JPH02192534A - 磁気シールドクリーンルーム - Google Patents
磁気シールドクリーンルームInfo
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- JPH02192534A JPH02192534A JP18604988A JP18604988A JPH02192534A JP H02192534 A JPH02192534 A JP H02192534A JP 18604988 A JP18604988 A JP 18604988A JP 18604988 A JP18604988 A JP 18604988A JP H02192534 A JPH02192534 A JP H02192534A
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Landscapes
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば集積回路素子等の製造工場に於ける荷
電粒子線装置等の磁気遮蔽に適した磁気シールドクリー
ンルームに関するものである。
電粒子線装置等の磁気遮蔽に適した磁気シールドクリー
ンルームに関するものである。
集積回路素子の製造工場に於ては、各種の集積回路素子
の製造装置が多数稼働しているが、その中に例えば、集
積回路を描（電子ビーム露光装置や製造された集積回路
を検査する電子顕微鏡等の電子線装置がある。これら電
子線装置は、外乱磁界の影響でその性能が低下するため
、設置磁界環境基準があるが、最近、集積回路の密度が
向上するに連れて、電子線装置の設置磁界環境基準値も
小さ（なって来ている。このため、これら装置を磁気遮
蔽特性を有する材料で形成された箱状のシールドルーム
で覆い、外乱磁界の影響を緩和して性能の低下を防ぐこ
とが提案されている。
の製造装置が多数稼働しているが、その中に例えば、集
積回路を描（電子ビーム露光装置や製造された集積回路
を検査する電子顕微鏡等の電子線装置がある。これら電
子線装置は、外乱磁界の影響でその性能が低下するため
、設置磁界環境基準があるが、最近、集積回路の密度が
向上するに連れて、電子線装置の設置磁界環境基準値も
小さ（なって来ている。このため、これら装置を磁気遮
蔽特性を有する材料で形成された箱状のシールドルーム
で覆い、外乱磁界の影響を緩和して性能の低下を防ぐこ
とが提案されている。
処で、集積回路素子の製造工場等に於ては、空気中の塵
や埃が集積回路素子に悪影響を及ぼすことから、クリー
ンルームが使用されている。
や埃が集積回路素子に悪影響を及ぼすことから、クリー
ンルームが使用されている。
然し、外部と磁気遮蔽材によって完全に遮断された磁気
シールドルームに電子線装置を格納した場合、室内の換
気が出来ないため、磁気シールドルーム内がクリーンル
ームに成らないといった問題がある。
シールドルームに電子線装置を格納した場合、室内の換
気が出来ないため、磁気シールドルーム内がクリーンル
ームに成らないといった問題がある。
又、生体の微弱な磁気を測定する医療分野に於ても、磁
気遮蔽することによって、測定精度を高めることが要望
されているが、上述した如き磁気シールドルームでは満
足することが出来得ない。
気遮蔽することによって、測定精度を高めることが要望
されているが、上述した如き磁気シールドルームでは満
足することが出来得ない。
尚、特開昭５４−３４１７２号公報に、磁気シールドル
ーム内にニアコンディショナーを配設することが開示さ
れている。
ーム内にニアコンディショナーを配設することが開示さ
れている。
然し、この公知例に於けるニアコンディショナーを仕切
る遮蔽体が、金網によって形成されているので、電磁波
を遮蔽することが出来るだけで、磁界を遮蔽することは
出来ないという不具合がある。
る遮蔽体が、金網によって形成されているので、電磁波
を遮蔽することが出来るだけで、磁界を遮蔽することは
出来ないという不具合がある。
本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為された
もので、その目的は、磁気遮蔽性能を低下することなく
、磁気シールドルームをクリーンルームとして使用出来
るようにした磁気シールドクリーンルームを提供するこ
とにある。
もので、その目的は、磁気遮蔽性能を低下することなく
、磁気シールドルームをクリーンルームとして使用出来
るようにした磁気シールドクリーンルームを提供するこ
とにある。
本発明の請求項１に係る磁気シールドクリーンルームは
、磁気遮蔽特性を有する材料によって箱型に形成し、天
井側にエアフィルタを介して天井空間を形成し、床側に
孔開き板を介して床下空間を形成し、上記天井空間と床
下空間との間に作業空間を形成し、且つ上記天井空間に
給気孔を設けると共に、床下空間に還気孔を設けた磁気
シールドルームと、この磁気シールドルームに於ける給
気孔と還気孔とを介して連通ずる空調機とで構成したも
のである。
、磁気遮蔽特性を有する材料によって箱型に形成し、天
井側にエアフィルタを介して天井空間を形成し、床側に
孔開き板を介して床下空間を形成し、上記天井空間と床
下空間との間に作業空間を形成し、且つ上記天井空間に
給気孔を設けると共に、床下空間に還気孔を設けた磁気
シールドルームと、この磁気シールドルームに於ける給
気孔と還気孔とを介して連通ずる空調機とで構成したも
のである。
本発明の請求項２に係る磁気シールドクリーンルームは
、磁気遮蔽特性を有する材料によって箱型に形成し、天
井側にエアフィルタを介して天井空間を形成し、床側に
