JP2008275233A - Booth for conditioning temperature - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電子部品の組立等の各種作業を行う場所において、限られた必要箇所のみを所定の温度条件下の雰囲気に保持するために用いられる温調用ブースに関し、特に、十分な断熱性を備える温調用ブースに関するものである。 The present invention relates to a temperature control booth that is used to maintain only a limited necessary part in an atmosphere under a predetermined temperature condition in a place where various operations such as assembly of electronic parts are performed, and in particular, sufficient heat insulation. The temperature control booth is provided.
従来、電子部品の組立等の各種作業を所定の温度条件下で、しかも清浄な雰囲気の中で行うために用いられる温調用ブースとして、例えば、図3に示すような温調用ブースが実用に供されている。
図3に示す温調用ブース101は、図示されない空気温調装置からの温調空気が導入されるチャンバ110を頂部に有するブース本体102と、このブース本体102の周囲に配設されてブース空間103を外部空間104と仕切る仕切部材105とを備えて構成されている。
この温調用ブース101においては、チャンバ110の下側の面板が樹脂製ネット(あるいはパンチングメタル)よりなる吹出し面板121とされ、この吹出し面板121の吹出し面積に応じて、所要個数(図3では一側の3個しか描かれていないが他側の3個も含めて合計6個)のエアフィルタユニット126がチャンバ110内に配設され、チャンバ110内に導入された温調空気をそれらエアフィルタユニット126を通して浄化し、浄化された温調空気を吹出し面板121の全体から均一な下降流として吹き出させることができるようになっている。
Conventionally, for example, a temperature control booth as shown in FIG. 3 has been put to practical use as a temperature control booth used to perform various operations such as assembly of electronic components under a predetermined temperature condition and in a clean atmosphere. Has been.
A
In the
ところで、この温調用ブース101においては、ブース空間103と外部空間104とを仕切る仕切部材105として一重のシート材(例えば、塩化ビニル樹脂等の合成樹脂製のシートからなるカーテン等)が用いられているが、この一重のシート材では断熱効果が不十分であるという問題があった。
そこで、仕切部材を二重のシート材にて構成することにより内外シート材間に空間を形成することが行われている(例えば、特許文献1参照)が、内外シート材間に形成された空間内の空気が流動しないことから該空間の温度が外部空間の温度によって変化することによりブース空間の温度が影響を受け、断熱性が十分に得られないという問題があった。
Thus, a space formed between the inner and outer sheet materials is formed by forming the partition member with a double sheet material (see, for example, Patent Document 1). Since the air inside does not flow, the temperature of the space changes depending on the temperature of the external space, so that the temperature of the booth space is affected and there is a problem that sufficient heat insulation cannot be obtained.
本発明は、上記従来の温調用ブースの有する問題点に鑑み、十分な断熱性を備える温調用ブースを提供することを目的とする。 In view of the problems of the above-described conventional temperature control booth, an object of the present invention is to provide a temperature control booth having sufficient heat insulation.
上記目的を達成するため、本発明の温調用ブースは、空気温調装置からの温調空気が導入されるチャンバを頂部に有するブース本体と、このブース本体の周囲に配設されてブース空間を外部空間と仕切る仕切部材とを備え、空気温調装置からの温調空気をチャンバを介してブース空間に導入するようにした温調用ブースにおいて、仕切部材を、所定間隔を存じて内外に配設した二重のシート材にて構成することにより内外シート材間に空間を形成し、内外シート材間に形成した空間とチャンバとを連通する連通手段を設けるとともに、内外シート材間に形成した空間とブース空間とを連通する連通手段を設けたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, a temperature control booth according to the present invention includes a booth main body having a chamber into which temperature controlled air from an air temperature control device is introduced at the top, and a booth space disposed around the booth main body. In a temperature control booth provided with a partition member for partitioning from an external space and introducing temperature-controlled air from an air temperature control device into the booth space through a chamber, the partition members are arranged inside and outside at a predetermined interval. A space formed between the inner and outer sheet materials by providing a communication means for forming a space between the inner and outer sheet materials and communicating the space formed between the inner and outer sheet materials and the chamber. A communication means for communicating with the booth space is provided.
この場合において、内外シート材間に形成した空間とブース空間とを連通する連通手段は、内側シート材の下端と床面との間に隙間を設けることで形成される開口部とすることができる。 In this case, the communication means for communicating the space formed between the inner and outer sheet materials and the booth space can be an opening formed by providing a gap between the lower end of the inner sheet material and the floor surface. .
また、チャンバは、温調空気流れ下流側に配される下流側チャンバと、温調空気流れ上流側に配され、下流側チャンバの吹出し面積よりも小さな吹出し面積の吹出し開口部を有する上流側チャンバとよりなり、上流側チャンバの吹出し開口部と下流側チャンバとの間にエアフィルタユニットを介設するとともに、下流側チャンバ内に拡散板をそのエアフィルタユニットに対応させて設けることができる。 The chamber includes a downstream chamber disposed on the downstream side of the temperature-controlled air flow, and an upstream chamber disposed on the upstream side of the temperature-controlled air flow and having a blowout opening having a blowout area smaller than the blowout area of the downstream chamber. Thus, an air filter unit can be interposed between the outlet opening of the upstream chamber and the downstream chamber, and a diffusion plate can be provided in the downstream chamber corresponding to the air filter unit.
