JPH0144610B2 - - Google Patents
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- JPH0144610B2 JPH0144610B2 JP12917283A JP12917283A JPH0144610B2 JP H0144610 B2 JPH0144610 B2 JP H0144610B2 JP 12917283 A JP12917283 A JP 12917283A JP 12917283 A JP12917283 A JP 12917283A JP H0144610 B2 JPH0144610 B2 JP H0144610B2
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- pallet
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- conveyance
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- transported
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- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
- B65G51/02—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
- B65G51/03—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はクリーンルーム内における電子精密回
路部品の製造工程間のリニアモータを用いた搬送
装置に係り、特に、全亘長に渡つて駆動部を設け
られない搬送路の駆動部のない部分での非常停止
時の緊急退避による搬送パレツトの原点（起点又
は終点）復帰に関するものである。
路部品の製造工程間のリニアモータを用いた搬送
装置に係り、特に、全亘長に渡つて駆動部を設け
られない搬送路の駆動部のない部分での非常停止
時の緊急退避による搬送パレツトの原点（起点又
は終点）復帰に関するものである。
従来の技術
従来リニアモータを用いた搬送装置に於て、搬
送パレツトが非常停止した場合でも該パレツトを
原点に戻すように傾斜している搬送路全亘長に渡
つて、自重落下により、原点に戻してやる等の非
常停止後の自動原点復帰を行うようになしてい
る。この場合、搬送路亘長が長くなると起点と終
点間の傾斜している搬送路の勾配による段差が大
きくなり、定常搬送時搬送効率が著しく悪くなる
とか、傾斜作動装置が必要となるなど欠点があ
る。
送パレツトが非常停止した場合でも該パレツトを
原点に戻すように傾斜している搬送路全亘長に渡
つて、自重落下により、原点に戻してやる等の非
常停止後の自動原点復帰を行うようになしてい
る。この場合、搬送路亘長が長くなると起点と終
点間の傾斜している搬送路の勾配による段差が大
きくなり、定常搬送時搬送効率が著しく悪くなる
とか、傾斜作動装置が必要となるなど欠点があ
る。
発明が解決しようとする問題点
本発明の目的は、上述した欠点を解決すべくな
されたもので、搬送効率を下げることなく、駆動
部分を少なく、しかも駆動部のない所で搬送パレ
ツトが停止しても容易に原点に復帰させ得るよう
な搬送パレツトを有する搬送装置を提供すること
にある。
されたもので、搬送効率を下げることなく、駆動
部分を少なく、しかも駆動部のない所で搬送パレ
ツトが停止しても容易に原点に復帰させ得るよう
な搬送パレツトを有する搬送装置を提供すること
にある。
問題点の解決手段
本発明は、被搬送物を塔載する搬送パレツト
に、圧縮空気を受けることにより推力を発生し得
る推進羽根を設けることにより、駆動部のない搬
送路途中で非常停止した際の緊急退避（原点復
帰）を可能としたことを特徴とする。
に、圧縮空気を受けることにより推力を発生し得
る推進羽根を設けることにより、駆動部のない搬
送路途中で非常停止した際の緊急退避（原点復
帰）を可能としたことを特徴とする。
実施例
以下、本発明の一実施例である搬送装置を第１
図〜第４図を用いて具体的に説明する。
図〜第４図を用いて具体的に説明する。
図に於てＷは被搬送物８、具体的には容器内に
多数枚シリコンウエーハを収納したものなどを搬
送パレツト６上に載置し、目的地まで搬送するよ
うになした直線状、屈曲線状等の搬送路で、この
搬送路Ｗは搬送テーブル１と、この下部に気密状
にして一体に設ける搬送ダクト２とより成り、上
記搬送テーブル１は搬送路の中央線を中心に左右
対称に水平なる断面を有する非磁性体、例えばア
ルミニウム、ステンレス等にて構成されると共に
この頂面１ａと側面には夫々ノズル１ｃが穿孔さ
れ、搬送ダクト２内に供給される高圧の空気を該
ノズルより噴出せしめて搬送路上をリニアモータ
にて移送する搬送パレツトを浮上せしめるように
なす。また搬送テーブル１の中央部には搬送路の
起点、終点、その他の箇所に搬送方向に適当な間
隔でリニアモータ３が設置される。搬送ダクト２
に沿つて高圧空気（圧縮空気）を流通せしめる高
圧ダクト５を配設し、該高圧ダクト５と搬送ダク
ト２間に圧力切換弁９を設けて両ダクト間を接続
すると共に高圧ダクト５にはコンプレツサー７、
その他の圧力源を接続する。また搬送テーブル１
には搬送パレツト６が載置され、該パレツトの少
なくとも底部はリニアモータにより推力を得られ
