JP5076161B2 - 分離型磁気シールド装置 - Google Patents

Description

本発明は、分離型磁気シールド装置に関するものであり、例えば、電子ビーム露光装置、電子顕微鏡の環境磁界対策、また、計測分野では人の脳磁界、心臓磁界計測、更には、動物生体磁気計測、更には、磁気ビーズを標識として用いるナノバイオ領域での計測などに利用することができる。

例えば、脳や心臓からの人の身体から発せられる磁界は、重要なリアルタイム生体情報で、しかも多くの情報を含んでいる。例えば心臓磁界を心磁計、例えばＳＱＵＩＤ磁束計６４チャンネルで検出すれば、心臓の電気生理学的機能を２次元マップすることが可能である。また、その刺激伝導系を伝って流れる電流ベクトルの時間的空間的情報など、心電図の波形分析による方法に比べ圧倒的に的確で多様な診断情報の獲得が可能である。

虚血性心疾患の典型である急性心筋梗塞は、日本人の３大死亡原因とされている。そして、その治療には高額なハイテクの医療技術が用いられているが、的確な診断が早期に可能であれば医療費の大幅な軽減は元より救命に大きな効果があるものと思われる。

心磁計の開発はまだ日も浅いこともあり、上記のような多くの可能性を秘めながら普及はあまり進んでいない。

この原因の１つは高価で不便なパーマロイでできた部屋型の磁気シールドルームにある。磁気遮蔽性能は脳磁界計測に要求されるほど高い必要はなく、ベッドごと患者を運び込んで計測できるような融通のきく磁気シールド装置が強く望まれている。

つまり、健常者はもちろん、寝たきりの患者からも、その身体から発せられる、例えば、心臓磁界のような生体磁気の計測に無理なく使用できる、部屋形ではない、分離可動式の高性能な磁気シールド装置の開発が希求されている。

そこで、本発明者は、円筒型で軽量高性能な磁気シールド装置の開発のために多くの要素技術を開発してきた。磁気シェイキング技術（非特許文献１）、シェイキング磁界の漏洩抑制（非特許文献２）、開口端から侵入する外部起因の磁気雑音の抑制（非特許文献３、４）、さらには炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）を用いた積層構造による磁気シールドの一体成形（特許文献１）などである。

一般には、室内に部屋型シールド装置を後から設置すると床面の高さが異なり、ベッドごと被検者を装置内に運び込むことは容易ではない。

そこで、特許文献２に記載するように、円筒シールドを単純に２分割して可動式にすることが提案されている。図１２に、左右に分割体を配置し、上下位置にて接合する構造とされる分割型シールド装置１００の一例を示す。

本例によると、分割型シールド装置１００は、左右対称に形成された２つの磁気シールド分割体１０１（１０１Ａ、１０１Ｂ）の少なくとも一方を可動式とし、内部空間にベッドごと被検者を運び込むことが可能な構造とされる。

しかしながら、この構成だけでは磁気シールドの機能を維持できない。なぜならば、分割型シールド装置１００では、ＳＱＵＩＤ磁束計２００を設置することが必要であり、２つの分割体１０１Ａ、１０１Ｂの間の接合部には空間が形成される。従って、この空間部を渡る磁束（即ち、接合部に直交する磁束）を連続的に通すことができず、そのために、磁気シールド効果が破綻するからである。
特願２００５−８０７７５号 特開２００４−１７９５５０号公報 笹田一郎、微弱磁界計測用磁気シェイキング方式磁気シールドの研究、日本応用磁気学会誌、２７、８５５−８６１（２００３） Nakashima Y, Kimura T, Sasada I, Magnetic field leakage from a 45° angle magnetic shell and a reduction method for a high-performance magnetic shield, IEEE Trans. on Magn. 42(10)3545-3547(2006) 斎藤拓司、田代晋久、笹田一郎、パッシブシェル付マルチシェルシールドにおける能動補償効果、日本応用磁気学会誌、２９、５６７−５７０（２００５） 梅田祐介、田代晋久、笹田一郎、円筒形磁気シールドへのアクティブ・キャンセルの適用、電気学会Ａ、１２３、（８）、７９０−７９６（２００３）

本発明は、図１２に示すような構成の分割型シールド装置が有する上記問題を解決せんとするものである。同時にまた、能動的に発生させた磁束によって外乱磁界がシールドするべき空間に入らないように偏向させ、一方、この能動的に発生させた磁界がシールドすべき空間に侵入するのを抑止するために磁性体を部分的に配置して構成される簡便且つ高性能な磁気シールドを提供せんとするものである。

一般に、磁束が一様に存在する場で磁束密度の低い空間を作り出す時に良く用いられる方法は、空間に導体を配置して磁束を追い出す向きに電流を流すことである。この方法で最適化した一例を図１１（ａ）に示す。

本例では、４本の導体１０（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ）が所定の間隔にて、上下、左右対称位置に配置され、導体１０ａ、１０ｃは図面上、手前側から奥側へと、導体１０ｂ、１０ｄは図面上、奥側から手前側へと、電流が流される。図１１（ａ）にて、左側より右側へと通る水平磁束Ｈは、４本の導体１０（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ）で囲包された空間の中心部Ｓでは、磁束線の密度が薄くなっており、磁気シールドがなされていることが分かる。

一方、図１１（ｂ）には、４枚の磁性体板Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを、互いに隣接する位置では隙間Ｇを設けて矩形状に配置した構成を示す。この構成では、ほとんどの磁束が中心部を通過し、シールド効果が得られない。

しかし、図１１（ｃ）は、図１１（ａ）の構成と図１１（ｂ）の構成を組み合わせた構成とされる。図１１（ｃ）に示すように、この構成では、４枚の磁性体板Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄで囲包された空間の中心部Ｓに磁束線の密度の薄い場所が形成され、全く予想さえしない高いシールド比が得られていることが分かる。

これは、導体１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄを流れる電流で磁束を追い出すと共に、シールドしたい空間（中心部Ｓ）側には磁性体Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄによって不要な磁束がはみ出さないように抑制したからである。

このように、電流と磁性体の関係を上手く設計することによって、電流が磁束を排除する効果を特定の方向に局在化できることが分かった。

つまり、図１１（ｃ）に示す構成では、上部に設けられた二つの導体１０ａ、１０ｃと磁性体板Ａ、Ｃとの組合せ構造が磁束線Ｈを上方へ、また、下部に設けられた二つの導体１０ｂ、１０ｄと磁性体板Ｂ、Ｄとの組合せ構造が磁束線Ｈを下方へと排除した結果、中央に広い磁気シールド空間Ｓが生み出されたのである。

本発明は、このような、電流の作用と磁性体の作用を上手く組み合わせることによって磁気シールドが極めて有効に達成されるといった本発明者の新規な知見に基づくものである。

