JPS61225527A - クリ−ンル−ム - Google Patents
クリ−ンル−ムInfo
- Publication number
- JPS61225527A JPS61225527A JP60068215A JP6821585A JPS61225527A JP S61225527 A JPS61225527 A JP S61225527A JP 60068215 A JP60068215 A JP 60068215A JP 6821585 A JP6821585 A JP 6821585A JP S61225527 A JPS61225527 A JP S61225527A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lattice
- ceiling
- hollow frame
- work
- airtightly
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
- F24F13/28—Arrangement or mounting of filters
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、半導体製造工場で採用されるクリーンルーム
に関するものである。
に関するものである。
［従来の技術と発明が解決しようとする問題点］半導体
製造工場等で採用されている垂直層流型クリーンルーム
は、通常、第６図の構造を備えている。図において、１
は、躯体、２は、中空の鋼材を組んで形成した天井フィ
ルタ取付用格子、３・・・は、該格子で支持した天井フ
ィルタ、４は、天井チャンバ、５は、通風床用スタンド
、６・・・は、該スタンドで支えたグレーチング、パン
チングメタル等の通風性床材、７は、レタンチャンバで
ある。
製造工場等で採用されている垂直層流型クリーンルーム
は、通常、第６図の構造を備えている。図において、１
は、躯体、２は、中空の鋼材を組んで形成した天井フィ
ルタ取付用格子、３・・・は、該格子で支持した天井フ
ィルタ、４は、天井チャンバ、５は、通風床用スタンド
、６・・・は、該スタンドで支えたグレーチング、パン
チングメタル等の通風性床材、７は、レタンチャンバで
ある。
而して、空調器からの清浄空気を、送風ダクトを介して
天井チャンバ４へ送り、天井フィルタ３・・・を介して
室内へ層流として供給し、また、室内の空気を、通風性
床材６・・・を介してレタンチャンバ７へ送り、空調器
のレクンロへと帰還させるようになっている。
天井チャンバ４へ送り、天井フィルタ３・・・を介して
室内へ層流として供給し、また、室内の空気を、通風性
床材６・・・を介してレタンチャンバ７へ送り、空調器
のレクンロへと帰還させるようになっている。
ところで、このクリーンルームにおける製造プロセスは
、ライフサイクルが短く、数年に一度、大幅な改変が行
なわれる。
、ライフサイクルが短く、数年に一度、大幅な改変が行
なわれる。
この改変に対して、従来のクリーンルームは、空間のフ
レキシビリティに乏しく、大々的な改造工事が必要とさ
れる０例えば、第６図に示すように、間仕切壁８を１つ
設けるにも、特別寸法の天井フィルタ３と通風性床材６
を設け、根太９を建て込み、該根太に間仕切壁を受ける
鋼材９１を付設し、天井でその特別寸法の天井フィルタ
３の端を受ける枠材１０．１０を要すると共に、該枠材
と天井フィルタ及び間仕切壁との相互間に気密用のシー
ルを要する。また、天井において、照明器具等の配置を
変えるにも、同様にして容易でなく、天井の格子に取り
付は得たとしても、単に取り付けるのでは格子での気密
性を欠くことになるため別個にシール手段を要して頗る
面倒である。
レキシビリティに乏しく、大々的な改造工事が必要とさ
れる０例えば、第６図に示すように、間仕切壁８を１つ
設けるにも、特別寸法の天井フィルタ３と通風性床材６
を設け、根太９を建て込み、該根太に間仕切壁を受ける
鋼材９１を付設し、天井でその特別寸法の天井フィルタ
３の端を受ける枠材１０．１０を要すると共に、該枠材
と天井フィルタ及び間仕切壁との相互間に気密用のシー
ルを要する。また、天井において、照明器具等の配置を
変えるにも、同様にして容易でなく、天井の格子に取り
付は得たとしても、単に取り付けるのでは格子での気密
性を欠くことになるため別個にシール手段を要して頗る
面倒である。
本発明は、斯る問題点を解決しようとするものである。
［問題点を解決するための手段〕
本発明は、気密に遮断された複層構造の中空枠材により
天井フィルタ取付用格子を組み、該格子の各枡目にそれ
ぞれｌ乃至数枚の天井フィルタを嵌めて、相互間を気密
に連係させて成る。
天井フィルタ取付用格子を組み、該格子の各枡目にそれ
ぞれｌ乃至数枚の天井フィルタを嵌めて、相互間を気密
に連係させて成る。
更に、床材を受ける根太を格子状に組み、該根太の上面
にｌ！Ｊ接相互の床材間へ介在させて間仕切壁等を受け
る受材を一体乃至別体に並設し、該受材付根太を上記天
井フィルタ取付用格子と同一乃至整数倍のモジュールに
形成し、該受材付根太のなす各枡目にそれぞれグレーチ
ング、パンチングメタル等の通風性床材を嵌めて、これ
らの床材の周縁部を根太で受けて成る。
にｌ！Ｊ接相互の床材間へ介在させて間仕切壁等を受け
る受材を一体乃至別体に並設し、該受材付根太を上記天
井フィルタ取付用格子と同一乃至整数倍のモジュールに
形成し、該受材付根太のなす各枡目にそれぞれグレーチ
ング、パンチングメタル等の通風性床材を嵌めて、これ
らの床材の周縁部を根太で受けて成る。
［実施例］
第１図は、天井と床のモジュールを、第２図は、天井の
一部の下面を示しており、図において、１２は、天井フ
ィルタ取付用格子、１３・・・は、該格子で支持した天
井フィルタ、１４は、天井チャンバ、１５は、通風床を
構成するための根太、１６・・・は、該根太で支えたグ
レーチング、パンチングメタル等の通風性床であり、根
太は天井取付は用格子１２と同一乃至整数倍のモジュー
ルに形成する。
一部の下面を示しており、図において、１２は、天井フ
ィルタ取付用格子、１３・・・は、該格子で支持した天
井フィルタ、１４は、天井チャンバ、１５は、通風床を
構成するための根太、１６・・・は、該根太で支えたグ
レーチング、パンチングメタル等の通風性床であり、根
太は天井取付は用格子１２と同一乃至整数倍のモジュー
ルに形成する。
天井フィルタ取付用格子１２は、第３図に示す、上下に
気密に遮断された複層構造の中空枠材１２１を、第１図
、第２図に示すように、格子に組んで成る。該中空枠材
１２１は、アルミニウム、鉄鋼等により断面口字状で上
下二層の中空の主部１２１１を形成すると共に、該主部
の上面中央に断面凸字状で中空の突条１２１２を一体に
付設している。
気密に遮断された複層構造の中空枠材１２１を、第１図
、第２図に示すように、格子に組んで成る。該中空枠材
１２１は、アルミニウム、鉄鋼等により断面口字状で上
下二層の中空の主部１２１１を形成すると共に、該主部
の上面中央に断面凸字状で中空の突条１２１２を一体に
付設している。
斯様な中空枠材１２１による天井フィルタ取付用格子１
２は、第４図に示す、天井スラブ乃至梁から垂設した吊
りボルト２６・・・により支持するが、第４図、第５図
に示すように、吊りボルト２６・・・の下端にコ字状金
物２６１・・・を設け、該コ字状金物を中空枠材１２１
の突状１２１２へ嵌め、ねじ２６２・・・で連結する。
２は、第４図に示す、天井スラブ乃至梁から垂設した吊
りボルト２６・・・により支持するが、第４図、第５図
に示すように、吊りボルト２６・・・の下端にコ字状金
物２６１・・・を設け、該コ字状金物を中空枠材１２１
の突状１２１２へ嵌め、ねじ２６２・・・で連結する。
また、斯様に支持した格子１２の外周面は、躯体の周壁
へ隣接させることとなるが、この外周面と周壁との間に
シリコンシールを施す。
へ隣接させることとなるが、この外周面と周壁との間に
シリコンシールを施す。
而して、天井フィルタ取付用格子１２には、各枡目にそ
れぞれ天井フィルタ１３・・・を嵌め、各天井フィルタ
の周縁部を、格子を構成する中空枠材１２１の主部１２
１１の上面に載置し、該主部の上層部ａへ気密に支持さ
せる。
れぞれ天井フィルタ１３・・・を嵌め、各天井フィルタ
の周縁部を、格子を構成する中空枠材１２１の主部１２
１１の上面に載置し、該主部の上層部ａへ気密に支持さ
せる。
なお、天井フィルタ取付用格子１２は、中空枠材１２１
を継ぐ部分、例えば、交差部乃至その周辺で、通気性を
生じないよう遮断するとよい、中空枠材１２１の主部１
２１１は、断面口字状に限るものではな（，３層以上の
複層構造にしてもよい、また、その成層は、上下方向で
なくて横方向であってもよい、そして、中空の形状は、
断面方形に限らず、円形、その他の形状であってもよい
。中空枠材１２１の上面の突条１２１２は、段面凸字条
に限らす適宜である。該突条１２１２は、必ずしも必要
でなく、支持手段を講することができればなくてもよい
、中空枠材１２１の上面等には、合成樹脂等のシール材
、液体式シール手段等の適宜シール手段を施してもよい
。
を継ぐ部分、例えば、交差部乃至その周辺で、通気性を
生じないよう遮断するとよい、中空枠材１２１の主部１
２１１は、断面口字状に限るものではな（，３層以上の
複層構造にしてもよい、また、その成層は、上下方向で
なくて横方向であってもよい、そして、中空の形状は、
断面方形に限らず、円形、その他の形状であってもよい
。中空枠材１２１の上面の突条１２１２は、段面凸字条
に限らす適宜である。該突条１２１２は、必ずしも必要
でなく、支持手段を講することができればなくてもよい
、中空枠材１２１の上面等には、合成樹脂等のシール材
、液体式シール手段等の適宜シール手段を施してもよい
。
根太１５は、上述のように、天井フィルタ取付用格子１
２と同一乃至整数倍のモジュールの格子状に構成するが
、第４図に示すように、高さ調整用アジャメタ２０付き
のスタンド１９・・・でスラブ上にレタンチャンバを保
って支持し、その根太１５の上面中央に隣接相互の床材
１６．１６間へ介在させる間仕切壁支持用受材１８を一
体乃至別体に併設固定し、該受材付根太のなす各枡目に
それぞれグレーチング、パンチングメタル等の通風性床
材１６・・・を嵌めて、これらの床材の周縁部を根太で
受けている。
２と同一乃至整数倍のモジュールの格子状に構成するが
、第４図に示すように、高さ調整用アジャメタ２０付き
のスタンド１９・・・でスラブ上にレタンチャンバを保
って支持し、その根太１５の上面中央に隣接相互の床材
１６．１６間へ介在させる間仕切壁支持用受材１８を一
体乃至別体に併設固定し、該受材付根太のなす各枡目に
それぞれグレーチング、パンチングメタル等の通風性床
材１６・・・を嵌めて、これらの床材の周縁部を根太で
受けている。
［作用］
如上のように、天井フィルタ取付用格子１２と受材１８
付根太１５を同一乃至整数倍のモジュールに設定したか
ら、天井フィルタ取付用格子１２の任意な中空枠材１２
１とこれに対応する受材１８とを適宜に選択して、その
中空枠材と受材との間に間仕切壁２１・・・を建て゛込
むことができ、この建込みには、第４図に示すように、
間仕切壁の下端を受材へ係合させ、上端を中空枠材の下
面へ当接させて、中空枠材の主部下層すへねじ２７・・
・で固定する。
付根太１５を同一乃至整数倍のモジュールに設定したか
ら、天井フィルタ取付用格子１２の任意な中空枠材１２
１とこれに対応する受材１８とを適宜に選択して、その
中空枠材と受材との間に間仕切壁２１・・・を建て゛込
むことができ、この建込みには、第４図に示すように、
間仕切壁の下端を受材へ係合させ、上端を中空枠材の下
面へ当接させて、中空枠材の主部下層すへねじ２７・・
・で固定する。
また、天井フィルタ取付用格子１２には、任意な中空枠
材１２１を適宜に選択して、第５図に示すように、照明
器具２８・・・、その他の器具を自由に取り付けること
ができ、この取付けには、照明器具２８・・・等の上面
をその中空枠材１２１の下面へ当接させて、中空枠材の
主部下層部すへねじ２７・・・で固定する。
材１２１を適宜に選択して、第５図に示すように、照明
器具２８・・・、その他の器具を自由に取り付けること
ができ、この取付けには、照明器具２８・・・等の上面
をその中空枠材１２１の下面へ当接させて、中空枠材の
主部下層部すへねじ２７・・・で固定する。
照明器具等の配線は、中空枠材の主部下層部すへ挿通さ
せる。
せる。
更に、天井フィルタ１３・・・の直下で天井フィルタ取
付用格子１２の各枡目に風速調整用のパンチングフェー
スを取り付けることもでき、その場合は、第４図に示す
ように、中空枠材１２１の主部１２１１における下層部
すの側面に溝型の支持枠２９・・・を気密に固定し、パ
ンチングフェース３０・・・の周縁に係合縁３０１・・
・を設けて、咳係舎縁を支持枠２９・・・へ係合させる
。
付用格子１２の各枡目に風速調整用のパンチングフェー
スを取り付けることもでき、その場合は、第４図に示す
ように、中空枠材１２１の主部１２１１における下層部
すの側面に溝型の支持枠２９・・・を気密に固定し、パ
ンチングフェース３０・・・の周縁に係合縁３０１・・
