JPH0319136B2

JPH0319136B2 -

Info

Publication number: JPH0319136B2
Application number: JP58010796A
Authority: JP
Inventors: Ichiro Fukuwatari; Keiji Manabe
Original assignee: Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Current assignee: Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Priority date: 1983-01-25
Filing date: 1983-01-25
Publication date: 1991-03-14
Also published as: DE3402143C2; DE3402143A1; JPS59138523A

Description

【発明の詳細な説明】＜産業上の利用分野＞この発明は搬送装置に係り、特に圧縮空気で搬
送台を浮上させながら、リニアモータにより前記
搬送台を起点から終点まで搬送する搬送装置に関
する。

＜従来の技術＞従来、この種の搬送装置としては、吊垂式無端
状のトロリコンベア等が知られている。

また搬送台を終点に停止させる手段として、例
えば機械的ロツクなどを用いて終点にきた搬送台
を直接ロツクさせるようにした装置が知られてい
る。

＜発明が解決しようとする課題＞しかしながら、吊垂式無端状のトロリコンベア
はレールに吊り下げた車輪がレールに接触しなが
ら走行するものであるから、両者間で微塵を発生
することが多く、微塵付着を嫌う精密部品の組立
工程、医薬製造の工程、半導体製造工程などに使
用するには不適当である。

また前記機械的ロツク手段による停止方法は、
搬送台の起動、停止時に搬送台に衝撃を与えるの
で、その衝撃を緩和するために搬送速度そのもの
を極力落とす必要があつた。このような速度の低
下は製造工程の効率上好ましくない。

本発明は上記事情に鑑みて創案されたもので、
微塵を発生させることなく、また微塵が搬送台や
搬送物に付着することのない搬送装置を提供する
ことを目的としている。

さらに本発明は搬送効率を下げることなく、搬
送台の緩やかな起動、停止が実現できるようにし
た搬送装置を提供することを目的としている。

＜課題を解決するための手段＞そのため本発明の装置は、搬送物を載せた搬送
台を圧縮空気で浮上させながらリニアモータによ
り搬送する搬送装置であつて、この装置は外部か
ら遮断され搬送経路に沿つて配置された搬送管路
と、搬送管路の下部両側に設けられ排気フアンに
より排気される排気ダクトと、断面が偏平Ｖ字状
の形状を有するとともに搬送方向に対称にノズル
を開設した非磁性体からなり搬送管路の内側中央
に配設された搬送テーブルと、搬送テーブルの上
に置かれ底面が搬送テーブルの前記断面に対応し
た形状である磁性体よりなる搬送台と、搬送テー
ブルの中央下部に搬送方向に沿つて適宜な間隔で
配設されるコイルを巻回した複数個の一次鉄心
と、一次鉄心の下方に設けられコンプレツサによ
り圧縮空気が供給される高圧ダクトと、起点と終
点間に配設した複数個の速度検出器と、前記速度
検出器の位置における搬送台の速度を予定速度と
して予め記憶しておき、前記位置の速度検出器で
計測した搬送台の計測速度と前記予定速度とを比
較し、その差に基づいてコイルに供給するインバ
ータの出力周波数を増減させることにより搬送台
を予定速度で搬送させる制御部を具備しており、
且つ前記リニアモータは前記搬送台の底面と一次
鉄心とから構成されており、且つ圧縮空気は高圧
ダクトの天井に開設した空気噴出孔から一次鉄心
を通り、搬送テーブルのノズルを介して上方に噴
出せしめることにより搬送台を浮上させた後、排
気ダクトに開設した排気孔から排気ダクトに入つ
て外部に排出されるように構成してある。

＜作用＞圧縮空気は高圧ダクトから搬送テーブルのノズ
ルを通つて、搬送テーブルの上に載せた搬送台の
底面に当たる。そして搬送台を搬送テーブルから
浮上させる。そのあと、空気は排気ダクトに入
り、外部に排出される。搬送台の計測速度は制御
部に記憶された予定速度と比較される。その比較
結果に基づいて搬送台が予定速度になるように、
インバータの出力周波数が増減され、これがリニ
アモータを構成する一次鉄心に供給される。

＜実施例＞以下、図面を参照して本発明に係る一実施例を
説明する。第１図は搬送装置の実施例を示す断面
図、第２図は第１図の側面図、第３図及び第４図
は装置の要部を示す平面図及び断面図である。

図において、１は全体の断面がロの字の形状を
有する搬送管路であり、この搬送管路１の内側中
央には搬送テーブル２（２ａ−２ｃ）が配設され
ており、また搬送管路１内の下部両側には排気ダ
クト３が設けられている。搬送テーブル２の断面
は搬送方向に沿つて対称な偏平Ｖ字状に形成され
ていて、左右対称なノズル２ｄが複数個開設され
ている。搬送テーブル２の材質は金属である必要
はないが、金属の場合には非磁性体であることを
要する。これを非磁性体にするのは、一次鉄心４
ａで発生した磁束が搬送テーブル２に遮断される
ことなく、有効に搬送台６側に突き抜けるように
するためである。

そして、搬送テーブル２の中央下部には、搬送
方向に適当な間隔でリニアモータの一次側を構成
する一次鉄心４ａが配設されている。一次鉄心４
ａにはコイル４ｂが巻回されている。従つて、リ
ニアモータは搬送管路内において分散したかたち
で構成されている。第６図にはリニアモータが３
個、Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３として図示されている。

一次鉄心４ａの下方には、コンプレツサ７から
圧縮空気が供給される高圧ダクト５が設けられて
いる。

搬送テーブル２の上側には、搬送台６が載せら
れる。この搬送台６の底面６ａは鋼板等の磁性体
よりなり、搬送テーブル２の前記断面に対応した
断面形状を有している。

７はコンプレツサであつて、このコンプレツサ
７で作られた圧縮空気は高圧ダクト５の天井に開
設した空気噴出孔７１から搬送テーブル２の下方
へ送られるとともに、前記ノズル２ｄを介して搬
送テーブル２の上方へ噴出される。

この場合、圧縮空気によつて一次鉄心４ａが冷
却されるとともに、搬送台６を僅か浮上させる。

８は排気フアンであつて、排気ダクト３に開設
した排気孔３１を介して搬送テーブル２の上方の
空気を外部へ排出する。なお９は搬送台６上に搭
載した搬送物である。

また、搬送経路上の起点と終点間には、図示し
ない速度検出器が適宜配設されている（第６図に
速度検出器が１５ａ〜１５ｇとして図示されてい
る）。この速度検出器は例えば、所定位置を隔て
て配設される２個の反射形光電管よりなり、これ
らの光電管は搬送台６が通過する際に検知信号を
マイクロコンピユータ１０に与える。そして、こ
のマイクロコンピユータ１０は前記２個の光電管
の間を通過する際の搬送台６の速度を算出する。

第５図はこの発明に係る実施例に使用される装
置の制御系統を示したブロツク図である。同図に
おいて、１０はCPU１１，ROM１２，RAM１
３及びインターフエース１４を含むマイクロコン
ピユータである。マイクロコンピユータ１０は前
述したように、速度検出器１５からの信号を与え
られ、搬送台６の速度を算出し、これをRAM１
３に計測速度として記憶させる。一方、ROM１
２には前記速度検出器１５の位置における搬送台
６の速度が予め予定速度として与えられている。
CPU１１は前記計測速度と予定速度を比較し、
その差に応じて当該速度検出器１５よりも前方に
あるリニアモータを制御すべく制御部１６に指令
を与える。

制御部１６はマイクロコンピユータ１０からの
指令に基づいて、インバータ１７及び出力切換機
構１８を制御する。その結果、適宜の周波数に変
えられたインバータ１７の出力が出力切換機構１
８を介してコイル４ｂに与えられることにより、
搬送台６は加減速され計測速度は予定速度に近づ
く。

上述した実施例の動作について説明する。第６
図は実施例の動作説明図である。第６図イは各リ
ニアモータのコイルに与えられる周波数の変化
図、同図ロは搬送台６の速度変化図、同図ハは速
度検出器１５の位置、同図ニは各リニアモータの
コイルの位置を示している。

まずコンプレツサ７で作られた圧縮空気が高圧
ダクト５を介して搬送テーブル２の下方へ送ら
れ、前記ノズル２ｄから搬送テーブル２の上方へ
噴出する。そしてこの際にコイル４ｂは空気によ
り冷却されるとともに、搬送台６の底面６ａを上
方へ押上げるので、搬送台６は僅かに浮上する。
この際、搬送台６の底面６ａは搬送テーブル２の
断面形状と対応して偏平Ｖ字状に形成されている
ので、搬送台６は左右に逸脱することなく、安定
した状態で浮上する。搬送テーブル２の上方の空
気は排気ダクト３から排気フアン８により外部に
排出される。搬送管路１は外部と遮断されてお
り、搬送管路１内を上記した経路を辿つて流れる
ので、搬送物に塵が付着することは防止される。

さらに搬送台６は搬送テーブル２から浮上した
状態にあるので、搬送テーブル２と搬送台６の間
に機械的摩擦による発塵の余地がない。

前記コイル４ｂにリニアモータを駆動するため
の電流を供給すると、コイル４ｂは励磁され、搬
送台６の底面６ａはリニアモータの二次側となつ
て一次鉄心４ａの磁束により推進力を得る。この
ため、搬送台６は第２図の矢印に示す方向に緩や
かに起動される。

第６図に示すように、起動時において、起点近
くのリニアモータＭ１には周波数１の電流が供
給される。搬送台６が起動すると、漸次周波数を
２まで上げてゆき、搬送台６は加速される。搬
送台６が速度検出器１５ａに達すると、その位置
の計測速度がマイクロコンピユータ１０に入力す
る。マイクロコンピユータ１０は当該計測速度と
予定速度を比較し、その差に応じてインバータ１
７の周波数が増減される（例えば２から３に
まで下げられる）。

速度検出器１５ｂから１５ｅの設置されている
区間は予定速度は一定であるとすると、その区間
内では３＝４である。すなわち、リニアモー
タＭ１に与えられる周波数が２から３に下げ
られる結果、搬送台６は同図ロに示すように一定
の速度（予定速度）になる。この場合、リニアモ
ータＭ２は定速度区間の調整用として用いられ
る。

搬送台６が速度検出器１５ｅに達すると、その
位置の計測速度と予定速度を比較し、その速度差
に応じてリニアモータＭ３を逆方向に励磁するよ
うに、周波数を５から７のように変化させ、
搬送台６を終点で緩やかに停止させる。

＜発明の効果＞本発明は外部と遮断された搬送管路内に搬送
台を置くようにしていること、圧縮空気により
搬送台は搬送テーブルから浮上した状態にあるの
で、両者間の機械的接触がなく、従つて微塵の発
生はないこと、圧縮空気は搬送管路内を上記し
た経路を辿つて流れるので、たとえ塵が搬送物な
いしは搬送台に付着したとしても、空気の流れに
沿つて外部へ掃き出されるので、塵の付着するこ
とは防止される。

また、本発明は機械的ロツク手段等を使用しな
いで、計測速度と予定速度の比較の結果に基づい
て、インバータからリニアモータのコイルに供給
される電流の周波数を増減させるようにしたの
で、緩やかな起動及び停止が行えるので、搬送効
率が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図から第６図にかけては本発明に係る図面
であつて、第１図は搬送装置の実施例を示す断面
図、第２図は第１図の側面図、第３図及び第４図
は装置の要部を示す平面図及び断面図である。第
５図は装置の制御系統を示したブロツク図である
第６図は実施例の動作説明図、第６図イは各リニ
アモータのコイルに与えられる周波数の変化図、
同図ロは搬送台の速度変化図、同図ハは速度検出
器１５の位置、同図ニは各リニアモータのコイル
の位置を示す図面である。１……搬送管路、２……搬送テーブル、２ｄ…
…ノズル、３……排気ダクト、４ａ……一次鉄
心、４ｂ……コイル、５……高圧ダクト、６……
搬送台、７……コンプレツサ、８……排気フア
ン、９……搬送物、１０……マイクロコンピユー
タ、１５……速度検出器、１６……制御部、１７
……インバータ。

Claims

【特許請求の範囲】

１搬送物を載せた搬送台を圧縮空気で浮上させ
ながらリニアモータにより搬送する搬送装置であ
つて、この装置は外部から遮断され搬送経路に沿
つて配置された搬送管路と、搬送管路の下部両側
に設けられ排気フアンにより排気される排気ダク
トと、断面が偏平Ｖ字状の形状を有するとともに
搬送方向に対称にノズルを開設した非磁性体から
なり搬送管路の内側中央に配設された搬送テーブ
ルと、搬送テーブルの上に置かれ底面が搬送テー
ブルの前記断面に対応した形状である磁性体より
なる搬送台と、搬送テーブルの中央下部に搬送方
向に沿つて適宜な間隔で配設されるコイルを巻回
した複数個の一次鉄心と、一次鉄心の下方に設け
られコンプレツサにより圧縮空気が供給される高
圧ダクトと、起点と終点間に配設した複数個の速
度検出器と、前記速度検出器の位置における搬送
台の速度を予定速度として予め記憶しておき、前
記位置の速度検出器で計測した搬送台の計測速度
と前記予定速度とを比較し、その差に基づいてコ
イルに供給するインバータの出力周波数を増減さ
せることにより搬送台を予定速度で搬送させる制
御部を具備しており、且つ前記リニアモータは前
記搬送台の底面と一次鉄心とから構成されてお
り、且つ圧縮空気は高圧ダクトの天井に開設した
空気噴出孔から一次鉄心を通り、搬送テーブルの
ノズルを介して上方に噴出せしめることにより搬
送台を浮上させた後、排気ダクトに開設した排気
孔から排気ダクトに入つて外部に排出されるよう
に構成したことを特徴とする搬送装置。