孔開き仮を介して床下空間を形成し、上記天井空間と床
下空間との間に作業空間を形成し、且つ上記天井空間に
給気孔を設けると共に、床下空間に還気孔を設けた磁気
シールドルームと、この磁気シールドルームに於ける給
気孔と還気孔とを介して連通ずる空調機とで構成し、上
記作業空間に於ける上流側と下流側とに通気性を有する
磁気及び電磁波遮蔽材を配設したものである。
、磁気遮蔽特性を有する材料によって箱型に形成し、天
井側にエアフィルタを介して天井空間を形成し、床側に
孔開き仮を介して床下空間を形成し、上記天井空間と床
下空間との間に作業空間を形成し、且つ上記天井空間に
給気孔を設けると共に、床下空間に還気孔を設けた磁気
シールドルームと、この磁気シールドルームに於ける給
気孔と還気孔とを介して連通ずる空調機とで構成し、上
記作業空間に於ける上流側と下流側とに通気性を有する
磁気及び電磁波遮蔽材を配設したものである。
本発明の請求項３に係る磁気シールドクリーンルームは
、磁気遮蔽特性を存する材料によって箱型に形成し、天
井側にエアフィルタを介して天井空間を形成し、床側に
孔開き板を介して床下空間を形成し、上記天井空間と床
下空間との間に作業空間を形成し、且つ上記天井空間に
給気孔を設けると共に、床下空間に還気孔を設けた磁気
シールドルームと、この磁気シールドルームに於ける給
気孔と還気孔とを介して連通ずる空調機とで構成し、上
記空調機内の電気ヒータを通気性を有する磁気及び電磁
波遮蔽材で被うと共に、上記作業空間に於ける上流側と
下流側とに通気性を有する磁気及び電磁波遮蔽材を配設
したものである。
、磁気遮蔽特性を存する材料によって箱型に形成し、天
井側にエアフィルタを介して天井空間を形成し、床側に
孔開き板を介して床下空間を形成し、上記天井空間と床
下空間との間に作業空間を形成し、且つ上記天井空間に
給気孔を設けると共に、床下空間に還気孔を設けた磁気
シールドルームと、この磁気シールドルームに於ける給
気孔と還気孔とを介して連通ずる空調機とで構成し、上
記空調機内の電気ヒータを通気性を有する磁気及び電磁
波遮蔽材で被うと共に、上記作業空間に於ける上流側と
下流側とに通気性を有する磁気及び電磁波遮蔽材を配設
したものである。
本発明の請求項４に係る磁気シールドクリーンルームは
、磁気遮蔽特性を有する材料によって箱型に形成し、天
井側にエアフィルタを介して天井空間を形成し、床側に
孔開き板を介して床下空間を形成し、上記天井空間と床
下空間との間に作業空間を形成し、且つ上記天井空間に
給気孔を設けると共に、床下空間に還気孔を設けた磁気
シールドルームと、この磁気シールドルームに於ける給
気孔と還気孔とを介して連通ずる空調機とで構成し、上
記空調機内の電気ヒータを通気性を有する磁気及び電磁
波遮蔽材で被ったものである。
、磁気遮蔽特性を有する材料によって箱型に形成し、天
井側にエアフィルタを介して天井空間を形成し、床側に
孔開き板を介して床下空間を形成し、上記天井空間と床
下空間との間に作業空間を形成し、且つ上記天井空間に
給気孔を設けると共に、床下空間に還気孔を設けた磁気
シールドルームと、この磁気シールドルームに於ける給
気孔と還気孔とを介して連通ずる空調機とで構成し、上
記空調機内の電気ヒータを通気性を有する磁気及び電磁
波遮蔽材で被ったものである。
本発明の請求項５に係る磁気シールドクリーンルームは
、磁気遮蔽特性を有する材料によって箱型に形成し、天
井側にエアフィルタを介して天井空間を形成し、床側に
孔開き板を介して床下空間を形成し、上記天井空間と床
下空間との間に作業空間を形成し、且つ上記天井空間に
給気孔を設けると共に、床下空間に還気孔を設けた磁気
シールドルームと、この磁気シールドルームに於ける給
気孔と還気孔とを介して連通ずる空調機とで構成し、上
記空調機内の電気ヒータを通気性を有する磁気及び電磁
波遮蔽材で被うと共に、上記エアフィルタ上に通気性を
有する磁気及び電磁波遮蔽材を配設したものである。
、磁気遮蔽特性を有する材料によって箱型に形成し、天
井側にエアフィルタを介して天井空間を形成し、床側に
孔開き板を介して床下空間を形成し、上記天井空間と床
下空間との間に作業空間を形成し、且つ上記天井空間に
給気孔を設けると共に、床下空間に還気孔を設けた磁気
シールドルームと、この磁気シールドルームに於ける給
気孔と還気孔とを介して連通ずる空調機とで構成し、上
記空調機内の電気ヒータを通気性を有する磁気及び電磁
波遮蔽材で被うと共に、上記エアフィルタ上に通気性を
有する磁気及び電磁波遮蔽材を配設したものである。
本発明の請求項６に係る磁気シールドクリーンルームは
、磁気遮蔽特性を有する材料によって箱型に形成し、天
井側にエアフィルタを介して天井空間を形成し、床側に
孔開き板を介して床下空間を形成し、上記天井空間と床
下空間との間に作業空間を形成し、且つ上記天井空間に
給気孔を設けると共に、床下空間に還気孔を設けた磁気
シールドルームと、この磁気シールドルームに於ける給
気孔と還気孔とを介して連通ずる空調機とで構成し、上
記空調機内の電気ヒータを通気性を有する磁気及び電磁
波遮蔽材で被うと共に、上記孔開き板の下に通気性を有
する磁気及び電磁波遮蔽材を配設したものである。
、磁気遮蔽特性を有する材料によって箱型に形成し、天
井側にエアフィルタを介して天井空間を形成し、床側に
孔開き板を介して床下空間を形成し、上記天井空間と床
下空間との間に作業空間を形成し、且つ上記天井空間に
給気孔を設けると共に、床下空間に還気孔を設けた磁気
シールドルームと、この磁気シールドルームに於ける給
気孔と還気孔とを介して連通ずる空調機とで構成し、上
