JP3963729B2 - クリーンルーム天井構造 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はクリーンルーム天井構造に係り、特に電磁波遮蔽機能に優れたクリーンルーム天井構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、クリーンルームでは、内部の清浄度を確保するために、天井に設置した空気吹出口からフィルタにより除塵した空気を吹き出し、床面や壁面に設けた吸込口から吸い込んで天井側に循環させつつ、適宜外部から新鮮な空気を取り込むような空気循環システムを採用している。通常、クリーンルームの天井にはファンフィルタユニット(FFU)を設備し、天井裏の空間に導入された空気をフィルタリングして除塵した状態でクリーンルーム内に供給するものとなっている。ファンフィルタユニットは、HEPAフィルタやULPA(Ultra Low Penetration Air-filter:塵埃除去率99.9999%)フィルタと、その背面側に設けたファンおよびモータとから構成され、ひとつのユニットとして天井の特に格子フレーム部分に配置される。
【0003】
クリーンルームに使用される天井は、格子状に配設したアルミフレームと、このアルミフレームにより形成された格子空間を閉止するよう前記フレームに縁辺を搭載して設置される天井パネルとによって構成されている。ファンフィルタユニットは天井パネルの代わりに同じように据え付けられており、通常は格子空間(例えば、1500×750mm)に適合するサイズのケーシングを有しており、空気吹出口を形成しているケーシングの下面部分の縁辺を天井フレームに載せて設置される。そして、ファンフィルタユニットの据付接合面にてクリーンルーム内外を密閉遮断し、天井裏空間とクリーンルーム内空間とを通気遮断する必要があるために、ファンフィルタユニットと天井フレームとの接合面に弾性材からなるガスケットを介在させている。
【0004】
ところで、クリーンルームはその建屋全体が電磁的なシールド効果を持つことが重要となっている。この電磁シールド機能を持たせることによって、外部から到来する電磁波を内部に取り込まず、また、内部で発生した電磁波を外部に漏洩させない。したがって、外部から到来する電磁波による悪影響がクリーンルーム内での精密加工に及ぶことを防止し、またクリーンルーム内で発生した電磁波による悪影響が外部周辺環境に及ぶことを回避できる。このため、クリーンルームの天井パネルや壁面パネルに電磁波シールド材料を使用し、これによって電波暗室を形成させている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の構造では、例えば特開平10−102624号公報に見られるように、天井パネルや壁材パネル自体はシールド機能を有するものの、それらの接合部ではシールド機能を発揮できない構造となっている。特にファンフィルタユニットを搭載している部分では、EPDMからなるガスケットを用いてシール機能は確保されているものの、これは電気的絶縁体であって電磁波通路が形成されてしまい、したがって電磁波の遮断をこのクリーンルームの天井部分で確実に実施できず、電磁波がガスケット部分を通じて、クリーンルーム内外に漏洩していたという問題がある。
【0006】
従来の電波暗室を形成する場合に、導電性ゴムに炭素フィラーを含有させた電磁シールドパッキンを用いる場合も知られているが、炭素フィラーは電気的に浮いているため電磁波に対して遮蔽機能がなく、実質的に電磁波を透過してしまい、電磁シールド効果を得られない。
【0007】
本発明は、上記従来の問題点に着目し、ファンフィルタユニットの天井部への据付部分で電磁波が漏洩することを確実に防止することができ、併せて天井全体が電磁シールド機能を的確に発揮できるようにしたクリーンルーム天井構造を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係るクリーンルーム天井構造は、導電性材料からなる格子天井の格子窓に導電性材料を貼り付けた閉止板と、ファンフィルタユニットとを据え付けてなるクリーンルーム天井構造であって、前記ファンフィルタユニットには格子窓のフレームへの搭載部分にガスケットとその外周面を導電性金属箔の外皮で包着したシールドパッキンを介在し、格子天井とで電気的に接続された電磁シールドを構成させる。
【0009】
また、前記格子天井には、内外の気圧差により通気開閉する半閉止板を搭載し、この半閉止板の開口には導電性材料からなるメッシュを設け、当該メッシュと前記シールドパッキン、並びに閉止板と、これらを支持している格子天井とで電気的に接続された電磁シールドを構成させる。これにより天井面全体にシールド機能を持たせる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係るクリーンルーム天井構造の具体的実施形態を、図面を参照しつつ、詳細に説明する。
実施形態に係るクリーンルーム天井構造を図1〜5に示す。まず、図5にクリーンルームを構成するパネル構造を示す。クリーンルーム10はアルミダイキャスト製のグレーチング床パネル12を形成し、このグレーチング床12に側壁パネル14を建て込み、アルミ格子天井16によって天井部を形成するようにしている。アルミ格子天井16には、図4(1)に示しているように、多数の矩形の格子窓18が形成されており、これに詳細を後述するファンフィルタユニット20や閉止天井パネル22、あるいは半閉止天井パネル24を取り付けることにより、室内外を遮蔽する天井面を形成させている。格子窓18に取り付けられるファンフィルタユニット20や閉止天井パネル22、あるいは半閉止天井パネル24は、図4(2)の平面図に示されるように、逆T字型断面をなしているアルミフレーム32によって形成される格子窓18の段差部分にそれらの周縁部を載置して固定されるようになっている。
【0011】
また、このようなクリーンルーム10は、グレーチング床パネル12、側壁パネル14、およびアルミ格子天井16によって剛体構造とされ、建屋のスラブと建築壁26(図5参照)とにより形成される空間内部に施工される。アルミ格子天井16に設けたファンフィルタユニット20から天井裏の空間内の空気を浄化してクリーンルーム10の内部に吹出し、吹出された浄化空気をグレーチング床パネル12から床下に取り込み、再度天井裏空間に循環させるためのリターンエアスペース28をクリーンルーム側壁パネル14と建築側壁26の間に形成しておき、図示しない手段により適宜外部から新鮮空気を取り込んで、クリーンルーム10の清浄度を確保するようにしている。
【0012】
ここで、上述したクリーンルーム10は外部から塵埃等が入り込まないように気密遮蔽しつつ、内部に取り込む空気はファンフィルタユニット20を通じてのみ導入されるようにしているが、同様にクリーンルーム10は電磁波による影響を受けないようにして、内部での計測機器や加工機器などが影響を受けないようにする必要がある。また、内部で加工機械などから発生した電磁波も外部に漏洩して周辺環境へ影響しないように遮断する必要がある。このようなことから、クリーンルーム10を形成するグレーチング床パネル12や側壁パネル14、および天井などを電磁シールド機構に構成している。
【0013】
特に、本実施形態では、クリーンルーム10の天井部分ではシステム天井構造を採用し、導電性材料であるアルミ材を用いてアルミ格子天井16を形成する。そして、これによって形成される格子窓18にファンフィルタユニット20を据え付ける際、ファンフィルタユニット20とこれを搭載支持する格子窓18のフレーム部分にガスケットとその外周面を導電性金属箔の外皮で包着したシールドパッキン30を介在し、前記アルミ格子天井16とファンフィルタユニット20のケーシングとの間に導電回路を形成しつつ気密シールして据え付けるようにしたものである。
【0014】
この具体的構成を図1に示す。図5にも示しているように、アルミ格子天井16は断面が概略逆T字型のアルミフレーム32を格子状に配列したもので、交差部分を天井スラブ(図示せず)から吊り下げられている吊り棒34を介して支持されている。格子窓18に搭載されるファンフィルタユニット20は、直接クリーンルーム10に対面するフィルタ(ULPA)36部分と、フィルタ36の背面側(天井裏側)に設けられるファンユニット38部分からなる。フィルタ36はフィルタ本体40とその外周に設けられたアルミ材からなるフィルタ枠42から構成されている。また、ファンユニット38はフィルタ背面側に空間を空けてカバーするアルミケーシング44を有し、その天板部分にパンチング部46を設けて空気吸込口としている。そして、アルミケーシング44の内部には前記パンチング部46に対面されるファン48とその駆動源となっているモータ50が内蔵され、天井裏の空間から空気を吸い込んでフィルタ36を通じて塵埃を除去した浄化空気をクリーンルーム10内に吹き出すようにしている。
【0015】
このようなファンフィルタユニット20はフィルタ枠42が逆T字状のアルミフレーム32に係合載置されるが、この接合部分に図2に示されるようなシールドパッキン30を介在させるようにしている。シールドパッキン30は、弾性材のEPDMをガスケット52とし、その外周面をアルミ箔54の外皮で包着して形成されている。このようなシールドパッキン30は図1に示しているように、ファンフィルタユニット20におけるフィルタ枠42とアルミケーシング44との接合部にも介在している。これにより、ファンフィルタユニット20が搭載される格子窓18部分では、格子窓18を形成しているアルミフレーム32とフィルタ枠42、フィルタ枠42とアルミケーシング44が電気回路を形成することになる。これにより、ファンフィルタユニット20の搭載部分では、電気的な絶縁箇所がなくなり、導電性材料であるアルミ材同士の電気的接続がなされていることになって電磁波がこのユニット搭載部分を通じて内外に漏洩することがない。
【0016】
図3はアルミ格子天井16にファンフィルタユニット20と共に、閉止天井パネル22および半閉止天井パネル24を搭載し、これらと電気的導通を図った構成を示している。ファンフィルタユニット20の据付構成は図1の場合と同様である。図示の例では、2つのファンフィルタユニット20の間に位置する格子窓18部分に半閉止天井パネル24を搭載し、両端部分に閉止天井パネル22を搭載したものである。
