JPH0650584A - 電磁波シールド室 - Google Patents
電磁波シールド室Info
- Publication number
- JPH0650584A JPH0650584A JP3115655A JP11565591A JPH0650584A JP H0650584 A JPH0650584 A JP H0650584A JP 3115655 A JP3115655 A JP 3115655A JP 11565591 A JP11565591 A JP 11565591A JP H0650584 A JPH0650584 A JP H0650584A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electromagnetic wave
- room
- plate
- ceiling surface
- clean
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ventilation (AREA)
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
- Building Environments (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 １つの室で電磁波、磁場シールドができるよ
うにする。 【構成】 天井面に高透磁材料のパンチング板１７と導
電性材質のハニカム１８を配置する。側面板を高透磁率
材料２４と高導電率材料２５とを重ね合せて２重構造と
する。グレーチング板１４の下方に導電性材質のハニカ
ム２０と高透磁率材質のパンチング板２１を配置する。
うにする。 【構成】 天井面に高透磁材料のパンチング板１７と導
電性材質のハニカム１８を配置する。側面板を高透磁率
材料２４と高導電率材料２５とを重ね合せて２重構造と
する。グレーチング板１４の下方に導電性材質のハニカ
ム２０と高透磁率材質のパンチング板２１を配置する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電磁波シールド室に係わ
り、特に、クリーンルーム内に設置される電磁波シール
ド室に関する。
り、特に、クリーンルーム内に設置される電磁波シール
ド室に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は電磁波シールド室１をクリーンル
ーム２内に設置した場合の一例を示す図である。電磁波
シールド室１は、その側壁３、天井４、床面５の６面が
密閉された構造となっており、出入り口はドア６の１箇
所だけとなっている。また、電磁波シールド室１は、ク
リーンルーム２のグレーチング板７上に設置されてお
り、該グレーチング板７は天井面８の裏側に配置された
フィルター９を通って床面側に吹き出されるクリーンエ
ア１０を吸い込むように構成されている。
ーム２内に設置した場合の一例を示す図である。電磁波
シールド室１は、その側壁３、天井４、床面５の６面が
密閉された構造となっており、出入り口はドア６の１箇
所だけとなっている。また、電磁波シールド室１は、ク
リーンルーム２のグレーチング板７上に設置されてお
り、該グレーチング板７は天井面８の裏側に配置された
フィルター９を通って床面側に吹き出されるクリーンエ
ア１０を吸い込むように構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、従来の電磁
波シールド室の構造では、該電磁波シールド室１をクリ
ーンルーム２内に設置した場合、クリーンエア１０の流
通がなく、室内作業はもとより、クリーンルーム２の室
内汚染源にもなっていた。
波シールド室の構造では、該電磁波シールド室１をクリ
ーンルーム２内に設置した場合、クリーンエア１０の流
通がなく、室内作業はもとより、クリーンルーム２の室
内汚染源にもなっていた。
【０００４】また、クリーンルーム２内での電磁波シー
ルド室１の必要性に関しては、特に半導体製造用クリー
ンルームがそのよう要望が大きい。この製造工程で使用
される拡散炉、イオン注入装置、スパッタリング、エッ
チング装置等には加熱や、気体のイオン化のために高周
波電源が使われており、該装置からの漏洩電磁波が相当
実測され、装置間及び機器間の誤動作が誘発されている
のが実態である。さらに、磁場障害については、電子線
ビームを用いる電子線露光装置、透過型電子顕微鏡、走
査型電子顕微鏡等が対象となり、現状は磁場専用のシー
ルド室で対応している。このように電磁波障害に関して
は殆ど野放し状態である。
ルド室１の必要性に関しては、特に半導体製造用クリー
ンルームがそのよう要望が大きい。この製造工程で使用
される拡散炉、イオン注入装置、スパッタリング、エッ
チング装置等には加熱や、気体のイオン化のために高周
