JPH10245919A - クリーンルーム内の間仕切り機構 - Google Patents
クリーンルーム内の間仕切り機構Info
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- JPH10245919A JPH10245919A JP5014797A JP5014797A JPH10245919A JP H10245919 A JPH10245919 A JP H10245919A JP 5014797 A JP5014797 A JP 5014797A JP 5014797 A JP5014797 A JP 5014797A JP H10245919 A JPH10245919 A JP H10245919A
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- opening
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Abstract
(57)【要約】
【課題】クリーンルーム内の一部ゾーンを区画するため
に仮設パネルを建て込む方法では、ａ．建て込む作業や
搬入、搬出作業に時間と手間がかかる、ｂ．作業時に、
発塵や騒音が発生する。 【解決手段】そこで本発明では、フレーム材１を格子状
に構成した天井フレーム２と、天井フレームの格子の交
差位置３と床間に設置する間仕切柱４と、ビニールシー
ト等の気密幕材５と、フレーム材の下側に沿って構成す
る気密幕材の上端縁取付用部材６と、間仕切柱の側面に
沿って構成する気密幕材の側端縁取付用部材７とから構
成するクリーンルーム内の間仕切り機構を提案する。
に仮設パネルを建て込む方法では、ａ．建て込む作業や
搬入、搬出作業に時間と手間がかかる、ｂ．作業時に、
発塵や騒音が発生する。 【解決手段】そこで本発明では、フレーム材１を格子状
に構成した天井フレーム２と、天井フレームの格子の交
差位置３と床間に設置する間仕切柱４と、ビニールシー
ト等の気密幕材５と、フレーム材の下側に沿って構成す
る気密幕材の上端縁取付用部材６と、間仕切柱の側面に
沿って構成する気密幕材の側端縁取付用部材７とから構
成するクリーンルーム内の間仕切り機構を提案する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工場等のク
リーンルームにおいて、一部のゾーンを区画して隔離す
るための間仕切り機構に関するものである。
リーンルームにおいて、一部のゾーンを区画して隔離す
るための間仕切り機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体工場等のクリーンルームにおいて
は、例えば一部のゾーンの改装や、生産装置の入れ替え
等に際して、ある一部のゾーンを区画して隔離する必要
が生じる場合がある。また、クリーンルーム内の一部の
ゾーンを区画して、その清浄度を局所的に高めることが
望まれる場合がある。
は、例えば一部のゾーンの改装や、生産装置の入れ替え
等に際して、ある一部のゾーンを区画して隔離する必要
が生じる場合がある。また、クリーンルーム内の一部の
ゾーンを区画して、その清浄度を局所的に高めることが
望まれる場合がある。
【０００３】このような場合、従来は、天井フレームと
床間に仮設パネル（パーティション）を建て込んで間仕
切りをすることにより、一部のゾーンを区画する方法が
とられている。
床間に仮設パネル（パーティション）を建て込んで間仕
切りをすることにより、一部のゾーンを区画する方法が
とられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら仮設パネ
ルを建て込む方法では、次のような課題がある。 ａ．建て込む作業や搬入、搬出作業に時間と手間がかか
る。 ｂ．作業時に、発塵や騒音が発生する。 本発明はこのような課題を解決することを目的とするも
のである。
ルを建て込む方法では、次のような課題がある。 ａ．建て込む作業や搬入、搬出作業に時間と手間がかか
る。 ｂ．作業時に、発塵や騒音が発生する。 本発明はこのような課題を解決することを目的とするも
のである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために本発明では、フレーム材を格子状に構成した天井
フレームと、天井フレームの格子の交差位置と床間に設
置する間仕切柱と、気密幕材と、フレーム材の下側に沿