【0017】
半閉止天井パネル24はこれにより仕切られる空間の内外の気圧差により通気開閉する構造となっているもので、実施形態ではクリーンルーム10の室内圧が天井裏の空間よりも所定以上に高くなった場合に通気開放し、内部空気を天井裏空間に戻すようになっている。そのため、半閉止天井パネル24は開口窓が形成されるため、電磁波通路ができてしまう。これを防止するため、この半閉止天井パネル24には導電性材料であるアルミ材からなるメッシュ56を設けている。このメッシュ56は遮蔽しようとする電磁波の波長に応じてメッシュサイズが設定されており、例えば100MHzを中心とする電磁波遮蔽を考慮する場合には、その3倍波長の300MHzをターゲットしてシールドすることで決定するようにしている。300MHzの波長は1mであるため、メッシュサイズの間隔は最大1mまで許容できる。波の1サイクルを考慮すると1/2波長である50cm以下のメッシュサイズを持つように設定することで対処できる。そして、このような半閉止天井パネル24もアルミ格子天井16のアルミフレーム32に係合載置されるが、この接合部分に図2に示されるようなシールドパッキン30を介在させるのはファンフィルタユニット20場合と同様である。このようなシールドパッキン30は完全閉止天井パネル22にも同様にパネル搭載面に取り付けられる。これにより、ファンフィルタユニット20と同様、半閉止天井パネル24でも閉止天井パネル22でも格子窓18を形成しているアルミフレーム32との間に電気的導通回路を形成することになる。
【0018】
このような実施形態によれば、アルミ格子天井16に搭載されるファンフィルタユニット20、および閉止天井パネル22、半閉止天井パネル24と、アルミフレーム32との間に電気的な絶縁部分がなくなり、電気的に接続された回路を形成しているため、電磁波の遮断を確実に行うことができる。特に、クリーンルーム10で遮蔽すべき特定の周波数をターゲットにして的確に遮蔽できるようにしているので、効果的な電磁シールド構造をもったクリーンルームおよびその天井シールド構造とすることができる。
【0019】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、導電性材料からなる格子天井の格子窓に導電性材を貼り付けた閉止板と、ファンフィルタユニットとを据え付けてなるクリーンルーム天井構造であって、前記ファンフィルタユニットには格子窓のフレームへの搭載部分にガスケットとその外周面を導電性金属箔の外皮で包着したシールドパッキンを介在し、格子天井とで電気的に接続された電磁シールドを構成させ、前記格子天井には、内外の気圧差により通気開閉する半閉止板を搭載し、この半閉止板の開口には導電性材料からなるメッシュを設け、当該メッシュと前記シールドパッキン、並びに閉止板と、これらを支持している格子天井とで電気的に接続された電磁シールドを構成させることにより天井面全体に電磁シールド機能を持たせた構成としたので、ファンフィルタユニットの天井部への据付部分で電磁波が漏洩することを確実に防止することができ、併せて天井全体が電磁シールド機能を的確に発揮できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態に係るファンフィルタユニットの据付構造の断面図である。
【図2】シールドパッキンの部分断面斜視図である。
【図3】実施形態に係るクリーンルーム天井構造の断面図である。
【図4】アルミ格子天井の平面概略構成の説明図と部分拡大平面図である。
【図5】クリーンルーム構成の説明図である。
【符号の説明】
10………クリーンルーム、12………グレーチング床パネル、14………側壁パネル、16………アルミ格子天井、18………格子窓、20………ファンフィルタユニット、22………閉止天井パネル、24………半閉止天井パネル、26………建築壁、28………リターンエアスペース、30………シールドパッキン、32………アルミフレーム、34………吊り棒、36………フィルタ、38………ファンユニット、40………フィルタ本体、42………フィルタ枠、44………アルミケーシング、46………パンチング部、48………ファン、50………モータ、52………ガスケット、54………アルミ箔、56………メッシュ。
Claims (1)
- 導電性材料からなる格子天井の格子窓に導電性材料を貼り付けた閉止板と、ファンフィルタユニットとを据え付けてなるクリーンルーム天井構造であって、前記ファンフィルタユニットには格子窓のフレームへの搭載部分にガスケットとその外周面を導電性金属箔の外皮で包着したシールドパッキンを介在し、格子天井とで電気的に接続された電磁シールドを構成させるとともに、前記格子天井には、内外の気圧差により通気開閉する半閉止板を搭載し、この半閉止板の開口には導電性材料からなるメッシュを設け、当該メッシュと前記シールドパッキン、並びに閉止板と、これらを支持している格子天井とで電気的に接続された電磁シールドを構成させることによりことにより天井面全体にシールド機能を持たせたことを特徴とするクリーンルーム天井構造。
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