WO2008081999A1

WO2008081999A1 - 分離型磁気シールド装置

Info

Publication number: WO2008081999A1
Application number: PCT/JP2007/075416
Authority: WO
Inventors: Ichiro Sasada; Toshikazu Takeda
Original assignee: Kyushu University, National University Corporation; Nippon Steel Composite Co., Ltd.
Priority date: 2006-12-28
Filing date: 2007-12-27
Publication date: 2008-07-10
Also published as: JP2008166618A; EP2099277A1; EP2099277A4; JP5076161B2; EP2099277B1; US8031039B2; EP2099277B8; US20100321138A1

Abstract

本発明の目的は、磁気シールド空間への高いアクセス性を有し、磁気シールドが極めて有効に達成される分離型磁気シールド装置を提供することである。分離型磁気シールド装置において、第1磁気シールド側壁本体2Aの湾曲磁気シールド外側壁3には、円筒状空間Sの長手軸線を通る水平面Hpに対して上下対称位置に、長手軸線方向に沿って延在する第1及び第2導体10a、10bを設け、電流を流し、第2磁気シールド側壁本体2Bの湾曲磁気シールド外側壁3には、円筒状空間Sの長手軸線を通る水平面Hpに対して上下対称位置に、長手軸線方向に沿って延在する第1及び第2導体10c、10dを設け、電流を流し、第1磁気シールド側壁本体2Aから第2磁気シールド側壁本体2Bへと水平方向に形成される磁束Hを、第1及び第2導体10a、10b、10c、10dの回りに発生する磁界により、上下方向へと偏向し、円筒状空間Sへの磁束の流れ込みを阻止する。

Description

分離型磁気シールド装置技術分野

本発明は、分離型磁気シールド装置に関するものであり、例えば、電子ビーム露光装置、電子顕微鏡明の環境磁界対策、また、計測分野では人の脳磁界、心臓磁界計測、更には、動物生体磁気計測、更には、磁気ビ —ズを標識として用いるナノバイォ領域での計測などに利用することが書

できる。背景技術

例えば、脳や心臓からの人の身体から発せられる磁界は、重要なリアルタイム生体情報で、しかも多くの情報を含んでいる。例えば心臓磁界を心磁計、例えば S Q U I D磁束計 6 4チャンネルで検出すれば、心臓の電気生理学的機能を 2次元マップすることが可能である。また、その刺激伝導系を伝って流れる電流べクトルの時間的空間的情報など、心電図の波形分析による方法に比べ圧倒的に的確で多様な診断情報の獲得が可能である。

虚血性心疾患の典型である急性心筋梗塞は、日本人の 3大死亡原因とされている。そして、その治療には高額なハイテクの医療技術が用いられているが、的確な診断が早期に可能であれば医療費の大幅な軽減は元より救命に大きな効果があるものと思われる。

心磁計の開発はまだ日も浅いこともあり、上記のような多くの可能性を秘めながら普及はあまり進んでいない。

この原因の 1つは高価で不便なパーマロイでできた部屋型の磁気シールドルームにある。磁気遮蔽性能は脳磁界計測に要求されるほど高い必要はなく、べッドごと患者を運び込んで計測できるような融通のきく磁気シールド装置が強く望まれている。

つまり、健常者はもちろん、寝たきりの患者からも、その身体から発せられる、例えば、心臓磁界のような生体磁気の計測に無理なく使用できる、部屋形ではない、分離可動式の高性能な磁気シールド装置の開発が希求されている。

そこで、本発明者は、円筒型で軽量高性能な磁気シールド装置の開発のために多くの要素技術を開発してきた。磁気シイキング技術（非特許文献 1)、シエイキング磁界の漏洩抑制（非特許文献 2)、開口端から侵入する外部起因の磁気雑音の抑制（非特許文献 3、 4)、さらには炭素繊維強化プラスチック（C FR P) を用いた積層構造による磁気シールドの一体成形（特許文献 1 ) などである。

一般には、室内に部屋型シールド装置を後から設置すると床面の高さが異なり、べッドごと被検者を装置内に運び込むことは容易ではない。そこで、特許文献 2に記載するように、円筒シールドを単純に 2分割して可動式にすることが提案されている。図 1 2に、左右に分割体を配置し、上下位置にて接合する構造とされる分割型シールド装置 1 00の一例を示す。

本例によると、分割型シールド装置 1 00は、左右対称に形成された 2つの磁気シールド分割体 10 1 (1 0 1 A、 1 0 I B) の少なくとも一方を可動式とし、內部空間にべッドごと被検者を運び込むことが可能な構造とされる。

しかしながら、この構成だけでは磁気シールドの機能を維持できなレ、。なぜならば、分割型シールド装置 1 00では、 S QU I D磁束計 200 を設置することが必要であり、 2つの分割体 1 0 1 A、 1 0 I Bの間の接合部には空間が形成される。従って、この空間部を渡る磁束（即ち、接合部に直交する磁束）を連続的に通すことができず、そのために、磁気シールド効果が破綻するからである。

特許文献 1 ：特願 2 0 0 5— 8 0 7 7 5号

特許文献 2 ：特開 2 0 0 4— 1 7 9 5 5 0号公報

非特許文献 1 ：笹田一郎、微弱磁界計測用磁気シニイキング方式磁気シ一ルドの研究、日本応用磁気学会誌、 2 7、 8 5 5— 8 6 1 (2 0 0 3) 非特許文 2： Nakashima Y, Kiraura T, Sasada I, Magnetic field leakage from a 45° angle magnetic shell and a reduction method for a high-performance magnetic shield, IEEE Trans. on Magn. 42(10) 3545-3547(2006)

非特許文献 3 ：斎藤拓司、田代晋久、笹田一郎、パッシブシヱル付マルチシ: rルシールドにおける能動捕償効果、日本応用磁気学会詰、 2 9、 5 6 7 - 5 7 0 (2 0 0 5)

非特許文献 4 ：梅田祐介、田代晋久、笹田一郎、円筒形磁気シールドへのアクティブ · キャンセルの適用、電気学会 A、 1 2 3、（ 8)、 7 9 0 — 7 9 6 (2 0 0 3) 発明の開示

発明が解決しようとする課題

本発明は、図 1 2に示すような構成の分割型シールド装置が有する上記問題を解決せんとするものである。同時にまた、能動的に発生させた磁束によって外乱磁界がシールドするべき空間に入らないように偏向させ、一方、この能動的に発生させた磁界がシールドすべき空間に侵入するのを抑止するために磁性体を部分的に配置して構成される簡便且つ高性能な磁気シールドを提供せんとするものである。一般に、磁束が一様に存在する場で磁束密度の低い空間を作り出す時に良く用いられる方法は、空間に導体を配置して磁束を追い出す向きに電流を流すことである。この方法で最適化した一例を図 1 1 (a ) に示す。

本例では、 4本の導体 1 0 (1 0 a、 1 0 b、 1 0 c、 1 0 d ) が所定の間隔にて、上下、左右対称位置に配置され、導体 1 0 a、 1 0 cは図面上、手前側から奥側へと、導体 1 0 b、 1 0 dは図面上、奥側から手前側へと、電流が流される。図 1 1 ( a ) にて、左側より右側へと通る水平磁束 Hは、 4本の導体 1 0 ( 1 0 a、 1 0 b、 1 0 c、 1 0 d) で囲包された空間の中心部 Sでは、磁束線の密度が薄くなつており、磁気シールドがなされていることが分かる。

一方、図 1 1 (b ) には、 4枚の磁性体板 A、 B、 C、 Dを、互いに隣接する位置では隙間 Gを設けて矩形状に配置した構成を示す。この構成では、ほとんどの磁束が中心部を通過し、シールド効果が得られない。

しかし、図 1 1 ( c ) は、図 1 1 ( a ) の構成と図 1 1 (b) の構成を組み合わせた構成とされる。図 1 1 ( c ) に示すように、この構成では、 4枚の磁性体板 A、 B、 C、 Dで囲包された空間の中心部 Sに磁束線の密度の薄い場所が形成され、全く予想さえしない高いシールド比が得られていることが分かる。

これは、導体 1 0 a、 1 0 b、 1 0 c、 1 0 dを流れる電流で磁束を追い出すと共に、シールドしたい空間（中心部 S)側には磁性体 A、 B、 C、 Dによって不要な磁束がはみ出さないように抑制したからである。このように、電流と磁性体の関係を上手く設計することによって、電流が磁束を排除する効果を特定の方向に局在化できることが分かった。つまり、図 1 1 ( c ) に示す構成では、上部に設けられた二つの導体 1 0 a、 1 0 じと磁性体板、 Cとの組合せ構造が磁束線 Hを上方へ、また、下部に設けられた二つの導体 1 0 b、 1 0 dと磁性体板 B、 Dとの組合せ構造が磁束線 Hを下方へと排除した結果、中央に広い磁気シールド空間 Sが生み出されたのである。

本発明は、このような、電流の作用と磁性体の作用を上手く組み合わせることによって磁気シールドが極めて有効に達成されるといった本発明者の新規な知見に基づくものである。

本発明の目的は、磁気シールド空間への高いアクセス性を有し、磁気シールドが極めて有効に達成される分離型磁気シールド装置を提供することである。課題を解決するための手段

上記目的は本発明に係る分離型磁気シールド装置にて達成される。要約すれば、本発明によれば、長手方向に延在する磁気シールド側壁本体を複数有し、前記複数の磁気シールド側壁本体は、互いに組み合わされて内部に水平方向に延びる長手軸線の回りに略円筒状の空間を形成し、少なくともいずれか一つの前記磁気シールド側壁本体は、残りの前記磁気シールド側壁本体に対して移動して離間可能とされる分離型磁気シールド装置において、

前記複数の磁気シールド側壁本体は、それぞれ、互いに組み合わされて内部に前記円筒状空間を形成する磁性体を備えた磁気シールド外側壁と、前記磁気シールド外側壁の長手方向両端縁部から前記円筒状空間に対して半径方向外方へと突出した磁性体を備えた接合部磁気シールド側壁と、を備え、

前記磁気シールド側壁本体の前記磁気シールド外側壁には、前記円筒状空間の前記長手軸線方向に沿って延在する導体を設け、電流を流し、一側の前記磁気シールド側壁本体から他側の前記磁気シールド側壁本体へと水平方向に到来する外乱磁束を、前記導体の回りに発生する磁界により、上方向又は下方向へと偏向し、前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする分離型磁気シールド装置が提供される。本発明の一実施態様によれば、隣り合った前記磁気シールド側壁本体の対向した両前記接合部磁気シールド側壁の間に複数の、磁性体を備えた仕切磁気シールド部材を配置する。

本発明の他の実施態様によれば、前記磁気シールド外側壁及び前記接合部磁気シールド側壁は、支持体に磁性体を設けることにより形成される。

本発明の他の実施態様によれば、前記仕切磁気シールド部材は、支持体に磁性体を設けることにより形成される。

本発明の他の実施態様によれば、各前記磁気シールド側壁本体に対して、前記長手方向にトロイダル状にコイルを卷回し、磁気シエイキング電流を流す。

本発明の他の実施態様によれば、各前記磁気シールド側壁本体の長手方向両端開口部に、磁気シールドフランジ部材を設け、前記磁気シールド側壁本体の長手方向両端開口部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止する。

本発明の他の実施態様によれば、前記磁気シールドフランジ部材は、支持体に磁性体を設けることにより形成される。

本発明の他の実施態様によれば、前記磁気シールドフランジ部材にコィルを設置して電流を流し、前記磁気シールド側壁本体の長手方向両端開口部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止する。

本発明の他の実施態様によれば、隣り合った前記磁気シールド側壁本体の対向配置された前記接合部磁気シールド側壁を囲包して、軸線方向に沿ってコイルを卷回して電流を流し、隣り合つた前記磁気シールド側壁本体の対向配置された前記接合部磁気シールド側壁間に形成された空隙部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止する。

本発明の他の実施態様によれば、前記円筒状空間は、 2個、 4個、 6 個、又は、 8個の前記磁気シールド側壁本体にて囲包されることによつて形成される。

本発明の他の実施態様によれば、前記円筒状空間を囲包する各前記磁気シールド側壁本体は、同じ寸法、形状とされる。

好ましい本発明の一態様によれば、第 1磁気シールド側壁本体と第 2 磁気シールド側壁本体を有し、前記第 1磁気シールド側壁本体と第 2磁気シールド側壁本体は、対向配置された状態にて内部に水平方向に延びる長手軸線の回りに略円筒状の空間を形成し、少なくともいずれかの前記磁気シールド側壁本体は、他方の磁気シールド側壁本体に対して移動して離間可能とされる分離型磁気シールド装置において、

前記第 1及び第 2磁気シールド側壁本体は、それぞれ、対向配置された状態にて内部に前記円筒状空間を形成する磁性体を備えた湾曲磁気シールド外側壁と、前記湾曲磁気シールド外側壁の上下端縁部から垂直方向に突出し、対向配置された状態にて互いに離間して対面する磁性体を備えた接合部磁気シールド側壁と、を備え、

前記第 1磁気シールド側壁本体の前記湾曲磁気シールド外側壁には、前記長手軸線方向に沿って延在する第 1及び第 2導体を設け、電流を流し、

前記第 2磁気シールド側壁本体の前記湾曲磁気シールド外側壁には、前記長手軸線方向に沿って延在する第 1及び第 2導体を設け、電流を流し、

前記第 1磁気シールド側壁本体から前記第 2磁気シールド側壁本体へと水平方向に到来する外乱磁束を、前記第 1及び第 2導体の回りに発生する磁界により、上下方向へと偏向し、前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする分離型磁気シールド装置が提供される。好ましくは、一実施態様によれば、前記第 1磁気シールド側壁本体と第 2磁気シールド側壁本体は、前記円筒状空間の前記長手軸線を通る垂直平面に対して左右対称形状とされる。

他の実施態様によれば、前記第 1及び第 2磁気シールド側壁本体の対向した两前記接合部磁気シールド側壁の間に複数の、磁性体を備えた仕切磁気シールド部材を配置する。

他の実施態様によれば、前記湾曲磁気シールド外側壁及び前記接合部磁気シールド側壁は、支持体に磁性体を設けることにより形成される。他の実施態様によれば、前記仕切磁気シールド部材は、支持体に磁性体を設けることにより形成される。

他の実施態様によれば、前記第 1及び第 2磁気シール 'ド側壁本体に対して、前記軸線方向にトロイダル状にコイルを卷回し、磁気シヱイキング電流を流す。

他の実施態様によれば、前記第 1及び第 2磁気シールド側壁本体の軸線方向両端開口部に、磁気シールドフランジ部材を設け、前記第 1及び第 2磁気シールド側壁本体の軸線方向両端開口部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止する。

他の実施態様によれば、前記磁気シールドフランジ部材は、支持体に磁性体を設けることにより形成される。

他の実施態様によれば、前記磁気シールドフランジ部材にコイルを設置して電流を流し、前記第 1及び第 2磁気シールド側壁本体の軸線方向両端開口部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止する。

他の実施態様によれば、前記第 1及び第 2磁気シールド側壁本体の対向配置された前記接合部磁気シールド側壁を囲包して、軸線方向に沿つてコイルを卷回して電流を流し、前記第 1及び第 2磁気シールド側壁本体の対向配置された前記接合部磁気シールド側壁間に形成された空隙部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止する。発明の効果

本発明の分離型磁気シールド装置は、磁気シールド空間への高いァクセス性を有し、磁気シールドが極めて有効に達成される。図面の簡単な説明

図 1 (a ) は、本発明に係る分離型磁気シールド装置の一実施例の全体構成図であり、図 1 (b ) は、分離型磁気シールド装置の概略構成図である。

図 2は、図 1の分離型磁気シールド装置にて一方の磁気シールド側壁本体を除去した状態を示す図である。

図 3は、本発明に係る分離型磁気シールド装置の他の実施例の全体構成図である。

図 4は、本発明に係る分離型磁気シールド装置の具体的構成を説明するための概略構成図である。

図 5 (a ) は、磁気シールド側壁本体の構成を説明するための図であり、図 5 (b ) は、仕切磁気シールド部材の構成を説明するための図であり、図 5 ( c ) は、磁気シールドフランジ部材の構成を説明するための図である。

図 6 (a )、 (b) は、磁気シールド側壁本体の他の実施例の構成を説明するための図である。

図 7 (a) は、本発明に係る分離型磁気シールド装置の特徴部の構成を説明するための一実施例の全体構成図であり、図 7 (b) は、導体に流す電流の決定方法を説明するための図である。

図 8は、本発明の構成に従った場合の磁束線図である。

図 9は、本発明の構成を探用しない場合の磁束線図である。

図 1 0 (a )、（b)、 ( c ) は、本発明に係る分離型磁気シールド装置の他の実施例を説明する全体構成図である。

図 1 1 ( a ) 〜（ c) は、本発明の原理を説明するための磁束線図である。

図 1 2は、従来の分離型磁気シールド装置の一例を示す全体構成図である。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明に係る分離型磁気シールド装置を図面に則して更に詳しく説明する。

実施例 1

(分離型磁気シールド装置の全体構成）

図 1 (a) は、本発明に係る分離型磁気シールド装置 1の一実施例を示す全体構成図である。図 1 (b) は、図 1 (a ) に示す分離型磁気シールド装置 1の全体構成を説明するための主要部のみを示す概略構成図である。

本発明の分離型磁気シールド装置 1は、その全体構造の長手方向が水平となるように配置されており、長手方向に延在する磁気シールド側壁本体 2を複数有する。図 1 (a )、 (b ) に示す本実施例によると、磁気シールド側壁本体 2は、長手方向に延在した第 1磁気シールド側壁本体 2 Aと第 2磁気シールド側壁本体 2 Bを有する。

本実施例によると、第 1磁気シールド側壁本体 2 Aと第 2磁気シールド側壁本体 2 Bは、図示するように、対向配置された状態にて、内部に水平方向に延びる長手軸線 Y— Yの回りに略円筒状の空間 Sを形成する。第 1磁気シールド側壁本体 2 Αと第 2磁気シールド側壁本体 2 Bは、これに限定されるものではないが、好ましくは、円筒状空間 Sの長手軸線 Y— Yを通る垂直平面 V pに対して左右対称形状とされる。又、好ましくは、第 1磁気シールド側壁本体 2 Aと第 2磁気シールド側壁本体 2 Bは、円筒状空間 Sの長手軸線 Y— Yを通る水平面 H pに対しても上下対称形状とされる。

本実施例のように、第 1磁気シールド側壁本体 2 Aと第 2磁気シールド側壁本体 2 Bを、左右及び上下対称形状とした場合には、詳しくは、後述するように、分離型磁気シールド装置 1の円筒形状をした空間部 S の略中央部に磁束線の密度の最も薄い場所が形成される。また、この場合には、磁気勾配が実質的にゼロとなる空間を提供することができる。本実施例にて、分離型磁気シールド装置 1は、図 1 2を参照して説明した分離型磁気シールド装置 1 0 0と同様に、第 1磁気シールド側壁本体 2 Aと第 2磁気シールド側壁本体 2 Bのいずれか、或いは、両磁気シールド側壁本体 2 A、 2 Bとも可動とすることができる。本実施例では、第 1磁気シールド側壁本体 2 Aが可動とされ、第 2磁気シールド側壁本体 2 Bが固定とされる。ただ、これに限定されるものではなく、その逆の構成としても良い。

また、離間態様としては、例えば、可動の磁気シールド側壁本体 2 A は、図 1 ( a ) に一点鎖線にて示すように、長手方向一端を中心として揺動しても良く、或いは、図 1 ( b ) に一点鎖線にて図示するように、他方の磁気シールド側壁本体 2 Bに対して水平方向に平行に移動する構成とすることもできる。

図 2には、分離型磁気シールド装置 1 の内部を示すために、第 1磁気シールド側壁本体 2 Aを除去した状態を示す。図 1及ぴ図 2に示すように、本実施例では、分離型磁気シールド装置 1の長手方向略中央部に位置して、装置上方から略円筒形状をした心磁計 2 0 0、例えば S Q U I D磁束計が分離型磁気シールド装置 1の内部空間 Sへと挿入して取り付けられる。また、心磁計 2 0 0の下方端から所定の距離離間して、被検者を載置するためのべッド 2 0 1が設けられる。ベッド 2 0 1は、固定の第 2磁気シールド側壁本体 2 Bに固定しても良い。場合によっては、分離型磁気シールド装置 1 自体には固定のベッドを設けずに、被検者を載せたべッドを分離型磁気シールド装置 1内へと運び込む構成とすることもできる。本実施例の分離型磁気シールド装置 1によれば、被検者、或いは、被検者とベッドは、第 1磁気シールド側壁本体 2 Aと第 2磁気シールド側壁本体 2 Bとを離間した状態にて分離型磁気シールド装置 1の内へと運び込むことができ、極めて好便でめる。

(磁気シールド側壁本体）

次に、磁気シールド側壁本体 2 ( 2 A、 2 B ) について説明する。上述のように、第 1磁気シールド側壁本体 2 Aと第 2磁気シールド側壁本体 2 Bは、本実施例では、好ましくは、左右及ぴ上下対称形状とされるので、以下の説明では、第 1及び第 2磁気シールド側壁本体 2 A、 2 Bを、特に、区別することを必要としない場合には、磁気シールド側壁本体 2と総称して説明する。'

図 1及び図 2を参照すると、磁気シールド側壁本体 2は、分離型磁気シールド装置 1の円筒状空間 Sを形成するための、本実施例では湾曲状とされる磁気シールド外側壁 3と、この湾曲磁気シールド外側壁 3の上下端縁部より上方及び下方へと垂直方向に突出した平板状の接合部磁気シールド側壁 4 ( 4 a、 4 b ) とを有する。上述したように、第 1及び第 2磁気シールド側壁本体 2 A、 2 Bは、左右及び上下対称形状とされるので、接合部磁気シールド側壁 4 a、 4 b も又、同じ寸法形状とされる。

なお、本明細書にて便宜上、湾曲磁気シールド外側壁 3にて、凹面とされる内周面側を内側と呼び、凸面とされる外周面側を外側と呼ぶ。上記構成の第 1磁気シールド側壁本体 2 A及び第 2磁気シールド側壁本体 2 Bを互いに対向させて配置した場合、両湾曲磁気シールド外側壁 3、 3が対向配置されて、内部に、水平方向に延在する長手軸線 Y— Y の回りに略円筒状の空間部 Sを形成する。また、このとき、湾曲磁気シールド外側壁 3の上方位置に設けられた両接合磁気シールド側壁 4 ( 4 a、 4 a ) は、所定の距離（w ) (図 4参照）だけ離間して配置される。従って、心磁計 2 0 0は、分離型磁気シールド装置 1の長手方向略中央部に形成される両接合部磁気シールド側壁 4 a、 4 aの空隙部から分離型磁気シールド装置 1 の内部へと挿入して取り付けられる。

なお、上方に位置した両接合部磁気シールド側壁 4 a、 4 a の空隙部は、詳しくは後述するように狭い方が良く、そのために、図 1及び図 4 を参照すると理解されるように、両接合部磁気シールド側壁 4 a、 4 a の空隙部には分離型磁気シールド装置 1 の長手方向に延在して、接合部磁気シールド側壁 4 a、 4 aと略同じ高さ位置に仕切磁気シールド部材 5が複数枚、本実施例では、 2枚が等間隔（w l ) にて配置される。この仕切磁気シールド部材を設けることにより、 Y— Y軸（図 1 ( b ) 参照）方向から来る外乱磁界が、円筒状空間へと流れ込むのを阻止する働きがある。

ただ、心磁計 2 0 0を分離型磁気シールド装置 1に取り付けるために、図 1、図 4をも参照するとより良く理解されるように、心磁計設置位置においては、仕切磁気シールド部材 5は、コ字状に接合部磁気シールド側壁 4 a側へと湾曲して作製され、心磁計 2 0 0のための装着開口 8を形成する。

又、本実施例では、上述したように、分離型磁気シールド装置 1の円筒形状をした空間部 sの略中央部に磁束線の密度の最も薄い場所が形成されるように、又、磁気勾配が実質的にゼロとなるように、左右方向及ぴ上下方向において対称形状とされる。

従って、本実施例では、図 1及び図 2に示すように、心磁計 2 0 0を設置することのない、下方に配置された両接合部磁気シールド側壁 4 b、 4 bの空隙部にも、分離型磁気シールド装置 1 の長手方向に延在して、接合部磁気シールド側壁 4 b、 4 bと略同じ高さ位置に仕切磁気シールド部材 5が複数枚、本実施例では、 2枚が等間隔（w l ) にて配置される。また、上方の両接合部磁気シールド側壁 4 a、 4 aの空隙部の構造と同様に、心磁計設置位置に対応して、仕切磁気シールド部材 5は、コ字状に湾曲して開口部 8 aが作製される。

変更実施例

本実施例の変更実施例として、図 3に示すように、第 1及び第 2磁気シ一ルド側壁本体 2の軸線方向両端開口部に、磁気シールドフランジ部材 6を設けることができる。つまり、湾曲磁気シールド外側壁 3の長手方向両端に所定幅のフランジ部材 6が円筒状空間部 Sへと半径方向へと突出して設けられる。

このフランジ部材 6は、磁気シールド側壁本体 2を補強する機能をも有しているが、特に、フランジ部材 6を設けることにより、 Y— Y軸（図 1 ( b ) 参照）方向から来る外乱磁界が、円筒状空間 Sへと流れ込むのを阻止する機能を有している。また、後述するように、このフランジ部材 6にコイル 4 1を巻回して電流を流すことが可能となり、更に、 Y— Y軸方向から来る外乱磁界を抑制することができる。

(磁気シールド側壁本体の具体的構造）次に、磁気シールド側壁本体 2の具体的構造について説明する。

図 5 (a) に示すように、湾曲磁気シールド外側壁 3及び上、下接合部磁気シールド側壁 4 a、 4 bにて構成される磁気シールド側壁本体 2 (2A、 2 B) は、湾曲磁気シールド外側壁 3及び上、下接合部磁気シ一ルド側壁 4 (4 a , 4 b) と同形状をした支持体 2 1と、この支持体 2 1の表面（外面及ぴノ又は内面）に配置された磁性体 2 2にて構成することができる。図 5 ( a) には、外面にのみ層状に磁性体 2 2が配置され、磁性体層を形成している。即ち、支持体 2 1は、湾曲した湾曲部材 2 1 a と、湾曲部材 2 1 aより上下に垂直方向に突出した接合部材 2 1 bとを備えており、湾曲部材 2 1 aの外周面及び接合部材 2 1 bの外面に、磁性体層 2 2が配置される。

仕切磁気シールド部材 5もまた、図 5 (b ) に示すように、部材 5と同形状をした支持体 24の表面（内面及び/又は外面）に磁性体 2 2を配置することにより形成される。本実施例では、磁性体層 2 2が両面に設けられる。

磁気シールドフランジ部材 6もまた、図 5 ( c ) に示すように、部材 6と同形状をした支持体 2 1 cと、この支持体 2 1 cの表面（外面及ぴノ又は内面）に配置された磁性体 2 2にて構成することができる。図 5 (c) には、外面にのみ層状に磁性体 2 2が配置され、磁性体層を形成している。また、支持体 2 1 cは、上記湾曲磁気シールド外側壁 3の湾曲部材支持体 2 1 a と一体とされる。

支持体 2 1、 24としては、好ましくは、紙、樹脂、 FR P、非磁性金属、その他の種々の材料が使用可能である。本実施例では、炭素繊維強化樹脂複合材（C FR P) にて作製した。

また、磁性体 2 2としては、パーマロイのような磁性材料を使用することが可能であるが、軽量化のために、磁性体 2 2としては、 C o系ァモルファス磁性薄帯、例えば、メットグラス 2 7 0 5 Mが好適に使用される。

磁性体 2 2を構成する磁性体層は、上述のような磁性薄帯を層状に積層して構成するのが好ましい。磁性体層 2 2としては、詳しくは後述するが、後述の構成と同様に、好ましくは、 2 0 ΠΙ以上、 5 0 θ ί ΐη以下とされる磁性体層を、複数層積層した積層構造とされる。

変更実施例

また、図 6 ( a ) に示すような積層構造とすることにより、上方から来る外乱磁界が、両接合部磁気シールド側壁 4 a、 4 a の空隙部を通り円筒状空間 Sへと流れ込むのを効率よく阻止することができる。

なお、図 6 ( a ) には、第 1及び第 2磁気シールド側壁本体 2 A、 2 Bの上方部のみが示されており、下方部は省略されている。しかし、下方部においても同様の構造とすることができ、この場合には、下方から来る外乱磁界が、両接合部磁気シールド側壁 4 b、 4 bの空隙部を通り円筒状空間 Sへと流れ込むのを効率よく阻止することができる。

図 6 ( a ) を参照して、第 1及び第 2磁気シールド側壁本体 2 A、 2 Bの上方部の積層構造についてのみ説明する。本実施例によれば、湾曲磁気シールド外側壁 3及び上、下接合部磁気シールド側壁 4 ( 4 a、 4 a ) と同形状をした支持体 2 1の表面、本実施例では外面に層状に磁性体 2 2が配置され、磁性体層を形成している。

本実施例によると、磁性体 2 2は、支持体 2 1に近接して配置された内側磁性体層 2 2 Aと、この内側磁性体層 2 2 Aの外側に、例えば、ェポキシ樹脂接着剤 2 5などにて接着された外側磁性体層 2 2 Bとにて構成される。内側磁性体層 2 2 A及び外側磁性体層 2 2 B自体も、例えば 2 0 m厚の磁性薄帯を 1 0層〜 3 0層、或いは、作製される側壁本体のサイズによっては、更にそれ以上の層数を積層し、更にまた、これら積層体を二重、三重に重ね合わせて構成することができる。更に説明すると、本実施例では、内側磁性体層 2 2 Aは、支持体 2 1 の湾曲部材 2 1 aに固定配置された磁性体層 2 2 A a と、磁性体層 2 2 A aから、支持体の接合部材 2 1 bに対して上方途中まで延在して固定配置された磁性体層 2 2 A bとにて形成される。

一方、外側磁性体層 2 2 Bは、内側磁性体層 2 2 Aの磁性体層 2 2 A aに接着剤 2 5にて固定配置された磁性体層 2 2 B a と、磁性体層 2 2 B aから上方へと延在し、内側磁性体層 2 2 Aの磁性体層 2 2 A bに接着剤 2 5にて固定配置された磁性体層 2 2 B bと、内側磁性体層 2 2 A の磁性体層 2 2 A bが固定配置されていない更に上方の接合部材 2 1 b 部分に固定配置された磁性体層 2 2 B c とにて形成される。

従って、上方から両接合部磁気シールド側壁 4 a、 4 aの空隙部を通り円筒状空間 Sへと流れ込む外乱磁界は、先ず、接合磁気シールド側壁 4 aに形成された外側磁性体層 2 2 Bの磁性体層 2 2 B cにて引き付けられ、磁性体層 2 2 B bを介して磁性体層 B aへと、つまり、外側磁性体層 2 2 Bを流れ、円筒状空間 Sへの流れ込みが阻止される。更に、円筒状空間 Sへと流れ込む外乱磁界は、接合磁気シールド側壁 4 aに形成された内側磁性体層 2 2 Aの磁性体層 2 2 A bにて引き付けられ、磁性体層 2 2 A aへと、つまり、内側磁性体層 2 2 Aへと流れ、円筒状空間 Sへの流れ込みが阻止される。

上述のように、第 1及ぴ第 2磁気シールド側壁本体 2 A、 2 Bの下方部においても同様の構造とすることができ、この場合には、下方から来る外乱磁界が、両接合部磁気シールド側壁 4 b、 4 bの空隙部を通り円筒状空間 Sへと流れ込むのを効率よく阻止することができる。

変更実施例

また、他の変更実施例によると、更に好ましくは、従来技術にて記載した、特許文献 1に記載するように、磁気シールド側壁本体 2の少なくとも湾曲磁気シールド外側壁 3に磁気シイキング電流を流すことができる。

この場合には、磁性体 2 2としては、特に、角形磁化特性を有する磁性材料が使用可能である。また、このような磁性体としては、上述の C o系アモルファス磁性薄帯、例えば、メットグラス 2 7 0 5Mが好適に使用される。

この実施態様では、特に、図 6 (b) に示すように、磁性薄帯、即ち、例えば幅 5 0. 8 mm、厚み 0. 0 2 mmのメットグラス 2 7 0 5Mを、支持体 2 1における湾曲部材 2 1 aの内周面及び外周面、更には、接合部材 2 1 bの内面及ぴ外面に全表面を覆うようにして連続的に巻き付けて配設する。これにより、支持体 2 1の回りを囲包して、層状の磁性体 2 2、即ち、磁性体層 2 2 a、 2 2 bが形成される。磁性体層 2 2の厚さとしては、 1 i m以上とされる。ただ、通常は、重量及びコストの観点から 2 mm以下とされる。また、磁性体層 2 2としては、好ましくは、 2 0 μ πι以上、 5 0 0 μ m以下とされる磁性体層を、複数層積層した積層構造とされる。

更に、図 6 (b ) に示すように、磁気シエイキングのためのコイル 3 0が巻回される。コイル 3 0は、磁性体層 2 2の少なくとも一部を卷回するようにしてトロイダル状に卷回される。

つまり、コイル線材が、外側の磁性体層を卷回するようにし、即ち、磁性体層 2 2の外層 2 2 a と支持体 2 1を軸線方向に取り巻くようにして巻回すればよい。コイルの卷回方法は、これに限定されるものではなく、例えば、コイル線材が、内側の磁性体層 2 2 bを卷回するようにして、即ち、磁性体層 2 2の内層 2 2 bと支持体 2 1 とを軸線方向に取り巻くようにして卷回することもできる。各磁気シールド側壁本体 2のシエイキング磁界発生用コイル 3 0には、磁性体層 2 2に、例えば商用周波数の 5 0 H z以上、 1 0 KH z以下のシエイキング時間を与えるように、シエイキング電流が供給される。

(分離型磁気シールド装置の具体的寸法）

次に、本実施例にて作製した分離型磁気シールド装置 1の具体的寸法は、次の通りであった。

磁気シールド側壁本体 2は、支持体 2 1 として厚さ 5 mmの炭素繊維強化樹脂複合材（C F R P) を使用し、幅 5 0. 8 mm、厚み 0. 0 2 mmのメットグラス 2 7 0 5Mを、支持体 2 1における湾曲部材 2 1 a の内周面及び外周面、更には、接合部材 2 1 bの内面及び外面に、支持体 2 1の全表面を覆うようにして連続的に卷き付けた。

具体例

作製した磁気シールド側壁本体 2の具体的寸法は、次の通りであった。図 4を参照して、

湾曲磁気シ、ールド外側壁 3の内径（D) 6 0 c m 湾曲磁気シ'一ルド外側壁 3の軸線方向長さ（L) 1 8 0 c m 接合磁気シ、 —ルド側壁 4の幅（H I ) 2 0 C m 接合磁気シ、 —ルド側壁 4、 4の離間間隔（W) 3 0 C m 仕切磁気シ、 —ルド部材 5の幅（H 2 ) 2 0 C m 仕切磁気シ、 —ルド部材 5の設置間隔（ w 1 ) 1 0 C m 仕切磁気シ、 —ルド部材 5の開口 8の幅（w 2) 2 8 C m 仕切磁気シ、 —ルド部材 5の開口 8の幅（w 3) 2 8 C m

(磁気シールド）

次に、本発明の特徴をなす分離型磁気シールド装置 1における磁気シ一ルドについて説明する。本発明は、先に図 1 1 ( c ) を参照して説明したシールド作用の原理を利用するものである。

本発明によると、図 7 (a ) に示すように、上記構成の分離型磁気シ一ルド装置 1において、第 1及び第 2磁気シールド側壁本体 2 A、 2 B の湾曲磁気シールド外側壁 3、 3の外周面（必要に応じて内周面）に導体 1 0 ( 1 0 a、 1 0 b、 1 0 c、 1 0 d) が配置される。また、本実施例によると、導体 1 0 a、 1 0 b及び導体 1 0 c、 1 0 dは、接続されてコイル状とされ、電源 5 0 ( 5 0 A、 5 O B) により所定の電流 i が供給される。

本実施例では、導体 1 0 a、 1 0 b及び導体 1 0 c、 1 0 dは、電源 5 0 (5 0 A、 5 0 B) より同じ大きさの電流 iが流されるが、必要に応じて変えることも可能である。つまり、導体 1 0 a、 1 0 b、 1 0 c、 1 0 dをそれぞれ異なる電源に接続し、通電電流を最適値に調整することができる。

なお、本実施例では、 4本の導体 1 0 a、 1 0 b、 1 0 c、 1 0 dが所定の間隔にて、上下、左右対称位置に配置され、導体 1 0 a、 1 0 c は図面上、手前側から奥側へと、導体 1 0 b、 1 0 dは図面上、奥側から手前側へと、電流が流される。

また、本実施例では、導体 a、 b、及ぴ、導体 c、 dは、それぞれ、 2 0 t u r nのコィルにて構成され、各コイルには、全体で 1 0〜 20 Aの電流を流し、良好な結果を得ることができた。

つまり、本実施例によると、図 8をも参照すると、第 1磁気シールド側壁本体 2 Aの湾曲磁気シールド外側壁 3には、円筒状空間 Sの長手軸線 Y— Yを通る水平面 H pに対して上下対称位置に、長手軸線方向に沿つて延在する第 1及ぴ第 2導体 1 0 a、 1 0 bを設ける。同様に、第 2 磁気シールド側壁本体 2 Bの湾曲磁気シールド外側壁 3にも、円筒状空間 Sの長手軸線 Y— Yを通る水平面 H pに対して上下対称位置に、長手軸線方向に沿って延在する第 1及び第 2導体 1 0 c、 1 0 dを設ける。そして、導体 1 0 a、 1 0 cに同じ方向に電流を流し、導体 1 0 b、 1 0 dに同じ方向に電流を流す。このとき、導体 1 0 a、 1 0 cに流れる電流と、導体 1 0 b、 1 0 dに流れる電流は方向が異なる。

これによつて、第 1磁気シールド側壁本体 2 Aから第 2磁気シールド側壁本体 2 Bへと水平方向に形成される磁束（H) を、第 1及び第 2導体 1 0 a、 1 0 b , 及ぴ、導体 1 0 c、 1 0 dの回りに発生する磁界により、上下方向へと偏向し、円筒状空間 Sへの磁束の流れ込みを阻止する。

(電流の決定方法）

ここで、図 7 (b ) を参照して、電流の決定方法の一例を説明する。本実施例にて、 X軸は、水平方向に延在するシールド側壁に垂直方向であり、 Y軸は、円筒軸方向（即ち、図 1 (b) における円筒状空間 S の長手軸線 Y— 向）であり、 Ζ軸は、鉛直方向であるとする。

磁界センサ 3 0 0としては、フラックスゲート直交磁界センサなどとすることができ、本実施例では、 X、 Υ、 Ζ軸の直交 3軸に組合わさつた磁界センサ、即ち、 3軸磁界センサを用いた。

また、本実施例では、 4個の磁界センサ 3 0 0 ( 3 0 0 Α、 3 00 Β、 3 0 0 C、 3 0 0 D) を、分離型磁気シールド装置 1の接合部磁気シールド側壁 4 a、 4 aにて形成される上方空隙部に、本実施例では、長手方向両端部近傍に、 2箇所、そして、接合部磁気シールド側壁 4 b、 4 bにて形成される下方空隙部にも同様に 2箇所に設置する。磁界センサ 3 0 0は、場合によっては、上方及び下方の適当な 2箇所とすることも可能である。

各磁界センサ 3 0 0にて測定された各成分の和を取って平均する。例えば、各磁界センサ 3 0 0の X軸方向の値、 x l、 x 2、 x 3、 x 4の平均値から側面導体（コイル） 1 0 a、 1 0 b、 1 0 c、 1 0 dの電流を決定することができる。各磁界センサ 3 0 0の測定値に基づき、例えば P I D制御系などを用いて各導体の電流を制御する技術は、当業者には周知であるので、これ以上の説明は省略する。

(磁気シールド効果）

図 8は、導体 1 0 a、 1 0 b、 1 0 c、 1 0 dに通電した場合の、本発明による磁気シールド効果を示す磁束線図である。

導体 1 0 a、 1 0 b、 1 0 c、 1 0 dの位置は、適宜、それぞれ分離型磁気シールド装置 1の構成により、最適の位置が実験等により決定される。通常、図 8に示すように、分離型磁気シールド装置 1の長手方向軸線中心 O tを中心として、水平面 H pに対して 3 0° 〜 6 0° 、通常 45° の位置が好ましい。ただ、これに限定されるものではない。

上記構成とすることにより、図 8にて理解されるように、図 8にて左から右へやってくる磁束（H) は、導体 1 0 a、 1 0 b、及び、導体 1 0 c、 1 0 dにより発生する磁界により上下方向へと偏向され、湾曲磁気シールド外側壁 3を通り抜けることはない。本発明の構成によって、シールド効果が達成されている。

一方、先に説明したように、導体 1 0 a、 1 0 b、 1 0 c、 1 0 dを設置しない構成では、図 9に示すように、磁束 Hは、左から右へ通過し、シールド効果が得られない。

本実施例に従った構成の分離型磁気シールド装置 1によれば、比透磁率 1 0 0 0 0 (図 9の構成においても同じ）、磁性体 2 2の厚さ 2 mm, 中心部の直径（D) 6 0 c m、上下の接合部磁気シールド側壁 4 (4 a、 4 b) の幅（H I ) 2 0 c m (この実施例では、仕切磁気シールド部材 5は設けていない）、接合部磁気シールド側壁 4 (4 a 4 b) の離隔距離 3 0 c mでシールド比 1 0 0 0以上が達成できた。更に、磁気シエイキングを行う構成によれば比透磁率は 5 0 0， 0 0 0に達するので、これらの数値は極めて現実的である。

図 8に示す本実施例にて、外部遠方磁場（H ) は 1 Gで、接合部磁気シールド側壁 4 ( 4 a、 4 b ) の空隙部 Gは 0 . 1 G、円筒状空間 Sにおいては、 l m G以下であった。

また、図 8にて、円筒状空間 Sの軸線方向（即ち、円筒軸方向（紙面垂直））の磁束、及び、上下方向からの磁束、に対しては、上記非特許文献 2に記載する技術を応用することにより、つまり、図 3に示すように、フランジ部材 6にコイル 4 1を設置し、また、接合部磁気シールド側壁 4、 4を取り巻いてコイル 4 2を設置して、逆位相磁界により容易に能動補償できる。なお、第 1及び第 2磁気シールド側壁本体 2 A、 2 Bを分離可能とするために、各コイル 4 1、 4 2は、分離自在に接続される。本発明は、強磁性体の磁束を引き込む作用と、電流の磁束を反発する作用とを効果的に組み合わせて、磁性体が連続していなくとも不連続点で磁束を強制的に迂回させ、高い磁気シールド性能を実現することがでぎる。

従って、本発明の高性能な分離型磁気シールド装置は、シールド空間への高いアクセス性を提供し、広い分野で応用が見込める。

つまり、上述したように、例えば、産業界では電子ビーム露光装置、大型では電子顕微鏡の環境磁界対策、計測分野では人の脳磁界、心臓磁界計測、更には、動物生体磁気計測、更には、磁気ビーズを標識として用いるナノバイオ領域での計測などに利用することができる。

その他の実施例

上記実施例 1 では、分離型磁気シールド装置 1は、その全体構造の長手方向が水平となるように配置されており、磁気シールド側壁本体 2は、長手方向に延在した第 1磁気シールド側壁本体 2 Aと第 2磁気シールド側壁本体 2 Bを有する 2分割体にて構成されるものとして説明した。しかしながら、本発明の分離型磁気シールド装置 1は、例えば、装置が大型化した場合、或いは、側部に開口部が形成されることが望まれる場合などには、例えば、図 1 0 ( a )、（b )、 ( c ) に示すように、 4個、 6個又は 8個、更には、それ以上の個数の磁気シールド側壁本体 2にて構成することも可能である。

つまり、本発明の分離型磁気シールド装置 1は、長手方向に延在する磁気シールド側壁本体を複数有し、複数の磁気シールド側壁本体は、互いに組み合わされて内部に水平方向に延びる長手軸線の回りに略円筒状の空間を形成し、少なくともいずれか一つのの磁気シールド側壁本体は、残りの磁気シールド側壁本体に対して移動して離間可能に構成することができる。

図 1 0 ( a ) に示す分離型磁気シールド装置 1においては、 4個の磁気シールド側壁本体 2 ( 2 A 2 B、 2 C、 2 D) を有し、 4個の磁気シールド側壁本体 2は、互いに組み合わされて内部に水平方向に延びる長手軸線の回りに略円筒状の空間 Sを形成している。

また、図 1 0 ( b ) に示す分離型磁気シールド装置 1においては、 6 個の磁気シールド側壁本体 2 ( 2 A、 2 B、 2 C、 2 D、 2 E、 2 F) を有し、 6個の磁気シールド側壁本体 2は、互いに組み合わされて内部に水平方向に延びる長手軸線の回りに略円筒状の空間 Sを形成している。更に、図 1 0 ( c ) に示す分離型磁気シールド装置 1においては、 8 個の磁気シールド側壁本体 2 ( 2 A、 2 B、 2 C、 2 D、 2 E、 2 F、 2 G、 2 H) を有し、 8個の磁気シールド側壁本体 2は、互いに組み合わされて内部に水平方向に延びる長手軸線の回りに略円筒状の空間 Sを形成している。

これらの実施例においても、各磁気シールド側壁本体 2は、実施例 1 で説明した磁気シールド側壁本体 2と同様の構成とされ、それぞれ、互いに組み合わされて内部に円筒状空間 Sを形成する磁性体を備えた磁気シールド外側壁 3と、磁気シールド外側壁 3の長手方向両端縁部から円筒状空間 Sに対して半径方向外方へと突出した磁性体を備えた接合部磁気シールド側壁 4 (4 a、 4 b) と、を備えている。

更に、本実施例においても、実施例 1 と同様に、磁気シールド側壁本体 2の磁気シールド外側壁 3には、図 1 0 ( a ) の実施例では、円筒状空間 Sの長手軸線方向に沿って延在する導体 1 0 ( 1 0 a〜 1 0 d) を設け、図 1 0 (b) の実施例では、円筒状空間 Sの長手軸線方向に沿つて延在する導体 1 0 ( 1 0 a〜 1 0 f ) を設け、図 1 0 ( c ) の実施例では、円筒状空間 Sの長手軸線方向に沿って延在する導体 1 0 ( 1 0 a 〜 1 0 h) を設け、これらの導体には所定の方向に電流を流し、一側の磁気シールド側壁本体から他側の磁気シールド側壁本体へと水平方向に到来する外乱磁束を、導体の回りに発生する磁界により、上方向又は下方向へと偏向し、円筒状空間 Sへの磁束の流れ込みを阻止する。

一例を挙げれば、図 1 0 ( a ) の実施例では、導体 1 0 a、 1 0 cには、図面上手前側から奥側へと、また、導体 1 0 b、 1 0 dには、奥側から手前側へと電流を流す。図 1 0 (b) の実施例では、導体 1 0 a、 1 0 dには、図面上手前側から奥側へと、また、導体 1 0 c、 1 0 f には、奥側から手前側へと電流を流す。また、導体 1 0 b、 1 0 eには、外乱磁界の方向により、適宜決定することができる。外乱磁界が完全に水平である場合には、電流の流れを停止することも可能である。

図 1 0 ( c ) の実施例では、導体 1 0 a、 1 0 b、 1 0 e、 1 0 f には、図面上手前側から奥側へと、また、導体 1 0 c、 1 0 d、 1 0 g、 1 O hには、奥側から手前側へと電流を流す。

上記電流の方向は、一例であり、装置の設置環境により適宜変更することができる。

また、上記各実施例にて、隣り合った磁気シールド側壁本体 2の対向した両接合部磁気シールド側壁 4 ( 4 a、 4 a ; 4 b、 4 b ) の間には、実^例 1の場合と同様に、複数の、磁性体を備えた仕切磁気シールド部材 5を配置する。

磁気シールド外側壁 3、接合部磁気シールド側壁 4、及び、仕切磁気シールド部材 5は、実施例 1 の場合と同様に、支持体に磁性体を設けることにより形成される。

又、本実施例においても、実施例 1と同様に、各磁気シールド側壁本体 2の構造を図 6 ( a ) に示す構造とすることもでき、又、各磁気シールド側壁本体 2に対しては、図 6 ( b ) に示すように、長手方向にトロィダル状にコイルを卷回し、磁気シエイキング電流を流すことも可能である。

図示してはいないが、本実施例においても、実施例 1 と同様に、磁気シールド側壁本体 2の長手方向両端開口部に、図 5に示す磁気シールドフランジ部材 6を設け、更に、このフランジ部材にコイルを設置して電流を流し、磁気シールド側壁本体の長手方向両端開口部から円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することができる。

更には、実施例 1 の場合と同様に、図 3に示すように、隣り合った磁気シールド側壁本体 2の対向配置された接合部磁気シールド側壁 4を囲包して、軸線方向に沿ってコイルを巻回して電流を流し、隣り合った磁気シールド側壁本体 2の対向配置された接合部磁気シールド側壁 4 ( 4 a、 4 a ； 4 b、 4 b ) 間に形成された空隙部から円筒状空間 Sへの磁束の流れ込みを阻止することができる。

円筒状空間 Sを囲包する各磁気シールド側壁本体 2は、同じ寸法、形状とし、実施例 1にて説明したように、分離型磁気シールド装置 1 の円筒形状をした空間部 sの略中央部に磁束線の密度の最も薄く、かつ、磁気勾配が実質的にゼロとなる空間を提供することができる。

上記実施例 1及ぴその他の実施例では、磁気シールド側壁本体 2、即ち、磁気シールド外側壁 3は、湾曲した形状として説明したが、場合によっては、直線状（即ち、平板状）とすることもできる。

Claims

請求の範囲

1 . 長手方向に延在する磁気シールド側壁本体を複数有し、前記複数の磁気シールド側壁本体は、互いに組み合わされて内部に水平方向に延びる長手軸線の回りに略円筒状の空間を形成し、少なくともいずれか一つの前記磁気シールド側壁本体は、残りの前記磁気シールド側壁本体に対して移動して離間可能とされる分離型磁気シールド装置において、前記複数の磁気シールド側壁本体は、それぞれ、互いに組み合わされて内部に前記円筒状空間を形成する磁性体を備えた磁気シールド外側壁と、前記磁気シールド外側壁の長手方向両端縁部から前記円筒状空間に対して半径方向外方へと突出した磁性体を備えた接合部磁気シールド側壁と、を備え、

前記磁気シールド側壁本体の前記磁気シールド外側壁には、前記円筒状空間の前記長手軸線方向に沿って延在する導体を設け、電流を流し、

—側の前記磁気シールド側壁本体から他側の前記磁気シールド側壁本体へと水平方向に到来する外乱磁束を、前記導体の回りに発生する磁界により、上方向又は下方向へと偏向し、前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする分離型磁気シールド装置。

2 . 隣り合った前記磁気シールド側壁本体の対向した両前記接合部磁気シールド側壁の間に複数の、磁性体を備えた仕切磁気シールド部材を配置することを特徴とする請求項 1の分離型磁気シールド装置。

3 . 前記磁気シールド外側壁及び前記接合部磁気シールド側壁は、支持体に磁性体を設けることにより形成されることを特徴とする請求項 1 の分離型磁気シールド装置。

4 . 前記仕切磁気シールド部材は、支持体に磁性体を設けることにより形成されることを特徴とする請求項 2の分離型磁気シールド装置。

5 . 各前記磁気シールド側壁本体に対して、前記長手方向にトロイダル状にコイルを卷回し、磁気シヱイキング電流を流すことを特徴とする請求項 1〜 4のいずれかの項に記載の分離型磁気シールド装置。

6 . 各前記磁気シールド側壁本体の長手方向両端開口部に、磁気シールドフランジ部材を設け、前記磁気シールド側壁本体の長手方向両端開口部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする請求項 1〜 5のいずれかの項に記載の分離型磁気シールド装置。

7 . 前記磁気シールドフランジ部材は、支持体に磁性体を設けることにより形成されることを特徵とする請求項 6 の分離型磁気シールド装置。

8 . 前記磁気シールドフランジ部材にコイルを設置して電流を流し、前記磁気シールド側壁本体の長手方向両端開口部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする請求項 6又は 7の分離型磁気シールド装置。

9 . 隣り合った前記磁気シールド側壁本体の対向配置された前記接合部磁気シールド側壁を囲包して、軸線方向に沿ってコイルを卷回して電流を流し、隣り合った前記磁気シールド側壁本体の対向配置された前記接合部磁気シールド側壁間に形成された空隙部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする請求項 1〜 8のいずれかの項に記載の分離型磁気シールド装置。

1 0 . 前記円筒状空間は、 2個、 4個、 6個、又は、 8個の前記磁気シールド側壁本体にて囲包されることによって形成されることを特徴とする請求項 1〜 9のいずれかの項に記載の分離型磁気シールド装置。

1 1 . 前記円筒状空間を囲包する各前記磁気シールド側壁本体は、同じ寸法、形状とされることを特徴とする請求項 1〜 1 0のいずれかの項に記載の分離型磁気シールド装置。

1 2 . 第 1磁気シールド側壁本体と第 2磁気シールド側壁本体を有し、前記第 1磁気シールド側壁本体と第 2磁気シールド側壁本体は、対向配置された状態にて内部に水平方向に延びる長手軸線の回りに略円筒状の空間を形成し、少なくともいずれかの前記磁気シールド側壁本体は、他方の磁気シールド側壁本体に対して移動して離間可能とされる分離型磁気シールド装置において、

前記第 1磁気シールド側壁本体から前記第 2磁気シールド側壁本体へと水平方向に到来する外乱磁束を、前記第 1及び第 2導体の回りに発生する磁界により、上下方向へと偏向し、前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする分離型磁気シールド装置。

1 3 . 前記第 1磁気シールド側壁本体と第 2磁気シールド側壁本体は、前記円筒状空間の前記長手軸線を通る垂直平面に対して左右対称形状とされることを特徴とする請求項 1 2の分離型磁気シールド装置。

1 4 . 前記第 1及び第 2磁気シールド側壁本体の対向した两前記接合部磁気シールド側壁の間に複数の、磁性体を備えた仕切磁気シールド部材を配置することを特徴とする請求項 1 2又は 1 3の分離型磁気シールド装置。

1 5 . 前記湾曲磁気シールド外側壁及び前記接合部磁気シールド側壁は、支持体に磁性体を設けることにより形成されることを特徴とする請求項 1 2〜 1 4のいずれかの項に記載の分離型磁気シールド装置。

1 6 . 前記仕切磁気シールド部材は、支持体に磁性体を設けることにより形成されることを特徴とする請求項 1 4の分離型磁気シールド装置。

1 7 . 前記第 1及び第 2磁気シールド側壁本体に対して、前記軸線方向にトロイダル状にコイルを巻回し、磁気シエイキング電流を流すことを特徴とする請求項 1 2〜 1 6のいずれかの項に記載の分離型磁気シールド装置。

1 8 . 前記第 1及び第 2磁気シールド側壁本体の軸線方向両端開口部に、磁気シールドフランジ部材を設け、前記,第 1及び第 2磁気シールド側壁本体の軸線方向両端開口部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする請求項 1 2〜 1 7のいずれかの項に記載の分離型磁気シールド装置。

1 9 . 前記磁気シールドフランジ部材は、支持体に磁性体を設けることにより形成されることを特徴とする請求項 1 8の分離型磁気シールド装置。

2 0 . 前記磁気シールドフランジ部材にコイルを設置して電流を流し、前記第 1及び第 2磁気シールド側壁本体の軸線方向両端開口部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする請求項 1 8 又は 1 9の分離型磁気シールド装置。

2 1 . 前記第 1及ぴ第 2磁気シールド側壁本体の対向配置された前記接合部磁気シールド側壁を囲包して、軸線方向に沿ってコイルを巻回して電流を流し、前記第 1及び第 2磁気シールド側壁本体の対向配置された前記接合部磁気シールド側壁間に形成された空隙部から前記円筒状空間への磁束の流れ込みを阻止することを特徴とする請求項 1 2〜 2 0のいずれかの項に記載の分離型磁気シールド装置。