JPH07229214A - 磁気シールドルームの窓部構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】磁気シールド性能を低下させることなくガラス
窓の透明感を維持する。 【構成】磁気シールド材２２を有する磁気シールド壁５
から構成される磁気シールドルーム２において、磁気シ
ールド壁５の窓部１５、１６と、窓部に配設される２枚
のガラス窓２５と、ガラス窓２５間に設けられる磁気シ
ールド不織布２６とを備え、磁気シールド不織布２６と
磁気シールド材２２を磁気的に接続した構成。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、医療分野、精密物理計
測分野、超ＬＳＩの製造分野等において、外部からの磁
気を遮断するための磁気シールドルームに係わり、とく
に窓部の構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】医療分野において生体から微小な磁場を
検出する場合や、精密物理計測分野において高性能で磁
場の測定をする場合や、超ＬＳＩの製造分野において電
子ビーム露光装置や電子顕微鏡を使用する場合には、外
部の磁気を遮断した磁気シールドルームが必要になる。
従来の磁気シールドルームは、シールドルーム全体を珪
素鋼板やパーマロイ等の磁気シールド材で覆い、窓や開
口部には網状の磁気フィルタを設けている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の磁気シールドルームにおいては、窓や開口部が視覚
的に遮断されてしまい、閉鎖的な空間になってしまうと
ういう問題を有し、とくに高い磁気遮蔽率を必要とする
場合には、窓や開口部を設けることができず、さらに閉
鎖的な空間になってしまうとういう問題を有している。

【０００４】本発明は上記問題を解決するものであっ
て、磁気シールド性能を低下させることなく、ガラス窓
の透明感を維持することができる磁気シールドルームの
窓部構造を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】そのために、本発明の磁
気シールドルームの窓部構造は、磁気シールド材２２を
有する磁気シールド壁５から構成される磁気シールドル
ーム２において、磁気シールド壁５の窓部１５、１６
と、窓部に配設される２枚のガラス窓２５と、ガラス窓
２５間に設けられる磁気シールド不織布２６とを備え、
磁気シールド不織布２６と磁気シールド材２２を磁気的
に接続したことを特徴とする。なお、上記構成に付加し
た番号は、本発明の理解を容易にするために図面と対比
させるためのもので、これにより本発明の構成が何ら限
定されるものではない。

【０００６】

【作用】本発明においては、窓部に設けられる磁気シー
ルド不織布が、極細繊維からなるのでガラス窓の透明感
を維持し視覚的に遮断されることがない。

【０００７】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。図１および図２は、本発明の磁気シールドルー
ムの窓部構造の各実施例を示す断面図、図３は本発明が
適用される磁気シールドルームの例を示す斜視図であ
る。

【０００８】図３において、建物構造体１内には磁気シ
ールドルーム２が構築され、磁気シールドルーム２の
壁、天井および床は、磁気シールド壁５から構成され
る。磁気シールドルーム２内には、必要に応じて例えば
除振装置６が配設され、除振装置６上に例えば電子顕微
鏡等の対象とする装置７が配設される。

【０００９】建物構造体１と磁気シールドルーム２との
間の空間には、複数の吹出口２１、給気ダクト９および
排気ダクト１０が配設され、給気ダクト９および排気ダ
クト１０は図示しない空調装置に接続されている。磁気
シールドルーム２と給気ダクト９の間には複数の給気用
の開口部１１が形成され磁気シールドルーム２内に清浄
空気を供給し、また、磁気シールドルーム２の壁下部お
よび床部には、複数の排気用の開口部１２および配線用
の開口部１４が形成されている。これら開口部１１、１
２、１４は当然のことではあるが、磁気シールド材がな
いためにこのままでは外部から磁気が侵入する。そのた
めに、各開口部１１には磁気フィルタ１３が装着されて
いる。そして、磁気シールド壁５には、引き戸式の窓部
１５と、はめ込み式の窓部１６が設けられている。

【００１０】図１は本発明における窓部構造の１実施例
を示す断面図であり、図３の引き戸式の窓部１５の構造
を示している。磁気シールド壁５の内側には、磁気シー
ルド材２２が設けられている。この磁気シールド材２２
の材料としては、パーマロイ等の強磁性材料の他、非磁
性材料、セラミックス、導電材料、複合材料、超伝導材
等、またはこれらを組み合わせたものを採用する。

【００１１】磁気シールド壁５の窓部１５には、サッシ
２３が取り付けられ、サッシ２３内にセッティングブロ
ック２４を介して引き戸式の２枚のガラス窓２５が装着
されている。２枚のガラス窓２５の間には、アモルファ
ス合金の極細繊維を不織布にした磁気シールド不織布２
６が配設され、この磁気シールド不織布２６はガラス窓
２５の外周から引き出され、磁気シールド材２２と磁気
的に接続するようにしている。

【００１２】図２は本発明における窓部構造の他の実施
例を示す断面図であり、図３のはめこみ式の窓部１６の
構造を示している。本実施例の場合には、ガラス窓２５
の内部に磁気シールド不織布２６を挟着するようにして
いる。

【００１３】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、磁気シールド性能を低下させることなく、ガラ
ス窓の透明感を維持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明における窓部構造の１実施例を示す断面
図である。

【図２】本発明における窓部構造の他の実施例を示す断
面図である。

【図３】本発明が適用される磁気シールドルームの例を
示す斜視図である。

【符号の説明】

２…磁気シールドルーム、５…磁気シールド壁、１５、
１６…窓部 ２２…磁気シールド材、２５…ガラス窓、２６…磁気シ
ールド不織布

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】磁気シールド材を有する磁気シールド壁か
   ら構成される磁気シールドルームにおいて、前記磁気シ
   ールド壁の窓部と、該窓部に配設される２枚のガラス窓
   と、該ガラス窓間に設けられる磁気シールド不織布とを
   備え、該磁気シールド不織布と前記磁気シールド材を磁
   気的に接続したことを特徴とする磁気シールドルームの
   窓部構造。