って構成する気密幕材の上端縁取付用部材と、間仕切柱
の側面に沿って構成する気密幕材の側端縁取付用部材と
から構成するクリーンルーム内の間仕切り機構を提案す
る。
ために本発明では、フレーム材を格子状に構成した天井
フレームと、天井フレームの格子の交差位置と床間に設
置する間仕切柱と、気密幕材と、フレーム材の下側に沿
って構成する気密幕材の上端縁取付用部材と、間仕切柱
の側面に沿って構成する気密幕材の側端縁取付用部材と
から構成するクリーンルーム内の間仕切り機構を提案す
る。
【０００６】また本発明では、上記の構成において、フ
レーム材の下側に開口部を形成し、この開口部にカバー
部材を装着して塞ぐ構成とすると共に、カバー部材の裏
側に上端縁取付用部材を構成し、裏側を外側として開口
部に装着することにより、上端縁取付用部材をフレーム
材の下側に沿って構成することを提案する。
レーム材の下側に開口部を形成し、この開口部にカバー
部材を装着して塞ぐ構成とすると共に、カバー部材の裏
側に上端縁取付用部材を構成し、裏側を外側として開口
部に装着することにより、上端縁取付用部材をフレーム
材の下側に沿って構成することを提案する。
【０００７】また本発明では、上記の構成において、上
端縁取付用部材及び側端縁取付用部材はファスナーの一
方側部材とし、気密幕材の上端縁及び側端縁にファスナ
ーの他方側部材を取り付けた構成とすることを提案す
る。
端縁取付用部材及び側端縁取付用部材はファスナーの一
方側部材とし、気密幕材の上端縁及び側端縁にファスナ
ーの他方側部材を取り付けた構成とすることを提案す
る。
【０００８】また本発明では、上記の構成において、上
端縁取付用部材は開口部を狭めた溝形のレールとし、気
密幕材の上端縁に、溝内を移動可能で開口部から脱落し
ない支持体、例えば気密幕材の上端縁に多数取り付けた
球形部材等の支持体を構成することを提案する。
端縁取付用部材は開口部を狭めた溝形のレールとし、気
密幕材の上端縁に、溝内を移動可能で開口部から脱落し
ない支持体、例えば気密幕材の上端縁に多数取り付けた
球形部材等の支持体を構成することを提案する。
【０００９】また本発明では、上記の構成において、天
井フレームの格子の交差位置には下側に開口部を形成
し、この開口部にカバー部材を装着して塞ぐ構成とする
と共に、カバー部材の裏側と間仕切柱の上端に、対応す
る凹凸による係合部を構成することを提案する。
井フレームの格子の交差位置には下側に開口部を形成
し、この開口部にカバー部材を装着して塞ぐ構成とする
と共に、カバー部材の裏側と間仕切柱の上端に、対応す
る凹凸による係合部を構成することを提案する。
【００１０】また本発明では、上記の構成において、気
密幕材はビニールシート又は膜材で構成することを提案
する。
密幕材はビニールシート又は膜材で構成することを提案
する。
【００１１】以上の本発明によれば、クリーンルーム内
に区画するゾーンの境界に対応する天井フレームの格子
の交差位置と床間に間仕切柱を設置し、天井フレームの
フレーム材の下側に沿って構成した上端縁取付用部材に
より気密幕材の上端縁を取り付けると共に、間仕切柱の
側面に沿って構成した側端縁取付用部材により気密幕材
の側端縁を取り付けることにより、クリーンルーム内に
気密幕材で囲まれた区画を構成することができる。
に区画するゾーンの境界に対応する天井フレームの格子
の交差位置と床間に間仕切柱を設置し、天井フレームの
フレーム材の下側に沿って構成した上端縁取付用部材に
より気密幕材の上端縁を取り付けると共に、間仕切柱の
側面に沿って構成した側端縁取付用部材により気密幕材
の側端縁を取り付けることにより、クリーンルーム内に
気密幕材で囲まれた区画を構成することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図を参
照して説明する。図１は本発明の間仕切機構を利用して
クリーンルーム内の一部のゾーンを区画した状態を一部
省略して模式的に示す斜視図である。まず、この図を参
照して説明すると、本発明の間仕切機構は、フレーム材
１を格子状に構成した天井フレーム２と、天井フレーム
２の格子の交差位置３と床間に設置する間仕切柱４と、
気密幕材５と、フレーム材１の下側に沿って構成する気
密幕材５の上端縁取付用部材６と、間仕切柱４の側面に
沿って構成する気密幕材５の側端縁取付用部材７とから
構成するものである。気密幕材５は、区画の内外の圧力
差に抗して間仕切位置を保持可能とするために、例えば
