JP2504147Y2 - 間仕切り装置 - Google Patents
間仕切り装置Info
- Publication number
- JP2504147Y2 JP2504147Y2 JP7456292U JP7456292U JP2504147Y2 JP 2504147 Y2 JP2504147 Y2 JP 2504147Y2 JP 7456292 U JP7456292 U JP 7456292U JP 7456292 U JP7456292 U JP 7456292U JP 2504147 Y2 JP2504147 Y2 JP 2504147Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- partition
- clean room
- panel
- partition panel
- partitioning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、半導体工場、食品工
場、薬品工場などの工業用クリーンルームの間仕切りに
使用されるミニマムリーク型の間仕切り装置に係り、特
に、間仕切りパネルがルーフトラスなどの荷重変形に応
じて伸縮できる間仕切り装置に関する。
場、薬品工場などの工業用クリーンルームの間仕切りに
使用されるミニマムリーク型の間仕切り装置に係り、特
に、間仕切りパネルがルーフトラスなどの荷重変形に応
じて伸縮できる間仕切り装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体工場などの工業用クリーンルーム
を構成する建物は、図２に示すように、鉄骨構造の柱
１、梁２およびルーフトラス３等を組立てることにより
構成されている。
を構成する建物は、図２に示すように、鉄骨構造の柱
１、梁２およびルーフトラス３等を組立てることにより
構成されている。
【０００３】建物の各階は、天井（ＨＥＰＡ天井）上の
ダクトスペース（圧力チャンバ）４、床（アリセス床）
下のリターンプレナムエリア５、およびこのダクトスペ
ース４とリターンプレナムエリア５間に形成される清浄
作業エリア６とに区画されている。
ダクトスペース（圧力チャンバ）４、床（アリセス床）
下のリターンプレナムエリア５、およびこのダクトスペ
ース４とリターンプレナムエリア５間に形成される清浄
作業エリア６とに区画されている。
【０００４】そして、空調設備（図示せず）からダクト
スペース４の天井面に取り付けたＨＥＰＡ（High Effic
iency Particulate Air ）フィルタ７を通して作業エリ
ア６に清浄空気を供給するとともに、作業エリア６に供
給された空気は格子状床面８を通してリターンプレナム
エリア５に流れ込み、再び空調設備に還流することによ
り、作業エリア６内を清浄状態に維持するようにしてい
る。
スペース４の天井面に取り付けたＨＥＰＡ（High Effic
iency Particulate Air ）フィルタ７を通して作業エリ
ア６に清浄空気を供給するとともに、作業エリア６に供
給された空気は格子状床面８を通してリターンプレナム
エリア５に流れ込み、再び空調設備に還流することによ
り、作業エリア６内を清浄状態に維持するようにしてい
る。
【０００５】また、作業エリア６内は、間仕切り９によ
って半導体製造に供されるクリーンルーム１０およびメ
ンテナンスエリアまたはバッファゾーン１１などに区画
される。
って半導体製造に供されるクリーンルーム１０およびメ
ンテナンスエリアまたはバッファゾーン１１などに区画
される。
【０００６】
【考案が解決しようとする課題】ところで、作業エリア
６内を間仕切り９により区画する場合、この間仕切り９
は、格子状床面８とダクトスペース４の天井面１２間に
配設され、天井面１２は吊り部材などによりルーフトラ
ス３に結合されている。
６内を間仕切り９により区画する場合、この間仕切り９
は、格子状床面８とダクトスペース４の天井面１２間に
配設され、天井面１２は吊り部材などによりルーフトラ
ス３に結合されている。
【０００７】この場合、ルーフトラス３または梁を支え
る柱のスパンが８〜１０ｍ程度のときは、風圧あるいは
積雪によるルーフトラス３あるいは梁の撓み量は小さい
ため、間仕切り９が破損されるような問題が生じない
が、ルーフトラス３または梁を支える柱のスパンが１０
ｍ以上になると、ルーフトラス３または梁が風圧あるい
は積雪による荷重を受けたときの撓み量は±数１０mmと
大きくなり、これによる撓み荷重が間仕切り９に作用す
ると、間仕切り９が破損したりする問題があるほか、こ
の破損部分から空気がリークしてクリーンルーム内の清
浄度を低下させ、半導体製造などに悪影響を及ぼすとい
う問題があった。
る柱のスパンが８〜１０ｍ程度のときは、風圧あるいは
積雪によるルーフトラス３あるいは梁の撓み量は小さい
ため、間仕切り９が破損されるような問題が生じない