波電源が使われており、該装置からの漏洩電磁波が相当
実測され、装置間及び機器間の誤動作が誘発されている
のが実態である。さらに、磁場障害については、電子線
ビームを用いる電子線露光装置、透過型電子顕微鏡、走
査型電子顕微鏡等が対象となり、現状は磁場専用のシー
ルド室で対応している。このように電磁波障害に関して
は殆ど野放し状態である。
【０００５】一方、現状では磁場障害と電磁波勝敗は別
々に対応なされており、併用されたシールド室、特にク
リーンルーム内で使用可能なものについては現状見当た
らない。また、限られたクリーンルームのスペース内
で、電磁波・磁場併用シールド室は省スペース化等の点
からも必要である。
々に対応なされており、併用されたシールド室、特にク
リーンルーム内で使用可能なものについては現状見当た
らない。また、限られたクリーンルームのスペース内
で、電磁波・磁場併用シールド室は省スペース化等の点
からも必要である。
【０００６】本発明の目的は、塵埃汚染が無く、しかも
電磁波・磁場シールドが併用できる省スペース化を図っ
た電磁波シールド室を提供するにある。
電磁波・磁場シールドが併用できる省スペース化を図っ
た電磁波シールド室を提供するにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に係わる発明
は、天井面にクリーンエアを吹き出す給気口と床面に吹
き出されたクリーンエアを吸い込むグレーチング板を備
えたクリーンルーム内に設置される電磁波シールド室に
おいて、側面板、天井面、床面を高導電率材と高透磁率
材を重ね合わせた２重構造とし、かつ天井面、床面に気
流の通過が可能な開口穴を設けたものである。
は、天井面にクリーンエアを吹き出す給気口と床面に吹
き出されたクリーンエアを吸い込むグレーチング板を備
えたクリーンルーム内に設置される電磁波シールド室に
おいて、側面板、天井面、床面を高導電率材と高透磁率
材を重ね合わせた２重構造とし、かつ天井面、床面に気
流の通過が可能な開口穴を設けたものである。
【０００８】請求項２に係わる発明は、上述した構成に
加えて、側面板をクリーンルームの天井面の給気口まで
延設した構成としたものである。
加えて、側面板をクリーンルームの天井面の給気口まで
延設した構成としたものである。
【０００９】請求項３に係わる発明は、上述した構成に
加えて、クリーンルームの床面のグレーチング板の裏面
に高導電率材と高透磁率材を重ね合わせた構成としたも
のである。
加えて、クリーンルームの床面のグレーチング板の裏面
に高導電率材と高透磁率材を重ね合わせた構成としたも
のである。
【００１０】
【作用】このように本発明によれば、側面板、天井、床
面を高導電率材を高透磁率材を重ね合わせた２重構造と
することにより、電磁波と磁場シールドを１つのシール
ド室で可能にした。これによって、省スペース化が図れ
る。また、天井面と床面に低圧損の開口穴を設けたこと
により、気流の通過が可能となるので、室内の汚染防止
が図れる。
面を高導電率材を高透磁率材を重ね合わせた２重構造と
することにより、電磁波と磁場シールドを１つのシール
ド室で可能にした。これによって、省スペース化が図れ
る。また、天井面と床面に低圧損の開口穴を設けたこと
により、気流の通過が可能となるので、室内の汚染防止
が図れる。
【００１１】
【実施例】以下、図に示す実施例を用いて本発明の詳細
を説明する。
を説明する。
【００１２】図１は本発明に係わる電磁波シールド室の
一実施例を示す概略断面図である。本電磁波シールド室
１１は、天井面にクリーンエア１２を吹き出す給気ダク
ト１３と床面に吹き出されたクリーンエア１２を吸い込
むグレーチング板１４を備えたクリーンルーム１５内に
設置された構成となっている。すなわち、該クリーンル
ーム１５の天井面側に配置された給気ダクト１３内に
は、フィルター１６を間に挟んで高透磁率材質のパンチ
ング板１７と導電性材質のハニカム１８が配設れた構造
となっており、かつ電磁波シールド室１１内の床面を成
すグレーチング板１４の下方には導電性材質のハニカム
２０と高透磁率材質のパンチング板２１が順次配設され
た構造となっている。なお、クリーンルーム１５の床面
を成すグレーチング板１４は支持柱２２によって支えら
れた構成となっている。
一実施例を示す概略断面図である。本電磁波シールド室
１１は、天井面にクリーンエア１２を吹き出す給気ダク
ト１３と床面に吹き出されたクリーンエア１２を吸い込
むグレーチング板１４を備えたクリーンルーム１５内に
設置された構成となっている。すなわち、該クリーンル
ーム１５の天井面側に配置された給気ダクト１３内に
は、フィルター１６を間に挟んで高透磁率材質のパンチ
ング板１７と導電性材質のハニカム１８が配設れた構造
となっており、かつ電磁波シールド室１１内の床面を成
すグレーチング板１４の下方には導電性材質のハニカム
２０と高透磁率材質のパンチング板２１が順次配設され
