JPH027848B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH027848B2 JPH027848B2 JP57234175A JP23417582A JPH027848B2 JP H027848 B2 JPH027848 B2 JP H027848B2 JP 57234175 A JP57234175 A JP 57234175A JP 23417582 A JP23417582 A JP 23417582A JP H027848 B2 JPH027848 B2 JP H027848B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conveyance
- exhaust
- pressure duct
- transport
- duct
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 10
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000001141 propulsive effect Effects 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G54/00—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
- B65G54/02—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
- B65G51/02—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
- B65G51/03—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は被搬送物を載置する搬送台を圧縮空気
で浮上させながら移送する搬送装置に関する。
で浮上させながら移送する搬送装置に関する。
従来の技術
この種の搬送装置の従来例としては、リニアモ
ータの１次側に平面状の搬送テーブルを定置し、
それに対応した２次側の搬送台の底面を平面構成
とした板状体の搬送装置が提案されている。
ータの１次側に平面状の搬送テーブルを定置し、
それに対応した２次側の搬送台の底面を平面構成
とした板状体の搬送装置が提案されている。
これは、上記搬送テーブルを非磁性体で構成す
るとともにこの搬送テーブルに複数個のノズルを
設け、搬送テーブルに載置した搬送台の底面に前
記ノズルを介して圧縮空気を吹きつけることによ
り、搬送台を搬送テーブルから浮上させながら搬
送せしめるものであつた。
るとともにこの搬送テーブルに複数個のノズルを
設け、搬送テーブルに載置した搬送台の底面に前
記ノズルを介して圧縮空気を吹きつけることによ
り、搬送台を搬送テーブルから浮上させながら搬
送せしめるものであつた。
考案が解決しようとする問題点
しかしながら、前記圧縮空気中には、送風ダク
ト等の塵埃を含んでいることが多い。そして、前
記被搬送物が精密電子回路部品である場合には、
前記塵埃がこの精密電子回路部品に付着し、電気
的な故障や各種トラブルを発生させる原因になる
などの問題点があつた。
ト等の塵埃を含んでいることが多い。そして、前
記被搬送物が精密電子回路部品である場合には、
前記塵埃がこの精密電子回路部品に付着し、電気
的な故障や各種トラブルを発生させる原因になる
などの問題点があつた。
また搬送台が移送される周辺の空間に塵埃を含
んでいると、この塵埃が前記被搬送物に付着し、
前記と同様な現象が発生する問題点があつた。さ
らに前記圧縮空気に含まれた塵埃が搬送装置の周
辺の空間に悪影響を与えるという問題もあつた。
んでいると、この塵埃が前記被搬送物に付着し、
前記と同様な現象が発生する問題点があつた。さ
らに前記圧縮空気に含まれた塵埃が搬送装置の周
辺の空間に悪影響を与えるという問題もあつた。
この発明は上記事情に鑑がみてなされたもの
で、搬送台を浮上させるための圧縮空気に含まれ
る塵埃により搬送装置の周辺の空間に悪影響を与
えることなく、また搬送装置は外部からの悪影響
を受けることなく、さらに前記圧縮空気中に含ま
れる塵埃を搬送台に搭載された被搬送物に付着さ
せにくした搬送装置を提供することを目的として
いる。
で、搬送台を浮上させるための圧縮空気に含まれ
る塵埃により搬送装置の周辺の空間に悪影響を与
えることなく、また搬送装置は外部からの悪影響
を受けることなく、さらに前記圧縮空気中に含ま
れる塵埃を搬送台に搭載された被搬送物に付着さ
せにくした搬送装置を提供することを目的として
いる。
問題点を解決するための手段
本発明は圧搾空気により被搬送物を載置した搬
送台を浮上させるとともにリニアモータにより前
記搬送台を移送せしめる搬送装置であつて、前記
搬送装置はリニアモータと、搬送テーブルにより
２分された高圧ダクトと低圧ダクトと搬送テーブ
ルの左右両側に設けられた排気ダクトと低圧ダク
トの上方を覆う遮蔽フードとからなる密閉された
搬送管路と、前記高圧ダクトに圧縮空気を送るコ
ンプレツサと、排気ダクトから空気を排気する排
気フアンとを具備しており、且つ前記搬送テーブ
ルは搬送路の中央線を中心に左右対称に正の勾配
を有する勾配面とその両端の水平面よりなる断面
を有する非磁性体板で構成されるとともに、前記
勾配面には複数個のノズルが設けられており、前
記排気ダクトは上面および側面に複数個の排気孔
が搬送路に沿つて設けられており、一方リニアモ
ータは高圧ダクト内に設けられ搬送方向に配設さ
れた１次側鉄心とこの鉄心に巻装されたコイルよ
りなる１次側と磁性体からなる搬送台の底部から
構成されており、且つ前記搬送台の下面は搬送テ
ーブルの形状に対応した形状に形成されている。
送台を浮上させるとともにリニアモータにより前
記搬送台を移送せしめる搬送装置であつて、前記
搬送装置はリニアモータと、搬送テーブルにより
２分された高圧ダクトと低圧ダクトと搬送テーブ
ルの左右両側に設けられた排気ダクトと低圧ダク
トの上方を覆う遮蔽フードとからなる密閉された
搬送管路と、前記高圧ダクトに圧縮空気を送るコ
ンプレツサと、排気ダクトから空気を排気する排
気フアンとを具備しており、且つ前記搬送テーブ
ルは搬送路の中央線を中心に左右対称に正の勾配
を有する勾配面とその両端の水平面よりなる断面
を有する非磁性体板で構成されるとともに、前記
勾配面には複数個のノズルが設けられており、前
記排気ダクトは上面および側面に複数個の排気孔
が搬送路に沿つて設けられており、一方リニアモ
ータは高圧ダクト内に設けられ搬送方向に配設さ
れた１次側鉄心とこの鉄心に巻装されたコイルよ
りなる１次側と磁性体からなる搬送台の底部から
構成されており、且つ前記搬送台の下面は搬送テ
ーブルの形状に対応した形状に形成されている。
作 用
搬送台は搬送テーブルのノズルから噴出する圧
縮空気により浮上し、リニアモータの推進力によ
つて搬送され、搬送テーブルの上方の空気は排気
孔から排気されるので、搬送管路内は外部空間か
ら遮断され、空気とともに搬送管路内の塵埃は外
部へ排出されることになる。
縮空気により浮上し、リニアモータの推進力によ
つて搬送され、搬送テーブルの上方の空気は排気
孔から排気されるので、搬送管路内は外部空間か
ら遮断され、空気とともに搬送管路内の塵埃は外
部へ排出されることになる。
実施例
第１図は本発明に係る搬送装置の一実施例を示
す断面図、第２図は前記一実施例を示す側面図、
第３図および第４図は前記一実施例の要部を示す
平面図および断面図である。
す断面図、第２図は前記一実施例を示す側面図、
第３図および第４図は前記一実施例の要部を示す
平面図および断面図である。
図において、１は搬送管路であり、この搬送管
路１の内部中央には搬送テーブル２が配設されて
おり、この搬送テーブル２によつて搬送管路１内
を上下に２分し下の部分を高圧ダクト５に、上の
部分を低圧ダクト１２にそれぞれ形成させてい
る。また搬送管路１内の低圧ダクトの上方を覆う
ように形成され、被搬送物を外部から遮断するた
めの遮蔽フード１１が、さらに搬送テーブル２の
左右両側には排気ダクト３がそれぞれ搬送管路１
の全長にわたつて設けられている。搬送テーブル
２は搬送路の中央線を中心に左右対称に正の勾配
を有する２面２ａ，２ｂとその両端の水平面２ｃ
よりなる断面を有する非磁性体、例えばアルミニ
ウム又はベークライト板等で構成され、面２ａ，
２ｂにはノズル２ｄが圧縮空気を搬送方向に対し
て垂直な方向に噴出できるように、左右対称的に
設けられている。また、この搬送テーブル２はノ
ズル２ｄ以外は気密状態が保たれている。そし
て、搬送テーブル２の中央部の下方には、搬送方
向に適当な間隔でリニアモータの１次側を構成す
る１次側鉄心４ａおよびこの鉄心４ａに巻回した
コイル４ｂが配設されている。１次側鉄心４ａの
全長にわたつて設けられている。
路１の内部中央には搬送テーブル２が配設されて
おり、この搬送テーブル２によつて搬送管路１内
を上下に２分し下の部分を高圧ダクト５に、上の
部分を低圧ダクト１２にそれぞれ形成させてい
る。また搬送管路１内の低圧ダクトの上方を覆う
ように形成され、被搬送物を外部から遮断するた
めの遮蔽フード１１が、さらに搬送テーブル２の
左右両側には排気ダクト３がそれぞれ搬送管路１
の全長にわたつて設けられている。搬送テーブル
２は搬送路の中央線を中心に左右対称に正の勾配
を有する２面２ａ，２ｂとその両端の水平面２ｃ
よりなる断面を有する非磁性体、例えばアルミニ
ウム又はベークライト板等で構成され、面２ａ，
２ｂにはノズル２ｄが圧縮空気を搬送方向に対し
て垂直な方向に噴出できるように、左右対称的に
設けられている。また、この搬送テーブル２はノ
ズル２ｄ以外は気密状態が保たれている。そし
て、搬送テーブル２の中央部の下方には、搬送方
向に適当な間隔でリニアモータの１次側を構成す
る１次側鉄心４ａおよびこの鉄心４ａに巻回した
コイル４ｂが配設されている。１次側鉄心４ａの
全長にわたつて設けられている。
しかして、搬送テーブル２の上側には搬送台６
が載置される。この搬送台６の底部６ａは鋼板等
の磁性体よりなり、搬送テーブル２に対応した断
面形状を有している。
が載置される。この搬送台６の底部６ａは鋼板等
の磁性体よりなり、搬送テーブル２に対応した断
面形状を有している。
７はコンプレツサであつて、このコンプレツサ
７で作られた圧縮空気は高圧ダクト５を介して搬
送テーブル２の下方に送られるとともに、前記ノ
ズル２ｄを介して搬送テーブル２の上方に噴出す
る。８は排気フアンであつて、排気ダクト３の上
面および側面に搬送路に沿つて所定間隔隔てて設
けられた複数個の排気孔３ａを介して搬送テーブ
ル２の上方の空気を排出する。９は搬送台に搭載
した被搬送物である。
７で作られた圧縮空気は高圧ダクト５を介して搬
送テーブル２の下方に送られるとともに、前記ノ
ズル２ｄを介して搬送テーブル２の上方に噴出す
る。８は排気フアンであつて、排気ダクト３の上
面および側面に搬送路に沿つて所定間隔隔てて設
けられた複数個の排気孔３ａを介して搬送テーブ
ル２の上方の空気を排出する。９は搬送台に搭載
した被搬送物である。
次ぎに、上述の如く構成された本発明に係る搬
送装置の動作について説明する。
送装置の動作について説明する。
コンプレツサ７で作られた圧縮空気は高圧ダク
ト５を介して搬送テーブル２の下方に送られ、前
記ノズル２ｄから搬送テーブル２の上方へ噴出す
る。そして、この噴出した高圧空気は搬送台６の
底部６ａを上方へ押し上げるので、搬送台６は浮
上する。そして、前記コイル４ｂにリニアモータ
を駆動するための電流を供給すると、搬送台６の
底部６ａはリニアモータの２次側として１次側鉄
心４ａの磁束により推進力を得る。このため、搬
送台６は第２図に矢印で示す方向に搬送される。
ト５を介して搬送テーブル２の下方に送られ、前
記ノズル２ｄから搬送テーブル２の上方へ噴出す
る。そして、この噴出した高圧空気は搬送台６の
底部６ａを上方へ押し上げるので、搬送台６は浮
上する。そして、前記コイル４ｂにリニアモータ
を駆動するための電流を供給すると、搬送台６の
底部６ａはリニアモータの２次側として１次側鉄
心４ａの磁束により推進力を得る。このため、搬
送台６は第２図に矢印で示す方向に搬送される。
搬送テーブル２の上方の空気は搬送管路１内に
配設され、且つ排気孔３ａを具備する排気ダクト
３を介して排気フアンにより噴出したすぐ近くで
排出される。
配設され、且つ排気孔３ａを具備する排気ダクト
３を介して排気フアンにより噴出したすぐ近くで
排出される。
発明の効果
本発明においては、前記実施例で記載した如
く、搬送台を収納する空間を外部空間から遮断す
る搬送管路を設けたので、搬送台を浮上させるた
めに供給した圧縮空気に含まれる塵埃により、搬
送装置の周辺の空間に悪影響を与えることなく、
搬送装置も周辺の空間からの悪影響を受けること
がないという効果も有する。
く、搬送台を収納する空間を外部空間から遮断す
る搬送管路を設けたので、搬送台を浮上させるた
めに供給した圧縮空気に含まれる塵埃により、搬
送装置の周辺の空間に悪影響を与えることなく、
搬送装置も周辺の空間からの悪影響を受けること
がないという効果も有する。
また、搬送台を浮上させるために供給した圧縮
空気は直ちに排気手段により、排出されるので、
圧縮空気に含まれる塵埃は被搬送物に付着し難く
なるという効果がある。
空気は直ちに排気手段により、排出されるので、
圧縮空気に含まれる塵埃は被搬送物に付着し難く
なるという効果がある。
第１図は本発明に係る搬送装置の一実施例を示
す断面図、第２図は前記一実施例を示す側面図、
第３図および第４図は前記一実施例の要部を示す
平面図および断面図である。 １……搬送管路、２……搬送テーブル、２ｄ…
…ノズル、３……排気ダクト、４ａ……１次側鉄
心、４ｂ……コイル、５……高圧ダクト、６……
搬送台、７……コンプレツサ、８……排気フア
ン、９……被搬送物。
す断面図、第２図は前記一実施例を示す側面図、
第３図および第４図は前記一実施例の要部を示す
平面図および断面図である。 １……搬送管路、２……搬送テーブル、２ｄ…
…ノズル、３……排気ダクト、４ａ……１次側鉄
心、４ｂ……コイル、５……高圧ダクト、６……
搬送台、７……コンプレツサ、８……排気フア
ン、９……被搬送物。
Claims (1)
- １ 圧搾空気により被搬送物を載置した搬送台を
浮上させるとともにリニアモータにより前記搬送
台を移送せしめる搬送装置であつて、前記搬送装
置はリニアモータと、搬送テーブルにより２分さ
れた高圧ダクトと低圧ダクトと搬送テーブルの左
右両側に設けられた排気ダクトと低圧ダクトの上
方を覆う遮蔽フードとからなる密閉された搬送管
路と、前記高圧ダクトに圧縮空気を送るコンプレ
ツサと、排気ダクトから空気を排気する排気フア
ンとを具備しており、且つ前記搬送テーブルは搬
送路の中央線を中心に左右対称に正の勾配を有す
る勾配面とその両端の水平面よりなる断面を有す
る非磁性体板で構成されるとともに、前記勾配面
には複数個のノズルが設けられており、前記排気
ダクトは上面および側面に複数個の排気孔が搬送
路に沿つて設けられており、一方リニアモータは
高圧ダクト内に設けられ搬送方向に配設された１
次側鉄心とこの鉄心に巻装されたコイルよりなる
１次側と磁性体からなる搬送台の底部から構成さ
れており、且つ前記搬送台の下面は搬送テーブル
の形状に対応した形状に形成されていることを特
徴とする搬送装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57234175A JPS59124623A (ja) | 1982-12-31 | 1982-12-31 | 搬送装置 |
| DE19833344267 DE3344267A1 (de) | 1982-10-30 | 1983-12-07 | Foerderer, insbesondere mit luftkissen und linearmotor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57234175A JPS59124623A (ja) | 1982-12-31 | 1982-12-31 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59124623A JPS59124623A (ja) | 1984-07-18 |
| JPH027848B2 true JPH027848B2 (ja) | 1990-02-21 |
Family
ID=16966838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57234175A Granted JPS59124623A (ja) | 1982-10-30 | 1982-12-31 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59124623A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018513665A (ja) * | 2015-02-08 | 2018-05-24 | ハイパーループ テクノロジーズ インコーポレーテッドＨｙｐｅｒｌｏｏｐ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ， Ｉｎｃ． | 輸送システム |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61200826U (ja) * | 1985-06-04 | 1986-12-16 | ||
| JPS622983A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-01-08 | 三井造船株式会社 | 流体式移動装置 |
| JPS6198669U (ja) * | 1985-09-18 | 1986-06-24 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5223831U (ja) * | 1975-08-06 | 1977-02-19 | ||
| JPS5325683A (en) * | 1976-06-10 | 1978-03-09 | Swarovski & Co | Glass mirror like film |
| JPS5748520A (en) * | 1980-09-03 | 1982-03-19 | Shinko Electric Co Ltd | Stop method for carrier in conveyor |
-
1982
- 1982-12-31 JP JP57234175A patent/JPS59124623A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5223831U (ja) * | 1975-08-06 | 1977-02-19 | ||
| JPS5325683A (en) * | 1976-06-10 | 1978-03-09 | Swarovski & Co | Glass mirror like film |
| JPS5748520A (en) * | 1980-09-03 | 1982-03-19 | Shinko Electric Co Ltd | Stop method for carrier in conveyor |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018513665A (ja) * | 2015-02-08 | 2018-05-24 | ハイパーループ テクノロジーズ インコーポレーテッドＨｙｐｅｒｌｏｏｐ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ， Ｉｎｃ． | 輸送システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59124623A (ja) | 1984-07-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS59501727A (ja) | 基板処理用装置 | |
| JPH027848B2 (ja) | ||
| CS212383A2 (en) | Zarizeni pro deleni teles ve tvaru rovnobeznostenu z castecne vytvrzeneho provzdusneneho betonu | |
| JPH0319136B2 (ja) | ||
| TW202337299A (zh) | 搬送裝置及搬送方法 | |
| JPH0422812B2 (ja) | ||
| US7393172B1 (en) | Untreated body transfer device and semiconductor manufacturing device with the untreated body transfer device | |
| JPS6326343Y2 (ja) | ||
| JPH07176593A (ja) | 搬送装置 | |
| JPS56108625A (en) | Linear motor conveyer | |
| JPS6118305A (ja) | 搬送装置 | |
| JPS59121226A (ja) | エアベアリング | |
| KR100420875B1 (ko) | 벨트형 부품을 장착 장치에 전달하는 방법 및 장치 | |
| JPS58117421U (ja) | 板状体の搬送装置 | |
| JPS6146756A (ja) | クリーンルームなどに用いる搬送装置 | |
| CN219642805U (zh) | 一种真空平台及电子产品加工设备 | |
| JPH0144610B2 (ja) | ||
| JPH048103Y2 (ja) | ||
| JPS6365566B2 (ja) | ||
| JPS61128705A (ja) | リニアモ−タを用いた懸垂式搬送装置 | |
| JPS61199403A (ja) | リニアモ−タ使用の搬送装置 | |
| JPH0255337B2 (ja) | ||
| JPS606523A (ja) | 無塵搬送装置 | |
| JPS6288658A (ja) | 吊下げ搬送装置 | |
| JPS58196332U (ja) | 板材集積装置 |