WO2010051692A1

WO2010051692A1 - 一种洁净室

Info

Publication number: WO2010051692A1
Application number: PCT/CN2009/070513
Authority: WO
Inventors: 姜伟康; 耿佐力; 邴绍同
Original assignee: 江苏苏净科技有限公司
Priority date: 2008-11-10
Filing date: 2009-02-24
Publication date: 2010-05-14
Also published as: CN101428242A; CN101428242B

Description

一种洁净室技术领域

本发明涉及一种洁净室，该洁净室同时具备电磁屏蔽室的功能。背景技术

电子工业的迅速发展使得各种各样的电子设备得到了广泛的普及和应用，它们在方便人类工作的同时也释放出大量的电磁辐射。大量的电磁辐射一方面会危害人们的健康，另一方面也会干扰其它电子产品内部微电流的控制信号，使某些精密电子设备的操作系统出现失误或瘫痪。此外，电磁辐射的发散性还给信息安全带来了隐患，计算机等科研设备在工作时会通过电磁波将有用的信息泄露出去，导致信息泄密，有可能造成政治、经济、国防等方面的重大损失。

另一方面，随着微电子、半导体、精密机械等制作领域的技术不断升级，对洁净室内的空气洁净要求不再仅仅满足于尘埃粒子、细菌、温度、湿度、压力等参数达到要求，还进一步对噪音、振动、高纯度水气、静电辐射等方面的洁净程度提出了更高的要求。这就要求传统的洁净室具有屏蔽辐射的能力，或者需要令传统的屏蔽室同时具有洁净室的功能。

电磁屏蔽的基本技术原理是：用金属屏蔽材料将电磁干扰源封闭起来，使其外部电磁场强度低于允许值的一种措施；或用金属屏蔽材料将电磁敏感电路封闭起来，使其内部电磁场强度低于允许值的一种措施。

洁净室和屏蔽室建造属于不同的技术领域，传统电磁屏蔽室尤其是目前常见的土建厚墙配置钢框的钢板式屏蔽结构，门厚墙厚，施工难度大，建造周期长，而且成本高。若要在这种屏蔽环境中建立洁净环境，其所需的费用以及建造难度是可想而知的。换个角度，若要在洁净室中建立独立的屏蔽室，其难度同样很大，这是因为洁净室内的各种管道、过滤装置、接缝等处的工艺处理具有比较特殊的要求，通常无法满足屏蔽室所要求的屏蔽连续性，难以实现屏蔽功能。发明内容

本发明的目的在于提供一种同时具备电磁屏蔽室功能的洁净室。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种洁净室，包含：围成该洁净室的墙体、开设在所述墙体上的门和管道。所述墙体包含至少一连续的金属屏蔽壳体。所述门包含至少一连续的第三屏蔽体，当所述门关闭时，该第三屏蔽体的整条边界均与所述屏蔽壳体相能导电地接触。所述管道内设置有将该管道的管路截面完整覆盖住的截止波导窗，该截止波导窗的整圈边界均与所述屏蔽壳体相能导电地接触。

由于上述技术方案的运用，本发明具有如下优点：

1、选用在洁净室建造领域中属于通用墙体材料的金属板材作为建造屏蔽壳体的主要材料，仅通过对墙体接缝处以及各零部件的安装结构进行导电与密封处理，就能使洁净室墙体本身起到屏蔽电磁波的作用。此法所选用的墙体材料成本远低于建造传统电磁屏蔽室所需的材料成本。

2、洁净室在起到密闭洁净作用的同时也起到了屏蔽室的作用，无需再在洁净室内部或外部建造另一层屏蔽室，建造成本也大幅度降低，同时大大降低了施工难度。

3、由于仅需一层墙体就能同时实现洁净与屏蔽，因此安装在洁净室墙体内的门、窗、送风口等重要零部件均可实现模块化制造。将各零部件的尺寸进行统一设计，并在墙体上预留好合适的尺寸后，就能通过预先规划好的安装方式，在实现屏蔽与密封的前提下很方便的完成安装过程，无须再在每个洁净室的建造过程中单独设计这些固有模块。不但降低了施工安装难度，而且便于实现规范化量产。

本发明所釆用的较为优选的技术方案如下：在所述洁净室的墙体内安装有滤波器，所述洁净室还包含：经由所述滤波器穿过所述屏蔽壳体的电线和电缆。

优选的，所述洁净室还包含嵌在所述墙体或所述门内的窗，该窗包含至少一层透明窗板以及完整覆盖住所述窗板的至少一片金属网，该金属网的整条边界均与所述屏蔽壳体或所述第三屏蔽体相能导电地接触。