た構造となっている。なお、クリーンルーム１５の床面
を成すグレーチング板１４は支持柱２２によって支えら
れた構成となっている。
【００１３】また、前記電磁波シールド室１１には１つ
のドア２３が設けられており、このドア２３を含む電磁
波シールド室１１の側面板は、高透磁率材２４と高導電
率材２５が重ね合わされた２重構造となっており、本実
施例にあっては外側に高透磁率材２４が位置しかつ内側
に高導電率材２５が位置した構成となっている。また、
本実施例にあっては電磁波シールド室１１の側面板を構
成する高透磁率材２４を、クリーンルーム１５の天井面
側に位置する給気ダクト１３の位置まで延設した構造と
なっている。
のドア２３が設けられており、このドア２３を含む電磁
波シールド室１１の側面板は、高透磁率材２４と高導電
率材２５が重ね合わされた２重構造となっており、本実
施例にあっては外側に高透磁率材２４が位置しかつ内側
に高導電率材２５が位置した構成となっている。また、
本実施例にあっては電磁波シールド室１１の側面板を構
成する高透磁率材２４を、クリーンルーム１５の天井面
側に位置する給気ダクト１３の位置まで延設した構造と
なっている。
【００１４】次に、本実施例構成の作用について説明す
る。クリーンルーム１５内に設置された電磁波シールド
室１１では、気流２６は給気ダクト１３から送られ、パ
ンチング板１７、フィルター１６、ハニカム１８を通過
した後、電磁波シールド室１１内の内部空間を通過し、
さらに該電磁波シールド室１１の床面側に位置するグレ
ーチング板１４、ハニカム２０、パンチング板２１を通
って、クリーンルーム１５の床下２７側に流れるように
なっている。したがって、クリーン度は十分得られ、他
の部分への塵埃汚染等は全く生じない。
る。クリーンルーム１５内に設置された電磁波シールド
室１１では、気流２６は給気ダクト１３から送られ、パ
ンチング板１７、フィルター１６、ハニカム１８を通過
した後、電磁波シールド室１１内の内部空間を通過し、
さらに該電磁波シールド室１１の床面側に位置するグレ
ーチング板１４、ハニカム２０、パンチング板２１を通
って、クリーンルーム１５の床下２７側に流れるように
なっている。したがって、クリーン度は十分得られ、他
の部分への塵埃汚染等は全く生じない。
【００１５】一方、電磁波シールド室１１の側面板は高
透磁率材（パーマロイ、電界鉄箔、アモルファス等）２
４と高導電率材（銅板、アルミ板、鋼板等）２５の２重
構造となっており、外側の高透磁率材２４で磁場が、内
側の高導電率材２５で電磁波がシールドされる。また、
電磁波シールド室１１の天井、床面に配置された導電性
のハニカム１８、２０及び高透磁率材質のパンチング板
１７、２１も同様のシールド効果を有する。
透磁率材（パーマロイ、電界鉄箔、アモルファス等）２
４と高導電率材（銅板、アルミ板、鋼板等）２５の２重
構造となっており、外側の高透磁率材２４で磁場が、内
側の高導電率材２５で電磁波がシールドされる。また、
電磁波シールド室１１の天井、床面に配置された導電性
のハニカム１８、２０及び高透磁率材質のパンチング板
１７、２１も同様のシールド効果を有する。
【００１６】このように電磁波シールド室１１は電磁波
と磁場シールドを１つのシールド室で可能にできるの
で、該電磁波シールド室１１内に、磁場に弱い走査型電
子顕微鏡や、電磁波ノイズに弱い精密計測器を設置する
ことができ、これによって省スペース化を図ることがで
きる。なお、シールド性能が磁場シールドで１５〜２０
ｄＢ、電磁波シールドで４０〜７０ｄＢ得ることができ
実用上問題はない。
と磁場シールドを１つのシールド室で可能にできるの
で、該電磁波シールド室１１内に、磁場に弱い走査型電
子顕微鏡や、電磁波ノイズに弱い精密計測器を設置する
ことができ、これによって省スペース化を図ることがで
きる。なお、シールド性能が磁場シールドで１５〜２０
ｄＢ、電磁波シールドで４０〜７０ｄＢ得ることができ
実用上問題はない。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係わる電磁
波シールド室によれば、側面板、天井、床面を高導電率
材と高透磁率材を重ね合わせた２重構造としたことによ
り、電磁波と磁場シールドを１つのシールド室で実現で
き、これによって省スペース化を図ることができるとい
う効果を奏する。また、天井面と床面に低圧損の開口穴
を有する多孔体（パンチング板、ハニカム）を設けた構
成としたことにより、気流の通過が可能となるので、こ
れによって室内の塵埃汚染防止を図ることができるとい
う効果も奏する。
波シールド室によれば、側面板、天井、床面を高導電率
材と高透磁率材を重ね合わせた２重構造としたことによ
り、電磁波と磁場シールドを１つのシールド室で実現で
き、これによって省スペース化を図ることができるとい
う効果を奏する。また、天井面と床面に低圧損の開口穴