が、ルーフトラス３または梁を支える柱のスパンが１０
ｍ以上になると、ルーフトラス３または梁が風圧あるい
は積雪による荷重を受けたときの撓み量は±数１０mmと
大きくなり、これによる撓み荷重が間仕切り９に作用す
ると、間仕切り９が破損したりする問題があるほか、こ
の破損部分から空気がリークしてクリーンルーム内の清
浄度を低下させ、半導体製造などに悪影響を及ぼすとい
う問題があった。
【０００８】本考案は、上述のような問題を解決するも
のであり、風圧、積雪荷重による鉄骨構造梁あるいはル
ーフトラスの撓みを用意に吸収できるとともに、エアク
リーク量の少ない間仕切り装置を提供することを目的と
する。
のであり、風圧、積雪荷重による鉄骨構造梁あるいはル
ーフトラスの撓みを用意に吸収できるとともに、エアク
リーク量の少ない間仕切り装置を提供することを目的と
する。
【０００９】本考案は、上述のような問題を解決するも
のであり、風圧、積雪荷重による鉄骨構造梁あるいはル
ーフトラスの撓みを用意に吸収できるとともに間仕切り
パネルの上下動時における発塵の影響をなくした間仕切
り装置を提供することを目的とする。
のであり、風圧、積雪荷重による鉄骨構造梁あるいはル
ーフトラスの撓みを用意に吸収できるとともに間仕切り
パネルの上下動時における発塵の影響をなくした間仕切
り装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本考案は、エアフィルタを有する天井面と格子状床面
とにより構成されるクリーンルーム内を他のエリアと区
画する間仕切り装置において、前記クリーンルーム内を
他のエリアと区画する間仕切りパネルの上端を前記天井
面の外側に配設される側面パネルの下端に固定し、前記
間仕切りパネルの下端部を前記格子床面に固定した支持
用型枠内に相対擢動可能に嵌合し、かつ前記天井面のエ
アフィルタ取付枠と前記側面パネルとの接触面間にシー
ル材を介在したものである。
に本考案は、エアフィルタを有する天井面と格子状床面
とにより構成されるクリーンルーム内を他のエリアと区
画する間仕切り装置において、前記クリーンルーム内を
他のエリアと区画する間仕切りパネルの上端を前記天井
面の外側に配設される側面パネルの下端に固定し、前記
間仕切りパネルの下端部を前記格子床面に固定した支持
用型枠内に相対擢動可能に嵌合し、かつ前記天井面のエ
アフィルタ取付枠と前記側面パネルとの接触面間にシー
ル材を介在したものである。
【００１１】
【作用】クリーンルームを構築する鉄骨構造の梁あるい
はルーフトラスが風圧または積雪荷重で撓むと、側面パ
ネルを含む間仕切りパネルは支持用型材の部分で伸縮す
る。よって梁あるいはルーフトラスの撓みを吸収でき
る。
はルーフトラスが風圧または積雪荷重で撓むと、側面パ
ネルを含む間仕切りパネルは支持用型材の部分で伸縮す
る。よって梁あるいはルーフトラスの撓みを吸収でき
る。
【００１２】また、間仕切りパネルの伸縮部分は格子状
床面側であるため、間仕切りパネルの上下動時に支持用
型材との隙間を通して流出するエアの流れなどで発塵し
てもクリーンルームに悪影響を及ぼすことがない。
床面側であるため、間仕切りパネルの上下動時に支持用
型材との隙間を通して流出するエアの流れなどで発塵し
てもクリーンルームに悪影響を及ぼすことがない。
【００１３】
【実施例】以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は、工業用クリーンルームの間仕切り装置の
一実施例を示す要部の断面図である。
する。図１は、工業用クリーンルームの間仕切り装置の
一実施例を示す要部の断面図である。
【００１４】図１において、２０は、図２に示す場合と
同様にクリーンルーム２１とダクトスペース（圧力チャ
ンバ）２２間を区画する天井面に配置したフィルタ取付
枠である。
同様にクリーンルーム２１とダクトスペース（圧力チャ
ンバ）２２間を区画する天井面に配置したフィルタ取付
枠である。
【００１５】このフィルタ取付枠２０は結合金具２３に
より吊りロッド２４の下端に結合され、吊りロッド２４
の上端は鉄骨構造の梁またはルーフトラス（図示せず）
に結合される。
より吊りロッド２４の下端に結合され、吊りロッド２４
の上端は鉄骨構造の梁またはルーフトラス（図示せず）
に結合される。
【００１６】２５は、クリーンルーム２１の天井面に配
置されたＨＥＰＡフィルタである。このＨＥＰＡフィル
タ２５を支持するフィルタ枠２６はフィルタ取付枠２０
内に係合され、その係合部分はフィルタ取付枠２０内に
充填したシール材２７によってシールされている。
置されたＨＥＰＡフィルタである。このＨＥＰＡフィル
タ２５を支持するフィルタ枠２６はフィルタ取付枠２０
内に係合され、その係合部分はフィルタ取付枠２０内に
充填したシール材２７によってシールされている。
【００１７】また、２８は、フィルタ取付枠２０に近接
してダクトスペース（圧力チャンバ）２２側に配置した
チャンバ側面パネルである。このチャンバ側面パネル２
８の上端は、図２に示す場合と同様にダクトスペース２
２の天井面（図示せず）に結合されている。
してダクトスペース（圧力チャンバ）２２側に配置した
チャンバ側面パネルである。このチャンバ側面パネル２
８の上端は、図２に示す場合と同様にダクトスペース２
２の天井面（図示せず）に結合されている。
【００１８】さらに、チャンバ側面パネル２８の下端に
は、チャネル状のレベル調整型材２９がタッピングねじ
３０により固定されている。また、チャンバ側面パネル
２８の下端部側面とこれに対向するフィルタ取付枠２０
との接触面間には、コーキングしたシリコンシーラント
などのシール材３１が介在され、これによって両接触面
間をシールしている。
は、チャネル状のレベル調整型材２９がタッピングねじ
３０により固定されている。また、チャンバ側面パネル
２８の下端部側面とこれに対向するフィルタ取付枠２０
との接触面間には、コーキングしたシリコンシーラント
などのシール材３１が介在され、これによって両接触面
間をシールしている。
【００１９】図１中、３２はクリーンルーム２１と清浄
度の異なる他のクリーンルーム、例えばメンテナンスエ
リアまたはバッファゾーン３３間を区画する間仕切りパ
ネルである。
度の異なる他のクリーンルーム、例えばメンテナンスエ
リアまたはバッファゾーン３３間を区画する間仕切りパ
ネルである。
【００２０】この間仕切りパネル３２の上端は、チャン
バ側面パネル２８の下端にタッピングねじ３０によりレ
ベル調節型材２９と一体に取り付けたパネル結合用型材
３４にタッピングねじ３５により固定されている。
バ側面パネル２８の下端にタッピングねじ３０によりレ
ベル調節型材２９と一体に取り付けたパネル結合用型材
３４にタッピングねじ３５により固定されている。
【００２１】間仕切りパネル３２の下端部は、格子状床
面３６の胴縁３７上にＳＵＳ材からなる介在物３８を介
してタッピングねじ３９により固定したチャネル状の支
持用型材４０内に上下動可能に嵌合されている。
面３６の胴縁３７上にＳＵＳ材からなる介在物３８を介
してタッピングねじ３９により固定したチャネル状の支
持用型材４０内に上下動可能に嵌合されている。
【００２２】また、格子状床面３６と介在物３８との突
き合せ面間にはネオプレンゴムなどのシール材４１が介
在されている。４２はメンテナンスエリアまたはバッフ
ァゾーン３３の天井に配設した天井パネルである。
き合せ面間にはネオプレンゴムなどのシール材４１が介
在されている。４２はメンテナンスエリアまたはバッフ
ァゾーン３３の天井に配設した天井パネルである。
【００２３】この天井パネル４２は側面パネル２８の側
面に取付金具４３およびタッピングねじ４４により取り
付けられている。上述のような本実施例の間仕切り装置
においては、間仕切りパネル３２の下端部を支持用型材
４０により伸縮可能に支持されているから、鉄骨構造の
梁あるいはルーフトラスが風圧または積雪荷重で撓むこ
とにより、側面パネル２８を含む間仕切りパネル３２が
上下動しても、その上下運動、すなわち梁あるいはルー
フトラスの撓みを支持用型材４０により容易に吸収する
ことができる。その結果、側面パネル２８および間仕切
りパネル３２が破損されるのを未然に防止できる。
面に取付金具４３およびタッピングねじ４４により取り
付けられている。上述のような本実施例の間仕切り装置
においては、間仕切りパネル３２の下端部を支持用型材
４０により伸縮可能に支持されているから、鉄骨構造の
梁あるいはルーフトラスが風圧または積雪荷重で撓むこ
とにより、側面パネル２８を含む間仕切りパネル３２が
上下動しても、その上下運動、すなわち梁あるいはルー
フトラスの撓みを支持用型材４０により容易に吸収する
ことができる。その結果、側面パネル２８および間仕切
りパネル３２が破損されるのを未然に防止できる。
【００２４】また、間仕切りパネル３２の伸縮部分は格
子状床面３６側にあるため、間仕切りパネル３２の上下
動時に支持用型材４０との隙間を通してクリーンルーム
２１の高圧エアがバッファゾーン３３側へ流出すること
で発塵してもクリーンルーム２１に悪影響を及ぼすこと
がない。
子状床面３６側にあるため、間仕切りパネル３２の上下
動時に支持用型材４０との隙間を通してクリーンルーム
２１の高圧エアがバッファゾーン３３側へ流出すること
で発塵してもクリーンルーム２１に悪影響を及ぼすこと
がない。
【００２５】さらにまた、側面パネル２８とフィルタ取
付枠２０との接触面間はシール材３１によりシールされ
ているから、クリーンルーム２１からダクトスペース２
２またはその逆方向へのエア流出を防止できるほか、特
別構造の間仕切りパネルが不要になり、標準規格の間仕
切りパネルを利用できて、間仕切りの低コスト化が可能
になる。
付枠２０との接触面間はシール材３１によりシールされ
