JP2012074457A - 磁気シールド補助装置及び磁気シールドシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一部に開口部3を有する磁気シールド装置2の開口部3近傍に設置される磁気シールド補助装置4であって、環状の磁性材料で形成された第1の磁気シールド補助部材4aと、第1の磁気シールド補助部材4aに隣接して設けられる環状の導電性材料で形成された第2の磁気シールド補助部材4bとを備える。第1の磁気シールド補助部材4aは、磁性材料で形成されているから、水平方向の磁界に対して磁気シールド効果を有する。第2の磁気シールド補助部材4bは、導電性材料で形成されているから、垂直方向の磁界に対して磁気シールド効果を有する。したがって、全方向の磁界に対して高い磁気シールド効果を有する磁気シールドシステムを実現することができる。
【選択図】図1
Description
1.磁気シールドシステム1の構成
(1)磁気シールド装置2
(2)磁気シールド補助装置4
2.磁気シールド補助装置4の動作原理
3.磁気シールド補助装置4の製造方法
4.磁気シールド補助装置4及び磁気シールドシステム1の使用方法
5.磁気シールド補助装置の変形例
(1)変形例1、磁気シールドが弱い箇所を有する磁気シールド装置の場合
(2)変形例2、窓状の開口部を有する磁気シールド装置の場合
(3)変形例3、筒状の磁気シールド補助装置の場合
(4)その他
図1に示すように、本発明が適用された磁気シールドシステム1は、一部に開口部3を有する磁気シールド装置2と、開口部3と略同じ大きさの磁気シールド補助装置4とを備えている。磁気シールド補助装置4は、磁気シールド装置2の開口部3の近傍に設置される。この磁気シールド装置2の内部には、外来磁界の影響を受けやすい脳磁計等に代表される生体磁気計測装置のような微弱磁界測定装置が設置される。その他、超微細加工技術を用いた高機能電子デバイスの製造、検査装置等に用いられる電子顕微鏡、マスク検査装置、又は電子ビームマスク描画装置等も磁気シールドルーム内部に設置される。ここでは、磁気シールド装置2の内部に生体磁気計測装置が設置される場合を例に説明する。
磁気シールド装置2は、たとえば磁性材料からなるパネルを組み合わせた壁面、床面及び天井からなり、全体が略直方体をなしており、内部に生体磁気計測装置を設置する空間部が設けられている。そして、1つの壁面には、生体磁気計測装置を設置した空間部に出入りするための開口部3が形成されている。開口部3は、たとえば被験者等が出入りできるようにするため、1つの壁面すべてを開口するように形成されている。
図1に示すように、磁気シールド装置2の開口部3の近傍に設置される磁気シールド補助装置4は、磁気シールド装置2の開口部3の大きさと略同じ大きさに形成されている。磁気シールド補助装置4は、全体が環状をなしており、開口部5を有している。磁気シールド補助装置4は、磁気シールド効果を高めるためには連続的で切れ目等ない連続した環状であることが好ましい。図1においては、磁気シールド補助装置4は、開口部3の形状に合わせて、略正方形に形成されている。
図2〜図4は、本発明の磁気シールド補助装置4による磁気シールドの原理を説明した図である。
・実験1:パーマロイと銅の複合材料からなる磁気シールド補助装置4を+50mmの位置に置いた場合。
・実験2:パーマロイと銅の複合材料からなる磁気シールド補助装置4を0mmの位置に置いた場合。
・実験3:パーマロイと銅の複合材料からなる磁気シールド補助装置4を−50mmの位置に置いた場合。
・実験4:銅材からなる磁気シールド補助装置4を+50mmの位置に置いた場合。
・実験5:銅材からなる磁気シールド補助装置4を+0mmの位置に置いた場合。
・実験6:銅材からなる磁気シールド補助装置4を−50mmの位置に置いた場合。
磁気シールド補助装置4は、環状の磁性材料で形成された第1の磁気シールド補助部材4aと、上記第1の磁気シールド補助部材4aに隣接して設けられる環状の導電性材料で形成された第2の磁気シールド補助部材4bとを備えている。第1の磁気シールド補助部材4aは、パーマロイで形成され、第2の磁気シールド補助部材4bは、銅で形成されている。それぞれ、打ち抜き加工やプレス加工のような板金加工又は金属加工技術により、略正方形に形成し、必要に応じて熱処理等を加えて、直接互いにぴったりと貼り合わせて磁気シールド補助装置4を形成する。貼り合わせた後に熱処理を行ってもよい。
図1に示すように、磁気シールド装置2は、一面が開放された開口部3以外の壁面、床面及び天井が磁性材料により密閉されている磁気シールドルームである。磁気シールド装置2の内部には、生体磁気計測装置(図示せず)が設置されており、被験者や装置の操作者は、開口部3により磁気シールド装置2との出入りをする。
(1)変形例1、磁気シールドが弱い箇所を有する磁気シールド装置の場合
磁気シールド装置の開口部の有無にかかわらず、磁気シールド装置の形状及び/又は磁気シールド装置が置かれる磁界環境等により、部分的に磁気シールド効果の弱い箇所が生ずる場合がある。たとえば、既設の磁気シールドルームにおいて、そのような箇所が判明した場合、その箇所の形状及び大きさを考慮した磁気シールド補助装置を設置して、その位置に周知の方法で固定することにより、既設の磁気シールドルームの磁気シールド性能を向上させることができる。
図9に示すように、磁気シールドシステム21は、一部に開口部23を有する磁気シールド装置22と、開口部23の近傍に設置される環状の磁気シールド補助装置24とを備える。
磁気シールド補助装置は、図1〜図4、図8、図9及び図11に示すような平板状の形状に限らず、図10に示すような筒状にすることもできる。
上述したように、磁気シールド補助装置は、磁界環境に応じて磁気シールド装置の開口部との位置を調整され、設置される。磁界環境によっては、磁気シールド補助装置と開口面とを必ずしも平行にせず、垂直や斜めに設置したときに磁気シールド効果が高くなる場合がある。また、磁気シールドシステムの設置状況によっては、磁気シールド補助装置を、磁気シールド装置の開口面に対して、垂直や斜めに設置しなければならない場合もある。
Claims (7)
- 一部に開口部を有する磁気シールド装置の該開口部近傍に設置される環状の磁気シールド補助装置において、
環状の磁性材料で形成された第1の磁気シールド補助部材と、
上記第1の磁気シールド補助部材に隣接して設けられる環状の導電性材料で形成された第2の磁気シールド補助部材とを有する磁気シールド補助装置。 - 上記第1の磁気シールド補助部材は、パーマロイで形成され、
上記第2の磁気シールド補助部材は、銅で形成されている請求項1記載の磁気シールド補助装置。 - 上記第1の磁気シールド補助部材と上記第2の磁気シールド補助部材とは、互いに重ね合わされている請求項1又は請求項2記載の磁気シールド補助装置。
- 一部に開口部を有する磁気シールド装置と、
上記開口部の近傍に設置される環状の磁気シールド補助装置とを備え、
上記磁気シールド補助装置は、
環状の磁性材料で形成された第1の磁気シールド補助部材と、
上記第1の磁気シールド補助部材に隣接して設けられる環状の導電性材料で形成された第2の磁気シールド補助部材とを有する磁気シールドシステム。 - 上記磁気シールド補助装置は、1又は複数であり、上記磁気シールド装置の開口部の外側に、該開口部の面と略平行に設置される請求項4記載の磁気シールドシステム。
- 磁気シールド装置の磁気シールド効果の弱い位置の近傍に設置される環状の磁気シールド補助装置において、
上記磁気シールド補助装置は、
環状の磁性材料で形成された第1の磁気シールド補助部材と、
上記第1の磁気シールド補助部材に隣接して設けられる環状の導電性材料で形成された第2の磁気シールド補助部材とを有する磁気シールド補助装置。 - 磁気シールド装置と、
上記磁気シールド装置の磁気シールド効果の弱い位置の近傍に設置される環状の磁気シールド補助装置とを備え、
上記磁気シールド補助装置は、
環状の磁性材料で形成された第1の磁気シールド補助部材と、
上記第1の磁気シールド補助部材に隣接して設けられる環状の導電性材料で形成された第2の磁気シールド補助部材とを有する磁気シールドシステム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010216795A JP2012074457A (ja) | 2010-09-28 | 2010-09-28 | 磁気シールド補助装置及び磁気シールドシステム |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2010216795A JP2012074457A (ja) | 2010-09-28 | 2010-09-28 | 磁気シールド補助装置及び磁気シールドシステム |
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ID=46170349
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JP2010216795A Ceased JP2012074457A (ja) | 2010-09-28 | 2010-09-28 | 磁気シールド補助装置及び磁気シールドシステム |
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JP (1) | JP2012074457A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014192379A1 (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-04 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
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-
2010
- 2010-09-28 JP JP2010216795A patent/JP2012074457A/ja not_active Ceased
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