JPH0753215B2 - クリーンルームにおけるフィルタ取り付け用フレーム - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はクリーンルームにおけるフィルタ取り付け用フ
レームに係り、特に、フィルタ取り付け用フレームにあ
って、縦枠と横枠とを格子状に配置するとともに各単位
格子に夫々フィルタを設けるようにした形式のものに関
する。

〔従来の技術〕

一般に、クリーンルームにおけるフィルタ取り付け用フ
レームとしては、例えば実開昭61−130333号公報に記載
されているものがある。

これは第11図ないし第13図に示すように、天井50から側
壁51と取り付けボルト52とを垂下させ、この取付けボル
ト52に枠材53を取り付けるとともに枠材53の側面を側壁
51に密着して固定するようにしたものである。

そして、枠材53を縦横に組んで構成したフレームＦの上
にフィルタ54を載置するようにしたものである。フィル
タ54はその周囲がフィルタ枠55で補強されており、この
フィルタ枠55がシール材56を介して前記枠材53の上に気
密的に固定されている。

前記枠材53はアルミ合金により断面角形または逆Ｔ字型
に形成され、外力によって変形しないような構造になっ
ている。

そしてフレームＦの多少の寸法誤差を吸収するため側壁
51と枠材53との間にバックアップ材が介挿されることが
ある。

枠材53同士の結合部分は、剛性のある十字状のジョイン
ト60で強固にボルト締めされるようになっている。さら
に特開昭60−193516号公報には、開口部が上方に向いた
断面「Ｕ」字形の枠体の開口部端面に、圧縮強度保持基
材を埋設した弾性ガスケットを介してエアフィルタ枠を
載置し、さらにエアフィルタ枠から延設されたエアフィ
ルタ枠延設部によってガスケットを包囲することによっ
て、エアフィルタの取り付け、取り外しの施工を簡単に
し、耐久性を向上させたクリーンルームにおけるフィル
タ取り付け用フレームが開示されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところが、前記した従来のものにおいては、枠の剛性を
主眼として構成したものであるため、温度変化に伴うフ
レームの収縮を吸収することができないかまたはきわめ
て不十分である。

即ち、第11図ないし第13図に示すものでは、枠材に歪み
を生じると側壁との間に設けられているシール材56が大
きく変化したり損傷したりして気密性が大幅に低下する
のは勿論、温度の変化量によっては枠材が湾曲してしま
う虞れがある。特に大面積のクリーンルームでは各枠材
の伸縮が累積されるためフレームの端部では伸縮が大き
く、補修し難い状態となることがある。

例えば、フィルタサイズ1200mm×600mm用のフレームを
アルミニウム製枠で外寸60m×60mの大きさに形成した場
合において、５℃の温度変化があったとすると、その全
体の膨張率は、アルミニウムの熱膨張率が0.24×10^-4m/
m・degであることから、 ｌ＝0.24×10^-4×60m（ｍ）×５（deg） ＝7.2×10^-3（ｍ）＝7.2mm となり、全体では14.4mm伸びることとなる。

この結果から、フィルタ１枚分の枠材の長辺（1200mm）
だけに着目するとその膨張量は0.14mmとなり大きな問題
とはならないが、フレーム全体では7.2mmもの誤差が生
じ、前記したシール材56が切れることとなる。

特に、このフレームは当初温度調整がなされていない室
内中で施工されるが、竣工後はクリーンルームとして完
成した室内の温度が一定に維持されることから、フレー
ム施工時の温度と差を生じ、前記した問題が多発する傾
向にある。さらに、特開昭60−193516号公報に開示され
たものでは、上記のように、開口部が上方に向いた断面
「Ｕ」字形の枠体の開口部端面に、圧縮強度保持基材を
埋設した弾性ガスケットを介してエアフィルタ枠を載置
し、さらにエアフィルタ枠から延設されたエアフィルタ
枠延設部によってガスケットを包囲するような構造であ
るから、このフィルタ枠延設部が枠材の長さ方向に対し
て略直角方向で与えられる変位を妨げることになり、温
度変化に伴う枠材の伸縮分を吸収することが困難であ
る。

本発明は前記した点に鑑みてなされたものであり、温度
変化に伴う枠材の伸縮を吸収することができ、側壁との
気密性を良好に保持することができるようにしたクリー
ンルームにおけるフィルタ取り付け用フレーム、及びこ
のフレームに用いる枠材を提供することを技術的課題と
する。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は前記技術的課題を解決するため、縦枠1aと横枠
1bとを格子状に配置するとともに各単位格子に夫々フィ
ルタ３を設けるためのクリーンルームにおけるフィルタ
取り付け用フレームにおいて以下のような構成とした。

即ち、縦枠1aと横枠1bとのうち少なくとも一方の枠材と
して、フィルタを支える鍔部側から天井側に向けて延び
る断面逆［Ｕ」字状の湾曲部を少なくとも１単位設けて
なる歪吸収部４を備えた枠材１を用いて、クリーンルー
ムにおけるフィルタ取り付け用フレームとした。

この歪吸収部４は枠材の構造に一部断面逆「Ｕ」字状の
不連続部分を形成して構成することができ、例えば、枠
材１に、その枠材１の長さ方向に対して略直角方向で与
えられる変位を吸収することができるようになってい
る。

前記フレームは枠材を縦横に組み合わせることにより構
成されている。なお、ここでの断面逆「Ｕ」字状とは当
然「コ」字状のものも含む概念であり、要するに緩衝性
を持つ折り曲げ部または湾曲部を有する形状を指してい
る。

〔作用〕

フレームＦを構成する枠材１にフィルタを支える鍔部側
から天井側に向けて断面逆「Ｕ」字状の湾曲部を少なく
とも１単位形成することによって歪吸収部を設けたの
で、その枠材１の長さ方向に対して略直角方向で与えら
れる変位を歪吸収部４の開口部８の変形によって吸収さ
せることができる。

このため、前記断面逆「Ｕ」字状の湾曲部の開口部８が
温度変化により生ずる応力により変化することによって
温度変化に伴う枠材の伸縮分が吸収され、フレームＦと
側壁との間のクリアランスを略一定に保つことができ
る。そしてシール機構について特段の配慮を払うことな
くフレームの損傷を未然に防止できる。

〔実施例〕

本発明の実施例を第１図ないし第10図に基づいて説明す
る。

まず、本発明で用いる枠材１について述べると、枠材１
はアルミニウムの引き抜き成型により製造したものであ
る。

第１図に示す例では歪吸収部４を逆「Ｕ」字状に形成す
るとともに、その両端部分を延出してフィルタ３を支え
る鍔部２としたものである。さらに、内部にバックアッ
プ（保型）材Ｂが充填され、歪吸収部４の開口部８には
シール材Ｓが挾挿される。

第２図は第１図の枠材１を組み合わせて、フィルタ３間
の支持をさせるようにしたものであり、側壁Ｗとフィル
タ３間を支持させるための枠材１は、平板から鍵形部を
延出して逆「Ｕ」字の状の歪吸収部４を形成し、その先
端を水平方向に延出してフィルタ３を支持するように構
成したものである。

さらに、第３図に示す例では、歪吸収部４の両端から鍔
部２を内方向に夫々延出させ、この鍔部２から下方に延
びる延出部９に逆「Ｕ」字状部を形成したものである。
そして、側壁Ｗに装着して使用する場合には第４図に示
す如く構成される。

前記したいずれのものにおいても歪吸収部４の内部には
バックアップ（保型）材Ｂが充填され、歪吸収部４の開
口部８にはシール材Ｓが挾挿される。但し歪吸収部４内
のバックアップ材Ｂとシール材Ｓは場合により省略して
もよい。

第５図に示す例では、歪吸収部４の両端から鍔部２を外
方向に夫々延出させ、２単位の逆「Ｕ」字状の湾曲部を
設けたものである。この例ではバックアップ材Ｂと歪吸
収部４の開口部８に挾挿されるシール材Ｓは省略してあ
る。

そして、前記した構成になる枠材１を縦枠1aと横枠1bと
のうちいずれか一方、または両方に用い、これらを格子
状に配置してフレームＦが構成され、このフレームＦは
天井（図示せず）から吊り下げられる。

このフレームＦの外周部は第７図に示すように、クリー
ンルームの側壁Ｗにシール材Ｓを介して密接しており、
各単位格子内にはフィルタ３が夫々独立して配置されて
いる。そして、枠材１に形成された歪吸収部４は、その
枠材１の長さ方向に対して略直角方向で与えられる変位
を吸収するよう作用し、この歪吸収部４は、矢示Ｇ方向
での熱応力に対して変形するようになっている。

第６図は第３図に示す枠材１をクロスした状態で一体成
型したものである。なお、枠材１を交差させる場合には
後述する第８図（Ａ）（Ｂ）のようなクロス用枠材11を
用いてもよい。

〈フレームの実施例１〉 第７図は縦枠1aと横枠1bとに夫々前記第１図に示した枠
材１を用い、これら枠材により構成されたメインフレー
ムの各区画内に、一般の枠材により構成したサブフレー
ムを配置し、さらにこのサブフレームの各区画内にフィ
ルタ３を配置したものである。

そしてこれらの構成になるフレームＦをクリーンルーム
の側壁Ｗにシール材Ｓを介して支持せしめたものであ
る。

前記した構成とすることによりフレームＦ全体として見
れば、その結合態様として、本発明による枠材同士が結
合している箇所と、本発明による枠材と従来の枠材とが
結合している箇所とが生じる。

まず、本発明による枠材同士が結合している部分は第８
図（Ａ）（Ｂ）に示すように、クロス用枠材11により結
合したものである。十字状に形成したクロス用枠材11の
断面は前記枠材１と同形状に形成されており、その歪吸
収部14の内部には「コ」字状に形成したジョイント20が
ボルト15により取り付けられている。

前記枠材１とクロス用枠材11とを連結する場合、前記ジ
ョイント20をクロス用枠材11の歪吸収部14内に挿入して
ボルト15で固定した後、ジョイント20に枠材１を接続し
てボルト15で固定する。

前記枠材１の伸縮によりクロス用枠材11に力が加わった
場合には第８図（Ｂ）に示すように、矢示の方向に撓
み、寸法誤差を吸収する。

次に、本発明による枠材１と従来の枠材とが結合してい
る部分について説明する。

この部分は第９図（Ａ）（Ｂ）に示すように、枠材１を
フレームＦの縦方向のみに配置して縦枠1aとし、横方向
の枠材は一般の逆Ｔ字型の横枠1bとなっている。

縦枠1aには、その鍔部２と歪吸収部４とにまたがるよう
リブ５が取り付けられており、このリブ５の先端側には
穴5aが形成されている。そして一般の逆Ｔ字型の横枠1b
の端部にも穴2aが形成され、ボルト5bとナット5cにより
前記穴5aと連結されている。ボルト5bとナット5cによる
取り付けは余裕を持たせてあり、回動自在となってい
る。回動自在としたのは、歪吸収部４がその湾曲部4aを
中心として揺動するため前記連結部に曲げ方向のモーメ
ントが加わるからである。

このように、縦枠1aをフレームＦの縦方向に配置するこ
とよって、フレームＦの横方向の伸縮に対して緩衝作用
がなされるようになっている。

〈フレームの実施例２〉 この実施例は第３図に示した枠材１を利用したものであ
り、本発明による枠材同士が結合している部分は第６図
に示すように枠材１をクロスさせて一体成型したものを
適宜接続して構成する。

また本発明による枠材１と従来の枠材とが結合している
部分について第10図により説明する。

縦枠1aの側面に接続リブ6,6を設け、この接続リブ6,6の
間に従来の横枠1bを位置せしめた上でボルト７で貫通し
て締着したものである。

〈フレームの実施例３〉 以上述べたように、歪吸収部４付きの枠材１でフレーム
Ｆを形成するにあたっては種々の態様があるが、これら
の例に限定されるものではなく、例えば、枠材１を横方
向のみに配置したり、フレームＦの周囲において側壁Ｗ
に接して配置する等の態様を採ることができる。

なお、フレームＦを構成する枠材１を総て歪吸収部４を
備えたものとすると各単位格子の伸縮をも低減すること
ができ、優れた性能が得られるが、前記した実施例のよ
うにこれを要所に用いたものにおいてもフレーム全体に
生じる伸縮を吸収できる。このため各部に用いられるシ
ール材Ｓについて特段の配慮をする必要はなく、側壁Ｗ
との密閉性はシール材Ｓによって正常に保たれる。

前記したフレームＦは小形のものにおいては周囲だけを
固定して使用することも可能ではあるが、フレームＦの
要所、即ち、クロス部分等を天井に固定することが枠材
の伸縮を吸収する上で望ましい。

〔発明の効果〕

本発明によれば、枠材に、フィルタを支える鍔部側から
天井側に向けて断面逆「Ｕ」字状の湾曲部を少なくとも
１単位設けてなる歪吸収部を枠材に設けたので、この枠
材によりクリーンルームを構成すると温度変化に伴う枠
材の変形分を前記逆「Ｕ」字状の湾曲部の開口部の変形
によって吸収でき、枠材の変形によるシール損傷を未然
に防止できる。さらに、歪吸収部を複数単位設けた場合
には、各単位の歪吸収部の枠材の変形にする吸収が僅か
でも、全体的には枠材の変形分の吸収効果は大となる。

このためクリーンルームの気密性を良好に保持すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第10図は本発明の実施例を示し、第１図な
いし第５図は枠材の実施例を示す断面図、第６図は交差
部分の斜視図、第７図は枠全体の平面図、第８図（Ａ）
はクロス用枠材を示す斜視図、第８図（Ｂ）はその平面
図、第９図（Ａ）はフレームの交差部分を示す斜視図、
第９図（Ｂ）はその断面図、第10図はその他の実施例を
示すフレームの交差部分の斜視図、第11図ないし第13図
は従来のクリーンルームにおけるフィルタ取り付け用枠
材を示し、第11図は断面図、第12図は枠材の交差部分の
斜視図、第13図はフレーム全体の斜視図である。 1,11……枠材、1a……縦枠、 1b……横枠、２……鍔部、 ３……フィルタ、4,14……歪吸収部、 Ｗ……側壁、Ｓ……シール材、 Ｆ……フレーム。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】縦枠1aと横枠1bとを格子状に配置するとと
   もに各単位格子内に夫々フィルタ３を設けるためのクリ
   ーンルームにおけるフィルタ取り付け用フレームにおい
   て、 縦枠1aと横枠1bとのうち少なくとも一方の枠材として、
   フィルタ３を支える鍔部２側から天井側に向けて延びる
   断面逆［Ｕ」字状とした湾曲部を少なくとも１単位設け
   てなる歪吸収部４を備えた枠材１を用いたことを特徴と
   するクリーンルームにおけるフィルタ取り付け用フレー
   ム