・を設けて、咳係舎縁を支持枠２９・・・へ係合させる
。
［発明の効果］
本発明によれば、天井フィルタ取付用格子の天井への取
付け、並びに、該格子の枡目への天井フィルタの取付を
、該格子を構成する気密に遮断された複層構造の中空枠
材において一方の層で行い、間仕切壁、照明器具等の爾
後の取付けに係るものの取付けを、その中空枠材におい
て他方の層で行うことができ、従って、これらの取付け
に、ねじ等が用いられ或いは穿孔等がなされても、中空
枠材の層別により相互が気密に遮断されて気密性が崩れ
ることなく、取付けの都度シール手段を講じる必要がな
い、これにより、間仕切壁、照明器具等は、簡単に取り
付けることができ、その位置変えも極めて容易に行える
。
付け、並びに、該格子の枡目への天井フィルタの取付を
、該格子を構成する気密に遮断された複層構造の中空枠
材において一方の層で行い、間仕切壁、照明器具等の爾
後の取付けに係るものの取付けを、その中空枠材におい
て他方の層で行うことができ、従って、これらの取付け
に、ねじ等が用いられ或いは穿孔等がなされても、中空
枠材の層別により相互が気密に遮断されて気密性が崩れ
ることなく、取付けの都度シール手段を講じる必要がな
い、これにより、間仕切壁、照明器具等は、簡単に取り
付けることができ、その位置変えも極めて容易に行える
。
また、天井フィルタ取付用格子と床の受材付根太を同一
乃至整数倍のモジュールに構成しているので、間仕切壁
の建込みは、天井フィルタ取付用格子の任意な中空枠材
とこれに対応する受材とを適宜に選択して簡単に行うこ
とができ、その位置変えも容易に行うことができる。
乃至整数倍のモジュールに構成しているので、間仕切壁
の建込みは、天井フィルタ取付用格子の任意な中空枠材
とこれに対応する受材とを適宜に選択して簡単に行うこ
とができ、その位置変えも容易に行うことができる。
よって、製造プロセスの大幅な変更に対してもフレキシ
ビリティをもたせることができ、大々的な改造工事を要
しない。
ビリティをもたせることができ、大々的な改造工事を要
しない。
第１図乃至第５図は、本発明の実施例で、第１図は、天
井と床のモジュールを示す説明図、第２図は、天井の一
部の拡大仰視図、第３図は、中空枠材の拡大断面図、第
４図は、間仕切壁及びパンチングフェースの取付は状態
を示す要部拡大断面図、第５図は、照明器具の取付けを
示す要部拡大切断斜視図であり、第６図は、従来例を示
す構成要領断面図である。 １２・・・天井フィルタ取付用格子 １３・・・天井フィルタ １４・・・天井チャンバ１
５・・・根太 １６・・・通風性床材１７・
・・レタンチャンバ １８・・・受材１９・・・スタン
ド ２０・・・アジャスタ２１・・・間仕切壁
２６・・・吊りボルト２７・・・ねじ
２８・・・照明器具３０・・・パンチングフェース
井と床のモジュールを示す説明図、第２図は、天井の一
部の拡大仰視図、第３図は、中空枠材の拡大断面図、第
４図は、間仕切壁及びパンチングフェースの取付は状態
を示す要部拡大断面図、第５図は、照明器具の取付けを
示す要部拡大切断斜視図であり、第６図は、従来例を示
す構成要領断面図である。 １２・・・天井フィルタ取付用格子 １３・・・天井フィルタ １４・・・天井チャンバ１
５・・・根太 １６・・・通風性床材１７・
・・レタンチャンバ １８・・・受材１９・・・スタン
ド ２０・・・アジャスタ２１・・・間仕切壁
２６・・・吊りボルト２７・・・ねじ
２８・・・照明器具３０・・・パンチングフェース
Claims (2)
- （１）気密に遮断された複層構造の中空枠材により天井
フィルタ取付用格子を組み、該格子の各枡目にそれぞれ
１乃至数枚の天井フィルタを嵌めて、相互間を気密に連
係させたことを特徴とするクリーンルーム。 - （２）気密に遮断された複層構造の中空枠材により天井
フィルタ取付用格子を組み、該格子の各枡目にそれぞれ
１乃至数枚の天井フィルタを嵌めて、相互間を気密に連
係させ、また、床材を受ける根太を格子状に組み、該根
太の上面に隣接相互の床材間へ介在させて間仕切壁等を
受ける受材を１体乃至別体に併設し、該受材付根太を上
記天井フィルタ取付用格子と同一乃至整数倍のモジュー
ルに形成し、該受材付根太のなす各枡目にそれぞれグレ
ーチング、パンチングメタル等の通風性床材を嵌めて、
これらの床材の周縁部を根太で受けたことを特徴とする
クリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60068215A JPS61225527A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60068215A JPS61225527A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | クリ−ンル−ム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61225527A true JPS61225527A (ja) | 1986-10-07 |
| JPH034816B2 JPH034816B2 (ja) | 1991-01-24 |
Family
ID=13367350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60068215A Granted JPS61225527A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61225527A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6213519U (ja) * | 1985-07-06 | 1987-01-27 | ||
| JPH0233550A (ja) * | 1988-07-25 | 1990-02-02 | Fuorumu Sekkei Jimusho:Kk | クリーンルーム |
| JPH0260115U (ja) * | 1988-10-25 | 1990-05-02 | ||
| JPH03250838A (ja) * | 1990-02-28 | 1991-11-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 留守番電話装置 |
| JPH048029U (ja) * | 1990-05-07 | 1992-01-24 | ||
| JPH1144443A (ja) * | 1997-07-24 | 1999-02-16 | Oki Electric Ind Co Ltd | クリーンルーム、半導体素子製造方法、半導体素子製造用処理室、半導体素子製造装置および半導体素子用部材の洗浄方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58195498U (ja) * | 1982-06-22 | 1983-12-26 | 凸版印刷株式会社 | 電磁波シ−ルド用転写箔 |
| JPS59136998A (ja) * | 1983-01-27 | 1984-08-06 | 大日本印刷株式会社 | 電磁波遮蔽層転写シ−ト |
| JPS59121855U (ja) * | 1983-02-02 | 1984-08-16 | 松下電器産業株式会社 | 可撓性プリント配線基板 |
| JPS61130333U (ja) * | 1985-01-30 | 1986-08-15 |
-
1985
- 1985-03-29 JP JP60068215A patent/JPS61225527A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58195498U (ja) * | 1982-06-22 | 1983-12-26 | 凸版印刷株式会社 | 電磁波シ−ルド用転写箔 |
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Cited By (7)
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| JPH0248019Y2 (ja) * | 1985-07-06 | 1990-12-17 | ||
| JPH0233550A (ja) * | 1988-07-25 | 1990-02-02 | Fuorumu Sekkei Jimusho:Kk | クリーンルーム |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH034816B2 (ja) | 1991-01-24 |
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