ビニールシートや膜材等で、耐圧性の高いものを使用す
る。天井フレーム２は上側に凸部８を形成しており、格
子の交差位置に吊りボルト９を設置して天井スラブに吊
持している。そして図１には示していないが天井フレー
ム２の上側には、凸部８により格子の各開口部に対応し
てフィルタユニット（フィルタユニットの上側にファン
ユニットを設置したファンフィルタユニットを含む。）
を設置している。
照して説明する。図１は本発明の間仕切機構を利用して
クリーンルーム内の一部のゾーンを区画した状態を一部
省略して模式的に示す斜視図である。まず、この図を参
照して説明すると、本発明の間仕切機構は、フレーム材
１を格子状に構成した天井フレーム２と、天井フレーム
２の格子の交差位置３と床間に設置する間仕切柱４と、
気密幕材５と、フレーム材１の下側に沿って構成する気
密幕材５の上端縁取付用部材６と、間仕切柱４の側面に
沿って構成する気密幕材５の側端縁取付用部材７とから
構成するものである。気密幕材５は、区画の内外の圧力
差に抗して間仕切位置を保持可能とするために、例えば
ビニールシートや膜材等で、耐圧性の高いものを使用す
る。天井フレーム２は上側に凸部８を形成しており、格
子の交差位置に吊りボルト９を設置して天井スラブに吊
持している。そして図１には示していないが天井フレー
ム２の上側には、凸部８により格子の各開口部に対応し
てフィルタユニット（フィルタユニットの上側にファン
ユニットを設置したファンフィルタユニットを含む。）
を設置している。
【００１３】図２は天井フレーム２を下側から見た底面
図であり、また図３、図４はフレーム材１の横断面図で
ある。これらの図に示すように、天井フレーム２のフレ
ーム材１は、下側に開口部１０を形成しており、この開
口部１０にカバー部材１１を装着して塞ぐ構成としてい
る。このカバー部材１１の表側ａは平面となっており、
図３に示すように通常の装着状態では化粧カバーとして
使用される。そして、このカバー部材１１の裏側ｂに上
端縁取付用部材６を設置している。このため、図４に示
すように、カバー部材１１を通常の使用状態から反転さ
せて開口部１０に装着すると上端縁取付用部材６が表面
に構成される。従って図２に示すように所望の区画の境
界に対応したフレーム材１のみのカバー部材１１を反転
して装着することにより、これらのフレーム材１の下側
に沿って上端縁取付用部材６が構成されることになる。
尚、カバー部材１１の開口部１０に対する装着機構は具
体的には図示を省略しているが、上記装着状態の夫々に
おいて、所定の荷重を支持できる構成であれば、ねじ止
めや凹凸の係合等の適宜の機構を適用することができ
る。また、天井フレーム２のフレーム材１の下部に照明
器具等が装着されている場合には、事前に取外しを行っ
た後、カバー部材１１を装着するものとする。
図であり、また図３、図４はフレーム材１の横断面図で
ある。これらの図に示すように、天井フレーム２のフレ
ーム材１は、下側に開口部１０を形成しており、この開
口部１０にカバー部材１１を装着して塞ぐ構成としてい
る。このカバー部材１１の表側ａは平面となっており、
図３に示すように通常の装着状態では化粧カバーとして
使用される。そして、このカバー部材１１の裏側ｂに上
端縁取付用部材６を設置している。このため、図４に示
すように、カバー部材１１を通常の使用状態から反転さ
せて開口部１０に装着すると上端縁取付用部材６が表面
に構成される。従って図２に示すように所望の区画の境
界に対応したフレーム材１のみのカバー部材１１を反転
して装着することにより、これらのフレーム材１の下側
に沿って上端縁取付用部材６が構成されることになる。
尚、カバー部材１１の開口部１０に対する装着機構は具
体的には図示を省略しているが、上記装着状態の夫々に
おいて、所定の荷重を支持できる構成であれば、ねじ止
めや凹凸の係合等の適宜の機構を適用することができ
る。また、天井フレーム２のフレーム材１の下部に照明
器具等が装着されている場合には、事前に取外しを行っ
た後、カバー部材１１を装着するものとする。
【００１４】上端縁取付用部材６の具体例を説明する
と、まずこの上端縁取付用部材６は、縫合状態で気密性
の高いファスナーを使用することができる。即ち、図１
〜図７に示すものでは、上端縁取付用部材６はファスナ
ーの一方側部材１２ａであり、この一方側部材１２ａと
縫合する他方側部材１２ｂを気密幕材５の上端縁に取り
付けた構成である。
と、まずこの上端縁取付用部材６は、縫合状態で気密性