优选的，所述屏蔽壳体包含相互拼接的多块彩钢板，每块所述彩钢板的整条边界均与和该彩钢板相邻接的另一块彩钢板相能导电地接触。相邻接的所述彩钢板之间以无缝连续焊接的方式相固定连接。所述的墙体包含侧壁和天花板，所述侧壁与所述天花板之间通过具备 U 形槽的钢座相固定连接，所述钢座以无缝连续焊接的方式固定在所述天花板上，所述侧壁的整圈上边缘全部插入所述的 u 形槽内。所述的墙体包含天花板和地板，所述侧壁与所述地板之间通过具备 u 形槽的钢座相固定连接，所述钢座以无缝连续焊接的方式固定在所述地板上，所述侧壁的整圈下边缘全部插入所述的 u形槽内。所述 U形槽与所述侧壁之间填充有导电密封胶。所述地板的边缘朝上方弯折形成直角翻边，所述钢座固定在所述翻边的内侧。所述的屏蔽壳体接地。附图说明

附图 1为本发明的结构示意图；

附图 2为天花板与侧壁的连接结构示意图；

附图 3为地板与侧壁的连接结构示意图；

附图 4为带有窗的门的主视图；

附图 5为附图 4的 A-A向剖视图；

附图 6为附图 5的 B部位放大示意图；

附图 7为附图 5的 C部位放大示意图；

附图 8为送风口与天花板的连接结构示意图；

附图 9为电线与侧壁的连接结构示意图。

其中：

1、墙体； 2、天花板； 3、侧壁； 4、地板； 5、彩钢板； 6、门； 7、送风口； 8、观察窗； 9、水管；

10、门框； 1 1、第二屏蔽体； 12、侧壁面； 13、铜板； 14、铰链； 15、密封圈； 16、插槽； 17、金属片；

20、门扇； 21、第三屏蔽体； 22、弹簧片； 23、顶部表面； 24、门把； 25、插片；

30、箱体； 31、进风口； 32、出风口； 33、过滤装置； 35、截止波导窗； 36；连接框；

40、装饰板； 41、密封垫； 42、螺钉； 43、装饰片； 45、固定边； 46、吊环；

50、窗板； 52、金属网；

60、窗框； 61、卡套； 64、螺钉； 65、安装面

70、面板； 72、硅胶； 73、螺丝； 74、装饰片； 75、第一安装面； 76、第二安装面；

80、滤波器； 81、电线；

90、钢座； 91、 U形槽； 92、密封胶； 93、翻边； 94、锡焊。具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式进行说明：

本发明的核心在于，将洁净室与屏蔽室的建造合二为一，使得洁净室的密闭结构既能满足洁净要求，又能满足屏蔽要求。

如附图 1所示，本洁净室的墙体 1 由四面侧壁 3、天花板 2和地板 4构成。制造天花板 2与侧壁 3 的材料为洁净室专用的金属壁板，其结构为内外两侧表面均为导电性良好的镀锌钢板，即彩钢板 5，中间填充承重材料。各块相邻的彩钢板 5相互连续导电地连接，接缝处无间断，从而在整个墙体 1 中构成了一个完整的屏蔽壳体。为了保证彩钢板 5 之间的连续导电，在同一平面内的各块彩钢板 5 之间的接缝处涂有导电密封胶，并采用导电性能良好的中字铝穿心连接，每隔一定间距加按一个定位钢钉。

整个屏蔽室建造在符合承重强度和平整度等要求的水磨石地面上，地板 4 采用多块 1 毫米厚的镀锌钢板平铺而成，在相邻钢板间的接缝处采用锡焊或电焊进行连续焊接，高出部位磨平，使整个地板 4 成为无缝隙的整体。然后按一定密度要求用钢钉将地板 4与地面固定成一体，并从地板 4 的四角各引出一路接地线，形成多点接地模式。若屏蔽室的占地面积很大，比如为数百平方时，可将接地线数量加倍。将墙体 1 接地是为了进行静电屏蔽，若只需进行电磁屏蔽也可不接地，但因用作电磁屏蔽的导体增加了静电耦合，因此即使只进行电磁屏蔽，也还是接地为好，这样电磁屏蔽也能同时起到静电屏蔽的作用。

侧壁 3与天花板 2之间的连接结构如附图 2所示，釆用呈 F字形的钢座 90 相固定连接。该钢座 90具备 U形槽 91，将侧壁 3插入 U形槽 91 内，并用焊锡连续满焊焊死固定，然后将 F字形钢座 90的与 U形槽 91相背离的一侧连续地焊死在天花板 2上，从而实现侧壁 3与天花板 2之间实现的连续无缝导电连接。

侧壁 3与地板 4之间的连接结构如附图 3所示，采用 U字形的钢座 90相固定连接，在钢座 90的 U形槽 91 内灌入导电胶状体，再将侧壁 3插入 U形槽 91 内固定。地板 4的边缘处朝上方弯折形成约 20毫米高的直角翻边 93 , 钢座 90 与该翻边 93的内侧紧密贴合，并与其相连续焊死，从而实现侧壁 3与地板 4之间的的连续导电连接。

在上述连接结构中所使用的密封胶、密封胶垫均选用导电性能良好的专用广 RR 洁净室内的门 6、送风口 7、观察窗 8、水管 9等部件均采用模块化设计，预先按照一定规格制造后，按照一定的安装结构安装至墙体 1上。附图 4和附图 5为设置有观察窗 8的门 6的结构示意图。其中，门 6与墙体 1之间的详细安装结构如附图 6所示。此门 6 由门框 10和门扇 20构成，门框 10与门扇 20之间通过铰链 14相铰接，使门扇 20能够开闭。门扇 20上除了位于室内外两侧的一对门把 24之外，其余表面保持平整，以尽量减少积尘点。

门框 10和门扇 20均采用钢板无缝焊接折弯而成，由此在门框 10上形成第二屏蔽体 1 1 , 在门扇上形成第三屏蔽体 21。制作完毕后，在钢板表面实施烤漆或喷塑处理，或贴附烤漆钢板或不锈钢板进行洁净装饰。第二屏蔽体 1 1为环绕整个门的封闭带状，其外边界与作为屏蔽壳体的侧壁 3上的彩钢板 5相无缝焊接，使得门框 10与屏蔽壳体之间完整导电，不会留下绝缘的缝隙。

门框 10与门扇 20之间实施双层密封。第一层密封利用夹在二者之间的密封圈 15来实现。该密封圈 15 的一侧固定在门扇 20上，连续地环绕门扇 20— 周。当门闭合时，密封圈 15的另一侧与门框 10相连续贴合，不留间隙。

第二层密封的实现方式如下：在门框 10的面朝室内的表面上固定有装饰板 40，该装饰板 40将门框 10的内表面完整覆盖，并且同时覆盖住了彩钢板 5及门扇 20的一部分。在装饰板 40的面朝门框 10的表面上固定有一对密封垫 41。这一对密封垫 41均环绕整个门框 10—周，且其另一侧表面分别与彩钢板 5和关闭时的门扇 20相连续贴合，不留间隙。装饰板 40是通过不锈钢自攻螺钉 42 固定在门框 10上的，该螺钉 42为平头螺钉，安装好后其平头面低于装饰板 40 的表面，在该凹陷内贴附一块不锈钢的装饰片 43，使得整个装饰板 40的表面平整无凹陷，更好的实现洁净功能。同时，在装饰板 40与彩钢板 5之间的连接处涂敷少量硅胶，实现更好的密封。采用双层密封后的门扇 20、门框 10、侧壁 3三者的面朝室内的表面基本处于同一平面上，使得整个表面平整不积尘，满足洁净室的要求。

门框 10与门扇 20之间的屏蔽功能同样采用了双层屏蔽来实现。

第一层屏蔽通过门扇 20 的侧壁面与门框 10 的侧壁面之间的导电接触来实现。在门框 10的朝内的侧壁上完整地贴覆了一圈铜板 13，此铜板 13与第二屏蔽体 1 1相无缝焊接，从而与第二屏蔽体 11相无间断地导电接触。在门扇 20的侧壁上完整地固定有一圈弓状的金属弹簧片 22，该弹簧片 22的顶部朝上拱起，并与铜板 13的表面相无缝贴合。另一方面，弹簧片 22在与门框 10接触时被略微压下，同时起到了在关门时卡紧门扇 20 的作用，保证门扇 20能牢固地嵌在门框 10中，使得门的密封可靠性有所提升。

第二层屏蔽的实现方式相对较为复杂。在门框 10的面朝室外的一侧，内凹的开设有插槽 16，该插槽 16连续地环绕整个门框 10开设，是由一对环状的弹性金属片 17构成的。在门扇 20面朝室内的一侧，凸出设置有一环状的金属插片 25 , 该插片 25环绕整个门扇。当门关闭时，插片 25插入插槽 16 内，插片 25的两侧表面分别与插槽 16 内壁相无间断地接触，使得第二屏蔽体 1 1与第三屏蔽体 21之间相连续导电的接触。金属片 17必须用弹性很好的金属制成，这样才能保证门在反复开闭后，插槽 16依然具有良好的弹性，使得门在闭合后不会出现无法接触的缝隙。

在传统的双层屏蔽洁净室中，必须配合屏蔽墙体与洁净墙体，在两层墙体上各安装一扇门，分别完成屏蔽与洁净的作用。此方法结构复杂，使得密闭的可靠性下降，成本也较高。而通过本实施例中所设计的单层门结构，就能同时实现高效的密封与屏蔽。当门关闭时，门扇 20、门框 10、屏蔽壳体 1三者无缝地连接成为一个整体，既满足了屏蔽室需要用导体制成一个封闭壳体的要求，也满足了洁净室的无泄漏洁净要求。并且此密封和屏蔽结构均为双保险，连接可靠性相当高。附图 7为开设在门 6上的观察窗 8的安装结构示意图。观察窗 8 由金属窗框 60、有机玻璃窗板 50构成，窗框 60嵌在门扇 20内。窗框 60为一环形的金属框，其外边界与门扇 20采用满焊焊接，从而保证二者之间的连接完整无间断。窗板 50有两层，分别覆盖在由窗框 60围成的敞口的内外两侧。窗框 60的内边界朝敞口凸出，因此在观察窗 8的内外两侧均形成了能与窗板 50相贴合的环状安装面 65，窗板 50通过螺钉 64固定在该安装面 65上。

首先，釆用金属网 52来完成窗板 50的屏蔽功能。金属网 52紧密贴附在窗板 50的内表面，将窗板 50完整地覆盖住，并且其整圈边缘均翻至窗板 50的外表面，从而将窗板 50的整圈边缘都包裹住。在金属网 52的边缘与窗板 50的内外表面之间均夹入双面胶，起到临时固定的作用。

金属卡套 61为一断面形状呈 U字形的环状钢框，因此具备槽口面朝自身环内圈的 U形槽。该 U形槽的大小刚好与窗板 50的边缘形状相对应，因此能将包裹有金属网 52的窗板 50边缘完整地嵌入，使得金属网 52的整圈边缘均与槽壁相无间断地贴合。整个卡套 61贴放在环状的安装面 65上，与安装面 65之间形成了连续无间断地导电接触，从而间接使得金属网 52 与窗框 60 , 进而与门扇 20之间实现无间断地导电连接。

为了进一步避免电磁泄露，在卡套 61 与安装面 65之间的环状接触面上，还夹有一层与金属网 52完全相同的金属网垫片，从而实现卡套 61与窗框 60间的屏蔽双保险。上述结构中所采用的金属网 52为电磁屏蔽专用的铜网，根据屏蔽等级的要求不同，可以选择不同的网。在不影响屏蔽效果的前提下，能够选择透明度尽量高的网。

窗板 50与窗框 60及门扇 20之间的密封结构是通过一个装饰面板 70来实现的。该面板 70为环状，且完整地覆盖在窗板 50与门扇 20之间接缝的外表面上。其内边界与窗板 50相密封地连接，外边界与门扇 20相密封地连接。内外边界的外表面均为光滑的斜面，从而减少集尘点。在面板 70与窗板 50 以及与门扇 20之间的接缝处，均涂有密封硅胶 72。

面板 70的内边界与外边界均朝面板 70内侧折弯，分别形成了与窗板 50的外表面相面对的第一安装面 75以及与门扇 20的外表面相面对的第二安装面 76。在第一安装面 75与窗板 50的外表面之间夹有一圈环状的密封垫 41，从而实现密封。第二安装面 76与门扇 20的外表面相紧密贴合，并且从面板 70的外表面上直接穿入螺丝 73，该螺丝 73穿过第二安装面 75、门扇 20和窗框 60，将三者固定连接。螺丝 73在穿过面板 70之后，其上表面会略低于面板 70的外表面，因此需在螺丝 73的上表面贴一小块装饰片 74，使整个面板 70的外表面平整无凹陷，避免集尘，并且起到避免出现泄漏点的作用。

现有的各种屏蔽窗一般是仅从屏蔽的角度来设计其结构的，难以直接使用在洁净室内。因此若在本发明的洁净室中直接采用市售的屏蔽窗，还须经过改装。比如增设装饰面板 70和密封垫 41 以实现密封，并且尽量将窗板 50的内表面调节至与周围屏蔽壳体的内表面相齐平。洁净室的通风系统是其很重要的组成部分。在洁净室的墙体 1 上，设置有多个送风口管道及排风口管道。简单来说，各类风管穿过屏蔽壳体时，必须经过截止波导窗 35 的过渡，且截止波导窗 35与屏蔽壳体之间必须环焊，以防电磁波泄漏。以下以送风口 7为例详述其安装结构。

如附图 8所示，送风口 7的主体为一个嵌在天花板 2中的箱体 30。在箱体 30 的内部安装有过滤装置 33。此过滤装置 33 的安装结构与普通洁净室内送风口的过滤装置 33的安装结构无异，故在此不赘述。箱体 30的进风口 31通过法兰与洁净室外的风管相连接，出风口 32的底部安装有散流板。而本发明的改进之处在于，将起到电磁屏蔽作用的截止波导窗 35安装在箱体 30的内部。

箱体 30 的外壳采用金属板弯折焊接而成，其内边界与截止波导窗 35 的边界整体连续焊接在一起，不留间隙。截止波导窗 35是由蜂窝板构成的，其波导截止频率大于所需屏蔽的频率，从而起到电磁屏蔽作用。

截止波导窗 35安装在过滤装置 33 的上方，并在二者之间紧密无缝地夹设有一圈密封垫 41，起到密封洁净的作用，从而使得增设截止波导窗 35不会影响洁净送风口的洁净效能。

箱体 30的底部朝外侧翻出一圈固定边 45，该固定边 45贴附在天花板 2的下表面上。

本送风口 7还包括一个环状的金属连接框 36，该连接框 36的断面呈 L字形，具备相互成直角的第一连接面和第二连接面。其中，第一连接面紧贴在箱体 30 的外壁上，并通过满焊焊死。第二连接面紧贴在天花板 2 的上表面上，也通过满焊焊死，从而令天花板 2与箱体 30之间实现连续导电的接触，进而使得天花板 2与截止波导窗 35之间相连续导电的连接。穿过第二连接面、天花板 2、固定边 45设置有多组螺栓，并通过与螺母的配合实现箱体 30与天花板 2之间的固定连接。

通过上述连接方式，整个送风口 7 的重量不会直接由天花板 2上固定了螺栓的点来承受，而是通过连接框 36间接固定在天花板 2上，使得重量分散。如附图 1所示，在箱体 30的顶部还可以设置多个吊环 46，在吊环 46中拉设拉筋，通过拉筋将整个送风口 7 的重量分散至其他承重墙体上，更加减轻了天花板 2 的承重负担，增强了密封的可靠性。

整个箱体 30内所有的接缝处全部采用满焊连接，且产品最终必须全部镀锌或镀铜处理，保证其屏蔽效能。

传统的双层墙体的屏蔽洁净室内的送风口，其截止波导窗 35安装在外侧的屏蔽墙体内，洁净过滤装置设置在内层的洁净墙体内，两层墙体之间的连接风管长度较长，双层墙体上均具有安装缝隙，增大了泄漏风险。本实施例中的送风口 7中，截止波导窗 35直接环焊在箱体 30的内部，减少了与墙体 1之间的安装缝隙。同时，通过设置固定边 45和连接框 36，进一步完善了整个送风口 7 的洁净效能。在需要在洁净室内外进行液体交换的场合，还需要安装穿过墙体 1的水管 9。水管 9的屏蔽方式与送风口 7相同，在管路截面上增设一截止波导管 35，将该截止波导窗 35与屏蔽壳体环焊连接，即可实现屏蔽。如附图 9所示，所有穿过墙体 1引入洁净室内的电线 81与电缆，都必须经过滤波器 80进行过滤。按照上述原则设计出具有屏蔽作用的洁净室后，还需要对其屏蔽效率进行计算与校核。屏蔽体的有效性是用屏蔽效能来度量的。屏蔽效能 SE满足如下公式：