ているから、クリーンルーム２１からダクトスペース２
２またはその逆方向へのエア流出を防止できるほか、特
別構造の間仕切りパネルが不要になり、標準規格の間仕
切りパネルを利用できて、間仕切りの低コスト化が可能
になる。
【００２６】なお、本考案の間仕切り装置は、上記実施
例に示す構成のものに限らず、請求項に記載した範囲を
逸脱しない限り、種々の変形が可能である。
例に示す構成のものに限らず、請求項に記載した範囲を
逸脱しない限り、種々の変形が可能である。
【００２７】
【考案の効果】以上説明したように本考案によれば、ク
リーンルームの間仕切りパネルの上端を天井面の外側に
配設される側面パネルの下端に連結し、かつ間仕切りパ
ネルの下端部を格子状床面に固定した支持用型材に相対
擢動可能に嵌合したので、クリーンルームを構築する鉄
骨構造梁またはルーフトラスに風圧あるいは積雪荷重で
大きな撓みが生じても、この撓みを容易にかつ確実に吸
収することができる。
リーンルームの間仕切りパネルの上端を天井面の外側に
配設される側面パネルの下端に連結し、かつ間仕切りパ
ネルの下端部を格子状床面に固定した支持用型材に相対
擢動可能に嵌合したので、クリーンルームを構築する鉄
骨構造梁またはルーフトラスに風圧あるいは積雪荷重で
大きな撓みが生じても、この撓みを容易にかつ確実に吸
収することができる。
【００２８】また、間仕切りパネルの伸縮部分は格子状
床面側にあるため、間仕切りパネル上下動時に支持用型
材との隙間を通してクリーンルームの高圧エアがバッフ
ァゾーン側へ流出することで発塵してもクリーンルーム
に悪影響を及ぼすことがない。
床面側にあるため、間仕切りパネル上下動時に支持用型
材との隙間を通してクリーンルームの高圧エアがバッフ
ァゾーン側へ流出することで発塵してもクリーンルーム
に悪影響を及ぼすことがない。
【図１】本考案による間仕切り装置の一実施例を示す要
部の断面図である。
部の断面図である。
【図２】工業用クリーンルームを構成する鉄骨造建物の
概略断面図である。
概略断面図である。
２０ 天井面のフィルタ取付枠 ２１ クリーンルーム ２２ ダクトスペース ２４ 吊りロッド ２５ ＨＥＰＡフィルタ ２８ 側面パネル ３２ 間仕切りパネル ３３ バッファゾーン（他のエリア） ３６ 格子状床面 ４０ 支持用型材 ４２ 天井パネル
Claims (1)
- 【請求項１】 エアフィルタを有する天井面と格子状床
面とにより構成されるクリーンルーム内を他のエリアと
区画する間仕切り装置において、 前記クリーンルーム内を他のエリアと区画する間仕切り
パネルの上端を前記天井面の外側に配設される側面パネ
ルの下端に固定し、前記間仕切りパネルの下端部を前記
格子床面に固定した支持用型枠内に相対擢動可能に嵌合
し、かつ前記天井面のエアフィルタ取付枠と前記側面パ
ネルとの接触面間にシール材を介在したことを特徴とす
る間仕切り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7456292U JP2504147Y2 (ja) | 1992-10-26 | 1992-10-26 | 間仕切り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7456292U JP2504147Y2 (ja) | 1992-10-26 | 1992-10-26 | 間仕切り装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0640227U JPH0640227U (ja) | 1994-05-27 |
| JP2504147Y2 true JP2504147Y2 (ja) | 1996-07-10 |
Family
ID=13550793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7456292U Expired - Lifetime JP2504147Y2 (ja) | 1992-10-26 | 1992-10-26 | 間仕切り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2504147Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5426350B2 (ja) * | 2009-12-15 | 2014-02-26 | 株式会社竹中工務店 | 間仕切り構造 |
-
1992
- 1992-10-26 JP JP7456292U patent/JP2504147Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0640227U (ja) | 1994-05-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |