリの取り出し等の他、食品製造加工施設や石油化学工場、防虫用の隔離室など、外部環境との隔離が必要な一般産業の分野においても有効であるのは言うまでもない。

また、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。

１…物品搬出入装置、２…床、３…作業セル（中間室）、４…作業セル壁、５…外扉（スライド式扉）、６…内扉、７…作業セル壁面開口部、８…開口部、９…ゲル、１０…台車Ａ、１１…台車Ｂ、１２…台車Ｃ、１３…搬出物（搬入物）、１４…切り込み、１５…ストッパＡ、１６…ストッパＢ、１７…ボルト、１８…フレーム、１９…簡易セル（仮設セル）、２０…建屋壁（壁）、２１…貫通部（貫通孔）、２２…ケーブル、２３…クローラ型ロボット、２４…円形スペーサー、２５…ゲルカーテン、２６…低摩擦ゲルマット、２７…門型スペーサー、２８…ゴム、２９…板バネ。

Claims (15)

1. 外部環境との隔離が必要な空間と前記外部環境との間において物品の搬出入を行う物品搬出入装置であって、
   前記空間と前記外部環境の間に設けられた隔壁と、
   前記隔壁に設けられ、前記空間と前記外部環境とを連通する貫通孔と、
   前記貫通孔に設けられ、前記空間と前記外部環境とを隔離する変形自在な伸縮部材と、
   を備え、
   前記伸縮部材は、動摩擦係数が０．０１以下である材料からなる低摩擦伸縮部材であることを特徴とする物品搬出入装置。
2. 請求項１に記載の物品搬出入装置であって、
   前記低摩擦伸縮部材は、ハイドロゲル材料からなることを特徴とする物品搬出入装置。
3. 請求項１に記載の物品搬出入装置であって、
   前記空間と前記外部環境の間に作業セルを備え、
   前記隔壁は、前記空間側の作業セル壁および前記外部環境側の作業セル壁にそれぞれ設置された開閉可能な扉であることを特徴とする物品搬出入装置。
4. 請求項３に記載の物品搬出入装置であって、
   前記隔壁は、前記作業セル内に設置された内扉であることを特徴とする物品搬出入装置。
5. 請求項４に記載の物品搬出入装置であって、
   前記空間側の作業セル壁および前記外部環境側の作業セル壁の各々に、前記内扉とは独立して開閉可能な外扉を備えることを特徴とする物品搬出入装置。
6. 請求項１に記載の物品搬出入装置であって、
   前記貫通孔の内側に前記伸縮部材を保持するフレームを備え、
   前記伸縮部材は、前記フレームの前記空間側および前記外部環境側にそれぞれ設けられたストッパにより前記フレーム内に固定されることを特徴とする物品搬出入装置。
7. 請求項６に記載の物品搬出入装置であって、
   前記空間側および前記外部環境側のストッパのうち、少なくともいずれか一方はボルトにより前記隔壁に着脱可能に設けられることを特徴とする物品搬出入装置。
8. 請求項６に記載の物品搬出入装置であって、
   前記伸縮部材に設けられた切り込みを貫通して前記空間と前記外部環境の間を連通するケーブルと、
   前記空間内に設置され、前記ケーブルを介して前記外部環境から遠隔操作が可能な自動駆動装置と、
   を備えることを特徴とする物品搬出入装置。
9. 請求項１に記載の物品搬出入装置であって、
   前記伸縮部材は、前記貫通孔内において、前記物品の搬出入方向に複数に分割して設けられ、
   前記複数の伸縮部材同士の間に、前記貫通孔内に隙間を形成する円形スペーサーを備えることを特徴とする物品搬出入装置。
10. 請求項９に記載の物品搬出入装置であって、
    前記複数の伸縮部材の各々は、前記物品の搬出入方向において、複数の薄い伸縮部材が積層されて構成されることを特徴とする物品搬出入装置。
11. 請求項２に記載の物品搬出入装置であって、
    前記貫通孔内において、前記物品の搬出入方向に沿って延在して設けられた低摩擦ハイドロゲルマットと、
    前記貫通孔内において、前記物品の搬出入方向に複数に分割して設けられ、前記低摩擦ハイドロゲルマットと対向する位置に固定されたハイドロゲルカーテンと、
    前記複数のハイドロゲルカーテン同士の間に、前記貫通孔内に隙間を形成する門形スペーサーと、
    を備えることを特徴とする物品搬出入装置。
12. 請求項１０に記載の物品搬出入装置であって、
    前記複数の伸縮部材のうち、少なくとも前記空間側に露出する伸縮部材はゴム材で形成され、
    他の伸縮部材は、ハイドロゲルで形成されることを特徴とする物品搬出入装置。
13. 請求項１０に記載の物品搬出入装置であって、
    前記複数の薄い伸縮部材同士の間に板バネが設けられることを特徴とする物品搬出入装置。
14. 請求項１０に記載の物品搬出入装置であって、
    前記複数の薄い伸縮部材の各々には、互いに角度を変えた切り込みが形成されることを特徴とする物品搬出入装置。
15. 外部環境との隔離が必要な空間と前記外部環境との間において物品の搬出入を行う物品搬出入方法であって、
    前記物品の搬出入方向に延在して設けられた前記外部環境と前記空間とを隔離するハイドロゲルの切り込みに沿って、前記物品を搬出入することを特徴とする物品搬出入方法。

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