JPS6326343Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は被搬送物を浮上しながらリニアモータ
により搬送する搬送装置に係り、特に搬送途中に
おける精密電子回路部品等を収容した被搬送物に
対する塵埃の付着を防止できる空気浮上式搬送装
置に関する。

従来の技術 第１図は従来の搬送装置の概略断面図を示す。
図において、２は搬送台であつて、この搬送台２
は例えば鋼板等の磁性体からなつており、ウエハ
Ｗ等の電子部品を収納した被搬送物３をその上に
乗せている。前記搬送台２の直ぐ下には搬送テー
ブル４がある。この搬送テーブル４の形状は前記
搬送台２の底面の形状に対応した偏平Ｖ字形の凹
部４１があり、凹部４１には複数個の第１のノズ
ル６，６が開設されている。搬送テーブル４の真
下には鉄心Ｃがあり、この鉄心Ｃは駆動コイル５
により励磁可能になつている。しかして、前記搬
送台２、搬送テーブル４、鉄心Ｃ及び駆動コイル
５を取り囲むように空気遮断用の外壁がある。こ
の場合外壁は搬送管路１に相当する。搬送管路１
は搬送テーブル４により２分割されており、下の
領域Ａは高圧側、上の領域Ｂは低圧側であり、し
たがつてコンプレツサー７で作られ高圧側領域Ａ
に供給された圧搾空気は前記ノズル６，６を通つ
て低圧側領域Ｂに噴出し、この噴出により、前記
搬送台２は搬送テーブル４から浮上する。低圧側
領域Ｂに出てきた空気は排気用フアン９により排
出される。

一方、磁性体である搬送台２と鉄心Ｃから発生
する磁界によりリニアモータが構成されている。
このリニアモータの推力により搬送台２は前進ま
たは後退する。

この方法によれば、搬送台２と搬送テーブル４
との間には機械的摩擦がなく、高速走行が行え、
大変好都合である。

ここで搬送テーブル４は有効磁束の漏洩による
効率低下を防止するため、通常はアルミニウムや
ベークライト板の如き非磁性体で構成される。

このようにして搬送台２は搬送管路に沿つて走
行する。

考案が解決しようとする課題 しかしながら、上述の従来の搬送装置によれ
ば、搬送台２の空気浮上に伴い、コンプレツサー
７で作られた圧搾空気が搬送管路１内を流動する
ので、搬送管路１内にはどうしても塵埃が充満し
ている状態にあり、この塵埃は半導体装置の材料
であるウエハＷにとつてみれば、決して無視でき
ない大きさのものである。

このような塵埃が被搬送物３上に付着する。特
に被搬送物３がプラスチツクケースである場合、
搬送後、プラスチツクケースから電子部品を取り
出す際において、プラスチツクケースに付着した
塵埃がこれら電子部品に再付着し大変困ることに
なる。

本願考案は上記事情に鑑みて創案されたもの
で、前記塵埃が被搬送物上になるべく付着しない
ように工夫した搬送装置を提供することを目的と
している。

課題を解決するための手段 この考案に係る搬送装置は、高圧領域と励磁領
域と搬送領域と低圧領域とからなる搬送管路と、
前記搬送領域内に乗せた搬送台から構成される搬
送装置であつて、前記高圧領域は搬送管路の下部
中央部に位置しているとともに、複数個の第１の
ノズルを有する天井板を有しており、励磁領域は
前記天井板と第２のノズルを有する搬送テーブル
と低圧領域の側壁から取囲まれるともに、駆動コ
イルを巻回した鉄心を有しており、搬送領域は搬
送管路の天板と前記搬送テーブルと低圧領域の一
部分である垂直部と水平部とからなるＬ字状部分
とから囲まれる領域であり、低圧領域は前記高圧
領域の左右の対称位置に立設しており、前記側壁
と水平部及び搬送管路の下部分である底板の一部
分で囲まれる領域であり、且つ前記搬送テーブル
は非磁性体からなるとともに偏平Ｖ字状に形成さ
れており、一方搬送台は磁性体からなるとともに
前記搬送テーブルの形状に対応して形成されてお
り、且つ前記低圧領域の垂直部と水平部とからな
るＬ字状部分には複数個の排気孔が開設されてお
り、高圧領域には圧搾空気を供給するコンプレツ
サーが、また低圧領域には空気排気用のフアンが
連結されていることを特徴としている。

作 用 コンプレツサー７から供給された圧搾空気は高
圧領域８に入る。高圧領域８の圧搾空気は第１の
ノズル１１，１１を通過して励磁領域２０に入
る。励磁領域２０の空気は第２のノズル６，６を
通過して搬送領域３０に入る。搬送領域３０内の
空気は低圧領域の垂直部と水平部とからなるＬ字
状部分に開設した複数個の排気孔を通過して低圧
領域１２，１２′に入る。低圧領域１２，１２′の
空気は排気用フアン９により排気される。また鉄
心Ｃは駆動コイルにより順次励磁されて、搬送台
２を走行せしめる。

実施例 第４図は本願考案の一実施例を示し、第１図と
同じ構成部分については同じ符号で表している。

図において、１は搬送管路であり、この搬送管
路１は密閉長箱状に形成されており、搬送経路に
沿つて敷設されている。

この搬送管路１は大きく分けると４個の領域か
ら構成されている。即ち、高圧領域８と、励磁領
域２０と、搬送領域３０と低圧領域１２，１２′
の４領域から搬送管路１は出来ている。

高圧領域８は搬送管路１の下部中央に位置して
おり、天井板１０と低圧領域１２，１２′の側壁
１２１，１２１′の一部分により形成されていて、
搬送管路１にそつて連通している。前記天井板１
０には複数個の第１のノズル１１，１１が開設さ
れている。一方高圧領域８には従来技術と同様コ
ンプレツサー７により作られた圧搾空気が導入さ
れている。

励磁領域２０は前記天井板１０と低圧領域１
２，１２′の側壁１２１，１２１′の一部分と搬送
テーブル４により取り囲まれており、この励磁領
域２０は鉄心Ｃ及び駆動コイル５を含んでいる。
即ち、鉄心Ｃは恰も支柱のように天井板１０と搬
送テーブル４間に設けられており、この鉄心Ｃに
は駆動コイル５が巻回されている。前記鉄心Ｃは
搬送経路に沿つて間隔を隔てて必要数設けられて
おり、リニアモータの一次側を構成している。

搬送テーブル４は全体として偏平Ｖ字状に形成
されており、その左右端は水平部分４３として低
圧領域１２，１２′の側壁１２１，１２１′に設け
た支持板４２，４２により支持されている。そし
て搬送テーブル４には特にＶ字状の凹部４１には
複数個の第２のノズル６，６が開設されている。
なお、搬送テーブル４は鉄心Ｃから発生した磁界
の漏洩を防ぐために、非磁性体から構成されてい
る。

搬送領域３０は搬送管路１の上部分である天板
３１と前記搬送テーブル４と低圧領域１２，１
２′の一部分である垂直部と水平部とからなるＬ
字状部分とからなつている。ここで前記水平部と
垂直部にはそれぞれ複数個の排気孔１３，１３′
が開設されている。搬送テーブル４上には磁性体
からなる搬送台２が乗る。搬送台２の下面の形状
は搬送テーブル４の形状に対応しており、従つて
同じ偏平Ｖ字状に形成されている。

低圧領域１２，１２′は前記側壁１２１，１２
１′と水平部及び搬送管路１の下部分である底板
３２の一部分で囲まれる領域であつて、前記高圧
領域８の左右に対称に立設されている。この低圧
領域１２，１２′は従来技術と同様、排気用フア
ン９に連結されており、低圧領域１２，１２′内
の空気は排気用フアン９により排気され得るよう
になつている。

以上の実施例の動作について以下に説明する。

高圧領域８にはコンプレツサー７からの圧搾
空気が供給される。

高圧領域８に供給された圧搾空気は第１のノ
ズル１１，１１を通過して励磁領域２０に入
る。

励磁領域２０に入つた圧搾空気は第２のノズ
ル６，６を通過して搬送領域３０に入る。その
際、第２のノズル６，６から噴出した空気は搬
送台２を浮上させる。特に搬送台２の下面形状
と搬送テーブル４の形状が偏平Ｖ字状に形成さ
れているので、送風空気量が僅かでも浮上の効
率は良好である。

搬送領域３０に入つた空気は圧搾空気よりも
やや圧力が低下した空気となつている。この空
気は前記複数個の排気孔１３，１３′を通過し
て、排気用フアン９により排気される。

この場合、特に排気孔がＬ字状部分に開設さ
れているので、搬送テーブルと搬送台の下面か
ら擦り抜けた空気は搬送領域内に充満すること
なく、直ちに前記排気孔から排出される。即
ち、空気中の塵埃は被搬送物上に付着すること
がない。

以上が空気の流れ方であるが、一方、駆動コ
イル５により駆動された鉄心Ｃは垂直方向の磁
界を形成し、搬送台２に対して吸引力を及ぼ
す。従つて複数個配設された鉄心Ｃが順次励磁
されることにより、搬送台２を走行せしめるこ
とになり、全体としてリニアモータの作動が行
われる。

考案の効果 従来技術では搬送装置は高圧側領域Ａと低圧側
領域Ｂの２個の領域から構成されていたのである
が、本願考案の搬送装置は上記したように、、高
圧領域、励磁領域、搬送領域及び低圧領域の４個
の領域から構成されている。しかも、搬送領域と
低圧領域の境界面であるＬ字状部分には複数個の
排気孔が開設されている。したがつて、搬送テー
ブルと搬送台の下面から擦り抜けた空気は搬送領
域内に充満することなく、直ちに前記排気孔から
排出される。即ち、空気中の塵埃は被搬送物上に
付着することがない。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の搬送装置を搬送方向から見た断
面図、第２図は従来の搬送装置の概略平面図、第
３図は従来の搬送装置を搬送方向に沿つてみた横
断面図、第４図は本考案に係る搬送装置を搬送方
向から見た断面図である。 １……搬送管路、２……搬送台、３……被搬送
物、４……搬送テーブル、５……駆動コイル、６
……第２のノズル、７……コンプレツサー、８…
…高圧領域、９……排気用フアン、１０……天井
板、１１……第１のノズル、１２，１２′……低
圧領域、１３，１３′……排気孔、２０……励磁
領域、３０………搬送領域。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 高圧領域と励磁領域と搬送領域と低圧領域とか
   らなる搬送管路と、前記搬送領域内に乗せた搬送
   台から構成される搬送装置であつて、 前記高圧領域は搬送管路の下部中央部に位置し
   ているとともに、複数個の第１のノズルを有する
   天井板を有しており、 励磁領域は前記天井板と第２のノズルを有する
   搬送テーブルと低圧領域の側壁から取囲まれると
   もに、駆動コイルを巻回した鉄心を有しており、 搬送領域は搬送管路の天板と前記搬送テーブル
   と低圧領域の一部分である垂直部と水平部とから
   なるＬ字状部分とから囲まれる領域であり、 低圧領域は前記高圧領域の左右の対称位置に立
   設しており、前記側壁と水平部及び搬送管路の下
   部分である底板の一部分で囲まれる領域であり、 且つ前記搬送テーブルは非磁性体からなるとと
   もに偏平Ｖ字状に形成されており、一方搬送台は
   磁性体からなるとともに前記搬送テーブルの形状
   に対応して形成されており、且つ前記低圧領域の
   垂直部と水平部とからなるＬ字状部分には複数個
   の排気孔が開設されており、高圧領域には圧搾空
   気を供給するコンプレツサーが、また低圧領域に
   は空気排気用のフアンが連結されていることを特
   徴とする搬送装置。