るよう鋼板、銅板、アルミニウム板等より成り、
且搬送テーブルに跨がるように該テーブルに対応
した断面形状を有するものとすると共にこの搬送
パレツトはリアクシヨンプレート６ａの上部に支
柱６ｂを突設し、この支柱上に被搬送物を載置す
る受台６ｃを進行方向に対して傾斜しているよう
に設けて成る。またリアクシヨンプレート６ａの
一方端部に推進羽根４を突設するが、この推進羽
根４は複数個設けられる。図示の実施例ではリア
クシヨンプレートの上面部に２個、左右両側面に
夫々１個づつ計４個配設されているが、この推進
羽根の数は任意に定められる。そしてこの推進羽
根は所要間隔にて互いに対向する側板４ａ，４ａ
間に夫々45゜その他任意の角度をもつた複数の小
羽根４ｂ，４ｂ…を多数設けて一体とし、且つこ
の推進羽根は重量を軽くするためプラスチツク等
にて構成されるものである。
多数枚シリコンウエーハを収納したものなどを搬
送パレツト６上に載置し、目的地まで搬送するよ
うになした直線状、屈曲線状等の搬送路で、この
搬送路Ｗは搬送テーブル１と、この下部に気密状
にして一体に設ける搬送ダクト２とより成り、上
記搬送テーブル１は搬送路の中央線を中心に左右
対称に水平なる断面を有する非磁性体、例えばア
ルミニウム、ステンレス等にて構成されると共に
この頂面１ａと側面には夫々ノズル１ｃが穿孔さ
れ、搬送ダクト２内に供給される高圧の空気を該
ノズルより噴出せしめて搬送路上をリニアモータ
にて移送する搬送パレツトを浮上せしめるように
なす。また搬送テーブル１の中央部には搬送路の
起点、終点、その他の箇所に搬送方向に適当な間
隔でリニアモータ３が設置される。搬送ダクト２
に沿つて高圧空気（圧縮空気）を流通せしめる高
圧ダクト５を配設し、該高圧ダクト５と搬送ダク
ト２間に圧力切換弁９を設けて両ダクト間を接続
すると共に高圧ダクト５にはコンプレツサー７、
その他の圧力源を接続する。また搬送テーブル１
には搬送パレツト６が載置され、該パレツトの少
なくとも底部はリニアモータにより推力を得られ
るよう鋼板、銅板、アルミニウム板等より成り、
且搬送テーブルに跨がるように該テーブルに対応
した断面形状を有するものとすると共にこの搬送
パレツトはリアクシヨンプレート６ａの上部に支
柱６ｂを突設し、この支柱上に被搬送物を載置す
る受台６ｃを進行方向に対して傾斜しているよう
に設けて成る。またリアクシヨンプレート６ａの
一方端部に推進羽根４を突設するが、この推進羽
根４は複数個設けられる。図示の実施例ではリア
クシヨンプレートの上面部に２個、左右両側面に
夫々１個づつ計４個配設されているが、この推進
羽根の数は任意に定められる。そしてこの推進羽
根は所要間隔にて互いに対向する側板４ａ，４ａ
間に夫々45゜その他任意の角度をもつた複数の小
羽根４ｂ，４ｂ…を多数設けて一体とし、且つこ
の推進羽根は重量を軽くするためプラスチツク等
にて構成されるものである。
而して上述の如く構成された搬送装置にて被搬
送物を搬送パレツト受台上に載せ、目的地まで搬
送する動作について以下説明する。
送物を搬送パレツト受台上に載せ、目的地まで搬
送する動作について以下説明する。
まず、コンプレツサー７で作られた圧縮空気
が、高圧ダクト５を介して搬送路のダクト内へ送
られ、前記ノズル１ｃから、搬送テーブルの上方
へ噴出する。そして、この噴出した高圧空気は、
搬送パレツト６の底部リアクシヨンプレート６ａ
を上方へ押圧するので、搬送パレツト６は浮上す
る。前記リニアモータ３を駆動するための電流を
供給すると、搬送パレツト６の底部リアクシヨン
プレート６ａはリニアモータの二次側として、リ
ニアモータの一次側磁束により推進力を得る。こ
のため搬送パレツト６は第２図に矢符で示す方向
に移動される。その際、容器内のシリコンウエー
ハは、第２図からあきらかなように、常に一定の
方向に傾斜した状態で搬送されるため、搬送方向
への安定性が向上し、搬送パレツトの起動、停止
時等の慣性力によるシリコンウエーハの振動が低
減される。それゆえ、シリコンウエーハの破損、
異物の発生、異物のシリコンウエーハへの付着が
低減でき、容器内のシリコンウエーハ、つまり被
搬送物は、安定かつ高信頼性をもつて正確に搬送
される。このようにして定常の搬送が行われる。
が、高圧ダクト５を介して搬送路のダクト内へ送
られ、前記ノズル１ｃから、搬送テーブルの上方
へ噴出する。そして、この噴出した高圧空気は、
搬送パレツト６の底部リアクシヨンプレート６ａ
を上方へ押圧するので、搬送パレツト６は浮上す
る。前記リニアモータ３を駆動するための電流を
供給すると、搬送パレツト６の底部リアクシヨン
プレート６ａはリニアモータの二次側として、リ
ニアモータの一次側磁束により推進力を得る。こ
のため搬送パレツト６は第２図に矢符で示す方向
に移動される。その際、容器内のシリコンウエー
ハは、第２図からあきらかなように、常に一定の
方向に傾斜した状態で搬送されるため、搬送方向
への安定性が向上し、搬送パレツトの起動、停止
時等の慣性力によるシリコンウエーハの振動が低
減される。それゆえ、シリコンウエーハの破損、
異物の発生、異物のシリコンウエーハへの付着が
低減でき、容器内のシリコンウエーハ、つまり被
搬送物は、安定かつ高信頼性をもつて正確に搬送
される。このようにして定常の搬送が行われる。
ところで今搬送パレツトが何らかの原因（停
電、故障等）により、リニアモータ駆動部のない
部位で停止した場合、定常時搬送時の圧縮空気よ