記空調機内の電気ヒータを通気性を有する磁気及び電磁
波遮蔽材で被うと共に、上記孔開き板の下に通気性を有
する磁気及び電磁波遮蔽材を配設したものである。
本発明の請求項１に係る磁気シールドクリーンルームに
於ては、空調機から所定の清浄度及び温湿度を有する空
気が供給されると共に、磁気シールドルーム内を加圧状
態に保つことが出来、且つ磁気遮蔽特性を有する材料に
よって磁気が遮蔽され、作業空間内には磁気が及ばず、
作業空間内に設置される電子線装置等による検査や測定
が支障なく出来る。
於ては、空調機から所定の清浄度及び温湿度を有する空
気が供給されると共に、磁気シールドルーム内を加圧状
態に保つことが出来、且つ磁気遮蔽特性を有する材料に
よって磁気が遮蔽され、作業空間内には磁気が及ばず、
作業空間内に設置される電子線装置等による検査や測定
が支障なく出来る。
又、本発明の請求項２乃至６に係る磁気シールドクリー
ンルームに於ては、空調機から所定の清浄度及び温湿度
を有する空気が供給されると共に、磁気シールドルーム
内を加圧状態に保つことが出来、且つ磁気遮蔽特性を有
する材料によって磁気が遮蔽され、更に、空調機側から
漏洩する虞のある磁気が通気性を有する磁気及び電磁波
遮蔽材によって遮蔽され、作業空間内には磁気が及ばず
、作業空間内に設置される電子線装置等による検査や測
定が支障なく出来る。
ンルームに於ては、空調機から所定の清浄度及び温湿度
を有する空気が供給されると共に、磁気シールドルーム
内を加圧状態に保つことが出来、且つ磁気遮蔽特性を有
する材料によって磁気が遮蔽され、更に、空調機側から
漏洩する虞のある磁気が通気性を有する磁気及び電磁波
遮蔽材によって遮蔽され、作業空間内には磁気が及ばず
、作業空間内に設置される電子線装置等による検査や測
定が支障なく出来る。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明に係る磁気シールドクリーンルームの第
一実施例を示すもので、１は、磁気シールドルームであ
る。
一実施例を示すもので、１は、磁気シールドルームであ
る。
この磁気シールドルーム１は、アルミニウム等の非磁性
材により構成された骨組み２によって箱型形状とし、そ
の内層３と外層４にパーマロイにより形成された磁気遮
蔽壁が取り付けである。即ち、この磁気シールドルーム
ｌは、パーマロイにより形成された磁気遮蔽壁が二重に
形成されている。
材により構成された骨組み２によって箱型形状とし、そ
の内層３と外層４にパーマロイにより形成された磁気遮
蔽壁が取り付けである。即ち、この磁気シールドルーム
ｌは、パーマロイにより形成された磁気遮蔽壁が二重に
形成されている。
又、この磁気シールドルーム１の天井側の一側壁には、
給気孔５が穿設されている。この給気孔５には、給気ダ
クト６が取り付けられている。更に、給気孔５には、第
２図に示す如く、開孔率１０〜６０％の多数の小孔を穿
設したパーマロイ磁気フィルタ７及び８が所望の間隔を
隔てて２枚取り付けられている。そして、パーマロイ磁
気フィルタ７及び８は、−吉例がアルミニウムハニカム
９によって保持され、他方側が内Ｎ３と外層４として取
り付けられているパーマロイと接触し、更に、内Ｎ３と
外層４に於けるパーマロイ磁気フィルタ７及び８の反対
側に別のアルミニウムハニカム１０が取り付けられてい
る。
給気孔５が穿設されている。この給気孔５には、給気ダ
クト６が取り付けられている。更に、給気孔５には、第
２図に示す如く、開孔率１０〜６０％の多数の小孔を穿
設したパーマロイ磁気フィルタ７及び８が所望の間隔を
隔てて２枚取り付けられている。そして、パーマロイ磁
気フィルタ７及び８は、−吉例がアルミニウムハニカム
９によって保持され、他方側が内Ｎ３と外層４として取
り付けられているパーマロイと接触し、更に、内Ｎ３と
外層４に於けるパーマロイ磁気フィルタ７及び８の反対
側に別のアルミニウムハニカム１０が取り付けられてい
る。
更に、磁気シールドルームｌの天井側の一側壁に穿設し
た給気孔５の室内側には、この給気孔５よりも床寄りに
非磁性材により形成された天井軸組み１１が取り付けら
れ、その上部に非磁性材により形成されたエアフィルタ
１２が取り付けられている。このエアフィルタ１２の取
付によって、天井空間１３が形成される。
た給気孔５の室内側には、この給気孔５よりも床寄りに
非磁性材により形成された天井軸組み１１が取り付けら
れ、その上部に非磁性材により形成されたエアフィルタ
１２が取り付けられている。このエアフィルタ１２の取
付によって、天井空間１３が形成される。
この天井空間１３の下方には、作業空間１４が形成され
、その壁には出入扉１５が取り付けられている。
、その壁には出入扉１５が取り付けられている。
作業空間１４の床側には、非磁性材により形成された床
軸組み１６が取り付けられ、その床軸組み１６上に非磁
性材により形成されたグレーチング板１７が敷かれてい
る。このグレーチング板１７の取付によって床下空間１
８が形成される。
軸組み１６が取り付けられ、その床軸組み１６上に非磁
性材により形成されたグレーチング板１７が敷かれてい
る。このグレーチング板１７の取付によって床下空間１
８が形成される。
この床下空間１８が形成されている磁気シールドルーム
１の一側壁には、還気孔１９が穿設されている。この還
気孔１９は給気孔５と同一方向に設けられている。この
還気孔１９には、運気ダクト２１が取り付けられている
。更に、還気孔１９には、給気孔５と同様に、パーマロ
イ磁気フィルタ７及び８が取り付けられている。
１の一側壁には、還気孔１９が穿設されている。この還
気孔１９は給気孔５と同一方向に設けられている。この