本発明の目的は、磁気シールド空間への高いアクセス性を有し、磁気シールドが極めて有効に達成される分離型磁気シールド装置を提供することである。

上記目的は本発明に係る分離型磁気シールド装置にて達成される。要約すれば、本発明によれば、長手方向に延在する磁気シールド側壁本体を複数有し、前記複数の磁気シールド側壁本体は、互いに組み合わされて内部に水平方向に延びる長手軸線の回りに略円筒状の空間を形成し、少なくともいずれか一つの前記磁気シールド側壁本体は、残りの前記磁気シールド側壁本体に対して移動して離間可能とされる分離型磁気シールド装置において、
前記複数の磁気シールド側壁本体は、それぞれ、互いに組み合わされて内部に前記円筒状空間を形成する磁性体を備えた磁気シールド外側壁と、前記磁気シールド外側壁の長手方向両端縁部から前記円筒状空間に対して半径方向外方へと突出した磁性体を備えた接合部磁気シールド側壁と、を備え、
前記磁気シールド側壁本体の前記磁気シールド外側壁には、前記円筒状空間の前記長手軸線方向に沿って延在する導体を設け、電流を流し、
一側の前記磁気シールド側壁本体から他側の前記磁気シールド側壁本体へと水平方向に到来する外乱磁束を、前記導体の回りに発生する磁界により、上方向又は下方向へと偏向し、前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする分離型磁気シールド装置が提供される。

本発明の一実施態様によれば、隣り合った前記磁気シールド側壁本体の対向した両前記接合部磁気シールド側壁の間に複数の、磁性体を備えた仕切磁気シールド部材を配置する。

本発明の他の実施態様によれば、前記磁気シールド外側壁及び前記接合部磁気シールド側壁は、支持体に磁性体を設けることにより形成される。

本発明の他の実施態様によれば、前記仕切磁気シールド部材は、支持体に磁性体を設けることにより形成される。

本発明の他の実施態様によれば、各前記磁気シールド側壁本体に対して、前記長手方向にトロイダル状にコイルを巻回し、磁気シェイキング電流を流す。

本発明の他の実施態様によれば、各前記磁気シールド側壁本体の長手方向両端開口部に、磁気シールドフランジ部材を設け、前記磁気シールド側壁本体の長手方向両端開口部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止する。

本発明の他の実施態様によれば、前記磁気シールドフランジ部材は、支持体に磁性体を設けることにより形成される。

本発明の他の実施態様によれば、前記磁気シールドフランジ部材にコイルを設置して電流を流し、前記磁気シールド側壁本体の長手方向両端開口部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止する。

本発明の他の実施態様によれば、隣り合った前記磁気シールド側壁本体の対向配置された前記接合部磁気シールド側壁を囲包して、軸線方向に沿ってコイルを巻回して電流を流し、隣り合った前記磁気シールド側壁本体の対向配置された前記接合部磁気シールド側壁間に形成された空隙部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止する。

本発明の他の実施態様によれば、前記円筒状空間は、２個、４個、６個、又は、８個の前記磁気シールド側壁本体にて囲包されることによって形成される。

本発明の他の実施態様によれば、前記円筒状空間を囲包する各前記磁気シールド側壁本体は、同じ寸法、形状とされる。

好ましい本発明の一態様によれば、第１磁気シールド側壁本体と第２磁気シールド側壁本体を有し、前記第１磁気シールド側壁本体と第２磁気シールド側壁本体は、対向配置された状態にて内部に水平方向に延びる長手軸線の回りに略円筒状の空間を形成し、少なくともいずれかの前記磁気シールド側壁本体は、他方の磁気シールド側壁本体に対して移動して離間可能とされる分離型磁気シールド装置において、
前記第１及び第２磁気シールド側壁本体は、それぞれ、対向配置された状態にて内部に前記円筒状空間を形成する磁性体を備えた湾曲磁気シールド外側壁と、前記湾曲磁気シールド外側壁の上下端縁部から垂直方向に突出し、対向配置された状態にて互いに離間して対面する磁性体を備えた接合部磁気シールド側壁と、を備え、
前記第１磁気シールド側壁本体の前記湾曲磁気シールド外側壁には、前記長手軸線方向に沿って延在する第１及び第２導体を設け、電流を流し、
前記第２磁気シールド側壁本体の前記湾曲磁気シールド外側壁には、前記長手軸線方向に沿って延在する第１及び第２導体を設け、電流を流し、
前記第１磁気シールド側壁本体から前記第２磁気シールド側壁本体へと水平方向に到来する外乱磁束を、前記第１及び第２導体の回りに発生する磁界により、上下方向へと偏向し、前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする分離型磁気シールド装置が提供される。

好ましくは、一実施態様によれば、前記第１磁気シールド側壁本体と第２磁気シールド側壁本体は、前記円筒状空間の前記長手軸線を通る垂直平面に対して左右対称形状とされる。

他の実施態様によれば、前記第１及び第２磁気シールド側壁本体の対向した両前記接合部磁気シールド側壁の間に複数の、磁性体を備えた仕切磁気シールド部材を配置する。

他の実施態様によれば、前記湾曲磁気シールド外側壁及び前記接合部磁気シールド側壁は、支持体に磁性体を設けることにより形成される。

他の実施態様によれば、前記仕切磁気シールド部材は、支持体に磁性体を設けることにより形成される。

他の実施態様によれば、前記第１及び第２磁気シールド側壁本体に対して、前記軸線方向にトロイダル状にコイルを巻回し、磁気シェイキング電流を流す。

他の実施態様によれば、前記第１及び第２磁気シールド側壁本体の軸線方向両端開口部に、磁気シールドフランジ部材を設け、前記第１及び第２磁気シールド側壁本体の軸線方向両端開口部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止する。

他の実施態様によれば、前記磁気シールドフランジ部材は、支持体に磁性体を設けることにより形成される。

他の実施態様によれば、前記磁気シールドフランジ部材にコイルを設置して電流を流し、前記第１及び第２磁気シールド側壁本体の軸線方向両端開口部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止する。

他の実施態様によれば、前記第１及び第２磁気シールド側壁本体の対向配置された前記接合部磁気シールド側壁を囲包して、軸線方向に沿ってコイルを巻回して電流を流し、前記第１及び第２磁気シールド側壁本体の対向配置された前記接合部磁気シールド側壁間に形成された空隙部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止する。

本発明の分離型磁気シールド装置は、磁気シールド空間への高いアクセス性を有し、磁気シールドが極めて有効に達成される。

以下、本発明に係る分離型磁気シールド装置を図面に則して更に詳しく説明する。

実施例１
（分離型磁気シールド装置の全体構成）
図１（ａ）は、本発明に係る分離型磁気シールド装置１の一実施例を示す全体構成図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す分離型磁気シールド装置１の全体構成を説明するための主要部のみを示す概略構成図である。

本発明の分離型磁気シールド装置１は、その全体構造の長手方向が水平となるように配置されており、長手方向に延在する磁気シールド側壁本体２を複数有する。図１（ａ）、（ｂ）に示す本実施例によると、磁気シールド側壁本体２は、長手方向に延在した第１磁気シールド側壁本体２Ａと第２磁気シールド側壁本体２Ｂを有する。

本実施例によると、第１磁気シールド側壁本体２Ａと第２磁気シールド側壁本体２Ｂは、図示するように、対向配置された状態にて、内部に水平方向に延びる長手軸線Ｙ−Ｙの回りに略円筒状の空間Ｓを形成する。

第１磁気シールド側壁本体２Ａと第２磁気シールド側壁本体２Ｂは、これに限定されるものではないが、好ましくは、円筒状空間Ｓの長手軸線Ｙ−Ｙを通る垂直平面Ｖｐに対して左右対称形状とされる。又、好ましくは、第１磁気シールド側壁本体２Ａと第２磁気シールド側壁本体２Ｂは、円筒状空間Ｓの長手軸線Ｙ−Ｙを通る水平面Ｈｐに対しても上下対称形状とされる。

本実施例のように、第１磁気シールド側壁本体２Ａと第２磁気シールド側壁本体２Ｂを、左右及び上下対称形状とした場合には、詳しくは、後述するように、分離型磁気シールド装置１の円筒形状をした空間部Ｓの略中央部に磁束線の密度の最も薄い場所が形成される。また、この場合には、磁気勾配が実質的にゼロとなる空間を提供することができる。

本実施例にて、分離型磁気シールド装置１は、図１２を参照して説明した分離型磁気シールド装置１００と同様に、第１磁気シールド側壁本体２Ａと第２磁気シールド側壁本体２Ｂのいずれか、或いは、両磁気シールド側壁本体２Ａ、２Ｂとも可動とすることができる。本実施例では、第１磁気シールド側壁本体２Ａが可動とされ、第２磁気シールド側壁本体２Ｂが固定とされる。ただ、これに限定されるものではなく、その逆の構成としても良い。

また、離間態様としては、例えば、可動の磁気シールド側壁本体２Ａは、図１（ａ）に一点鎖線にて示すように、長手方向一端を中心として揺動しても良く、或いは、図１（ｂ）に一点鎖線にて図示するように、他方の磁気シールド側壁本体２Ｂに対して水平方向に平行に移動する構成とすることもできる。

図２には、分離型磁気シールド装置１の内部を示すために、第１磁気シールド側壁本体２Ａを除去した状態を示す。

図１及び図２に示すように、本実施例では、分離型磁気シールド装置１の長手方向略中央部に位置して、装置上方から略円筒形状をした心磁計２００、例えばＳＱＵＩＤ磁束計が分離型磁気シールド装置１の内部空間Ｓへと挿入して取り付けられる。また、心磁計２００の下方端から所定の距離離間して、被検者を載置するためのベッド２０１が設けられる。ベッド２０１は、固定の第２磁気シールド側壁本体２Ｂに固定しても良い。場合によっては、分離型磁気シールド装置１自体には固定のベッドを設けずに、被検者を載せたベッドを分離型磁気シールド装置１内へと運び込む構成とすることもできる。本実施例の分離型磁気シールド装置１によれば、被検者、或いは、被検者とベッドは、第１磁気シールド側壁本体２Ａと第２磁気シールド側壁本体２Ｂとを離間した状態にて分離型磁気シールド装置１の内へと運び込むことができ、極めて好便である。

（磁気シールド側壁本体）
次に、磁気シールド側壁本体２（２Ａ、２Ｂ）について説明する。

上述のように、第１磁気シールド側壁本体２Ａと第２磁気シールド側壁本体２Ｂは、本実施例では、好ましくは、左右及び上下対称形状とされるので、以下の説明では、第１及び第２磁気シールド側壁本体２Ａ、２Ｂを、特に、区別することを必要としない場合には、磁気シールド側壁本体２と総称して説明する。

図１及び図２を参照すると、磁気シールド側壁本体２は、分離型磁気シールド装置１の円筒状空間Ｓを形成するための、本実施例では湾曲状とされる磁気シールド外側壁３と、この湾曲磁気シールド外側壁３の上下端縁部より上方及び下方へと垂直方向に突出した平板状の接合部磁気シールド側壁４（４ａ、４ｂ）とを有する。上述したように、第１及び第２磁気シールド側壁本体２Ａ、２Ｂは、左右及び上下対称形状とされるので、接合部磁気シールド側壁４ａ、４ｂも又、同じ寸法形状とされる。

なお、本明細書にて便宜上、湾曲磁気シールド外側壁３にて、凹面とされる内周面側を内側と呼び、凸面とされる外周面側を外側と呼ぶ。

上記構成の第１磁気シールド側壁本体２Ａ及び第２磁気シールド側壁本体２Ｂを互いに対向させて配置した場合、両湾曲磁気シールド外側壁３、３が対向配置されて、内部に、水平方向に延在する長手軸線Ｙ−Ｙの回りに略円筒状の空間部Ｓを形成する。また、このとき、湾曲磁気シールド外側壁３の上方位置に設けられた両接合磁気シールド側壁４（４ａ、４ａ）は、所定の距離（ｗ）（図４参照）だけ離間して配置される。

従って、心磁計２００は、分離型磁気シールド装置１の長手方向略中央部に形成される両接合部磁気シールド側壁４ａ、４ａの空隙部から分離型磁気シールド装置１の内部へと挿入して取り付けられる。

なお、上方に位置した両接合部磁気シールド側壁４ａ、４ａの空隙部は、詳しくは後述するように狭い方が良く、そのために、図１及び図４を参照すると理解されるように、両接合部磁気シールド側壁４ａ、４ａの空隙部には分離型磁気シールド装置１の長手方向に延在して、接合部磁気シールド側壁４ａ、４ａと略同じ高さ位置に仕切磁気シールド部材５が複数枚、本実施例では、２枚が等間隔（ｗ１）にて配置される。この仕切磁気シールド部材を設けることにより、Ｙ−Ｙ軸（図１（ｂ）参照）方向から来る外乱磁界が、円筒状空間へと流れ込むのを阻止する働きがある。

ただ、心磁計２００を分離型磁気シールド装置１に取り付けるために、図１、図４をも参照するとより良く理解されるように、心磁計設置位置においては、仕切磁気シールド部材５は、コ字状に接合部磁気シールド側壁４ａ側へと湾曲して作製され、心磁計２００のための装着開口８を形成する。

又、本実施例では、上述したように、分離型磁気シールド装置１の円筒形状をした空間部Ｓの略中央部に磁束線の密度の最も薄い場所が形成されるように、又、磁気勾配が実質的にゼロとなるように、左右方向及び上下方向において対称形状とされる。