りもわずか高い圧縮空気を圧力切換弁９により切
り換え、推進小羽根４ｂに吹き付けることによ
り、第２図矢符で示す方向に移送するものであ
る。この時圧縮空気の噴き出しは、搬送路全体か
ら噴出させることもよく、又搬送路全長を数ブロ
ツクに分割し、複数個の搬送パレツト位置検出手
段を適宜配設し、この検出手段により該当ブロツ
クのみ噴出させ、移送に伴ない、以降順次位置検
出手段の信号によりブロツクを切り換えながら原
点復帰させることもできる。
電、故障等）により、リニアモータ駆動部のない
部位で停止した場合、定常時搬送時の圧縮空気よ
りもわずか高い圧縮空気を圧力切換弁９により切
り換え、推進小羽根４ｂに吹き付けることによ
り、第２図矢符で示す方向に移送するものであ
る。この時圧縮空気の噴き出しは、搬送路全体か
ら噴出させることもよく、又搬送路全長を数ブロ
ツクに分割し、複数個の搬送パレツト位置検出手
段を適宜配設し、この検出手段により該当ブロツ
クのみ噴出させ、移送に伴ない、以降順次位置検
出手段の信号によりブロツクを切り換えながら原
点復帰させることもできる。
発明の効果
本発明による時は搬送パレツトを搬送テーブル
に接触させることなく、非常時原点復帰移送をさ
せるものであり、駆動装置のない部分での非常停
止を他の手段を介さず、原点復帰できるととも
に、被搬送物は常に一定の方向に傾斜されて搬送
されることから、移送時に微塵も発生せず、しか
も移送時、搬送物の振動による発塵がないことか
ら、微塵を嫌う電子精密部品の組立や医薬製品に
適したものであり、設備費がかからない、簡易で
あり、メンテナンスが容易である等の効果があ
る。
に接触させることなく、非常時原点復帰移送をさ
せるものであり、駆動装置のない部分での非常停
止を他の手段を介さず、原点復帰できるととも
に、被搬送物は常に一定の方向に傾斜されて搬送
されることから、移送時に微塵も発生せず、しか
も移送時、搬送物の振動による発塵がないことか
ら、微塵を嫌う電子精密部品の組立や医薬製品に
適したものであり、設備費がかからない、簡易で
あり、メンテナンスが容易である等の効果があ
る。
第１図は本発明搬送装置の一実施例を示す断面
図、第２図は前記一実施例を示す側面図、第３図
は前記一実施例の要部を示す平面図、第４図は同
断面図である。 １…搬送テーブル、２…搬送ダクト、３…リニ
アモータ、４…推進羽根、５…高圧ダクト、６…
搬送パレツト、７…コンプレツサー、８…被搬送
物、９…圧力切換弁。
図、第２図は前記一実施例を示す側面図、第３図
は前記一実施例の要部を示す平面図、第４図は同
断面図である。 １…搬送テーブル、２…搬送ダクト、３…リニ
アモータ、４…推進羽根、５…高圧ダクト、６…
搬送パレツト、７…コンプレツサー、８…被搬送
物、９…圧力切換弁。
Claims (1)
- １ 搬送路と、搬送路上に載置され被搬送物を塔
載する搬送パレツトと、搬送パレツトを圧縮空気
で浮上させる手段と、搬送パレツトをリニアモー
タで駆動させる手段とからなる搬送装置におい
て、前記搬送パレツトに前記空縮空気を受けるこ
とにより推力を発生させる推進羽根を設けたこと
を特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12917283A JPS6019614A (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12917283A JPS6019614A (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | 搬送装置 |
Related Child Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24748885A Division JPS61150925A (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 | ウエハ−のリニアモ−タ搬送装置 |
| JP24748785A Division JPS61150924A (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6019614A JPS6019614A (ja) | 1985-01-31 |
| JPH0144610B2 true JPH0144610B2 (ja) | 1989-09-28 |
Family
ID=15002921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12917283A Granted JPS6019614A (ja) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6019614A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61150924A (ja) * | 1985-11-05 | 1986-07-09 | Hitachi Ltd | 搬送装置 |
-
1983
- 1983-07-14 JP JP12917283A patent/JPS6019614A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6019614A (ja) | 1985-01-31 |
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