還気孔１９には、運気ダクト２１が取り付けられている
。更に、還気孔１９には、給気孔５と同様に、パーマロ
イ磁気フィルタ７及び８が取り付けられている。
この磁気シールドルーム１に於ける給気孔５と還気孔１
９とが設けられている壁面側には、空調機３０が配設さ
れている。この空調機３０には、冷水コイル３１．温水
コイル３２．ファン３３及び電気ヒータ３４が内装され
ている。そして、上方の電気ヒータ３４側の部位には、
給気ダクト６を取り付ける給気孔３５が設けられ、下方
の部位には、還気ダクト３７を取り付ける還気孔３６が
設けられている。更に、空調機３０の下部には、外気取
入口３８が設けられている。尚、４２は加湿器である。
９とが設けられている壁面側には、空調機３０が配設さ
れている。この空調機３０には、冷水コイル３１．温水
コイル３２．ファン３３及び電気ヒータ３４が内装され
ている。そして、上方の電気ヒータ３４側の部位には、
給気ダクト６を取り付ける給気孔３５が設けられ、下方
の部位には、還気ダクト３７を取り付ける還気孔３６が
設けられている。更に、空調機３０の下部には、外気取
入口３８が設けられている。尚、４２は加湿器である。
次に、斯して構成された本実施例の作用を説明する。
磁気シールドルーム１と空調機３０とは、給気ダクト６
と還気ダクト２０によって連通しているから、空調機３
０を作動すると、この空調機３０で生成された所定の清
浄度及び温湿度を有する空気が、磁気シールドルーム１
と空調機３０との間を循環する。即ち、空調機３０から
循環空気が給気ダクト６及び給気孔５を経て矢印の如く
天井空間１３内に供給されると、この循環空気はエアフ
ィルタ１２→作業空間１４→グレーチング板１７→床下
空間１８→還気孔１９→還気ダクト２０→空調機３０と
いう回路を循環することになる。
と還気ダクト２０によって連通しているから、空調機３
０を作動すると、この空調機３０で生成された所定の清
浄度及び温湿度を有する空気が、磁気シールドルーム１
と空調機３０との間を循環する。即ち、空調機３０から
循環空気が給気ダクト６及び給気孔５を経て矢印の如く
天井空間１３内に供給されると、この循環空気はエアフ
ィルタ１２→作業空間１４→グレーチング板１７→床下
空間１８→還気孔１９→還気ダクト２０→空調機３０と
いう回路を循環することになる。
又、磁気シールドルーム１は、クリーンルームとして機
能するために、調整器によって室内が加圧状態に保持さ
れている。
能するために、調整器によって室内が加圧状態に保持さ
れている。
そして、空調機３０の給気孔３５の近傍に設けられてい
る電気ヒータ３４から漏洩する磁気は、給気孔５に設け
られているパーマロイ磁気フィルタ７及び８によって遮
蔽され、磁気シールドルーム１内に侵入しいないように
なっている。
る電気ヒータ３４から漏洩する磁気は、給気孔５に設け
られているパーマロイ磁気フィルタ７及び８によって遮
蔽され、磁気シールドルーム１内に侵入しいないように
なっている。
又、磁気シールドルームｌでは、骨組み２を介して内外
Ｎ３，４がパーマロイによって形成されているので、外
界からの磁気の侵入が阻止されている。
Ｎ３，４がパーマロイによって形成されているので、外
界からの磁気の侵入が阻止されている。
この状態で、作業空間１４内に電子線装置を配設して操
作すると、この作業空間１４内には磁気が全く及ばない
ため、電子線装置による検査や測定が支障なく出来る。
作すると、この作業空間１４内には磁気が全く及ばない
ため、電子線装置による検査や測定が支障なく出来る。
以上の如く、本実施例によれば、磁気シールドルーム１
に給気孔５と還気孔１９を設け、この給気孔５と還気孔
１９とを空調機３０と連通させることによって、磁気シ
ールドルーム１をクリーンルームとして機能させること
が可能となった。而も、この磁気シールドルーム１は、
給気孔５と還気孔１９とに、磁気シールドルーム１の内
層３及び外層４を形成するパーマロイと導通するように
各別に２つのパーマロイ磁気フィルタ７及び８を取り付
けることによって、従来の磁気シールドルームでは磁気
遮蔽が困難とされる大きな開口である給気孔５と還気孔
１９が形成されても、磁気遮蔽することが可能となった
。
に給気孔５と還気孔１９を設け、この給気孔５と還気孔
１９とを空調機３０と連通させることによって、磁気シ
ールドルーム１をクリーンルームとして機能させること
が可能となった。而も、この磁気シールドルーム１は、
給気孔５と還気孔１９とに、磁気シールドルーム１の内
層３及び外層４を形成するパーマロイと導通するように
各別に２つのパーマロイ磁気フィルタ７及び８を取り付
けることによって、従来の磁気シールドルームでは磁気
遮蔽が困難とされる大きな開口である給気孔５と還気孔
１９が形成されても、磁気遮蔽することが可能となった
。
従って、本実施例では、磁気遮蔽とクリーンルームの２
つの要求機能を満足することが可能となった。
つの要求機能を満足することが可能となった。
本実施例によれば、磁気シールドルーム１の寸法を２３
７０Ｘ２３７０Ｘ４４１５ｈ 、重量を４ｔ、室内平面
を２１００ Ｘ ２１００、天井高さを２４００とし、
且つ、空調機３０の寸法を２２００ Ｘ ５００ Ｘ
４０００ｈとした場合の磁気シールドの性能とクリーン
ルームの性能を実測した処、次の如き結果を得た。
７０Ｘ２３７０Ｘ４４１５ｈ 、重量を４ｔ、室内平面
を２１００ Ｘ ２１００、天井高さを２４００とし、
且つ、空調機３０の寸法を２２００ Ｘ ５００ Ｘ
４０００ｈとした場合の磁気シールドの性能とクリーン
ルームの性能を実測した処、次の如き結果を得た。