の高いファスナーを使用することができる。即ち、図１
〜図７に示すものでは、上端縁取付用部材６はファスナ
ーの一方側部材１２ａであり、この一方側部材１２ａと
縫合する他方側部材１２ｂを気密幕材５の上端縁に取り
付けた構成である。
【００１５】一方、他の具体例として、図８、図９に示
すものでは、上端縁取付用部材６は、開口部１３を狭め
た溝形のレール１４であり、気密幕材５の上端縁にはレ
ール１４の溝内を移動可能で、開口部１３から脱落しな
い支持体１５を設けた構成とする。図９に示す支持体１
５は、気密幕材５の上端縁に多数、所定の間隔で取り付
けたゴム製、プラスチック製等の球形部材であり、この
ように転動が容易な部材として適宜に支持体を構成する
ことができる。
すものでは、上端縁取付用部材６は、開口部１３を狭め
た溝形のレール１４であり、気密幕材５の上端縁にはレ
ール１４の溝内を移動可能で、開口部１３から脱落しな
い支持体１５を設けた構成とする。図９に示す支持体１
５は、気密幕材５の上端縁に多数、所定の間隔で取り付
けたゴム製、プラスチック製等の球形部材であり、この
ように転動が容易な部材として適宜に支持体を構成する
ことができる。
【００１６】次に間仕切柱４を天井フレーム２の格子の
交差位置３と床間に設置するための具体例を説明する。
図２、図５〜図７に示すものでは、天井フレーム２の格
子の交差位置３の下側に、上述した交差位置３以外の個
所と同様に開口部１６を形成しており、この開口部１６
にカバー部材１７を装着して塞ぐ構成としている。カバ
ー部材１７の表側は、カバー部材１１と同様に平面とし
ており、図５に示す通常の装着状態では化粧カバーとし
て使用される。またこのカバー部材１７の裏側と間仕切
柱４の上端に、対応する凹凸による係合部１８ａ，１８
ｂを構成している。この例において、カバー部材１７の
裏側の係合部１８ａは図７に破線で示すように、断面矩
形状の突起であり、間仕切柱４の上端の係合部１８ｂ
は、突起１８ａが嵌合する溝である。一方、間仕切柱４
の側面の上下方向には気密幕材５の側端縁取付用部材７
を構成しており、この例では側端縁取付用部材７は、上
端縁取付用部材６の一例と同様に、ファスナーの一方側
部材１９ａであり、この一方側部材１９ａと縫合する他
方側部材１９ｂを気密幕材５の側端縁に取り付けた構成
である。
交差位置３と床間に設置するための具体例を説明する。
図２、図５〜図７に示すものでは、天井フレーム２の格
子の交差位置３の下側に、上述した交差位置３以外の個
所と同様に開口部１６を形成しており、この開口部１６
にカバー部材１７を装着して塞ぐ構成としている。カバ
ー部材１７の表側は、カバー部材１１と同様に平面とし
ており、図５に示す通常の装着状態では化粧カバーとし
て使用される。またこのカバー部材１７の裏側と間仕切
柱４の上端に、対応する凹凸による係合部１８ａ，１８
ｂを構成している。この例において、カバー部材１７の
裏側の係合部１８ａは図７に破線で示すように、断面矩
形状の突起であり、間仕切柱４の上端の係合部１８ｂ
は、突起１８ａが嵌合する溝である。一方、間仕切柱４
の側面の上下方向には気密幕材５の側端縁取付用部材７
を構成しており、この例では側端縁取付用部材７は、上
端縁取付用部材６の一例と同様に、ファスナーの一方側
部材１９ａであり、この一方側部材１９ａと縫合する他
方側部材１９ｂを気密幕材５の側端縁に取り付けた構成
である。
【００１７】以上の構成において、稼働中のクリーンル
ーム内に区画を構成する場合には、例えば図２に示すよ
うに区画の境界に対応したフレーム材１の下側のカバー
部材１１を通常の使用状態から反転して装着することに
より、これらのフレーム材１の下側に沿って上端縁取付
用部材６としてのファスナーの一方側部材１２ａを構成
する。また区画の境界に対応したフレーム材１の両側に
位置する格子の交差位置３の下側にカバー部材１１を通
常の使用状態から反転して装着することにより、この交
差位置３の下側に係合部１８ａを構成する。そして図
６、図７に示すように、これらの交差位置３の下側の突
起１８ａに間仕切柱４の上端の溝１８ｂを嵌合して、必
要に応じてネジ等の固定部材２０で固定し、また間仕切
柱４の下端は、クリーンルームのフリーアクセス床等の
開口部を利用してボルト締め等により固定する。
ーム内に区画を構成する場合には、例えば図２に示すよ
うに区画の境界に対応したフレーム材１の下側のカバー
部材１１を通常の使用状態から反転して装着することに
より、これらのフレーム材１の下側に沿って上端縁取付
用部材６としてのファスナーの一方側部材１２ａを構成
する。また区画の境界に対応したフレーム材１の両側に
位置する格子の交差位置３の下側にカバー部材１１を通
常の使用状態から反転して装着することにより、この交
差位置３の下側に係合部１８ａを構成する。そして図
６、図７に示すように、これらの交差位置３の下側の突
起１８ａに間仕切柱４の上端の溝１８ｂを嵌合して、必
要に応じてネジ等の固定部材２０で固定し、また間仕切
柱４の下端は、クリーンルームのフリーアクセス床等の
開口部を利用してボルト締め等により固定する。
【００１８】間仕切柱４の側面には予め側端縁取付用部
材６として、例えば上述したファスナーの一方側部材１
９ａを設置しておくが、このように一方側部材１９ａを
設置しておく側面は、必要最小限としては区画の隅に対
応する間仕切柱４では隣接した２側面のみ、区画の辺に
対応する間仕切柱４では背中合わせの２側面のみとする
ことができるが、全側面に設置して、区画のいずれの個
所にも適用できるように構成することもできる。
材６として、例えば上述したファスナーの一方側部材１
９ａを設置しておくが、このように一方側部材１９ａを
設置しておく側面は、必要最小限としては区画の隅に対
応する間仕切柱４では隣接した２側面のみ、区画の辺に
対応する間仕切柱４では背中合わせの２側面のみとする
ことができるが、全側面に設置して、区画のいずれの個
所にも適用できるように構成することもできる。
【００１９】以上のようにして、区画に対応した間仕切
柱４を設置した後、フレーム部材１の下側に沿ったファ
スナーの一方側部材１２ａに気密幕材５の上端縁に設け
たファスナーの他方側部材１２ｂを縫合すると共に、間
仕切柱４の側面に沿ったファスナーの一方側部材１９ａ
に気密幕材５の側端縁に設けたファスナーの他方側部材
１９ｂを縫合することにより、両端の間仕切柱４とそれ
らの間のフレーム材１に気密幕材５を取り付けて側壁を
構成することができ、こうしてクリーンルーム内に気密
幕材５で囲まれた区画を構成することができる。尚、気
密幕材５の隅部においては、上端縁取付用部材６及び側
端縁取付用部材７による取付位置を重複させる等の適宜
の方法を適用することにより、この部分における気密を
確保することができる。
柱４を設置した後、フレーム部材１の下側に沿ったファ
スナーの一方側部材１２ａに気密幕材５の上端縁に設け
たファスナーの他方側部材１２ｂを縫合すると共に、間
仕切柱４の側面に沿ったファスナーの一方側部材１９ａ
に気密幕材５の側端縁に設けたファスナーの他方側部材
１９ｂを縫合することにより、両端の間仕切柱４とそれ
らの間のフレーム材１に気密幕材５を取り付けて側壁を
構成することができ、こうしてクリーンルーム内に気密
幕材５で囲まれた区画を構成することができる。尚、気
密幕材５の隅部においては、上端縁取付用部材６及び側
端縁取付用部材７による取付位置を重複させる等の適宜
の方法を適用することにより、この部分における気密を
確保することができる。
【００２０】以上のようにしてクリーンルーム内に区画
を構成する側壁は、従来のパーティション材と比較して
軽量のビニールシートや適宜の幕材等の気密幕材５を、
上述したファスナー等の上端縁取付用部材６及び側端縁
取付用部材７を用いて間仕切柱４とそれらの間のフレー
ム材１に取り付けることにより構成できるので、作業が
容易で、発塵や騒音の発生を低減することができ、クリ
ーンルームの稼働に対する影響を最小限とすることがで
きる。
を構成する側壁は、従来のパーティション材と比較して
軽量のビニールシートや適宜の幕材等の気密幕材５を、
上述したファスナー等の上端縁取付用部材６及び側端縁
取付用部材７を用いて間仕切柱４とそれらの間のフレー
ム材１に取り付けることにより構成できるので、作業が
容易で、発塵や騒音の発生を低減することができ、クリ
ーンルームの稼働に対する影響を最小限とすることがで
きる。
【００２１】図１０と図１１は本発明により構成した区
画の応用例を示すものである。まず図１０は、クリーン
ルーム内の一部ゾーンの改装や、生産装置の入れ替え等
において周囲の清浄な空間に汚染の影響がないように区
画を構成するものである。この応用例では、区画を構成
した後、区画内に対して周囲を＋圧に維持することによ
り、区画内で発生する塵埃が周囲に漏出して汚染するこ
とを防止することができる。また図１１は、クリーンル
ーム内の一部ゾーンの清浄度を、局所的に高めるために
区画を構成するものである。
画の応用例を示すものである。まず図１０は、クリーン
ルーム内の一部ゾーンの改装や、生産装置の入れ替え等
において周囲の清浄な空間に汚染の影響がないように区
画を構成するものである。この応用例では、区画を構成
した後、区画内に対して周囲を＋圧に維持することによ
り、区画内で発生する塵埃が周囲に漏出して汚染するこ
とを防止することができる。また図１１は、クリーンル
ーム内の一部ゾーンの清浄度を、局所的に高めるために
区画を構成するものである。
【００２２】尚、本発明により構成する区画は、全ての
側壁を気密幕材５で囲んだ構成とする他、区画を構成す
る側壁の一部がクリーンルームに既存の側壁であっても
良いことは勿論である。
側壁を気密幕材５で囲んだ構成とする他、区画を構成す
る側壁の一部がクリーンルームに既存の側壁であっても
良いことは勿論である。
【００２３】
【発明の効果】本発明は以上のとおりであるので、次の
ような効果がある。 ａ．クリーンルーム内の区画が簡便な作業で構成でき
る。 ｂ．必要とする資材が軽量であるため、搬入、搬出が容
易である。 ｃ．従って、作業がきれいにでき、塵埃の発生を最小限
に抑えることができる。 ｄ．区画は、汚染域を限定するために利用する他、局所
的なクリーンアップゾーンを構成するためにも利用でき
る。
ような効果がある。 ａ．クリーンルーム内の区画が簡便な作業で構成でき
る。 ｂ．必要とする資材が軽量であるため、搬入、搬出が容
易である。 ｃ．従って、作業がきれいにでき、塵埃の発生を最小限
に抑えることができる。 ｄ．区画は、汚染域を限定するために利用する他、局所
的なクリーンアップゾーンを構成するためにも利用でき
る。
【図１】 本発明の間仕切機構を利用してクリーンルー
ム内の一部のゾーンを区画した状態を一部省略して模式
的に示す斜視図である。
ム内の一部のゾーンを区画した状態を一部省略して模式
的に示す斜視図である。
【図２】 本発明に適用する天井フレームを下側から見
た底面図である。
た底面図である。
【図３】 通常状態におけるフレーム材の横断面図であ
る。
る。
【図４】 区画を構成する際のフレーム材の横断面と、
対応する気密幕材の構成を示す説明図である。
対応する気密幕材の構成を示す説明図である。
【図５】 通常状態における天井フレームの交差位置の
横断面図である。
横断面図である。
【図６】 区画を構成する際の天井フレームの交差位置
近辺の横断面図である。
近辺の横断面図である。
【図７】 間仕切柱の設置機構を示す斜視図である。
【図８】 フレーム材の他例の通常状態におけるフレー
ム材の横断面図である。
ム材の横断面図である。
【図９】 フレーム材の他例において区画を構成する際
のフレーム材の横断面と、対応する気密幕材の構成を示
す説明図である。
のフレーム材の横断面と、対応する気密幕材の構成を示
す説明図である。
【図１０】 本発明を適用して構成する区画の応用例を
示すものである。
示すものである。
【図１１】 本発明を適用して構成する区画の他の応用
例を示すものである。
例を示すものである。
１ フレーム材 ２ 天井フレーム ３ 交差位置 ４ 間仕切柱 ５ 気密幕材 ６ 上端縁取付用部材 ７ 側端縁取付用部材 ８ 凸部 ９ 吊りボルト １０ 開口部 １１ カバー部材 １２ａ 一方側部材 １２ｂ 他方側部材 １３ 開口部 １４ レール １５ 支持体 １６ 開口部 １７ カバー部材 １８ａ 係合部（突起） １８ｂ 係合部（溝） １９ａ 一方側部材 １９ｂ 他方側部材
Claims (8)
- 【請求項１】 フレーム材を格子状に構成した天井フレ
ームと、天井フレームの格子の交差位置と床間に設置す
る間仕切柱と、気密幕材と、フレーム材の下側に沿って
構成する気密幕材の上端縁取付用部材と、間仕切柱の側
面に沿って構成する気密幕材の側端縁取付用部材とから
構成するクリーンルーム内の間仕切り機構 - 【請求項２】 フレーム材の下側に開口部を形成し、こ
の開口部にカバー部材を装着して塞ぐ構成とすると共
に、カバー部材の裏側に上端縁取付用部材を構成し、裏
側を外側として開口部に装着することにより、上端縁取
付用部材をフレーム材の下側に沿って構成することを特
徴とする請求項１記載のクリーンルーム内の間仕切り機
構 - 【請求項３】 上端縁取付用部材はファスナーの一方側
部材とし、気密幕材の上端縁にファスナーの他方側部材
を取り付けたことを特徴とする請求項１又は２記載のク
リーンルーム内の間仕切り機構 - 【請求項４】 上端縁取付用部材は開口部を狭めた溝形
