JP3945631B2 - クリーンルームの内装システム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はクリーンルーム内装システムに係り、特にクリーンルーム構築パネルの結合部や建築壁の仕上げ材との結合部での電磁波遮蔽効果を確実にすることができるクリーンルーム内装システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、クリーンルームはその建屋全体が電磁的なシールド効果を持つことが重要となっている。この電磁シールド機能を持たせることによって、外部から到来する電磁波を内部に取り込まず、また、内部で発生した電磁波を外部に漏洩させない。したがって、電磁波による悪影響がクリーンルーム内での精密加工に及ぶことを防止し、また外部周辺環境に及ぶことを回避できる。このため、クリーンルームの天井パネルや壁面パネルに電磁波シールド材料を使用し、これによって電波暗室を形成させるようにしている。
【0003】
例えば、特開平10−102624号公報には、クリーンルームを構成する天井面や側壁面、あるいは床面を、パーマロイパネルや導電性材料からなる積層材を用いて形成し、電磁波シールドをなすようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のクリーンルーム構造では、導電性体材料により形成されるパネル材を天井や壁面、あるいは床材に用いたものであるが、パネル同士の接合部分には支柱を用いて導電性体同士を突き当て接合したり、面接合したりして連結するような構成を採用している。
【0005】
しかし、導電性体を貼り付けたパネルを突き当てて面接合しても電子的にみれば表面が凹凸となっており単に導電性材料同士が触っているだけの構造となって、電気回路を構成していないものとなっていた。これにより、目的とする電磁波の遮蔽機能が発揮されず、いわんや電波暗室を実質的に構成しているとはいえないものであった。特に、クリーンルームには清浄空気を室内に供給するためのファンフィルタユニットが装備されるので、その振動がパネル接合部に作用してもともと電気的な接合が不十分であったところに、振動作用が電気的接合の乖離作用を助長してしまう問題があった。
【0006】
本発明は、上記従来の問題点に着目し、クリーンルームを内装パネルにより構築する際に、パネル間の接合部分での電気的な接続を確実に行うことができるようにしたクリーンルームの内装システムを提供することを目的とする。また、特に遮蔽目的とする電磁波の周波数帯に対して確実に遮蔽をなすことができるようにしたクリーンルームの内装システムを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係るクリーンルームの内装システムは、クリーンルームの内装材を構成する導電性材料の床パネル、壁パネル、天井パネルの接合部分に防振パッキンを介在させて剛体結合し、前記防振パッキンにより電気的に分断されたパネル間を電磁波遮蔽プレートにより電気的に接続したクリーンルーム剛体を構築し、建築壁により形成される空間の内壁面に電磁波遮蔽プレートを張り付けて電気的な接地を行い、この建築壁の内壁面に張り付けた電磁波遮蔽プレートにより囲まれた空間内に導電性ばね部材を介在させて前記クリーンルーム剛体を浮上支持させてなることを特徴とするものである。
【0008】
この場合において、前記電磁波遮蔽プレートはガルバリウム鋼板であることが望ましい。また、前記電磁波遮蔽プレートを他の電磁波遮蔽プレートに結合固定する間隔をシールドすべき電磁波を中心とする周波数に基づいた長さ以下に設定するようにすればよい。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係るクリーンルームの内装システムにつき、その具体的実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図1に実施形態にかかるクリーンルーム内装システムの概念構成図、図2に同システムの内装構造を示す斜視図である。実施形態に係るクリーンルーム10は、まず、図2に示しているように、クリーンルーム10はアルミダイキャスト製のグレーチング床パネル12を有し、このグレーチング床12に側壁パネル14を建て込み、アルミ格子天井16によって天井を覆うようにしている。アルミ格子天井16には、多数の矩形の格子窓が形成されており、これにファンフィルタユニットや閉止天井パネル、あるいは内外の気圧差によって開閉される半閉止天井パネルを取り付けることにより、室内外を遮蔽する天井部18が形成される。
【0010】
このような床パネル12、側壁パネル14、天井部18によって形成されるクリーンルーム10はパネル同士をビス結合することによって剛体構造となすとともに、図1に示しているように、建築壁20によって形成された空間内にばね部材22を一定の間隔を置いて配置することによって、建築壁20からクリーンルーム剛体を浮上支持させ、かつ導電接続して接地し、電磁波遮蔽機能を発揮させるように構成している。すなわち、建築壁20の内面にガルバリウム鋼板24を貼り付け、これを接地してアースを取っている。パネル結合によって構築されたクリーンルーム10は同じくガルバリウム鋼板24を貼り付けてパネル間を導電結合し、クリーンルーム10と建築壁20の間にV字型の導電材料のばね部材22を介在させているのである。このばね部材22の配置間隔はシールドする電磁波の周波数に応じて決定している。すなわち、シールドする電磁波の周波数を例えば100MHzとした所定のバンド幅を対象とする場合には、3倍周波数である300MHzとターゲット周波数とし、300MHzの波長は1mであるため、ばね部材22の配設間隔は最大1mまで許容できる。波の1サイクルを考慮すると1/2波長である50cm以下の配置間隔とするように構成している。これにより、周波数100MHzの電磁波はクリーンルーム10のパネル面で遮断され、外部から室内に到来せず、逆に室内から外部に漏洩することがない。
【0011】
このようなパネル構造によって構築されるクリーンルーム10であるが、図3以下に示した詳細構成図のように、各パネル12、14同士、および天井格子16のアルミフレーム26と側壁パネル14との突合せ部分には、エラストマからなる防振パッキン28を介在させて接合させておき、振動が伝達されることを遮断するようにしている。実施形態では、この防振パッキン28により電気的に分断された箇所を導電性材料からなる電磁波シールドプレート30により跨いで電気的に接続し、電磁波シールド機能を持たせるようにしている。電磁波シールドプレート30は、ガルバリウム鋼板を用いている。このとき、電磁波シールドプレート30をパネル要素にビス止めによって結合するが、使用するビス32の打ち込み間隔は、前述したばね部材22の配置間隔と同様に決定される。すなわち、シールドする電磁波の周波数を例えば100MHzとした所定のバンド幅を対象とする場合には、3倍周波数である300MHzとターゲット周波数とし、300MHzの波長は1mであるため、ビス32の打ち込み間隔は最大1mまで許容できる。波の1サイクルを考慮すると1/2波長である50cm以下のビス打ち込み間隔とするように構成している。これにより、周波数100MHzの電磁波はクリーンルーム10のパネル面で遮断され、外部から室内に到来せず、逆に室内から外部に漏洩することがない。
【0012】
以下に、具体的構成について説明する。図3は天井パネルを構成するアルミフレーム26と側壁パネル14との結合部分の分解斜視図と縦断面図を示している。逆T状のアルミフレーム26と側壁パネル14との突合せ面には防振パッキン28としてのエラストマを介在して突き合わせている。側壁パネル14の上縁部には逆U字型の天井レール34が取り付けられるが、この天井レール34に側壁パネル14が嵌入した構成となっている。前記防振パッキン28により天井部18と側壁パネル14は電気的に分断されることになるが、実施形態では、前記防振パッキン28を挟んで対峙している天井レール34と天井アルミフレーム26とを導電性のある電磁波シールドプレート30を跨いで配置し、両者をビス32にて締結固定している。電磁波シールドプレート30はガルバリウム鋼板であり、ビス32はSUS材料から構成されている。ビス32の打ち込み間隔は前述したとおり、遮蔽周波数により決定される間隔で打ち込まれる。これによりビス32の打ち込み部分での導電接合は確保されるので、電磁波シールド機能を確保することができる。
【0013】
図4は側壁パネル14のパネル要素間の結合構造を示している。側壁パネル14は複数の要素パネル38を用いて接合することでひとつの壁を構築するが、要素パネル38同士の突合せ部分に介在するパネル接続部材40により分断された接合面をガルバリウム鋼板からなる電磁波シールドプレート30を跨いで配置し、ビス32により止めている。ビス間隔は図3の場合と同様である。
【0014】
図5は側壁パネル14と床パネル12との接続部構造を示している。床パネル12には床レール42が固定され、これに側壁パネル14の下部に固定した巾木44が嵌合される。巾木44と側壁パネル14との接合部分にエラストマからなるパッキン46が介在され、これを跨いで電磁波シールドプレート30がビス32で取り付けられる。このビス間隔も遮蔽電磁波周波数によって定まる間隔で打ち込まれる。
【0015】
図6は側壁パネル14と建築壁20との接合構造部分を示している。側壁パネル14の端面と建築壁20との接合面に防振パッキン28が壁レール48を介して介装されて固定される。側壁パネル14と建築壁20とは直角となるので、電磁波シールドプレート30もL型アングルとして形成され、建築壁20と側壁パッキン14とをビス32を利用して導電接合する。建築壁20側にはガルバリウム鋼板24を貼り付けてあって、側壁パネル14と電気的導通が図られている。結合ビス32の打ち込み間隔は前述と同様である。
【0016】
図7は天井アルミフレーム26と建築壁20との接合構造を示している。これも同様に、アルミフレーム26の側面と建築壁20との間に防振パッキン28を介在しているので、L型電磁波シールドプレート30を介在し、間にV字型ばね部材22を間隔をおいて隙間に介装しつつ、シールドプレート30をアルミフレーム26にビス止めする。建築壁20の内面にはガルバリウム鋼板24が貼り付けられており、ばね部材22によって導電接合されることになる。
【0017】
図8は床パネル12と建築壁20との接続部分を示している。床パネル12の側面を建築壁20に防振パッキン28を挟んで接合し、L型電磁波シールドプレート30により結合する。プレート30と建築壁20の内面に貼り付けたガルバリウム鋼板24との間にV字型ばね部材22を配設し、これを遮蔽周波数に応じた間隔で複数配置することにより、電気的な導通を図りつつ所望の電磁波を遮蔽することができる。ビス32の打ち込み間隔も同様である。
【0018】
このように構成された実施形態に係るクリーンルーム内装システム構成によれば、クリーンルームを剛体構造としてばね部材22により建築壁20と電気的導通を図り、同時に防振パッキンなどの電気絶縁部材を介在させながらパネル接合してなるクリーンルームの当該接合部分を電磁波シールドプレート30により導電接続しつつ、ビス32を遮蔽周波数に応じた間隔で打ち込み固定するようにしているので、遮蔽すべき電磁波が確実にシールドされ、最適なクリーンルーム環境を形成することができる。
【0019】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明はクリーンルームの内装材を構成する導電性材料の床パネル、壁パネル、天井パネルの接合部分に防振パッキンを介在させて剛体結合し、前記防振パッキンにより電気的に分断されたパネル間を電磁波遮蔽プレートにより電気的に接続したクリーンルーム剛体を構築し、建築壁により形成される空間の内壁面に電磁波遮蔽プレートを張り付けて電気的な接地を行い、この建築壁の内壁面に張り付けた電磁波遮蔽プレートにより囲まれた空間内に導電性ばね部材を介在させて前記クリーンルーム剛体を浮上支持させてなるので、クリーンルームを内装パネルにより構築する際に、パネル間の接合部分での電気的な接続を確実に行うことができ、同時に遮蔽目的とする電磁波の周波数帯に対して確実に遮蔽をなすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態にかかるクリーンルーム内装システムの概念構成図である。
【図2】同システムの内装構造を示す斜視図である。
【図3】アルミフレームと側壁パネルとの突合せ部の分解斜視図と断面図である。
【図4】側壁パネルのパネル要素間の結合構造を示す斜視図と断面図である。
【図5】側壁パネルと床パネルとの接続部構造を示す分解斜視図と断面図である。
【図6】側壁パネルと建築壁との接合構造部分を示す分解斜視図と断面図である。
【図7】天井アルミフレームと建築壁との接合構造を示す分解斜視図と断面図である。
【図8】床パネルと建築壁との接続部分を示す分解斜視図と断面図である。
【符号の説明】
10………クリーンルーム、12………グレーチング床パネル、14………側壁パネル、16………アルミ格子天井、18………天井部、20………建築壁、22………ばね部材、24………ガルバリウム鋼板、26………アルミフレーム、28………防振パッキン、30………電磁波シールドプレート、32………ビス、34………天井レール、38………要素パネル、40………パネル接続部材、42………床レール、44………巾木、46………パッキン。
Claims (3)
- クリーンルームの内装材を構成する導電性材料の床パネル、壁パネル、天井パネルの接合部分に防振パッキンを介在させて剛体結合し、前記防振パッキンにより電気的に分断されたパネル間を電磁波遮蔽プレートにより電気的に接続したクリーンルーム剛体を構築し、建築壁により形成される空間の内壁面に電磁波遮蔽プレートを張り付けて電気的な接地を行い、この建築壁の内壁面に張り付けた電磁波遮蔽プレートにより囲まれた空間内に導電性ばね部材を介在させて前記クリーンルーム剛体を浮上支持させてなることを特徴とするクリーンルームの内装システム。
- 前記電磁波遮蔽プレートはガルバリウム鋼板であることを特徴とする請求項1に記載のクリーンルームの内装システム。
- 前記電磁波遮蔽プレートを他の電磁波遮蔽プレートに固定する間隔をシールドすべき電磁波を中心とする周波数に基づいた長さ以下に設定してなることを特徴とする請求項1に記載のクリーンルームの内装システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002016255A JP3945631B2 (ja) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | クリーンルームの内装システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002016255A JP3945631B2 (ja) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | クリーンルームの内装システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003213812A JP2003213812A (ja) | 2003-07-30 |
JP3945631B2 true JP3945631B2 (ja) | 2007-07-18 |
Family
ID=27652373
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002016255A Expired - Lifetime JP3945631B2 (ja) | 2002-01-24 | 2002-01-24 | クリーンルームの内装システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3945631B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008092706A (ja) | 2006-10-03 | 2008-04-17 | Nippon Densan Corp | ブラシレスモータおよびこれを搭載するディスク駆動装置 |
CN101428242B (zh) * | 2008-11-10 | 2012-06-27 | 江苏苏净科技有限公司 | 一种洁净室 |
ES2561905B1 (es) * | 2014-08-29 | 2016-11-16 | Amiserru, S.L. | Cerramiento modular |
-
2002
- 2002-01-24 JP JP2002016255A patent/JP3945631B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003213812A (ja) | 2003-07-30 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061102 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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