磁気シールドとしての性能は、残留静磁界で１ｍＧ （
ミリガウス）以下（他磁界の約５００分の１）であるこ
とが、磁気シールドルーム１内の全測定点で実測された
。又、外部の直流の変動磁界に対する磁気シールドルー
ム１内部の磁界は、横方向で６０分の１以下、高さ方向
で４０分の１以下であることが実測確認された。更に、
同様の方法によって交流変動磁界の遮蔽性能が８０ｄＢ
以上であることが確認された。更に又、１００ｄＢ以上
の電界シールド性能も確認された。
ミリガウス）以下（他磁界の約５００分の１）であるこ
とが、磁気シールドルーム１内の全測定点で実測された
。又、外部の直流の変動磁界に対する磁気シールドルー
ム１内部の磁界は、横方向で６０分の１以下、高さ方向
で４０分の１以下であることが実測確認された。更に、
同様の方法によって交流変動磁界の遮蔽性能が８０ｄＢ
以上であることが確認された。更に又、１００ｄＢ以上
の電界シールド性能も確認された。
又、クリーンルームとしての性能は、空調機３０により
、清浄度が０．１μｍ ・クラス１、温度・湿度をそれ
ぞれ±０．１°Ｃ・±３％以内に制御することが出来た
。
、清浄度が０．１μｍ ・クラス１、温度・湿度をそれ
ぞれ±０．１°Ｃ・±３％以内に制御することが出来た
。
尚、上記実施例では、磁気遮蔽性能を確実に高めるため
に、給気孔５−及び還気孔１９に２つのパーマロイフィ
ルタ７及び８を取り付けた場合について説明したが、例
えば、給気孔５にパーマロイフィルタ７及び８を取り付
け、還気孔１９に設けたパーマロイフィルタ７及び８を
グレーチング板１７に設け、還気孔１９にはパーマロイ
フィルタ７及び８を取り付けないとか、又は、給気孔５
にはパーマロイフィルタ７及び８を取り付けず、エアフ
ィルタ１２と還気孔１９とに各別にパーマロイフィルタ
７及び８を取り付けるとか、或いは、給気孔５と還気孔
１９にはパーマロイフィルタ７及び８を取り付けず、エ
アフィルタ１２とグレーチング板１７にパーマロイフィ
ルタ７及び８を取り付ける等の対策を講じることも可能
である。
に、給気孔５−及び還気孔１９に２つのパーマロイフィ
ルタ７及び８を取り付けた場合について説明したが、例
えば、給気孔５にパーマロイフィルタ７及び８を取り付
け、還気孔１９に設けたパーマロイフィルタ７及び８を
グレーチング板１７に設け、還気孔１９にはパーマロイ
フィルタ７及び８を取り付けないとか、又は、給気孔５
にはパーマロイフィルタ７及び８を取り付けず、エアフ
ィルタ１２と還気孔１９とに各別にパーマロイフィルタ
７及び８を取り付けるとか、或いは、給気孔５と還気孔
１９にはパーマロイフィルタ７及び８を取り付けず、エ
アフィルタ１２とグレーチング板１７にパーマロイフィ
ルタ７及び８を取り付ける等の対策を講じることも可能
である。
第３図は上記第一実施例に於ける電気ヒータ３４から漏
洩する磁気を遮蔽するために、電気ヒータ３４をパーマ
ロイ磁気フィルタ３９で囲んだものである。
洩する磁気を遮蔽するために、電気ヒータ３４をパーマ
ロイ磁気フィルタ３９で囲んだものである。
この実施例によれば、電気ヒータ３４から漏洩する磁気
が確実に遮蔽され、更に高い磁気遮蔽かうのうとなる。
が確実に遮蔽され、更に高い磁気遮蔽かうのうとなる。
又、本発明に於ては、主に磁気を漏洩する機器としては
、電気ヒータ３４であるため、例えば第４図に示す如く
、この電気ヒータ３４をパーマロイ磁気フィルタ３９で
囲んでしまうと、給気孔５と還気孔１９とに各別にパー
マロイ磁気フィルタ７及び８を設けなくても機能する。
、電気ヒータ３４であるため、例えば第４図に示す如く
、この電気ヒータ３４をパーマロイ磁気フィルタ３９で
囲んでしまうと、給気孔５と還気孔１９とに各別にパー
マロイ磁気フィルタ７及び８を設けなくても機能する。
更に、磁気遮蔽機能を高めるためには、例えば第５図に
示す如く、エアフィルタ１２の上部にパーマロイ磁気フ
ィルタ４０を配設するとか、第６図に示す如（、グレー
チング板１７下にパーマロイ磁気フィルタ４１を配設す
ることも可能である。
示す如く、エアフィルタ１２の上部にパーマロイ磁気フ
ィルタ４０を配設するとか、第６図に示す如（、グレー
チング板１７下にパーマロイ磁気フィルタ４１を配設す
ることも可能である。
以上の各実施例では、空調８！３０に電気ヒータ３４を
組み込んだ場合について説明したが、電気ヒータ３０に
代えて磁気が漏洩しない型の加温器を使用する場合には
、第１図に示す実施例に於ける給気孔５と還気孔１９と
にそれぞれ設けた２つのパーマロイ磁気フィルタ７及び
８を省略することも可能である。
組み込んだ場合について説明したが、電気ヒータ３０に
代えて磁気が漏洩しない型の加温器を使用する場合には
、第１図に示す実施例に於ける給気孔５と還気孔１９と
にそれぞれ設けた２つのパーマロイ磁気フィルタ７及び
８を省略することも可能である。
又、上記実施例では、作業空間１４内に設置する機器と
して電子線装置について説明したが、磁気遮蔽下でクリ
ーンルーム内での使用が要望される機器であれば如何な
るものであっても良い。
して電子線装置について説明したが、磁気遮蔽下でクリ
ーンルーム内での使用が要望される機器であれば如何な
るものであっても良い。
更に、微弱な生体磁気の測定を行なうために使用する場
合には、クリーンルームである必要はないが、空調機３
０の運転状況及び調整器を適宜調整することによって、
当然に使用が可能である。
合には、クリーンルームである必要はないが、空調機３
０の運転状況及び調整器を適宜調整することによって、
当然に使用が可能である。
以上の如く、本発明の請求項１に係る磁気シールドクリ
ーンルームによれば、空調機から所定の清浄度及び温湿
