JPH0546318Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、例えば磁気遮蔽箱，磁気シールドル
ーム等の磁気遮蔽装置に於ける磁気シールドフイ
ルタの取付構造に関するものである。

〔従来の技術〕

集積回路素子の製造工場に於ては、各種の集積
回路素子の製造装置が多数稼働しているが、その
中に例えば、集積回路を描く電子ビーム露光装置
や製造された集積回路を検査する電子顕微鏡等の
電子線装置がある。この電子線装置は、外乱磁界
の影響でその性能を低下するため、設置磁界環境
基準があるが、最近、集積回路の密度が向上する
に連れて、電子線装置の設置磁界環境基準値も小
さくなつて来ている。このため、これら装置を磁
気遮蔽特性を有する材料で形成された箱状のシー
ルドルームで覆い、外乱磁界の影響を緩和して性
能の低下を防ぐことが提案されている。

然し、外部と磁気遮蔽材によつて完全に遮断さ
れた磁気シールドルームに電子線装置を格納した
場合、室内の換気が出来ないため、磁気シールド
ルーム内がクリーンルームに成らないといつた問
題がある。

そこで、従来では、換気，空調のために、磁気
シールドルームに開口部を設けることが検討され
ている。

これを第３図に基づいて説明する。１は磁気遮
蔽装置に於ける壁を示し、アルミニウム等の非磁
性材料によつて形成された骨組２の内側と外側に
パーマロイ等の高透磁率材３，４が取り付けられ
ている。この壁１には、換気，空調のための開口
５及び６が、互いの位置をずらして設けられてい
る。そして、この開口５，６の表面側に於ては、
高透磁率材３，４と同じ高透磁率材によつてカバ
ー７，８が取り付けられ、又、裏面側に於ては、
骨組２と同じ材質の非磁性材料によつて形成され
たカバー９，１０が取り付けられている。

〔考案が解決しようとする課題〕

然し、この従来の磁気シールドフイルタの取付
構造では、開口５，６から磁気遮蔽装置内に侵入
しようする外部磁気がカバー７〜１０によつて遮
蔽出来ない。又、カバー７〜１０を取り付けて
も、開口５，６の大きさが同じであるため、充分
な外部磁気を遮蔽することが出来ない。更に、図
示する如く、開口５，６をずらして設けたものに
於ては、換気性能が低下する。更に又、カバー７
〜１０があると、内部に空調された空気を取り込
むためのダクトを接続出来ない等の問題があつ
た。

本考案は斯かる従来の問題点を解決するために
為されたもので、その目的は、磁気遮蔽性能を低
下させることなく、換気，空調が可能となり、空
調ダクトの接続も容易となつた磁気遮蔽装置に於
ける磁気シールドフイルタの取付構造を提供する
ことにある。

〔課題を解決するための手段〕

本考案に於ける磁気シールドフイルタの取付構
造は、骨組材の内外層に高透磁率板を取り付けて
磁気遮蔽機能を付与し、換気，空調等のために開
口部を設け、この開口部に磁気シールドフイルタ
を設けた磁気遮蔽箱，磁気シールドルーム等の磁
気遮蔽装置に於て、高透磁率板にレーザによつて
開口率10〜60％の多数の小孔を穿設した磁気シー
ルドフイルタを、上記開口部の内外に配設すると
共に、磁気遮蔽装置の内外層として取り付けられ
ている高透磁率板と接続し、上記両磁気シールド
フイルタの内外にアルミニウムハニカムを配設し
て成るものである。

〔作用〕

本考案に於いては、開口から侵入しようとする
外部磁気は、高透磁率板に穿設した開口率10〜60
％の多数の小孔を通過する時に遮蔽され、装置内
に侵入することが出来ない。

又、アルミニウムハニカムが取り付けられてい
るので、このアルミニウムハニカムによつて外部
電界が遮蔽される。

〔実施例〕

以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。

第１図は本考案を磁気シールドクリーンルーム
に適用した例を示すもので、２１は、磁気シール
ドルームである。

この磁気シールドルーム２１は、アルミニウム
等の非磁性材により構成された骨組み２２によつ
て箱型形状とし、その内層２３と外層２４にパー
マロイにより形成された磁気遮蔽壁が取り付けて
ある。即ち、この磁気シールドルーム２１は、パ
ーマロイにより形成された磁気遮蔽壁が二重に形
成されている。