を有する多孔体（パンチング板、ハニカム）を設けた構
成としたことにより、気流の通過が可能となるので、こ
れによって室内の塵埃汚染防止を図ることができるとい
う効果も奏する。
【図１】本発明に係わる電磁波シールド室の一実施例を
示す概略断面図である。
示す概略断面図である。
【図２】従来の電磁波シールド室の一例を示す概略断面
図である。
図である。
１１ 電磁波シールド室 １２ クリーンエア １３ 給気ダクト １４ グレーチング板 １５ クリーンルーム １７ パンチング板 １８ ハニカム ２０ ハニカム ２１ パンチング板 ２４ 高透磁率材 ２５ 高導電率材
Claims (3)
- 【請求項１】 天井面にクリーンエアを吹き出す給気口
と床面に吹き出されたクリーンエアを吸い込むグレーチ
ング板を備えたクリーンルーム内に設置される電磁波シ
ールド室において、側面板、天井面、床面を高導電率材
と高透磁率材を重ね合わせた２重構造とし、かつ天井
面、床面に気流の通過が可能な開口穴を設けたことを特
徴とする電磁波シールド室。 - 【請求項２】 前記側面板をクリーンルームの天井面の
給気口まで延設したことを特徴とする請求項１記載の電
磁波シールド室。 - 【請求項３】 クリーンルームの床面のグレーチング板
の裏面に高導電率材を高透磁率材を重ね合わせたことを
特徴とする請求項１記載の電磁波シールド室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3115655A JPH0650584A (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | 電磁波シールド室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3115655A JPH0650584A (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | 電磁波シールド室 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0650584A true JPH0650584A (ja) | 1994-02-22 |
Family
ID=14668023
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3115655A Pending JPH0650584A (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | 電磁波シールド室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0650584A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11148691A (ja) * | 1997-07-14 | 1999-06-02 | Toru Hino | パネル組立て式クリーンルーム |
| WO2010051692A1 (zh) * | 2008-11-10 | 2010-05-14 | 江苏苏净科技有限公司 | 一种洁净室 |
| CN110006115A (zh) * | 2019-04-02 | 2019-07-12 | 嘉兴市品鼎电器有限公司 | 一种卫生间用集成吊顶 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02192534A (ja) * | 1988-07-26 | 1990-07-30 | Takenaka Komuten Co Ltd | 磁気シールドクリーンルーム |
-
1991
- 1991-04-19 JP JP3115655A patent/JPH0650584A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02192534A (ja) * | 1988-07-26 | 1990-07-30 | Takenaka Komuten Co Ltd | 磁気シールドクリーンルーム |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11148691A (ja) * | 1997-07-14 | 1999-06-02 | Toru Hino | パネル組立て式クリーンルーム |
| WO2010051692A1 (zh) * | 2008-11-10 | 2010-05-14 | 江苏苏净科技有限公司 | 一种洁净室 |
| CN110006115A (zh) * | 2019-04-02 | 2019-07-12 | 嘉兴市品鼎电器有限公司 | 一种卫生间用集成吊顶 |
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