度を有する空気が供給されると共に、磁気シールドルー
ム内を加圧状態に保つことが出来、且つ磁気遮蔽特性を
有する材料によって磁気が遮蔽され、作業空間内には磁
気が及ばないから、磁気シールドルームと空調機とを分
離しても、磁気遮蔽性能を低下することなく、磁気シー
ルドルーム内を清浄度及び温湿度の良い空間とすること
が可能となり、内部に設置した荷電粒子線装置等の機器
が外乱磁界の影響を受けることなく、使用することが出
来る。
ーンルームによれば、空調機から所定の清浄度及び温湿
度を有する空気が供給されると共に、磁気シールドルー
ム内を加圧状態に保つことが出来、且つ磁気遮蔽特性を
有する材料によって磁気が遮蔽され、作業空間内には磁
気が及ばないから、磁気シールドルームと空調機とを分
離しても、磁気遮蔽性能を低下することなく、磁気シー
ルドルーム内を清浄度及び温湿度の良い空間とすること
が可能となり、内部に設置した荷電粒子線装置等の機器
が外乱磁界の影響を受けることなく、使用することが出
来る。
又、本発明の請求項２乃至６に係る磁気シールドクリー
ンルームによれば、上記請求項１に係る磁気シールドク
リーンルームによる効果に加えて、空調機内に設けた電
気ヒータから漏洩される虞のある磁気が通気性を有する
磁気及び電磁波遮蔽材によって遮蔽することが出来る。
ンルームによれば、上記請求項１に係る磁気シールドク
リーンルームによる効果に加えて、空調機内に設けた電
気ヒータから漏洩される虞のある磁気が通気性を有する
磁気及び電磁波遮蔽材によって遮蔽することが出来る。
第１図は本発明の第一実施例に係る磁気シールドクリー
ンルームを縦断面にして示す説明図である。 第２図は第１図に於ける給気孔と還気孔とに於ける磁気
遮蔽構造を示す拡大断面図である。 第３図は本発明の第一実施例に係る磁気シールドクリー
ンルームに於ける電気ヒータを磁気遮蔽した変形例を縦
断面にして示す説明図である。 第４図乃至第６図は本発明の別の実施例に係る磁気シー
ルドクリーンルームを縦断面にして示す説明図である。 〔主要な部分の符号の説明］ １ ・ ・ ・ ５ ・ ・ ・ ７、８ ・ ｌ ２ ・ ・ １３ ・ ・ １４ ・ ・ １７ ・ ・ １８ ・ ・ １９ ・ ・ ３０ ・ ・ ３４ ・ ・ ３９、４ 磁気シールドルーム 給気孔 ・・パーマロイ磁気フィルタ ・エアフィルタ ・天井空間 ・作業空間 ・グレーチング板 ・床下空間 ・還気孔 ・空調機 ・電気ヒータ ０．４１・・・パーマロイ磁気フィル タ。 特許出願人 株式会社竹中工務店 第 図 第 図 第 図 第 図
ンルームを縦断面にして示す説明図である。 第２図は第１図に於ける給気孔と還気孔とに於ける磁気
遮蔽構造を示す拡大断面図である。 第３図は本発明の第一実施例に係る磁気シールドクリー
ンルームに於ける電気ヒータを磁気遮蔽した変形例を縦
断面にして示す説明図である。 第４図乃至第６図は本発明の別の実施例に係る磁気シー
ルドクリーンルームを縦断面にして示す説明図である。 〔主要な部分の符号の説明］ １ ・ ・ ・ ５ ・ ・ ・ ７、８ ・ ｌ ２ ・ ・ １３ ・ ・ １４ ・ ・ １７ ・ ・ １８ ・ ・ １９ ・ ・ ３０ ・ ・ ３４ ・ ・ ３９、４ 磁気シールドルーム 給気孔 ・・パーマロイ磁気フィルタ ・エアフィルタ ・天井空間 ・作業空間 ・グレーチング板 ・床下空間 ・還気孔 ・空調機 ・電気ヒータ ０．４１・・・パーマロイ磁気フィル タ。 特許出願人 株式会社竹中工務店 第 図 第 図 第 図 第 図
Claims (6)
- （１）磁気遮蔽特性を有する材料によって箱型に形成し
、天井側にエアフィルタを介して天井空間を形成し、床
側に孔開き板を介して床下空間を形成し、上記天井空間
と床下空間との間に作業空間を形成し、且つ上記天井空
間に給気孔を設けると共に、床下空間に還気孔を設けた
磁気シールドルームと、この磁気シールドルームに於け
る給気孔と還気孔とを介して連通する空調機とで構成し
たことを特徴とする磁気シールドクリーンルーム。 - （２）磁気遮蔽特性を有する材料によって箱型に形成し
、天井側にエアフィルタを介して天井空間を形成し、床
側に孔開き板を介して床下空間を形成し、上記天井空間
と床下空間との間に作業空間を形成し、且つ上記天井空
間に給気孔を設けると共に、床下空間に還気孔を設けた
磁気シールドルームと、この磁気シールドルームに於け
る給気孔と還気孔とを介して連通する空調機とで構成し
、上記作業空間に於ける上流側と下流側とに通気性を有
する磁気及び電磁波遮蔽材を配設したことを特徴とする
磁気シールドクリーンルーム。 - （３）磁気遮蔽特性を有する材料によって箱型に形成し
、天井側にエアフィルタを介して天井空間を形成し、床
側に孔開き板を介して床下空間を形成し、上記天井空間
と床下空間との間に作業空間を形成し、且つ上記天井空
間に給気孔を設けると共に、床下空間に還気孔を設けた
磁気シールドルームと、この磁気シールドルームに於け
る給気孔と還気孔とを介して連通する空調機とで構成し
、上記空調機内の電気ヒータを通気性を有する磁気及び
電磁波遮蔽材で被うと共に、上記作業空間に於ける上流
側と下流側とに通気性を有する磁気及び電磁波遮蔽材を
配設したことを特徴とする磁気シールドクリーンルーム
。 - （４）磁気遮蔽特性を有する材料によって箱型に形成し
、天井側にエアフィルタを介して天井空間を形成し、床
側に孔開き板を介して床下空間を形成し、上記天井空間
と床下空間との間に作業空間を形成し、且つ上記天井空
間に給気孔を設けると共に、床下空間に還気孔を設けた
磁気シールドルームと、この磁気シールドルームに於け
