JPH0810956Y2 - 電磁遮蔽室 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は電磁遮蔽室に係り、特に半導体製造工場等の
クリーンルーム内に設置される電磁遮蔽室に関する。

〔従来の技術〕 IC、LSI等の半導体製品の製造環境は無塵環境を必要
とする為、その製造は通常クリーンルームで行われてい
る。前記クリーンルームには、塵埃が除去されると共に
温湿度管理されたクリーンエアが供給される。これは、
前記クリーンエアに塵埃が含有しているとその塵埃が半
導体製品の品質に悪影響を与える原因となり、またクリ
ーンエアの温湿度が変動すると半導体製造装置の加工寸
法が微少に変化して半導体加工に微少なズレを発生させ
る原因となるからである。

一方、前記半導体製造装置のうち、電子線を用いるエ
レクトンビーム装置では、その装置の近傍に電磁界があ
ると、エレクトロンビーム装置から発射する電子線が電
磁界に影響されて曲がり、所定の放電パターンを描けな
くなるという欠点がある。従って、エレクトロンビーム
装置等の半導体製造装置は、電磁界から装置を遮蔽する
必要がある。この為、前記エレクトンビーム装置は導電
性材料で構成された電磁遮蔽室内に設置されている。

第３図には、クリーンルームに設置された電磁遮蔽室
の実施例が示されている。第３図によれば、電磁遮蔽室
10はクリーンルーム12の床面グレーチング板14上に設置
されている。前記クリーンルーム12は、図示しない天井
面給気口から吹き出されたクリーンエアが図中矢印方向
にダウンフローされて前記床面グレーチング板14の通気
口16から床面チャンバ18内に吸い込まれる。床面チャン
バ18に吸い込まれたエアは、図示しない吸気装置によっ
て図中矢印方向に吸引され、クリーンルーム12から排気
される。

前記電磁遮蔽室10は、導電性材料で形成された壁20に
よってその天井面、床面及び側面が密閉されて構成され
る。また、前記電磁遮蔽室10の側面には扉22が取付けら
れ、また電磁遮蔽室10内には図中鎖線で示すエレクトロ
ンビーム装置24が設置される。

一方、前記電磁遮蔽室10の図中右側面には、空調装置
26が隣接して設けられる。前記空調装置26は、ファン28
と高性能フイルタ30とから成り、このファン28から吹き
出されたエアが図中矢印で示すように前記高性能フイル
タ30を介して電磁遮蔽室10の側面上部の開口部から電磁
遮蔽室10内に吹き出される。また、吹き出されたエアは
矢印で示すようにダウンフローされて、電磁遮蔽室10の
底面下部に形成された開口部から再び空調装置26内に循
環される。このように電磁遮蔽室10内のエアは、循環さ
れて前記高性能フイルタ30でエア中の塵埃が除去される
と共に、温湿制御装置32によって温湿度が制御されて、
前記エレクトロンビーム装置24に悪影響を与えないよう
にしている。

〔考案が解決しようとする課題〕

しかしながら、従来の電磁遮蔽室10は、エレクトロン
ビーム装置24近傍の周囲が壁20、20で覆われている為、
前記エレクトロンビーム装置22にクリーンエアを供給す
るには第３図に示したように個別に空調装置26を取付け
なければならない。これによって、電磁遮蔽室10が大型
化し、また空調装置26の取付けによりコストが大幅に高
くなるという欠点がある。

本考案はこのような事情に鑑みてなされたもので、個
別の空調装置を必要としないコンパクトな電磁遮蔽室を
提供することを目的とする。

〔課題を解決する為の手段〕

本考案は、前記目的を達成するために、天井面にクリ
ーンエアを吹き出す給気口と、床面に吹き出されたクリ
ーンエアを吸い込むグレーチング板とを備えたクリーン
ルーム内に電磁遮蔽室を設置し、前記電磁遮蔽室の側壁
は導電性材料で構成されると共に、前記電磁遮蔽室の天
井面と床面とには、前記クリーンルームの天井面の給気
口から床面のグレーチング板に向けて流れるクリーンエ
アが電磁遮蔽室内を通過できるように導電性材料で形成
された多孔板が敷設されたことを特徴とする。

〔作用〕

本考案によれば、電磁遮蔽室（34）の天井面と床面と
に導電性材料で形成された多孔板（54、56）を敷設す
る。これによって、クリーンルーム（36）に吹き出され
たクリーンエアは、前記電磁遮蔽室（34）の天井面に敷
設された多孔板（54）を通過して電磁遮蔽室（34）内に
導入し、電磁遮蔽室（34）内を通過して前記床面開口部
に敷設された多孔板（56）から床面グレーチング板（3
8）を介して排気される。