のレールとし、気密幕材の上端縁には溝内を移動可能
で、開口部から脱落しない支持体を構成したことを特徴
とする請求項１又は２記載のクリーンルーム内の間仕切
り機構 - 【請求項５】 支持体は気密幕材の上端縁に多数取り付
けた球形部材であることを特徴とする請求項４記載のク
リーンルーム内の間仕切り機構 - 【請求項６】 側端縁取付用部材はファスナーの一方側
部材とし、気密幕材の側端縁にファスナーの他方側部材
を取り付けたことを特徴とする請求項１記載のクリーン
ルーム内の間仕切り機構 - 【請求項７】 天井フレームの格子の交差位置には下側
に開口部を形成し、この開口部にカバー部材を装着して
塞ぐ構成とすると共に、カバー部材の裏側と間仕切柱の
上端に、対応する凹凸による係合部を構成したことを特
徴とする請求項１記載のクリーンルーム内の間仕切り機
構 - 【請求項８】 気密幕材はビニールシート又は膜材で構
成することを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム
内の間仕切り機構
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5014797A JPH10245919A (ja) | 1997-03-05 | 1997-03-05 | クリーンルーム内の間仕切り機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5014797A JPH10245919A (ja) | 1997-03-05 | 1997-03-05 | クリーンルーム内の間仕切り機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10245919A true JPH10245919A (ja) | 1998-09-14 |
Family
ID=12851075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5014797A Pending JPH10245919A (ja) | 1997-03-05 | 1997-03-05 | クリーンルーム内の間仕切り機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10245919A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004107986A (ja) * | 2002-09-18 | 2004-04-08 | Sanki Eng Co Ltd | 仮設間仕切構造 |
| KR100647110B1 (ko) | 2005-09-15 | 2006-11-23 | 광건티앤씨(주) | 조립식 칸막이 |
| JP2007205065A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Okumura Corp | 仮設天井およびこれを用いた天井裏空間の施工方法 |
| JP2008248565A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Ando Corp | クリーンルームの改築方法及び改築用仮設設備 |
| JP2012184621A (ja) * | 2011-03-08 | 2012-09-27 | Sanki Eng Co Ltd | クリーンルーム内の養生装置 |
| JP2017089213A (ja) * | 2015-11-10 | 2017-05-25 | 鹿島建設株式会社 | 間仕切りパネル取着構造 |
| US20180119438A1 (en) * | 2016-10-27 | 2018-05-03 | Blaine Gallagher | Device for mitigating debris travel and method |
-
1997
- 1997-03-05 JP JP5014797A patent/JPH10245919A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP4680078B2 (ja) * | 2006-02-02 | 2011-05-11 | 株式会社奥村組 | 仮設天井およびこれを用いた天井裏空間の施工方法 |
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