SE = A + R+ B

A= 1. 314*t (f* o _r* _r) ^1/2

R= 168-101og ( _r*f/ o _r)

B = 201og { 1- [(Zm-Zw) I (Zm+Zw)] ²10— ° ^1A(cosO. 23A- jsinO. 23A) } 式中：

A——吸收损耗

R __反射损耗

B一一多次反射损耗

f——电磁波频率 Hz

σ _r——相对电导率

τ——相对磁导率

t——屏蔽材料厚度，单位 cm

Zm __屏蔽金属的电磁波阻抗

Zw——空气的电磁波阻抗

当 AMOdB时一般可以不计多次反射损耗。所以屏蔽能效可以简化为： SE = A+R

参数按照 t=0.5mm， σ _r=0.17, μ r= 1000代入估算，按 GB/T12190— 2006 推荐的屏蔽效能检验特征频率远场计算结果如表 1 所示，可见按此结构设计的洁净室其电磁屏蔽效果是相当好的，完全能够作为标准屏蔽室来使用。

表 1: 不同频率下的远场屏蔽效能

如上所述，我们完全按照本发明的宗旨进行了说明，但本发明并非局限于上述实施例和实施方法。相关技术领域的从业者可在本发明的技术思想许可的范围内进行不同的变化及实施。

Claims

权利要求

1、一种洁净室，包含：围成该洁净室的墙体（1)、开设在所述墙体（1) 上的门（6) 和管道，其特征在于：

所述墙体（1) 包含至少一连续的金属屏蔽壳体，

所述门（6) 包含至少一连续的第三屏蔽体（21)，当所述门（6) 关闭时，该第三屏蔽体（21) 的整条边界均与所述屏蔽壳体相能导电地接触，

所述管道内设置有将该管道的管路截面完整覆盖住的截止波导窗（35)，该截止波导窗（35) 的整圈边界均与所述屏蔽壳体相能导电地接触。

2、根据权利要求 1所述的一种洁净室，其特征在于：在所述洁净室的墙体 (1) 内安装有滤波器（80), 所述洁净室还包含：经由所述滤波器（80) 穿过所述屏蔽壳体的电线（81) 和电缆。

3、根据权利要求 1所述的一种洁净室，其特征在于：所述洁净室还包含嵌在所述墙体或所述门内的窗（8), 该窗（8) 包含至少一层透明窗板（50) 以及完整覆盖住所述窗板（50) 的至少一片金属网（52)，该金属网（52) 的整条边界均与所述屏蔽壳体或所述第三屏蔽体相能导电地接触。

4、根据权利要求 1所述的一种洁净室，其特征在于：所述屏蔽壳体包含相互拼接的多块彩钢板（5), 每块所述彩钢板（5)的整条边界均与和该彩钢板（5) 相邻接的另一块彩钢板（5) 相能导电地接触。

5、根据权利要求 4所述的一种洁净室，其特征在于：相邻接的所述彩钢板 (5) 之间以无缝连续焊接的方式相固定连接。

6、根据权利要求 4 所述的一种洁净室，其特征在于：所述的墙体（1) 包含侧壁（3) 和天花板（2)，所述侧壁（3) 与所述天花板（2) 之间通过具备 U 形槽（91) 的钢座（90) 相固定连接，所述钢座（90) 以无缝连续焊接的方式固定在所述天花板（2) 上，所述侧壁（3) 的整圈上边缘全部插入所述的 U 形槽（91) 内。

7、根据权利要求 4 所述的一种洁净室，其特征在于：所述的墙体（1) 包含天花板（2) 和地板（4)，所述侧壁（3) 与所述地板（4) 之间通过具备 U形槽（91) 的钢座（90) 相固定连接，所述钢座（90) 以无缝连续焊接的方式固定在所述地板（4)上，所述侧壁（3)的整圈下边缘全部插入所述的 U形槽（91)

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替换页（细则第 26条) 内。

8、根据权利要求 6或 7所述的一种洁净室，其特征在于：所述 U形槽（91) 与所述侧壁（3) 之间填充有导电密封胶（92)。

9、根据权利要求 7 所述的一种洁净室，其特征在于：所述地板（4) 的边缘朝上方弯折形成直角翻边（93), 所述钢座（90) 固定在所述翻边（93) 的内侧。

10、根据权利要求 1 所述的一种洁净室，其特征在于：所述的屏蔽壳体接地。

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替换页（细则第 26条)