従って、本実施例では、図１及び図２に示すように、心磁計２００を設置することのない、下方に配置された両接合部磁気シールド側壁４ｂ、４ｂの空隙部にも、分離型磁気シールド装置１の長手方向に延在して、接合部磁気シールド側壁４ｂ、４ｂと略同じ高さ位置に仕切磁気シールド部材５が複数枚、本実施例では、２枚が等間隔（ｗ１）にて配置される。また、上方の両接合部磁気シールド側壁４ａ、４ａの空隙部の構造と同様に、心磁計設置位置に対応して、仕切磁気シールド部材５は、コ字状に湾曲して開口部８ａが作製される。

変更実施例
本実施例の変更実施例として、図３に示すように、第１及び第２磁気シールド側壁本体２の軸線方向両端開口部に、磁気シールドフランジ部材６を設けることができる。つまり、湾曲磁気シールド外側壁３の長手方向両端に所定幅のフランジ部材６が円筒状空間部Ｓへと半径方向へと突出して設けられる。

このフランジ部材６は、磁気シールド側壁本体２を補強する機能をも有しているが、特に、フランジ部材６を設けることにより、Ｙ−Ｙ軸（図１（ｂ）参照）方向から来る外乱磁界が、円筒状空間Ｓへと流れ込むのを阻止する機能を有している。また、後述するように、このフランジ部材６にコイル４１を巻回して電流を流すことが可能となり、更に、Ｙ−Ｙ軸方向から来る外乱磁界を抑制することができる。

（磁気シールド側壁本体の具体的構造）
次に、磁気シールド側壁本体２の具体的構造について説明する。

図５（ａ）に示すように、湾曲磁気シールド外側壁３及び上、下接合部磁気シールド側壁４ａ、４ｂにて構成される磁気シールド側壁本体２（２Ａ、２Ｂ）は、湾曲磁気シールド外側壁３及び上、下接合部磁気シールド側壁４（４ａ、４ｂ）と同形状をした支持体２１と、この支持体２１の表面（外面及び／又は内面）に配置された磁性体２２にて構成することができる。図５（ａ）には、外面にのみ層状に磁性体２２が配置され、磁性体層を形成している。即ち、支持体２１は、湾曲した湾曲部材２１ａと、湾曲部材２１ａより上下に垂直方向に突出した接合部材２１ｂとを備えており、湾曲部材２１ａの外周面及び接合部材２１ｂの外面に、磁性体層２２が配置される。

仕切磁気シールド部材５もまた、図５（ｂ）に示すように、部材５と同形状をした支持体２４の表面（内面及び／又は外面）に磁性体２２を配置することにより形成される。本実施例では、磁性体層２２が両面に設けられる。

磁気シールドフランジ部材６もまた、図５（ｃ）に示すように、部材６と同形状をした支持体２１ｃと、この支持体２１ｃの表面（外面及び／又は内面）に配置された磁性体２２にて構成することができる。図５（ｃ）には、外面にのみ層状に磁性体２２が配置され、磁性体層を形成している。また、支持体２１ｃは、上記湾曲磁気シールド外側壁３の湾曲部材支持体２１ａと一体とされる。

支持体２１、２４としては、好ましくは、紙、樹脂、ＦＲＰ、非磁性金属、その他の種々の材料が使用可能である。本実施例では、炭素繊維強化樹脂複合材（ＣＦＲＰ）にて作製した。

また、磁性体２２としては、パーマロイのような磁性材料を使用することが可能であるが、軽量化のために、磁性体２２としては、Ｃｏ系アモルファス磁性薄帯、例えば、メットグラス２７０５Ｍが好適に使用される。

磁性体２２を構成する磁性体層は、上述のような磁性薄帯を層状に積層して構成するのが好ましい。磁性体層２２としては、詳しくは後述するが、後述の構成と同様に、好ましくは、２０μｍ以上、５００μｍ以下とされる磁性体層を、複数層積層した積層構造とされる。

変更実施例
また、図６（ａ）に示すような積層構造とすることにより、上方から来る外乱磁界が、両接合部磁気シールド側壁４ａ、４ａの空隙部を通り円筒状空間Ｓへと流れ込むのを効率よく阻止することができる。

なお、図６（ａ）には、第１及び第２磁気シールド側壁本体２Ａ、２Ｂの上方部のみが示されており、下方部は省略されている。しかし、下方部においても同様の構造とすることができ、この場合には、下方から来る外乱磁界が、両接合部磁気シールド側壁４ｂ、４ｂの空隙部を通り円筒状空間Ｓへと流れ込むのを効率よく阻止することができる。

図６（ａ）を参照して、第１及び第２磁気シールド側壁本体２Ａ、２Ｂの上方部の積層構造についてのみ説明する。本実施例によれば、湾曲磁気シールド外側壁３及び上、下接合部磁気シールド側壁４（４ａ、４ａ）と同形状をした支持体２１の表面、本実施例では外面に層状に磁性体２２が配置され、磁性体層を形成している。

本実施例によると、磁性体２２は、支持体２１に近接して配置された内側磁性体層２２Ａと、この内側磁性体層２２Ａの外側に、例えば、エポキシ樹脂接着剤２５などにて接着された外側磁性体層２２Ｂとにて構成される。内側磁性体層２２Ａ及び外側磁性体層２２Ｂ自体も、例えば２０μｍ厚の磁性薄帯を１０層〜３０層、或いは、作製される側壁本体のサイズによっては、更にそれ以上の層数を積層し、更にまた、これら積層体を二重、三重に重ね合わせて構成することができる。

更に説明すると、本実施例では、内側磁性体層２２Ａは、支持体２１の湾曲部材２１ａに固定配置された磁性体層２２Ａａと、磁性体層Ａａから、支持体の接合部材２１ｂに対して上方途中まで延在して固定配置された磁性体層２２Ａｂとにて形成される。

一方、外側磁性体層２２Ｂは、内側磁性体層２２Ａの磁性体層２２Ａａに接着剤２５にて固定配置された磁性体層２２Ｂａと、磁性体層２２Ｂａから上方へと延在し、内側磁性体層２２Ａの磁性体層２２Ａｂに接着剤２５にて固定配置された磁性体層２２Ｂｂと、内側磁性体層２２Ａの磁性体層２２Ａｂが固定配置されていない更に上方の接合部材２１ｂ部分に固定配置された磁性体層２２Ｂｃとにて形成される。

従って、上方から両接合部磁気シールド側壁４ａ、４ａの空隙部を通り円筒状空間Ｓへと流れ込む外乱磁界は、先ず、接合磁気シールド側壁４ａに形成された外側磁性体層２２Ｂの磁性体層２２Ｂｃにて引き付けられ、磁性体層２２Ｂｂを介して磁性体層Ｂａへと、つまり、外側磁性体層２２Ｂを流れ、円筒状空間Ｓへの流れ込みが阻止される。更に、円筒状空間Ｓへと流れ込む外乱磁界は、接合磁気シールド側壁４ａに形成された内側磁性体層２２Ａの磁性体層２２Ａｂにて引き付けられ、磁性体層２２Ａａへと、つまり、内側磁性体層２２Ａへと流れ、円筒状空間Ｓへの流れ込みが阻止される。

上述のように、第１及び第２磁気シールド側壁本体２Ａ、２Ｂの下方部においても同様の構造とすることができ、この場合には、下方から来る外乱磁界が、両接合部磁気シールド側壁４ｂ、４ｂの空隙部を通り円筒状空間Ｓへと流れ込むのを効率よく阻止することができる。

変更実施例
また、他の変更実施例によると、更に好ましくは、従来技術にて記載した、特許文献１に記載するように、磁気シールド側壁本体２の少なくとも湾曲磁気シールド外側壁３に磁気シェイキング電流を流すことができる。

この場合には、磁性体２２としては、特に、角形磁化特性を有する磁性材料が使用可能である。また、このような磁性体としては、上述のＣｏ系アモルファス磁性薄帯、例えば、メットグラス２７０５Ｍが好適に使用される。

この実施態様では、特に、図６（ｂ）に示すように、磁性薄帯、即ち、例えば幅５０．８ｍｍ、厚み０．０２ｍｍのメットグラス２７０５Ｍを、支持体２１における湾曲部材２１ａの内周面及び外周面、更には、接合部材２１ｂの内面及び外面に全表面を覆うようにして連続的に巻き付けて配設する。これにより、支持体２１の回りを囲包して、層状の磁性体２２、即ち、磁性体層２２ａ、２２ｂが形成される。磁性体層２２の厚さとしては、１μｍ以上とされる。ただ、通常は、重量及びコストの観点から２ｍｍ以下とされる。また、磁性体層２２としては、好ましくは、２０μｍ以上、５００μｍ以下とされる磁性体層を、複数層積層した積層構造とされる。

更に、図６（ｂ）に示すように、磁気シェイキングのためのコイル３０が巻回される。コイル３０は、磁性体層２２の少なくとも一部を巻回するようにしてトロイダル状に巻回される。

つまり、コイル線材が、外側の磁性体層を巻回するようにし、即ち、磁性体層２２の外層２２ａと支持体２１を軸線方向に取り巻くようにして巻回すればよい。コイルの巻回方法は、これに限定されるものではなく、例えば、コイル線材が、内側の磁性体層２２ｂを巻回するようにして、即ち、磁性体層２２の内層２２ｂと支持体２１とを軸線方向に取り巻くようにして巻回することもできる。

各磁気シールド側壁本体２のシェイキング磁界発生用コイル３０には、磁性体層２２に、例えば商用周波数の５０Ｈｚ以上、１０ＫＨｚ以下のシェイキング時間を与えるように、シェイキング電流が供給される。

（分離型磁気シールド装置の具体的寸法）
次に、本実施例にて作製した分離型磁気シールド装置１の具体的寸法は、次の通りであった。

磁気シールド側壁本体２は、支持体２１として厚さ５ｍｍの炭素繊維強化樹脂複合材（ＣＦＲＰ）を使用し、幅５０．８ｍｍ、厚み０．０２ｍｍのメットグラス２７０５Ｍを、支持体２１における湾曲部材２１ａの内周面及び外周面、更には、接合部材２１ｂの内面及び外面に、支持体２１の全表面を覆うようにして連続的に巻き付けた。

具体例
作製した磁気シールド側壁本体２の具体的寸法は、次の通りであった。図４を参照して、
湾曲磁気シールド外側壁３の内径（Ｄ） ６０ｃｍ
湾曲磁気シールド外側壁３の軸線方向長さ（Ｌ） １８０ｃｍ
接合磁気シールド側壁４の幅（Ｈ１） ２０ｃｍ
接合磁気シールド側壁４、４の離間間隔（Ｗ） ３０ｃｍ
仕切磁気シールド部材５の幅（Ｈ２） ２０ｃｍ
仕切磁気シールド部材５の設置間隔（ｗ１） １０ｃｍ
仕切磁気シールド部材５の開口８の幅（ｗ２） ２８ｃｍ
仕切磁気シールド部材５の開口８の幅（ｗ３） ２８ｃｍ

（磁気シールド）
次に、本発明の特徴をなす分離型磁気シールド装置１における磁気シールドについて説明する。本発明は、先に図１１（ｃ）を参照して説明したシールド作用の原理を利用するものである。

本発明によると、図７（ａ）に示すように、上記構成の分離型磁気シールド装置１において、第１及び第２磁気シールド側壁本体２Ａ、２Ｂの湾曲磁気シールド外側壁３、３の外周面（必要に応じて内周面）に導体１０（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ）が配置される。また、本実施例によると、導体１０ａ、１０ｂ及び導体１０ｃ、１０ｄは、接続されてコイル状とされ、電源５０（５０Ａ、５０Ｂ）により所定の電流ｉが供給される。

本実施例では、導体１０ａ、１０ｂ及び導体１０ｃ、１０ｄは、電源５０（５０Ａ、５０Ｂ）より同じ大きさの電流ｉが流されるが、必要に応じて変えることも可能である。つまり、導体１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄをそれぞれ異なる電源に接続し、通電電流を最適値に調整することができる。

なお、本実施例では、４本の導体１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄが所定の間隔にて、上下、左右対称位置に配置され、導体１０ａ、１０ｃは図面上、手前側から奥側へと、導体１０ｂ、１０ｄは図面上、奥側から手前側へと、電流が流される。

また、本実施例では、導体ａ、ｂ、及び、導体ｃ、ｄは、それぞれ、２０ｔｕｒｎのコイルにて構成され、各コイルには、全体で１０〜２０Ａの電流を流し、良好な結果を得ることができた。

つまり、本実施例によると、図８をも参照すると、第１磁気シールド側壁本体２Ａの湾曲磁気シールド外側壁３には、円筒状空間Ｓの長手軸線Ｙ−Ｙを通る水平面Ｈｐに対して上下対称位置に、長手軸線方向に沿って延在する第１及び第２導体１０ａ、１０ｂを設ける。同様に、第２磁気シールド側壁本体２Ｂの湾曲磁気シールド外側壁３にも、円筒状空間Ｓの長手軸線Ｙ−Ｙを通る水平面Ｈｐに対して上下対称位置に、長手軸線方向に沿って延在する第１及び第２導体１０ｃ、１０ｄを設ける。

そして、導体１０ａ、１０ｃに同じ方向に電流を流し、導体１０ｂ、１０ｄに同じ方向に電流を流す。このとき、導体１０ａ、１０ｃに流れる電流と、導体１０ｂ、１０ｄに流れる電流は方向が異なる。

これによって、第１磁気シールド側壁本体２Ａから第２磁気シールド側壁本体２Ｂへと水平方向に形成される磁束（Ｈ）を、第１及び第２導体１０ａ、１０ｂ、及び、導体１０ｃ、１０ｄの回りに発生する磁界により、上下方向へと偏向し、円筒状空間Ｓへの磁束の流れ込みを阻止する。

（電流の決定方法）
ここで、図７（ｂ）を参照して、電流の決定方法の一例を説明する。

本実施例にて、Ｘ軸は、水平方向に延在するシールド側壁に垂直方向であり、Ｙ軸は、円筒軸方向（即ち、図１（ｂ）における円筒状空間Ｓの長手軸線Ｙ−Ｙ方向）であり、Ｚ軸は、鉛直方向であるとする。

磁界センサ３００としては、フラックスゲート直交磁界センサなどとすることができ、本実施例では、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸の直交３軸に組合わさった磁界センサ、即ち、３軸磁界センサを用いた。

また、本実施例では、４個の磁界センサ３００（３００Ａ、３００Ｂ、３００Ｃ、３００Ｄ）を、分離型磁気シールド装置１の接合部磁気シールド側壁４ａ、４ａにて形成される上方空隙部に、本実施例では、長手方向両端部近傍に、２箇所、そして、接合部磁気シールド側壁４ｂ、４ｂにて形成される下方空隙部にも同様に２箇所に設置する。磁界センサ３００は、場合によっては、上方及び下方の適当な２箇所とすることも可能である。

各磁界センサ３００にて測定された各成分の和を取って平均する。例えば、各磁界センサ３００のＸ軸方向の値、ｘ１、ｘ２、ｘ３、ｘ４の平均値から側面導体（コイル）１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄの電流を決定することができる。各磁界センサ３００の測定値に基づき、例えばＰＩＤ制御系などを用いて各導体の電流を制御する技術は、当業者には周知であるので、これ以上の説明は省略する。

（磁気シールド効果）
図８は、導体１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄに通電した場合の、本発明による磁気シールド効果を示す磁束線図である。

導体１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄの位置は、適宜、それぞれ分離型磁気シールド装置１の構成により、最適の位置が実験等により決定される。通常、図８に示すように、分離型磁気シールド装置１の長手方向軸線中心Ｏｔを中心として、水平面Ｈｐに対して３０°〜６０°、通常４５°の位置が好ましい。ただ、これに限定されるものではない。

上記構成とすることにより、図８にて理解されるように、図８にて左から右へやってくる磁束（Ｈ）は、導体１０ａ、１０ｂ、及び、導体１０ｃ、１０ｄにより発生する磁界により上下方向へと偏向され、湾曲磁気シールド外側壁３を通り抜けることはない。本発明の構成によって、シールド効果が達成されている。

一方、先に説明したように、導体１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄを設置しない構成では、図９に示すように、磁束Ｈは、左から右へ通過し、シールド効果が得られない。

本実施例に従った構成の分離型磁気シールド装置１によれば、比透磁率１００００（図９の構成においても同じ）、磁性体２２の厚さ２ｍｍ、中心部の直径（Ｄ）６０ｃｍ、上下の接合部磁気シールド側壁４（４ａ、４ｂ）の幅（Ｈ１）２０ｃｍ（この実施例では、仕切磁気シールド部材５は設けていない）、接合部磁気シールド側壁４（４ａ、４ｂ）の離隔距離３０ｃｍでシールド比１０００以上が達成できた。

更に、磁気シェイキングを行う構成によれば比透磁率は５００，０００に達するので、これらの数値は極めて現実的である。

図８に示す本実施例にて、外部遠方磁場（Ｈ）は１Ｇで、接合部磁気シールド側壁４（４ａ、４ｂ）の空隙部Ｇは０．１Ｇ、円筒状空間Ｓにおいては、１ｍＧ以下であった。

また、図８にて、円筒状空間Ｓの軸線方向（即ち、円筒軸方向（紙面垂直））の磁束、及び、上下方向からの磁束、に対しては、上記非特許文献２に記載する技術を応用することにより、つまり、図３に示すように、フランジ部材６にコイル４１を設置し、また、接合部磁気シールド側壁４、４を取り巻いてコイル４２を設置して、逆位相磁界により容易に能動補償できる。なお、第１及び第２磁気シールド側壁本体２Ａ、２Ｂを分離可能とするために、各コイル４１、４２は、分離自在に接続される。

本発明は、強磁性体の磁束を引き込む作用と、電流の磁束を反発する作用とを効果的に組み合わせて、磁性体が連続していなくとも不連続点で磁束を強制的に迂回させ、高い磁気シールド性能を実現することができる。

従って、本発明の高性能な分離型磁気シールド装置は、シールド空間への高いアクセス性を提供し、広い分野で応用が見込める。

つまり、上述したように、例えば、産業界では電子ビーム露光装置、大型では電子顕微鏡の環境磁界対策、計測分野では人の脳磁界、心臓磁界計測、更には、動物生体磁気計測、更には、磁気ビーズを標識として用いるナノバイオ領域での計測などに利用することができる。

その他の実施例
上記実施例１では、分離型磁気シールド装置１は、その全体構造の長手方向が水平となるように配置されており、磁気シールド側壁本体２は、長手方向に延在した第１磁気シールド側壁本体２Ａと第２磁気シールド側壁本体２Ｂを有する２分割体にて構成されるものとして説明した。

しかしながら、本発明の分離型磁気シールド装置１は、例えば、装置が大型化した場合、或いは、側部に開口部が形成されることが望まれる場合などには、例えば、図１０（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、４個、６個又は８個、更には、それ以上の個数の磁気シールド側壁本体２にて構成することも可能である。

つまり、本発明の分離型磁気シールド装置１は、長手方向に延在する磁気シールド側壁本体を複数有し、複数の磁気シールド側壁本体は、互いに組み合わされて内部に水平方向に延びる長手軸線の回りに略円筒状の空間を形成し、少なくともいずれか一つのの磁気シールド側壁本体は、残りの磁気シールド側壁本体に対して移動して離間可能に構成することができる。

図１０（ａ）に示す分離型磁気シールド装置１においては、４個の磁気シールド側壁本体２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ）を有し、４個の磁気シールド側壁本体２は、互いに組み合わされて内部に水平方向に延びる長手軸線の回りに略円筒状の空間Ｓを形成している。

また、図１０（ｂ）に示す分離型磁気シールド装置１においては、６個の磁気シールド側壁本体２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ、２Ｅ、２Ｆ）を有し、６個の磁気シールド側壁本体２は、互いに組み合わされて内部に水平方向に延びる長手軸線の回りに略円筒状の空間Ｓを形成している。

更に、図１０（ｃ）に示す分離型磁気シールド装置１においては、８個の磁気シールド側壁本体２（２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ、２Ｅ、２Ｆ、２Ｇ、２Ｈ）を有し、８個の磁気シールド側壁本体２は、互いに組み合わされて内部に水平方向に延びる長手軸線の回りに略円筒状の空間Ｓを形成している。

これらの実施例においても、各磁気シールド側壁本体２は、実施例１で説明した磁気シールド側壁本体２と同様の構成とされ、それぞれ、互いに組み合わされて内部に円筒状空間Ｓを形成する磁性体を備えた磁気シールド外側壁３と、磁気シールド外側壁３の長手方向両端縁部から円筒状空間Ｓに対して半径方向外方へと突出した磁性体を備えた接合部磁気シールド側壁４（４ａ、４ｂ）と、を備えている。

更に、本実施例においても、実施例１と同様に、磁気シールド側壁本体２の磁気シールド外側壁３には、図１０（ａ）の実施例では、円筒状空間Ｓの長手軸線方向に沿って延在する導体１０（１０ａ〜１０ｄ）を設け、図１０（ｂ）の実施例では、円筒状空間Ｓの長手軸線方向に沿って延在する導体１０（１０ａ〜１０ｆ）を設け、図１０（ｃ）の実施例では、円筒状空間Ｓの長手軸線方向に沿って延在する導体１０（１０ａ〜１０ｈ）を設け、これらの導体には所定の方向に電流を流し、一側の磁気シールド側壁本体から他側の磁気シールド側壁本体へと水平方向に到来する外乱磁束を、導体の回りに発生する磁界により、上方向又は下方向へと偏向し、円筒状空間Ｓへの磁束の流れ込みを阻止する。

一例を挙げれば、図１０（ａ）の実施例では、導体１０ａ、１０ｃには、図面上手前側から奥側へと、また、導体１０ｂ、１０ｄには、奥側から手前側へと電流を流す。図１０（ｂ）の実施例では、導体１０ａ、１０ｄには、図面上手前側から奥側へと、また、導体１０ｃ、１０ｆには、奥側から手前側へと電流を流す。また、導体１０ｂ、１０ｅには、外乱磁界の方向により、適宜決定することができる。外乱磁界が完全に水平である場合には、電流の流れを停止することも可能である。

図１０（ｃ）の実施例では、導体１０ａ、１０ｂ、１０ｅ、１０ｆには、図面上手前側から奥側へと、また、導体１０ｃ、１０ｄ、１０ｇ、１０ｈには、奥側から手前側へと電流を流す。

上記電流の方向は、一例であり、装置の設置環境により適宜変更することができる。

また、上記各実施例にて、隣り合った磁気シールド側壁本体２の対向した両接合部磁気シールド側壁４（４ａ、４ａ；４ｂ、４ｂ）の間には、実施例１の場合と同様に、複数の、磁性体を備えた仕切磁気シールド部材５を配置する。

磁気シールド外側壁３、接合部磁気シールド側壁４、及び、仕切磁気シールド部材５は、実施例１の場合と同様に、支持体に磁性体を設けることにより形成される。

又、本実施例においても、実施例１と同様に、各磁気シールド側壁本体２の構造を図６（ａ）に示す構造とすることもでき、又、各磁気シールド側壁本体２に対しては、図６（ｂ）に示すように、長手方向にトロイダル状にコイルを巻回し、磁気シェイキング電流を流すことも可能である。

図示してはいないが、本実施例においても、実施例１と同様に、磁気シールド側壁本体２の長手方向両端開口部に、図５に示す磁気シールドフランジ部材６を設け、更に、このフランジ部材にコイルを設置して電流を流し、磁気シールド側壁本体の長手方向両端開口部から円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することができる。

更には、実施例１の場合と同様に、図３に示すように、隣り合った磁気シールド側壁本体２の対向配置された接合部磁気シールド側壁４を囲包して、軸線方向に沿ってコイルを巻回して電流を流し、隣り合った磁気シールド側壁本体２の対向配置された接合部磁気シールド側壁４（４ａ、４ａ；４ｂ、４ｂ）間に形成された空隙部から円筒状空間Ｓへの磁束の流れ込みを阻止することができる。

円筒状空間Ｓを囲包する各磁気シールド側壁本体２は、同じ寸法、形状とし、実施例１にて説明したように、分離型磁気シールド装置１の円筒形状をした空間部Ｓの略中央部に磁束線の密度の最も薄く、かつ、磁気勾配が実質的にゼロとなる空間を提供することができる。

上記実施例１及びその他の実施例では、磁気シールド側壁本体２、即ち、磁気シールド外側壁３は、湾曲した形状として説明したが、場合によっては、直線状（即ち、平板状）とすることもできる。

図１（ａ）は、本発明に係る分離型磁気シールド装置の一実施例の全体構成図であり、図１（ｂ）は、分離型磁気シールド装置の概略構成図である。 図１の分離型磁気シールド装置にて一方の磁気シールド側壁本体を除去した状態を示す図である。 本発明に係る分離型磁気シールド装置の他の実施例の全体構成図である。 本発明に係る分離型磁気シールド装置の具体的構成を説明するための概略構成図である。 図５（ａ）は、磁気シールド側壁本体の構成を説明するための図であり、図５（ｂ）は、仕切磁気シールド部材の構成を説明するための図であり、図５（ｃ）は、磁気シールドフランジ部材の構成を説明するための図である。 図６（ａ）、（ｂ）は、磁気シールド側壁本体の他の実施例の構成を説明するための図である。 図７（ａ）は、本発明に係る分離型磁気シールド装置の特徴部の構成を説明するための一実施例の全体構成図であり、図７（ｂ）は、導体に流す電流の決定方法を説明するための図である。 本発明の構成に従った場合の磁束線図である。 本発明の構成を採用しない場合の磁束線図である。 図１０（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、本発明に係る分離型磁気シールド装置の他の実施例を説明する全体構成図である。 図１１（ａ）〜（ｃ）は、本発明の原理を説明するための磁束線図である。 従来の分離型磁気シールド装置の一例を示す全体構成図である。

符号の説明

１ 分離型磁気シールド装置
２（２Ａ〜２Ｈ） 磁気シールド側壁本体
３ 磁気シールド外側壁
４（４ａ、４ｂ） 接合部磁気シールド側壁
５ 仕切磁気シールド部材
６ フランジ部材
８、８ａ 装着開口
１０（１０ａ〜１０ｈ） 導体
２１ 支持体
２１ａ 湾曲部材
２１ｂ 接合部材
２２ 磁性体（磁性体層）
２００ 心磁計
２０１ ベッド
３００ 磁界センサ

Claims (21)

1. 長手方向に延在する磁気シールド側壁本体を複数有し、前記複数の磁気シールド側壁本体は、互いに組み合わされて内部に水平方向に延びる長手軸線の回りに略円筒状の空間を形成し、少なくともいずれか一つの前記磁気シールド側壁本体は、残りの前記磁気シールド側壁本体に対して移動して離間可能とされる分離型磁気シールド装置において、
   前記複数の磁気シールド側壁本体は、それぞれ、互いに組み合わされて内部に前記円筒状空間を形成する磁性体を備えた磁気シールド外側壁と、前記磁気シールド外側壁の長手方向両端縁部から前記円筒状空間に対して半径方向外方へと突出した磁性体を備えた接合部磁気シールド側壁と、を備え、
   前記磁気シールド側壁本体の前記磁気シールド外側壁には、前記円筒状空間の前記長手軸線方向に沿って延在する導体を設け、電流を流し、
   一側の前記磁気シールド側壁本体から他側の前記磁気シールド側壁本体へと水平方向に到来する外乱磁束を、前記導体の回りに発生する磁界により、上方向又は下方向へと偏向し、前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする分離型磁気シールド装置。
2. 隣り合った前記磁気シールド側壁本体の対向した両前記接合部磁気シールド側壁の間に複数の、磁性体を備えた仕切磁気シールド部材を配置することを特徴とする請求項１の分離型磁気シールド装置。
3. 前記磁気シールド外側壁及び前記接合部磁気シールド側壁は、支持体に磁性体を設けることにより形成されることを特徴とする請求項１の分離型磁気シールド装置。
4. 前記仕切磁気シールド部材は、支持体に磁性体を設けることにより形成されることを特徴とする請求項２の分離型磁気シールド装置。
5. 各前記磁気シールド側壁本体に対して、前記長手方向にトロイダル状にコイルを巻回し、磁気シェイキング電流を流すことを特徴とする請求項１〜４のいずれかの項に記載の分離型磁気シールド装置。
6. 各前記磁気シールド側壁本体の長手方向両端開口部に、磁気シールドフランジ部材を設け、前記磁気シールド側壁本体の長手方向両端開口部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする請求項１〜５のいずれかの項に記載の分離型磁気シールド装置。
7. 前記磁気シールドフランジ部材は、支持体に磁性体を設けることにより形成されることを特徴とする請求項６の分離型磁気シールド装置。
8. 前記磁気シールドフランジ部材にコイルを設置して電流を流し、前記磁気シールド側壁本体の長手方向両端開口部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする請求項６又は７の分離型磁気シールド装置。
9. 隣り合った前記磁気シールド側壁本体の対向配置された前記接合部磁気シールド側壁を囲包して、軸線方向に沿ってコイルを巻回して電流を流し、隣り合った前記磁気シールド側壁本体の対向配置された前記接合部磁気シールド側壁間に形成された空隙部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする請求項１〜８のいずれかの項に記載の分離型磁気シールド装置。
10. 前記円筒状空間は、２個、４個、６個、又は、８個の前記磁気シールド側壁本体にて囲包されることによって形成されることを特徴とする請求項１〜９のいずれかの項に記載の分離型磁気シールド装置。
11. 前記円筒状空間を囲包する各前記磁気シールド側壁本体は、同じ寸法、形状とされることを特徴とする請求項１〜１０のいずれかの項に記載の分離型磁気シールド装置。
12. 第１磁気シールド側壁本体と第２磁気シールド側壁本体を有し、前記第１磁気シールド側壁本体と第２磁気シールド側壁本体は、対向配置された状態にて内部に水平方向に延びる長手軸線の回りに略円筒状の空間を形成し、少なくともいずれかの前記磁気シールド側壁本体は、他方の磁気シールド側壁本体に対して移動して離間可能とされる分離型磁気シールド装置において、
    前記第１及び第２磁気シールド側壁本体は、それぞれ、対向配置された状態にて内部に前記円筒状空間を形成する磁性体を備えた湾曲磁気シールド外側壁と、前記湾曲磁気シールド外側壁の上下端縁部から垂直方向に突出し、対向配置された状態にて互いに離間して対面する磁性体を備えた接合部磁気シールド側壁と、を備え、
    前記第１磁気シールド側壁本体の前記湾曲磁気シールド外側壁には、前記長手軸線方向に沿って延在する第１及び第２導体を設け、電流を流し、
    前記第２磁気シールド側壁本体の前記湾曲磁気シールド外側壁には、前記長手軸線方向に沿って延在する第１及び第２導体を設け、電流を流し、
    前記第１磁気シールド側壁本体から前記第２磁気シールド側壁本体へと水平方向に到来する外乱磁束を、前記第１及び第２導体の回りに発生する磁界により、上下方向へと偏向し、前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする分離型磁気シールド装置。
13. 前記第１磁気シールド側壁本体と第２磁気シールド側壁本体は、前記円筒状空間の前記長手軸線を通る垂直平面に対して左右対称形状とされることを特徴とする請求項１２の分離型磁気シールド装置。
14. 前記第１及び第２磁気シールド側壁本体の対向した両前記接合部磁気シールド側壁の間に複数の、磁性体を備えた仕切磁気シールド部材を配置することを特徴とする請求項１２又は１３の分離型磁気シールド装置。
15. 前記湾曲磁気シールド外側壁及び前記接合部磁気シールド側壁は、支持体に磁性体を設けることにより形成されることを特徴とする請求項１２〜１４のいずれかの項に記載の分離型磁気シールド装置。
16. 前記仕切磁気シールド部材は、支持体に磁性体を設けることにより形成されることを特徴とする請求項１４の分離型磁気シールド装置。
17. 前記第１及び第２磁気シールド側壁本体に対して、前記軸線方向にトロイダル状にコイルを巻回し、磁気シェイキング電流を流すことを特徴とする請求項１２〜１６のいずれかの項に記載の分離型磁気シールド装置。
18. 前記第１及び第２磁気シールド側壁本体の軸線方向両端開口部に、磁気シールドフランジ部材を設け、前記第１及び第２磁気シールド側壁本体の軸線方向両端開口部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする請求項１２〜１７のいずれかの項に記載の分離型磁気シールド装置。
19. 前記磁気シールドフランジ部材は、支持体に磁性体を設けることにより形成されることを特徴とする請求項１８の分離型磁気シールド装置。
20. 前記磁気シールドフランジ部材にコイルを設置して電流を流し、前記第１及び第２磁気シールド側壁本体の軸線方向両端開口部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする請求項１８又は１９の分離型磁気シールド装置。
21. 前記第１及び第２磁気シールド側壁本体の対向配置された前記接合部磁気シールド側壁を囲包して、軸線方向に沿ってコイルを巻回して電流を流し、前記第１及び第２磁気シールド側壁本体の対向配置された前記接合部磁気シールド側壁間に形成された空隙部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする請求項１２〜２０のいずれかの項に記載の分離型磁気シールド装置。

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