JP2003213812A - クリーンルームの内装システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 クリーンルームを内装パネルにより構築する
際に、パネル間の接合部分での電気的な接続を確実に行
って電磁波シールドを確実になすクリーンルームの内装
システムを提供する。 【解決手段】クリーンルームの内装材を構成する床パネ
ル、壁パネル、天井パネルの接合部に防振ゴム材を介在
させて結合しつつこの防振ゴムを跨いでパネル間を電磁
遮蔽プレートにより接合することにより剛体構造として
構築し、当該剛体構造のクリーンルームを建築壁仕上げ
材の内壁面に防振ゴム材を介在させて施工する。建築仕
上げ材に電磁波遮蔽プレートを貼り付け、前記内装パネ
ルと前記電磁波遮蔽プレートとの間に間隔を置いて導電
材料のばね部材を介在させてクリーンルームを構築す
る。電磁波遮蔽プレートはガルバリウム鋼板とし、電磁
波遮蔽プレートを他の電磁波遮蔽プレートに固定する間
隔をシールドすべき電磁波を中心とする周波数に基づ
き、その波長の倍数以下に設定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はクリーンルーム内装
システムに係り、特にクリーンルーム構築パネルの結合
部や建築壁の仕上げ材との結合部での電磁波遮蔽効果を
確実にすることができるクリーンルーム内装システムに
関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、クリーンルームはその建屋全体
が電磁的なシールド効果を持つことが重要となってい
る。この電磁シールド機能を持たせることによって、外
部から到来する電磁波を内部に取り込まず、また、内部
で発生した電磁波を外部に漏洩させない。したがって、
電磁波による悪影響がクリーンルーム内での精密加工に
及ぶことを防止し、また外部周辺環境に及ぶことを回避
できる。このため、クリーンルームの天井パネルや壁面
パネルに電磁波シールド材料を使用し、これによって電
波暗室を形成させるようにしている。

【０００３】例えば、特開平１０−１０２６２４号公報
には、クリーンルームを構成する天井面や即壁面、ある
いは床面を、パーマロイパネルや導電性材料からなる積
層材を用いて形成し、電磁波シールドをなすようにして
いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来のクリーンル
ーム構造では、導電性体材料により形成されるパネル材
を天井や壁面、あるいは床材に用いたものであるが、パ
ネル同士の接合部分には支柱を用いて導電性体同士を突
き当て接合したり、面接合したりして連結するような構
成を採用している。

【０００５】しかし、導電性体を貼り付けたパネルを突
き当てて面接合しても電子的にみれば表面が凹凸となっ
ており単に導電性材料同士が触っているだけの構造とな
って、電気回路を構成していないものとなっていた。こ
れにより、目的とする電磁波の遮蔽機能が発揮されず、
いわんや電波暗室を実質的に構成しているとはいえない
ものであった。特に、クリーンルームには清浄空気を室
内に供給するためのファンフィルタユニットが装備され
るので、その振動がパネル接合部に作用してもともと電
気的な接合が不十分であったところに、振動作用が電気
的接合の乖離作用を助長してしまう問題があった。

【０００６】本発明は、上記従来の問題点に着目し、ク
リーンルームを内装パネルにより構築する際に、パネル
間の接合部分での電気的な接続を確実に行うことができ
るようにしたクリーンルームの内装システムを提供する
ことを目的とする。また、特に遮蔽目的とする電磁波の
周波数帯に対して確実に遮蔽をなすことができるように
したクリーンルームの内装システムを提供することを目
的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るクリーンルームの内装システムは、ク
リーンルームの内装材を構成する床パネル、壁パネル、
天井パネルの接合部に防振ゴム材を介在させて結合しつ
つパネル間を電磁波遮蔽プレートにより接合することに
より剛体構造として構築し、当該剛体構造のクリーンル
ームを建築壁仕上げ材の内壁面に防振ゴム材を介在させ
て施工するとともに、前記建築仕上げ材に電磁波遮蔽プ
レートを貼り付け、前記内装パネルと前記電磁波遮蔽プ
レートとの間に間隔を置いて導電材料のばね部材を介在
させてクリーンルームを構築してなることを特徴とする
ものである。

