JPS6019616A - 搬送装置 - Google Patents

搬送装置

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JPS6019616A
JPS6019616A JP12917383A JP12917383A JPS6019616A JP S6019616 A JPS6019616 A JP S6019616A JP 12917383 A JP12917383 A JP 12917383A JP 12917383 A JP12917383 A JP 12917383A JP S6019616 A JPS6019616 A JP S6019616A
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JP
Japan
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linear motor
magnetic
shielding
pallet
conveyed
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JP12917383A
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English (en)
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JPH0422812B2 (ja
Inventor
Yoshikazu Tanabe
義和 田辺
Kazuhiro Takeo
竹尾 和洋
Ichiro Fukuwatari
一郎 福渡
Seiju Watanabe
渡辺 清樹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Hitachi Ltd
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/34Devices for discharging articles or materials from conveyor 
    • B65G47/46Devices for discharging articles or materials from conveyor  and distributing, e.g. automatically, to desired points
    • B65G47/48Devices for discharging articles or materials from conveyor  and distributing, e.g. automatically, to desired points according to bodily destination marks on either articles or load-carriers
    • B65G47/49Devices for discharging articles or materials from conveyor  and distributing, e.g. automatically, to desired points according to bodily destination marks on either articles or load-carriers without bodily contact between article or load carrier and automatic control device, e.g. the destination marks being electrically or electronically detected

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  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はクリーンルーム内等における電子精密回路部品
の製造工程間搬送や、その他すニアモー々を用いた搬送
装置に係り、特に被搬送物に磁気記録媒体(磁気カーV
等)をもったもの、又は被搬送物自体が磁気記録媒体と
したもの等の搬送装置に関するものである。
従来、この種のりニアモー4!を用いた撤退装置に於て
は例えばすニアモータの磁束密度の低くなる範囲(磁気
の影響を受けない範囲)まで距離を明ける塔載法、又は
磁気記録媒体を全体カバーでシールvしたものにすると
かが必要となるが、前者は搬送の安定性に、後者は経済
性及び搬送効率などに欠点が考えられる。
本発明はこれに鑑みてリニアモー々[動1rJ:る磁気
記録媒体の搬送1どおいて磁気メモリを消去することな
く行えることを目的としたものである。
以下本発明を図示の実施例に基づいて説明する。
閏に於て1は被搬送物8を慢送パレツ賢6上にV&置し
、目的地まで搬送するよう2ごなした直線状屈曲線状等
の搬送路で、との搬送路Wは搬送テーブル1と、この下
部に気密状にして一体6C設ける慢送ダ々ト2とより戊
り、上記晴送テーブル1は搬送路の中央線を中心に左右
対称に水平なる断面を有する非磁性体1例えばアルミニ
ウム、ステンレス等にて構成されると共にこの頂面1a
と側面には夫々ノズル1oが穿孔され、搬送ダクト2内
に供給される高圧の空気を該ノズルより噴出せしめて搬
送路上をリニアモータ感ごて移送する搬送パレツ)を浮
上せしめるようになす。
また搬送テーブル1の中央部には搬送路の起点終点その
他の箇所に搬送方向に適当な間隔でりエアモー々3が設
置される。
搬送ダクシ2にそって高圧空気(圧縮空気)を流通せし
める高圧ダクト5を配設し、該高圧ダクト5と搬送ダク
ト2間に圧力切換弁9を設けて両ダクト間を接続すると
共に高圧ダクト5にハコンプレッサー7その他の圧力源
管接続する。
また搬送テーブル1には搬送パレット6が載置され、該
パレットの少くとも底部はりニアモータにより推力を得
られるよう鋼板、銅板、アル遡ニウム板等より成り、且
搬送テーブルに跨がるように、該テーブルに対応した断
面形状を有するものとすると共にこの搬送プレートはり
了D シ”lリプレート6凰の1邪に必要によって支柱
6bを突設し、この支柱上に受台60を設けて成る。ま
たり了々ジョンプレートには推進羽根4が突設されてい
る。
前記した様に磁気シールV兼被晧送物受台60は、搬送
パレットのほぼ中央に支柱6bにより、り了〃ジョンプ
レート6鳳から適当な距離をもって配設され、磁気記録
媒体を6った被搬送物8をリニアモータから常に一定の
間隔を保つと同時−ご鉄板により磁気をシールVするも
ので−ある。
本発明は上述の如き構成を有するもので、次に動作R7
ついて説明する。
tfコンプレッサー7で作られた圧縮空気が高圧ダクト
5を介して搬送路へ送られ、前記ノズル1Gから搬送テ
ーブルの上方へ噴出すると、この噴出した高圧空気は搬
送パレット6の底部りアクションプレー)6aft上方
へ押圧するのテ、搬送パレット6は浮上する。
前記、リニアモー413f駆動するための電流全供給す
ると、書道パレツ)6の底部リアクションプレート61
はリニアモータの2次側としてリニアモータの1次側磁
束により、推進力を得る。このため搬送パレットはlI
21]に矢符で示す方向1ど緩起動される。この時、推
進力を得ルタめの1に了モータの磁束は鉄板製の受台6
aにより遮断することが出来るものである。
而して本発明による時は搬送パレットを搬送テーブルに
接触させることなく、しかも移送時搬送物の振動による
発塵がないことから、微塵を嫌う、精密部品の組立や、
医薬製品に適したものであり、部品管理等に適した磁気
カーVを取付けた被搬送物や、それに類した磁気記録媒
体の櫛送に効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明搬送装置の一実施例を示す断面図、第2
図は前記一実施例を示す側面図。 fa3図は前記一実施例の要部を示す平面図、第4図は
同断面図である。 180.搬送テーブル 200.搬送ダクト 311.リニアモー々 481.推進羽根 511.高圧ダクト ロ、、、@送パレット 700.コンプレッサー 814.被盪送物 901.圧力切換弁 特許出願人 株式会社 日立製作所 特許HSa人 日立機雷工業株式会社 外 1名

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 搬送物を圧縮空気で浮上させながらリニアモータで駆動
    し、搬送物を目的地まで搬送するリニアモータ1ごよる
    搬送装置にセいて、磁気記録媒体の被搬送物を塔載する
    慢送パレツ目ど。 リニアモータより発生する交番磁界を遮へいする磁気シ
    ールvf設けたことを特徴とする搬送装置。
JP12917383A 1983-07-14 1983-07-14 搬送装置 Granted JPS6019616A (ja)

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JP12917383A JPS6019616A (ja) 1983-07-14 1983-07-14 搬送装置

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JPS6019616A true JPS6019616A (ja) 1985-01-31
JPH0422812B2 JPH0422812B2 (ja) 1992-04-20

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS622983A (ja) * 1985-06-28 1987-01-08 三井造船株式会社 流体式移動装置
JPS631816U (ja) * 1986-06-23 1988-01-08
JPH01308318A (ja) * 1988-06-06 1989-12-13 Toshiba Corp 部屋間搬送装置
JPH02192534A (ja) * 1988-07-26 1990-07-30 Takenaka Komuten Co Ltd 磁気シールドクリーンルーム

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55132360A (en) * 1979-03-29 1980-10-15 Mitsubishi Electric Corp Magnetic floating car device
JPS5682735A (en) * 1979-12-07 1981-07-06 Yamaha Motor Co Ltd Linear motor conveyor
JPS5748520A (en) * 1980-09-03 1982-03-19 Shinko Electric Co Ltd Stop method for carrier in conveyor

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55132360A (en) * 1979-03-29 1980-10-15 Mitsubishi Electric Corp Magnetic floating car device
JPS5682735A (en) * 1979-12-07 1981-07-06 Yamaha Motor Co Ltd Linear motor conveyor
JPS5748520A (en) * 1980-09-03 1982-03-19 Shinko Electric Co Ltd Stop method for carrier in conveyor

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS622983A (ja) * 1985-06-28 1987-01-08 三井造船株式会社 流体式移動装置
JPS631816U (ja) * 1986-06-23 1988-01-08
JPH048103Y2 (ja) * 1986-06-23 1992-03-02
JPH01308318A (ja) * 1988-06-06 1989-12-13 Toshiba Corp 部屋間搬送装置
JPH02192534A (ja) * 1988-07-26 1990-07-30 Takenaka Komuten Co Ltd 磁気シールドクリーンルーム

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JPH0422812B2 (ja) 1992-04-20

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