又、この磁気シールドルーム２１の天井側の一
側壁には、給気孔２５が穿設されている。この給
気孔２５には、給気ダクト２６が取り付けられて
いる。更に、給気孔２５には、第２図に示す如き
磁気シールドフイルタ構造６０が形成されてい
る。即ち、この磁気シールドフイルタ構造６０
は、パーマロイにレーザによつて、開孔率10〜60
％（好ましくは開孔率50％）の多数の小孔（直径
16mm程度）を穿設したパーマロイ磁気フイルタ２
７及び２８が所望の間隔を隔てて２枚取り付けら
れている。そして、パーマロイ磁気フイルタ２７
及び２８は、一方側がアルミニウムハニカム２９
によつて保持され、他方側が内層２３と外層２４
として取り付けられているパーマロイと接触し、
更に、内層２３と外層２４に於けるパーマロイ磁
気フイルタ２７及び２８の反対側に別のアルミニ
ウムハニカム３０が取り付けられている。

更に、磁気シールドルーム２１の天井側の一側
壁に穿設した給気孔２５の室内側には、この給気
孔２５よりも床寄りに非磁性材により形成された
天井軸組み３１が取り付けられ、その上部に非磁
性材により形成されたエアフイルタ３２が取り付
けられている。このエアフイルタ３２の取付によ
つて、天井空間３３が形成される。

この天井空間３３の下方には、作業空間３４が
形成され、その壁に出入扉３５が取り付けられて
いる。

作業空間３４の床側には、非磁性材により形成
された床軸組み３６が取り付けられ、その床軸組
み３６上に非磁性材により形成されたグレーチン
グ板３７が敷かれている。このグレーチング板３
７の取付によつて床下空間３８が形成される。

この床下空間３８が形成されている磁気シール
ドルーム２１の一側壁には、還気孔３９が穿設さ
れている。この還気孔３９は給気孔２５と同一方
向に設けられている。この還気孔３９には、還気
ダクト４０が取り付けられている。更に、還気孔
３９には、給気孔２５と同様に、パーマロイ磁気
フイルタ２７及び２８が取り付けられて、磁気シ
ールドフイルタ構造６０が形成されている。

この磁気シールドルーム２１に於ける給気孔２
５と還気孔３９とが設けられている壁面側には、
空調機５０が配設されている。この空調機５０に
は、冷水コイル５１，温水コイル５２，フアン５
３及び電気ヒータ５４が内装されている。そし
て、上方の電気ヒータ５４側の部位には、給気ダ
クト２６を取り付ける給気孔５５が設けられ、下
方の部位には、還気ダクト４０を取り付ける還気
孔５７が設けられている。更に、空調機５０の下
部には、外気取入口５８が設けられている。尚、
５９は加湿器である。

次に、斯して構成された本実施例の作用を説明
する。

磁気シールドルーム２１と空調機５０とは、給
気ダクト２６と還気ダクト４０によつて連通して
いるから、空調機５０を作動すると、この空調機
５０で生成された所定の清浄度及び温湿度を有す
る空気が、磁気シールドルーム２１と空調機５０
との間を循環する。即ち、空調機５０から循環空
気が給気ダクト２６及び給気孔２５を経て矢印の
如く天井空間３３内に供給されると、この循環空
気はエアフイルタ３２→作業空間３４→グレーチ
ング板３７→床下空間３８→還気孔３９→還気ダ
クト４０→空調機５０という回路を循環すること
になる。

又、磁気シールドルーム２１は、クリーンルー
ムとして機能するために、調整器によつて室内が
加圧状態に保持されている。

そして、空調機５０の給気孔５５の近傍に設け
られている電気ヒータ５４から漏洩する磁気は、
給気孔２５に設けられているパーマロイ磁気フイ
ルタ２７及び２８によつて形成されている磁気シ
ールドフイルタ構造６０により遮蔽され、磁気シ
ールドルーム２１内に侵入しいないようになつて
いる。

又、磁気シールドルーム２１では、骨組み２２
を介して内外層２３，２４がパーマロイによつて
形成されているので、外界からの磁気の侵入が阻
止されている。

この状態で、作業時間３４内に電子線装置を配
設して操作すると、この作業空間３４内には磁気
が全く及ばないため、電子線装置による検査や測
定が支障なく出来る。

以上の如く、本実施例によれば、磁気シールド
ルーム２１に給気孔２５と還気孔３９を設け、こ
の給気孔２５と還気孔３９とを空調機５０と連通
させることによつて、磁気シールドルーム２１を
クリーンルームとして機能させることが可能とな
つた。而も、この磁気シールドルーム２１は、給
気孔２５と還気孔３９とに、磁気シールドルーム
２１の内層２３及び外層２４を形成するパーマロ
イと導通するように各別に２つのパーマロイ磁気
フイルタ２７及び２８を取り付けることによつて
磁気シールドフイルタ構造６０を形成したので、
従来の磁気シールドルームでは磁気遮蔽が困難と
される大きな開口である給気孔２５と還気孔３９
が形成されても、磁気遮蔽することが可能となつ
た。

