JP2593002Y2 - 磁気シールドルームの貫通部構造 - Google Patents
磁気シールドルームの貫通部構造Info
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- JP2593002Y2 JP2593002Y2 JP1993069882U JP6988293U JP2593002Y2 JP 2593002 Y2 JP2593002 Y2 JP 2593002Y2 JP 1993069882 U JP1993069882 U JP 1993069882U JP 6988293 U JP6988293 U JP 6988293U JP 2593002 Y2 JP2593002 Y2 JP 2593002Y2
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- magnetic shield
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- magnetic
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- shield room
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- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、医療分野、精密物理計
測分野、超ＬＳＩの製造分野等において、外部からの磁
気を遮断するための磁気シールドルームに関する。
測分野、超ＬＳＩの製造分野等において、外部からの磁
気を遮断するための磁気シールドルームに関する。
【０００２】
【従来の技術】医療分野において生体から微小な磁場を
検出する場合や、精密物理計測分野において高性能で磁
場の測定をする場合や、超ＬＳＩの製造分野において電
子ビーム露光装置や電子顕微鏡を使用する場合には、外
部の磁気を遮断した磁気シールドルームが必要になる。
従来の磁気シールドルームは、シールドルーム全体をパ
ーマロイ等の磁気シールド部材で覆い、空調ダクト、配
線ケーブル等の種々の貫通部には、その開口部に磁気フ
ィルタを設けている。
検出する場合や、精密物理計測分野において高性能で磁
場の測定をする場合や、超ＬＳＩの製造分野において電
子ビーム露光装置や電子顕微鏡を使用する場合には、外
部の磁気を遮断した磁気シールドルームが必要になる。
従来の磁気シールドルームは、シールドルーム全体をパ
ーマロイ等の磁気シールド部材で覆い、空調ダクト、配
線ケーブル等の種々の貫通部には、その開口部に磁気フ
ィルタを設けている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】ところで、高性能な磁
気シールドルームは、前記開口部の磁気シールド性能で
空間全体の性能が決定されるといっても過言ではない。
しかしながら、従来の磁気シールドルームにおいては、
壁面に貫通部を直線的に設けて開口部を形成しているた
めに、開口部を磁気シールド部材で覆っても、磁気が直
線的に侵入するため、磁気シールド性能が低下するとい
う問題を有している。
気シールドルームは、前記開口部の磁気シールド性能で
空間全体の性能が決定されるといっても過言ではない。
しかしながら、従来の磁気シールドルームにおいては、
壁面に貫通部を直線的に設けて開口部を形成しているた
めに、開口部を磁気シールド部材で覆っても、磁気が直
線的に侵入するため、磁気シールド性能が低下するとい
う問題を有している。
【０００４】本考案は上記問題を解決するものであっ
て、貫通部構造の改善により磁気シールド性能の低下を
抑えることができる磁気シールドルームの貫通部構造を
提供することを目的とする。
て、貫通部構造の改善により磁気シールド性能の低下を
抑えることができる磁気シールドルームの貫通部構造を
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そのために、本考案の磁
気シールドルームの貫通部構造は、磁気シールド部材１
５からなる磁気シールド壁５から構成される磁気シール
ドルーム２において、磁気シールド壁５の内側および外
側に形成される開口部１６、１７と、各開口部１６、１
７間に形成され、磁気シールド部材１９からなる貫通部
１８と、前記各開口部１６、１７に配設される磁気フィ
ルタ１３とを備え、前記各開口部１６、１７は離間して
設けられ、前記貫通部１８は屈曲して形成されるととも
に、磁気シールド壁の略中央部で切断されていることを
特徴とする。なお、上記構成に付加した番号は、本考案
の理解を容易にするために図面と対比させるためのもの
で、これにより本考案の構成が何ら限定されるものでは
ない。
気シールドルームの貫通部構造は、磁気シールド部材１
５からなる磁気シールド壁５から構成される磁気シール
ドルーム２において、磁気シールド壁５の内側および外
側に形成される開口部１６、１７と、各開口部１６、１
７間に形成され、磁気シールド部材１９からなる貫通部
１８と、前記各開口部１６、１７に配設される磁気フィ