る給気孔と還気孔とを介して連通する空調機とで構成し
、上記空調機内の電気ヒータを通気性を有する磁気及び
電磁波遮蔽材で被ったことを特徴とする磁気シールドク
リーンルーム。 - （５）磁気遮蔽特性を有する材料によって箱型に形成し
、天井側にエアフィルタを介して天井空間を形成し、床
側に孔開き板を介して床下空間を形成し、上記天井空間
と床下空間との間に作業空間を形成し、且つ上記天井空
間に給気孔を設けると共に、床下空間に還気孔を設けた
磁気シールドルームと、この磁気シールドルームに於け
る給気孔と還気孔とを介して連通する空調機とで構成し
、上記空調機内の電気ヒータを通気性を有する磁気及び
電磁波遮蔽材で被うと共に、上記エアフィルタ上に通気
性を有する磁気及び電磁波遮蔽材を配設したことを特徴
とする磁気シールドクリーンルーム。 - （６）磁気遮蔽特性を有する材料によって箱型に形成し
、天井側にエアフィルタを介して天井空間を形成し、床
側に孔開き板を介して床下空間を形成し、上記天井空間
と床下空間との間に作業空間を形成し、且つ上記天井空
間に給気孔を設けると共に、床下空間に還気孔を設けた
磁気シールドルームと、この磁気シールドルームに於け
る給気孔と還気孔とを介して連通する空調機とで構成し
、上記空調機内の電気ヒータを通気性を有する磁気及び
電磁波遮蔽材で被うと共に、上記孔開き板の下に通気性
を有する磁気及び電磁波遮蔽材を配設したことを特徴と
する磁気シールドクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63186049A JP2603694B2 (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 | 磁気シールドクリーンルーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63186049A JP2603694B2 (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 | 磁気シールドクリーンルーム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02192534A true JPH02192534A (ja) | 1990-07-30 |
| JP2603694B2 JP2603694B2 (ja) | 1997-04-23 |
Family
ID=16181504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63186049A Expired - Lifetime JP2603694B2 (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 | 磁気シールドクリーンルーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2603694B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0650584A (ja) * | 1991-04-19 | 1994-02-22 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 電磁波シールド室 |
| JPH0640226U (ja) * | 1992-10-26 | 1994-05-27 | 三機工業株式会社 | 間仕切り装置 |
| US5641354A (en) * | 1995-07-10 | 1997-06-24 | Seh America, Inc. | Puller cell |
| US6668565B1 (en) | 2002-04-12 | 2003-12-30 | American Power Conversion | Rack-mounted equipment cooling |
| US6859366B2 (en) | 2003-03-19 | 2005-02-22 | American Power Conversion | Data center cooling system |
| US7173820B2 (en) | 2003-03-19 | 2007-02-06 | American Power Conversion Corporation | Data center cooling |
| US7259963B2 (en) | 2004-12-29 | 2007-08-21 | American Power Conversion Corp. | Rack height cooling |
| US7841199B2 (en) | 2005-05-17 | 2010-11-30 | American Power Conversion Corporation | Cold aisle isolation |
| CN104420675A (zh) * | 2013-09-04 | 2015-03-18 | 中集集团集装箱控股有限公司 | 适合焊接作业的厂房 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5434172A (en) * | 1977-08-22 | 1979-03-13 | Hitachi Ltd | Electromagnetic-shielding dust-proof constant-temperature chamber |
| JPS55166997A (en) * | 1979-06-15 | 1980-12-26 | Tohoku Metal Ind Ltd | Magnetic shielding room |
| JPS6019616A (ja) * | 1983-07-14 | 1985-01-31 | Hitachi Ltd | 搬送装置 |
| JPS6144479U (ja) * | 1984-08-24 | 1986-03-24 | 日立建機株式会社 | 把持装置 |
-
1988
- 1988-07-26 JP JP63186049A patent/JP2603694B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5434172A (en) * | 1977-08-22 | 1979-03-13 | Hitachi Ltd | Electromagnetic-shielding dust-proof constant-temperature chamber |
| JPS55166997A (en) * | 1979-06-15 | 1980-12-26 | Tohoku Metal Ind Ltd | Magnetic shielding room |
| JPS6019616A (ja) * | 1983-07-14 | 1985-01-31 | Hitachi Ltd | 搬送装置 |
| JPS6144479U (ja) * | 1984-08-24 | 1986-03-24 | 日立建機株式会社 | 把持装置 |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0650584A (ja) * | 1991-04-19 | 1994-02-22 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 電磁波シールド室 |
| JPH0640226U (ja) * | 1992-10-26 | 1994-05-27 | 三機工業株式会社 | 間仕切り装置 |
| US5641354A (en) * | 1995-07-10 | 1997-06-24 | Seh America, Inc. | Puller cell |
| US5702522A (en) * | 1995-07-10 | 1997-12-30 | Seh America, Inc. | Method of operating a growing hall containing puller cells |
| US5749967A (en) * | 1995-07-10 | 1998-05-12 | Seh America, Inc. | Puller cell |
| US6668565B1 (en) | 2002-04-12 | 2003-12-30 | American Power Conversion | Rack-mounted equipment cooling |
| US8432690B2 (en) | 2003-03-19 | 2013-04-30 | American Power Conversion Corporation | Data center cooling |
| US6859366B2 (en) | 2003-03-19 | 2005-02-22 | American Power Conversion | Data center cooling system |
| US7173820B2 (en) | 2003-03-19 | 2007-02-06 | American Power Conversion Corporation | Data center cooling |
| US8780555B2 (en) | 2003-03-19 | 2014-07-15 | American Power Conversion Corporation | Data center cooling |
| US7881057B2 (en) | 2003-03-19 | 2011-02-01 | American Power Conversion Corporation | Data center cooling |
| US7259963B2 (en) | 2004-12-29 | 2007-08-21 | American Power Conversion Corp. | Rack height cooling |
| US8156753B2 (en) | 2005-05-17 | 2012-04-17 | American Power Conversion Corporation | Cold aisle isolation |
| US7992402B2 (en) | 2005-05-17 | 2011-08-09 | American Power Conversion Corporation | Cold aisle isolation |
| US7841199B2 (en) | 2005-05-17 | 2010-11-30 | American Power Conversion Corporation | Cold aisle isolation |
| CN104420675A (zh) * | 2013-09-04 | 2015-03-18 | 中集集团集装箱控股有限公司 | 适合焊接作业的厂房 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2603694B2 (ja) | 1997-04-23 |
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