〔実施例〕

以下添付図面に従って本考案に係る電磁遮蔽室の好ま
しい実施例を詳説する。

第１図は本考案に係る電磁遮蔽室がクリーンルーム内
に設置された実施例が示されている。

第１図に於いて、電磁遮蔽室34はクリーンルーム36内
に設置されると共にクリーンルーム36の床面に敷設され
た床面グレーチング板38上に設けられる。前記床面グレ
ーチング板38は、その表面に多数の通気口40、40…が形
成される。

クリーンルーム36の天井面には、給気口42、42…を有
するダクト44、44…が設けられ、このダクト44の給気口
42近傍には高性能フイルタ46が取付けられている。前記
ダクト44は図示しない空調装置に連通され、空調装置で
温湿度管理されたエアが前記ダクト44を介して矢印で示
すように高性能フイルタ46を通過してクリーンルーム36
に吹き出される。吹き出されたエアは、図中矢印で示す
ようにダウンフローされて前記床面グレーチング板38の
通気口44、44…から床下チャンバ48に吸い込まれる。吸
い込まれたエアは、図中矢印で示すように床下チャンバ
48内を通過して図示しない吸気口から前記空調装置に送
り込まれ、再び空調されて循環される。

ところで、前記電磁遮蔽室34は第２図に示すように、
側面が導電性材料の壁50で構成され、その側面の正面側
に扉52が設けられる。また、電磁遮蔽室34の天井面と床
面が開口されて、これらの開口部には導電性材料で且つ
多孔質のパンチングメタル54、56が敷設される。このよ
うに箱体に形成された電磁遮蔽室34内には、第２図中鎖
線で示すエレクトロンビーム装置58が設置される。

次に、前記の如く構成された電磁遮蔽室の作用につい
て説明する。

前述したように、前記電磁遮蔽室34の天井面と床面と
には多孔質のパンチングメタル54、56が敷設されている
ので、第１図に示したクリーンルーム36の給気口から吹
き出されるエアが、天井面のパンチングメタル54を通過
して矢印で示すように電磁遮蔽室34内に導入する。導入
されたエアは、電磁遮蔽室34内を通過して床面に敷設さ
れたパンチングメタル56から床面グレーチング38を通過
して床下チャンバ48内に送り込まれる。従って、クリー
ンルーム36内に吹き出されるクリーンエアを、直接電磁
遮蔽室34内に通過させるようにしたので、電磁遮蔽室に
個別の空調設備を設けていた従来の電磁遮蔽室と比較し
てコンパクトな構造にすることができる。

また、前記パンチングメタル54、56は、導電性材料で
形成されているので、エレクトロンビーム装置58に電磁
界による悪影響を与えるのを防止することができる。

尚、本実施例ではパンチングメタル54、56を使用する
としたが、これに限られるものではなく、金網又はハニ
カム等のメッシュ構造の多孔板を使用しても良い。

〔考案の効果〕

以上説明したように、本考案に係る電磁遮蔽室によれ
ば、電磁遮蔽室の天井面と床面とに導電性材料で形成さ
れた多孔板を敷設し、クリーンルームのエアを電磁遮蔽
室内に直接通過させるようにしたので、電磁遮蔽室を小
型化することができる。また個別に設けていた空調装置
が不要になるので、電磁遮蔽室の大幅なコストダウンを
図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る電磁遮蔽室がクリーンルームに設
置された状態を示す説明図、第２図は本考案に係る電磁
遮蔽室の実施例を示す正面図、第３図は従来の電磁遮蔽
室の実施例を示す正面図である。 34……電磁遮蔽室、36……クリーンルーム、38……床面
グレーチング板、42……給気口、50……壁、54、56……
パンチングメタル。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】天井面にクリーンエアを吹き出す給気口
   と、床面に吹き出されたクリーンエアを吸い込むグレー
   チング板とを備えたクリーンルーム内に電磁遮蔽室を設
   置し、前記電磁遮蔽室の側壁は導電性材料で構成される
   と共に、前記電磁遮蔽室の天井面と床面とには、前記ク
   リーンルームの天井面の給気口から床面のグレーチング
   板に向けて流れるクリーンエアが電磁遮蔽室内を通過で
   きるように導電性材料で形成された多孔板が敷設された
   ことを特徴とする電磁遮蔽室。