従つて、本実施例では、磁気遮蔽とクリーンル
ームの２つの要求機能を満足することが可能とな
つた。

本実施例によれば、磁気シールドルーム２１の
寸法を2370×2370×4415h、重量を4t、室内平面
を2100×2100、天井高さを2400とし、且つ、空調
機３０の寸法を2200×500×4000hとした場合の
磁気シールドの性能とクリーンルームの性能を実
測した処、次の結果を得た。

磁気シールドとしての性能は、残留静磁界で
1mG（ミリガウス）以下（他磁界の約500分の１）
であることが、磁気シールドルーム２１内の全測
定点で実測された。又、外部の直流の変動磁界に
対する磁気シールドルーム２１内部の磁界は、横
方向で60分の１以下、高さ方向で40分の１以下で
あることが実測確認された。更に、同様の方法に
よつて交流変動磁界の遮蔽性能が80dB以上であ
ることが確認された。更に又、100dB以上の電界
シールド性能も確認された。

又、クリーンルームとしての性能は、空調機５
０により、清浄度が0.1μｍ・クラス１、温度・湿
度をそれぞれ±0.1℃・±３％以内に制御するこ
とが出来た。

尚、上記実施例では、空調機５０と連通した磁
気シールドクリーンについて説明したが、給気孔
２５及び換気孔３９及びエアフイルタ３２を取り
去り、換気が出来る開口を設け、この開口に、第
２図に示す如き磁気シールドフイルタ構造６０を
形成しても良い。

又、上記実施例では、磁気シールドルームにつ
いて説明したが、磁気遮蔽箱に於ける換気，空調
のための開口に適用することは当然に出来るもの
であり、その説明は省略する。

〔考案の効果〕

以上の如く、本考案に係る磁気遮蔽装置に於け
る磁気シールドフイルタの取付構造によれば、高
透磁率板にレーザによつて開口率10〜60％の多数
の小孔を穿設した磁気シールドフイルタを、上記
開口部の内外に配設すると共に、磁気遮蔽装置の
内外層として取り付けられている高透磁率板と接
続したものであるから、磁気遮蔽性能を殆ど低下
させることなく、換気，空調が可能となり、空調
ダクトの接続が容易に出来る。

又、本考案に係る磁気遮蔽装置に於ける磁気シ
ールドフイルタの取付構造によれば、磁気シール
ドフイルタの内外にアルミニウムハニカムを配設
したから、外部電界の遮蔽をすることも可能とな
る。

更に、本考案に係る磁気遮蔽装置に於ける磁気
シールドフイルタの取付構造によれば、高透磁率
板にレーザによつて開口率10〜60％の多数の小孔
が穿設されているので、高透磁率板の磁気遮蔽性
能を低下させることなく小孔を穿設することが可
能となり、磁気遮蔽機能が最大限に発揮される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案を磁気シールドクリーンルーム
に適用した一例を示す縦断面説明図である。第２
図は第１図に於ける給気孔と還気孔とに於ける磁
気シールドフイルタの取付構造を示す拡大断面図
である。第３図は従来に於ける磁気シールドフイ
ルタの取付構造を示す拡大断面図である。 主要な部分の符号の説明、２１……磁気シール
ドルーム、２２……骨組み、２３……内層、２４
……外層、２５……給気孔、２７，２８……パー
マロイ磁気フイルタ、２９，３０……アルミニウ
ムハニカム、３９……換気孔、６０……磁気シー
ルドフイルタ構造。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 骨組材の内外層に高透磁率板を取り付けて磁気
   遮蔽機能を付与し、換気，空調等のために開口部
   を設け、この開口部に磁気シールドフイルタを設
   けた磁気遮蔽箱，磁気シールドルーム等の磁気遮
   蔽装置に於て、高透磁率板にレーザによつて開口
   率10〜60％の多数の小孔を穿設した磁気シールド
   フイルタを、上記開口部の内外に配設すると共
   に、磁気遮蔽装置の内外層として取り付けられて
   いる高透磁率板と接続し、上記両磁気シールドフ
   イルタの内外にアルミニウムハニカムを配設して
   成ることを特徴とする磁気遮蔽装置に於ける磁気
   シールドフイルタの取付構造。