【０００８】この場合において、前記電磁波遮蔽プレー
トはガルバリウム鋼板であることが望ましい。また、前
記電磁波遮蔽プレートを他の電磁波遮蔽プレートに結合
固定する間隔をシールドすべき電磁波を中心とする周波
数に基づいた長さ以下に設定するようにすればよい。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下に、本発明に係るクリーンル
ームの内装システムにつき、その具体的実施の形態を図
面を参照して詳細に説明する。図１に実施形態にかかる
クリーンルーム内装システムの概念構成図、図２に同シ
ステムの内装構造を示す斜視図である。実施形態に係る
クリーンルーム１０は、まず、図２に示しているよう
に、クリーンルーム１０はアルミダイキャスト製のグレ
ーチング床パネル１２を有し、このグレーチング床１２
に側壁パネル１４を建て込み、アルミ格子天井１６によ
って天井を覆うようにしている。アルミ格子天井１６に
は、多数の矩形の格子窓が形成されており、これにファ
ンフィルタユニットや閉止天井パネル、あるいは内外の
気圧差によって開閉される半閉止天井パネルを取り付け
ることにより、室内外を遮蔽する天井部１８が形成され
る。

【００１０】このような床パネル１２、側壁パネル１
４、天井部１８によって形成されるクリーンルーム１０
はパネル同士をビス結合することによって剛体構造とな
すとともに、図１に示しているように、建築壁２０によ
って形成された空間内にばね部材２２を一定の間隔を置
いて配置することによって、建築壁２０からクリーンル
ーム剛体を浮上支持させ、かつ導電接続して接地し、電
磁波遮蔽機能を発揮させるように構成している。すなわ
ち、建築壁２０の内面にガルバリウム鋼板２４を貼り付
け、これを接地してアースを取っている。パネル結合に
よって構築されたクリーンルーム１０は同じくガルバリ
ウム鋼板２４を貼り付けてパネル間を導電結合し、クリ
ーンルーム１０と建築壁２０の間にＶ字型の導電材料の
ばね部材２２を介在させているのである。このばね部材
２２の配置間隔はシールドする電磁波の周波数に応じて
決定している。すなわち、シールドする電磁波の周波数
を例えば１００ＭＨｚとした所定のバンド幅を対象とす
る場合には、３倍周波数である３００ＭＨｚとターゲッ
ト周波数とし、３００ＭＨｚの波長は１ｍであるため、
ばね部材２２の配設間隔は最大１ｍまで許容できる。波
の１サイクルを考慮すると１／２波長である５０ｃｍ以
下の配置間隔とするように構成している。これにより、
周波数１００ＭＨｚの電磁波はクリーンルーム１０のパ
ネル面で遮断され、外部から室内に到来せず、逆に室内
から外部に漏洩することがない。

【００１１】このようなパネル構造によって構築される
クリーンルーム１０であるが、図３以下に示した詳細構
成図のように、各パネル１２、１４同士、および天井格
子１６のアルミフレーム２６と側壁パネル１４との突合
せ部分には、エラストマからなる防振パッキン２８を介
在させて接合させておき、振動が伝達されることを遮断
するようにしている。実施形態では、この防振パッキン
２８により電気的に分断された箇所を導電性材料からな
る電磁波シールドプレート３０により跨いで電気的に接
続し、電磁波シールド機能を持たせるようにしている。
電磁波シールドプレート３０は、ガルバリウム鋼板を用
いている。このとき、電磁波シールドプレート３０をパ
ネル要素にビス止めによって結合するが、使用するビス
３２の打ち込み間隔は、前述したばね部材２２の配置間
隔と同様に決定される。すなわち、シールドする電磁波
の周波数を例えば１００ＭＨｚとした所定のバンド幅を
対象とする場合には、３倍周波数である３００ＭＨｚと
ターゲット周波数とし、３００ＭＨｚの波長は１ｍであ
るため、ビス３２の打ち込み間隔は最大１ｍまで許容で
きる。波の１サイクルを考慮すると１／２波長である５
０ｃｍ以下のビス打ち込み間隔とするように構成してい
る。これにより、周波数１００ＭＨｚの電磁波はクリー
ンルーム１０のパネル面で遮断され、外部から室内に到
来せず、逆に室内から外部に漏洩することがない。

【００１２】以下に、具体的構成について説明する。図
３は天井パネルを構成するアルミフレーム２６と側壁パ
ネル１４との結合部分の分解斜視図と縦断面図を示して
いる。逆Ｔ状のアルミフレーム２６と側壁パネル１４と
の突合せ面には防振パッキン２８としてのエラストマを
介在して突き合わせている。側壁パネル１４の上縁部に
は逆Ｕ字型の天井レール３４が取り付けられるが、この
天井レール３４に側壁パネル１４が嵌入した構成となっ
ている。前記防振パッキン２８により天井部１８と側壁
パネル１４は電気的に分断されることになるが、実施形
態では、前記防振パッキン２８を挟んで対峙している天
井レール３４と天井アルミフレーム２６とを導電性のあ
る電磁波シールドプレート３０を跨いで配置し、両者を
ビス３２にて締結固定している。電磁波シールドプレー
ト３０はガルバリウム鋼板であり、ビス３２はＳＵＳ材
料から構成されている。ビス３２の打ち込み間隔は前述
したとおり、遮蔽周波数により決定される間隔で打ち込
まれる。これによりビス３２の打ち込み部分での導電接
合は確保されるので、電磁波シールド機能を確保するこ
とができる。

【００１３】図４は側壁パネル１４のパネル要素間の結
合構造を示している。側壁パネル１４は複数の要素パネ
ル３８を用いて接合することでひとつの壁を構築する
が、要素パネル３８同士の突合せ部分に介在するパネル
接続部材４０により分断された接合面をガルバリウム鋼
板からなる電磁波シールドプレート３０を跨いで配置
し、ビス３２により止めている。ビス間隔は図３の場合
と同様である。

【００１４】図５は側壁パネル１４と床パネル１２との
接続部構造を示している。床パネル１２には床レール４
２が固定され、これに側壁パネル１４の下部に固定した
巾木４４が嵌合される。巾木４４と側壁パネル１４との
接合部分にエラストマからなるパッキン４６が介在さ
れ、これを跨いで電磁波シールドプレート３０がビス３
２で取り付けられる。このビス間隔も遮蔽電磁波周波数
によって定まる間隔で打ち込まれる。

【００１５】図６は側壁パネル１４と建築壁２０との接
合構造部分を示している。側壁パネル１４の端面と建築
壁２０との接合面に防振パッキン２８が壁レール４８を
介して介装されて固定される。側壁パネル１４と建築壁
２０とは直角となるので、電磁波シールドプレート３０
もＬ型アングルとして形成され、建築壁２０と側壁パッ
キン１４とをビス３２を利用して導電接合する。建築壁
２０側にはガルバリウム鋼板２４を貼り付けてあって、
側壁パネル１４と電気的導通が図られている。結合ビス
３２の打ち込み間隔は前述と同様である。

【００１６】図７は天井アルミフレーム２６と建築壁２
０との接合構造を示している。これも同様に、アルミフ
レーム２６の側面と建築壁２０との間に防振パッキン２
８を介在しているので、Ｌ型電磁波シールドプレート３
０を介在し、間にＶ字型ばね部材２２を間隔をおいて隙
間に介装しつつ、シールドプレート３０をアルミフレー
ム２６にビス止めする。建築壁２０の内面にはガルバリ
ウム鋼板２４が貼り付けられており、ばね部材２２によ
って導電接合されることになる。

【００１７】図８は床パネル１２と建築壁２０との接続
部分を示している。床パネル１２の側面を建築壁２０に
防振パッキン２８を挟んで接合し、Ｌ型電磁波シールド
プレート３０により結合する。プレート３０と建築壁２
０の内面に貼り付けたガルバリウム鋼板２４との間にＶ
字型ばね部材２２を配設し、これを遮蔽周波数に応じた
間隔で複数配置することにより、電気的な導通を図りつ
つ所望の電磁波を遮蔽することができる。ビス３２の打
ち込み間隔も同様である。

【００１８】このように構成された実施形態に係るクリ
ーンルーム内装システム構成によれば、クリーンルーム
を剛体構造としてばね部材２２により建築壁２０と電気
的導通を図り、同時に防振パッキンなどの電気絶縁部材
を介在させながらパネル接合してなるクリーンルームの
当該接合部分を電磁波シールドプレート３０により導電
接続しつつ、ビス３２を遮蔽周波数に応じた間隔で打ち
込み固定するようにしているので、遮蔽すべき電磁波が
確実にシールドされ、最適なクリーンルーム環境を形成
することができる。