ルタ１３とを備え、前記各開口部１６、１７は離間して
設けられ、前記貫通部１８は屈曲して形成されるととも
に、磁気シールド壁の略中央部で切断されていることを
特徴とする。なお、上記構成に付加した番号は、本考案
の理解を容易にするために図面と対比させるためのもの
で、これにより本考案の構成が何ら限定されるものでは
ない。
【０００６】
【作用】本考案においては、例えば図１に示すように、
外側開口部１７から侵入する磁気は、貫通部１８が屈曲
して形成されているため、貫通部１８の磁気シールド部
材１９により減衰され、磁気シールドルームにおける磁
気シールド性能の低下を抑えることができる。
外側開口部１７から侵入する磁気は、貫通部１８が屈曲
して形成されているため、貫通部１８の磁気シールド部
材１９により減衰され、磁気シールドルームにおける磁
気シールド性能の低下を抑えることができる。
【０００７】
【実施例】以下、本考案の実施例を図面を参照しつつ説
明する。図１（Ａ）は本考案における貫通部構造の１実
施例を示す断面図、図１（Ｂ）は磁気フィルタの平面
図、図２は本考案が適用される磁気シールドルームの例
を示す斜視図である。
明する。図１（Ａ）は本考案における貫通部構造の１実
施例を示す断面図、図１（Ｂ）は磁気フィルタの平面
図、図２は本考案が適用される磁気シールドルームの例
を示す斜視図である。
【０００８】図２において、建物構造体１内には磁気シ
ールドルーム２が構築され、磁気シールドルーム２の
壁、天井および床は、磁気シールド壁５から構成され
る。磁気シールドルーム２内には、必要に応じて例えば
除振装置６が配設され、除振装置６上に例えば電子顕微
鏡等の対象とする装置７が配設される。
ールドルーム２が構築され、磁気シールドルーム２の
壁、天井および床は、磁気シールド壁５から構成され
る。磁気シールドルーム２内には、必要に応じて例えば
除振装置６が配設され、除振装置６上に例えば電子顕微
鏡等の対象とする装置７が配設される。
【０００９】建物構造体１と磁気シールドルーム２との
間の空間には、複数の給気ダクト９および排気ダクト１
０が配設され、給気ダクト９および排気ダクト１０は図
示しない空調装置に接続されている。磁気シールドルー
ム２と給気ダクト９の間には複数の給気用の開口部１１
が形成され磁気シールドルーム２内に清浄空気を供給
し、また、磁気シールドルーム２の壁下部および床部に
は、複数の排気用の開口部１２および配線用の開口部１
４が形成されている。これら開口部１１、１２、１４は
当然のことではあるが、磁気シールド部材がないために
このままでは外部から磁気が侵入する。そのために、各
開口部１１には磁気フィルタ１３が装着されている。な
お、２１は吹出口、２２は天井である。
間の空間には、複数の給気ダクト９および排気ダクト１
０が配設され、給気ダクト９および排気ダクト１０は図
示しない空調装置に接続されている。磁気シールドルー
ム２と給気ダクト９の間には複数の給気用の開口部１１
が形成され磁気シールドルーム２内に清浄空気を供給
し、また、磁気シールドルーム２の壁下部および床部に
は、複数の排気用の開口部１２および配線用の開口部１
４が形成されている。これら開口部１１、１２、１４は
当然のことではあるが、磁気シールド部材がないために
このままでは外部から磁気が侵入する。そのために、各
開口部１１には磁気フィルタ１３が装着されている。な
お、２１は吹出口、２２は天井である。
【００１０】図１は本考案における開口部構造の１実施
例を示している。図１（Ａ）において、磁気シールド壁
５の内側および外側には、磁気シールド部材１５が設け
られている。磁気シールド壁５の内側および外側の所定
箇所には、内側開口部１６および外側開口部１７が形成
される。各開口部１６、１７は、図２の開口部１１、１
２、１４に対応するもので、各開口部１６、１７には、
図１（Ｂ）に示すように格子形状の磁気フィルタ１３が
配設されている。
例を示している。図１（Ａ）において、磁気シールド壁
５の内側および外側には、磁気シールド部材１５が設け
られている。磁気シールド壁５の内側および外側の所定
箇所には、内側開口部１６および外側開口部１７が形成
される。各開口部１６、１７は、図２の開口部１１、１
２、１４に対応するもので、各開口部１６、１７には、
図１（Ｂ）に示すように格子形状の磁気フィルタ１３が
配設されている。
【００１１】開口部１６、１７を連通する貫通部１８が
形成される。貫通部１８の壁も磁気シールド部材１９、
１９からなる。この貫通部１８の磁気シールド部材１９
は、壁５の略中央部で切断されている。磁気シールド部
材１５、１９および磁気フィルタ１３の材料としては、
パーマロイ等の強磁性材料の他、非磁性材料、セラミッ
クス、導電材料、複合材料、超伝導材等、またはこれら
を組み合わせたものを採用する。
形成される。貫通部１８の壁も磁気シールド部材１９、
１９からなる。この貫通部１８の磁気シールド部材１９
は、壁５の略中央部で切断されている。磁気シールド部
材１５、１９および磁気フィルタ１３の材料としては、
パーマロイ等の強磁性材料の他、非磁性材料、セラミッ
クス、導電材料、複合材料、超伝導材等、またはこれら
を組み合わせたものを採用する。
【００１２】前記内側開口部１６と外側開口部１７は距
離Ｄ２だけ離して設けられる。開口部１６、１７の幅を
Ｄ１とすると、この幅Ｄ１より大きい距離Ｄ２だけ離し
て設けられ、そのため、貫通部１８は屈曲して形成され
ることになる。従って、外側開口部１７から侵入する磁
気は、貫通部１８が屈曲して形成されているため、貫通
部１８の磁気シールド部材１９により減衰され、磁気シ
ールド性能の低下を抑えることができる。
離Ｄ２だけ離して設けられる。開口部１６、１７の幅を
Ｄ１とすると、この幅Ｄ１より大きい距離Ｄ２だけ離し
て設けられ、そのため、貫通部１８は屈曲して形成され
ることになる。従って、外側開口部１７から侵入する磁
気は、貫通部１８が屈曲して形成されているため、貫通
部１８の磁気シールド部材１９により減衰され、磁気シ
ールド性能の低下を抑えることができる。
【００１３】
【考案の効果】以上の説明から明らかなように本考案に
よれば、磁気シールド壁の内側および外側に形成される
開口部と、各開口部間に形成され、磁気シールド部材か
らなるる貫通部と、前記各開口部に配設される磁気フィ
ルタとを備え、前記各開口部が離間して設けられ、前記
貫通部が屈曲して形成された構成とすることにより、磁
気シールド性能の低下を効果的に抑えることができ、ま
た、貫通部が磁気シールド壁の略中央部で切断されてい
る構成により、磁気シールド部材に吸収された磁気を遮
断することができる。
よれば、磁気シールド壁の内側および外側に形成される
開口部と、各開口部間に形成され、磁気シールド部材か
らなるる貫通部と、前記各開口部に配設される磁気フィ
ルタとを備え、前記各開口部が離間して設けられ、前記
貫通部が屈曲して形成された構成とすることにより、磁
気シールド性能の低下を効果的に抑えることができ、ま
た、貫通部が磁気シールド壁の略中央部で切断されてい
る構成により、磁気シールド部材に吸収された磁気を遮
断することができる。
【図１】図１（Ａ）は本考案における貫通部構造の１実
施例を示す断面図、図１（Ｂ）は磁気フィルタの平面図
である。
施例を示す断面図、図１（Ｂ）は磁気フィルタの平面図
である。
【図２】本考案が適用される磁気シールドルームの例を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
２…磁気シールドルーム、５…磁気シールド壁、１３…
磁気フィルタ １５、１９…磁気シールド部材、１６、１７…開口部、
１８…貫通部
磁気フィルタ １５、１９…磁気シールド部材、１６、１７…開口部、
１８…貫通部
Claims (1)
- 【請求項１】磁気シールド部材からなる磁気シールド壁
から構成される磁気シールドルームにおいて、前記磁気
シールド壁の内側および外側に形成される開口部と、各
開口部間に形成され、磁気シールド部材からなる貫通部
と、前記各開口部に配設される磁気フィルタとを備え、
前記各開口部が離間して設けられ、前記貫通部が屈曲し
て形成されるとともに、磁気シールド壁の略中央部で切
断されていることを特徴とする磁気シールドルームの貫
通部構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993069882U JP2593002Y2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 磁気シールドルームの貫通部構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993069882U JP2593002Y2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 磁気シールドルームの貫通部構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0742197U JPH0742197U (ja) | 1995-07-21 |
| JP2593002Y2 true JP2593002Y2 (ja) | 1999-03-31 |
Family
ID=13415576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993069882U Expired - Fee Related JP2593002Y2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 磁気シールドルームの貫通部構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2593002Y2 (ja) |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP1993069882U patent/JP2593002Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0742197U (ja) | 1995-07-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |