JPH0244827Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、乱流方式で汚染空気を濾過するクリ
ーンルームに於けるエアーフイルター装置に関す
るものである。

［従来の技術］ 従来のクリーンルームには、汚染空気濾過手段
として層流方式と乱流方式とがあり、層流方式は
各メーカー独自のシステムで市販されていたが、
乱流方式については確たるシステムがなく、単に
HEPAフイルターを装着したフイルター枠本体
を天井面に埋め込み、部屋容積に対する換気回数
でクリーン度を維持していた。

具体的には第１１図に示すように、天井面３１
に埋め込まれたフイルター枠本体３２の上方部に
フアン３３が装着され、且フイルター枠本体３２
の下方開口部に方形のフイルター３４を装着する
と共に、該フイルター３４の下面にはフイルター
３４よりの清浄空気をクリーンルーム３５内に拡
散する多孔板３６が装着されている。そして、ク
リーンルーム３５の壁面３７下部には空気の吸込
口３８が設けられており、吸込口３８より吸引さ
れた空気を吸引ボツクス３９を経てフイルター枠
本体３２へ送気できるようダクト４０で吸引ボツ
クス３９とフイルター枠本体３２とが連結されて
いて、フアン３３によりクリーンルーム３５内の
汚染空気を吸込口３８、吸引ボツクス３９、ダク
ト４０を介してフイルター枠本体３２へ吸引し、
更にフアン３３により汚染空気をフイルター３４
で濾過して清浄空気となし、再びクリーンルーム
３５内に送風するよう構成されている。

［考案が解決しようとする問題点］ しかしながら、上記従来の乱流方式では第１１
に於いて矢印で表示されているように、多孔板３
６より送気された気流は壁面３７の近くで立上り
の流れになつて塵埃が天井面３１に舞い上り、多
孔板３６から送気されている気流と混合しながら
ぐるぐる回つているため、クリーンルーム３５内
が所定の清浄空気に達するまでのクリーンアツプ
にかなりの時間がかかるという問題点があり、ま
た死角、乱流断面が大きいため換気回数を上げて
もなかなかクリーンアツプできないという問題点
があつた。

本考案は上記問題点を解決すべくなされたもの
で、乱流による逆気流（壁面を伝つて天井面に立
上る気流）を早く回収できるように構成すること
により、クリーンアツプの時間を短くすることが
できるエアーフイルター装置を提供しようとする
ことを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本考案はフイルター
を円弧状に形成すると共に、該フイルターを装着
したフイルター取付枠の少なくとも一方に近接し
て空気の吸込口を設けて構成されている。

［作用］ 上記のように構成された本考案によれば、フイ
ルターが円弧状に形成されているために、フイル
ターを通してクリーンルーム内へ送気される送風
気流の分散効率が良く、またフイルターに近接し
て空気の吸込口を設けることにより、クリーンル
ーム内の汚染空気の乱流による逆気流を早く回収
できる。

［実施例］ 本考案の実施の一例を図に就いて詳細に説明す
るに、プリーツ状に折り込まれた濾材１を気流の
拡散を図るべく円弧状に湾曲させると共に、各折
り込み部に夫々セパレータ２を介装して円弧状フ
イルター３を形成する。

前記円弧状フイルター３を装着固定するフイル
ター枠本体４は、多くの場合天井面５に垂設され
た吊りボルト６を介して取付けられるのである
が、このフイルター枠本体４は天井面５に取付け
るか、天井面５と壁面７とのコーナー部分に取付
けるか、または天井面５に取付けるがフアン８を
フイルター枠本体４に取付けるか否かによつて、
その形状が夫々稍異なるのである。

第１図、第２図に示すものは、フイルター枠本
体４が天井面５に取付けられるタイプのものであ
る。このフイルター枠本体４は天井面５に垂設さ
れた吊りボルト６に貫挿して吊持される平面的な
基板９の前後端に夫々前・後部板１０，１１を垂
設し、更に前記円弧状フイルター３を装着固定す
べく両方の側壁１２を下方へ向けてラツパ状態に
拡開し、且その先方部を夫々内方へ折曲して折曲
片１３を設けると共に、各側壁１２を連結する平
面状の上方板１４に通気孔１５を穿設して構成さ
れたフイルター取付枠１６を前・後部板１０，１
１に上方板１４と基板９との間に間隔部１７を設
けて固定し、基板９と各側壁１２との間にクリー
ンルーム１８内の空気を吸込む略扇形をした吸込
口１９を夫々設けて形成してある。

上方板１４に穿設された通気孔１５の下面には
フアン８が装着されると共に、各側壁１２間には
円弧状フイルター３が装着固定されている。好ま
しくは、空気の吹出口である円弧状フイルター３
と吸込口１９との境の各側壁１２の折曲片１３部
に照明器具２０を突出して取付けることが推奨さ
れ、これにより照度確保と風向ガイドの役割りを
果すことができる。また、円弧状フイルター３の
下面には多孔板２１を装着することにより、円弧
状フイルター３により分散された気流は更に拡散
してクリーンルーム１８内に送風される。

吸込口１９の開口端部には多孔板２２か多翼風
向板（図示せず）が、取外し自在なるように取付
けてある。従つて、円弧状フイルター３を装着し
たフイルター枠本体４は、原則として天井面５に
開口を設けなくても、吊りボルト６が垂設されて
おれば、吸込口１９の多孔板２２または多翼風向
板を取外して、吸込口１９に手を差し込んで吊り
ボルト６を基板９に嵌挿してナツト２３で固定
し、再び多孔板２２または多翼風向板を取付けれ
ば良い。

第３図〜第６図に示すものは本考案エアーフイ
ルター装置の使用例を示すもので、第３図のもの
が前記第１図、第２図のものと同一タイプで天井
面５に取付けるのに対して、第４図〜第６図のも
のは天井面５と壁面７とのコーナー部分に取付け
るものである。更に具体的に説明すると、第４図
のものは前記第３図のものと同様吸込口１９が２
個設けてあるが、基板９ａがコーナー取付けに適
するよう２個所に亘つて折曲してあり、また第５
図の基板９ｂ、第６図の基板９ｃともに夫々コー
ナー取付に適するよう２個所に亘つて折曲されて
いるが、第５図のものは吸込口１９が１つで天井
面５側から吸込むように天井面５側に設けられ、
また第６図のものも吸込口１９が１つで、壁面７
側から吸込むように壁面７側に設けられている。

また更に第７図〜第９図は他の実施例を示すも
ので、天井面５に取付けるがフイルター３上にフ
アン８が設置されていないタイプのものである。
すなわち、汚染された空気を吸込口１９より吸引
して室外へ排気するため、基板９を貫通して天井
面５上を経て室外へ延長された排気ダクト２５に
室外の空気を吸引する外部空気吸引管２６を接続
し、その接続部の後流側にフアン８を装置し、更
に排気ダクト２５から吸引された汚染空気と外部
空気とをフアン８の後流側に連結され、且その先
方部が基板９及び上方板１４を貫通してフイルタ
ー３に臨むよう構成された送気ダクト２７により
フイルター３に送気するよう構成されている。ま
た、第１０図に示すものは、本考案エアーフイル
ター装置を複数列に亘つて装置したものであり、
このように使用することにより広いクリーンルー
ム１８にも対応できる。

実施例の作用について説明すると、フイルター
３が円弧状をなしているために、フイルター３に
よつて濾過された清浄空気は第３図〜第６図、第
１０図に於いて矢印で示されるように、クリーン
ルーム１８内に分散して送風され、更にクリーン
ルーム１８内の汚染空気の乱流による逆気流はフ
イルター３に近接して一側または両側に設けられ
た吸込口１９より吸引される。

［考案の効果］ 本考案は上述のようであから、フイルターが円
弧状に構成されているために、フイルターからの
送風気流は分散効率が良く、従つてクリーンルー
ム内に効率良く分散送風され、またクリーンルー
ム内の汚染空気の乱流による逆気流をフイルター
に近接して設けられた吸込口より早く回収できる
ので、クリーンルーム内が所定の清浄空気に達す
るまでのクリーンアツプが短時間ででき、その利
とする処大なるものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は縦断面図、第２図は側面図、第３図〜
第６図は使用例を示す概略説明図、第７図は他の
実施例を示す側面図、第８図は第７図のＡ−Ａ線
断面図、第９図は第７図のＢ−Ｂ線断面図、第１
０図は本考案エアーフイルター装置を複数列に装
置した概略説明図、第１１図は従来例の縦断面図
である。 図中、３は円弧状フイルター、１６はフイルタ
ー取付枠、１９は吸込口である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. フイルターを円弧状に形成すると共に、該円弧
   状のフイルターを装着したフイルター取付枠の少
   なくとも一方に近接して空気の吸込口を設けて成
   るエアーフイルター装置。