【００１９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明はクリーン
ルームの内装材を構成する床パネル、壁パネル、天井パ
ネルの接合部に防振ゴム材を介在させて結合しつつパネ
ル間を電磁遮蔽プレートにより接合することにより剛体
構造として構築し、当該剛体構造のクリーンルームを建
築壁仕上げ材の内壁面に防振ゴム材を介在させて施工す
るとともに、前記建築仕上げ材に電磁波遮蔽プレートを
貼り付け、前記内装パネルと前記電磁波遮蔽プレートと
の間に間隔を置いて導電材料のばね部材を介在させてク
リーンルームを構築してなるので、クリーンルームを内
装パネルにより構築する際に、パネル間の接合部分での
電気的な接続を確実に行うことができ、同時に遮蔽目的
とする電磁波の周波数帯に対して確実に遮蔽をなすこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態にかかるクリーンルーム内装システム
の概念構成図である。

【図２】同システムの内装構造を示す斜視図である。

【図３】アルミフレームと側壁パネルとの突合せ部の分
解斜視図と断面図である。

【図４】側壁パネルのパネル要素間の結合構造を示す斜
視図と断面図である。

【図５】側壁パネルと床パネルとの接続部構造を示す分
解斜視図と断面図である。

【図６】側壁パネルと建築壁との接合構造部分を示す分
解斜視図と断面図である。

【図７】天井アルミフレームと建築壁との接合構造を示
す分解斜視図と断面図である。

【図８】床パネルと建築壁との接続部分を示す分解斜視
図と断面図である。

【符号の説明】

１０………クリーンルーム、１２………グレーチング床
パネル、１４………側壁パネル、１６………アルミ格子
天井、１８………天井部、２０………建築壁、２２……
…ばね部材、２４………ガルバリウム鋼板、２６………
アルミフレーム、２８………防振パッキン、３０………
電磁波シールドプレート、３２………ビス、３４………
天井レール、３８………要素パネル、４０………パネル
接続部材、４２………床レール、４４………巾木、４６
………パッキン。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 593022342 ベニックス株式会社 東京都中央区日本橋３丁目４番13号 (72)発明者 大見 忠弘 宮城県仙台市青葉区米ヶ袋２−１−17− 301 (72)発明者 白井 泰雪 宮城県仙台市太白区八木山香澄町33−３チ サンマンション八木山香澄町803 (72)発明者 花岡 秀夫 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 (72)発明者 小林 菊治 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 (72)発明者 本間 健 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 (72)発明者 柴田 邦博 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 (72)発明者 斎藤 一夫 東京都千代田区神田駿河台４丁目２番８号 高砂熱学工業株式会社内 (72)発明者 工藤 正光 東京都千代田区神田駿河台４丁目２番８号 高砂熱学工業株式会社内 (72)発明者 冨川 忍 東京都千代田区神田駿河台４丁目２番８号 高砂熱学工業株式会社内 (72)発明者 西連寺 昭 東京都中央区日本橋３丁目４番13号新第一 ビル ベニックス株式会社内 Ｆターム(参考） 2E001 FA03 FA11 FA14 FA41 GA02 GA51 HB01 HB02 HB04 HF02 LA01

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンルームの内装材を構成する床パ
   ネル、壁パネル、天井パネルの接合部に防振ゴム材を介
   在させて結合しつつパネル間を電磁波遮蔽プレートによ
   り接合することにより剛体構造として構築し、当該剛体
   構造のクリーンルームを建築壁仕上げ材の内壁面に防振
   ゴム材を介在させて施工するとともに、前記建築仕上げ
   材に電磁波遮蔽プレートを貼り付け、前記内装パネルと
   前記電磁波遮蔽プレートとの間に間隔を置いて導電材料
   のばね部材を介在させてクリーンルームを構築してなる
   ことを特徴とするクリーンルームの内装システム。
2. 【請求項２】 前記電磁波遮蔽プレートはガルバリウム
   鋼板であることを特徴とする請求項１に記載のクリーン
   ルームの内装システム。
3. 【請求項３】 前記電磁波遮蔽プレートを他の電磁波遮
   蔽プレートに固定する間隔をシールドすべき電磁波を中
   心とする周波数に基づいた長さ以下に設定してなること
   を特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの内装シ
   ステム。