本発明の温調用ブースによれば、内外シート材間に形成した空間とチャンバとを連通する連通手段によってチャンバから温調空気が内外シート材間の空間に導入され、この内外シート材間の空間に導入された温調空気は当該空間を流下した後、ブース空間に導入され内外シート材間の空間とブース空間とを連通する連通手段を介して吹き出される温調空気と合流して、外側シート材と床面との隙間から外部空間に放出される。こうして、内外シート材間に形成した空間内に温調空気を流下させることができるので、内外シート材間に形成した空間の温度が外部空間の温度によって変化することを確実に防止することができ、十分な断熱性を具備する温調用ブースを提供することができる。 According to the temperature control booth of the present invention, the temperature control air is introduced from the chamber into the space between the inner and outer sheet materials by the communication means for communicating the space formed between the inner and outer sheet materials and the chamber, and the space between the inner and outer sheet materials. After the temperature-controlled air introduced into the space flows down the space, the temperature-controlled air is introduced into the booth space and merged with the temperature-controlled air blown out through the communication means that connects the space between the inner and outer sheet materials and the booth space, It is discharged into the external space through the gap between the sheet material and the floor surface. In this way, temperature-controlled air can flow down into the space formed between the inner and outer sheet materials, so that the temperature of the space formed between the inner and outer sheet materials can be reliably prevented from changing depending on the temperature of the outer space. It is possible to provide a temperature control booth having sufficient heat insulation.
また、内外シート材間に形成した空間とブース空間とを連通する連通手段は、内側シート材の下端と床面との間に隙間を設けることで形成される開口部とすることにより、外側のシート材はブース空間の陽圧により外側に膨張するのに対し、内側のシート材は陽圧の影響が相殺されるため、内外のシート材が接することがなく、内外シート材間に所定の空間を確実に確保することができる。 Further, the communication means for communicating the space formed between the inner and outer sheet materials and the booth space is an opening formed by providing a gap between the lower end of the inner sheet material and the floor surface. While the sheet material expands to the outside due to the positive pressure in the booth space, the inner sheet material cancels out the influence of the positive pressure, so the inner and outer sheet materials do not come into contact with each other, and a predetermined space is provided between the inner and outer sheet materials. Can be ensured.
また、チャンバは、温調空気流れ下流側に配される下流側チャンバと、温調空気流れ上流側に配され、下流側チャンバの吹出し面積よりも小さな吹出し面積の吹出し開口部を有する上流側チャンバとよりなり、上流側チャンバの吹出し開口部と下流側チャンバとの間にエアフィルタユニットを介設するとともに、下流側チャンバ内に拡散板をそのエアフィルタユニットに対応させて設けることにより、使用されるエアフィルタユニットの個数を従来の温調用ブースよりも削減することができ、またエアフィルタユニットを通して浄化された温調空気を拡散板により拡散させて下流側チャンバからブース空間に向けて均一な下降流として吹き出させることができ、更に内外シート材間に形成した空間に下流側チャンバからの温調空気をよりスムーズに導入することができる。 The chamber includes a downstream chamber disposed on the downstream side of the temperature-controlled air flow, and an upstream chamber disposed on the upstream side of the temperature-controlled air flow and having a blowout opening having a blowout area smaller than the blowout area of the downstream chamber. It is used by providing an air filter unit between the outlet opening of the upstream chamber and the downstream chamber, and providing a diffusion plate in the downstream chamber corresponding to the air filter unit. The number of air filter units can be reduced compared to the conventional temperature control booth, and the temperature-controlled air purified through the air filter unit is diffused by the diffusion plate and uniformly lowered from the downstream chamber toward the booth space. In addition, the temperature control air from the downstream chamber can be further smoothed into the space formed between the inner and outer sheet materials. It can be introduced in the figure.
以下、本発明の温調用ブースの実施の形態を、図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of a temperature control booth according to the present invention will be described with reference to the drawings.
図1〜図2に、本発明の温調用ブースの一実施例を示す。
図1(a)(b)に示す温調用ブース1は、温調用クリーンブースとも呼ばれるもので、ブース本体2と、このブース本体2の周囲に配設されてブース空間3を外部空間4と仕切る仕切部材5とを備えている。
ブース本体2は、該ブース本体2の頂部に配されるチャンバ10と、床面FL上に立設される4本の支柱11とを有し、チャンバ10の四隅が4本の支柱11の上端部に連結されて構成されている。
そして、この温調用ブース1においては、空気温調装置15からの温調空気がダクト16を介してチャンバ10内に導入され、チャンバ10内に導入された温調空気がブース空間3に導入されるようになっている。
1 to 2 show an embodiment of a temperature control booth according to the present invention.
The
The booth
In the
チャンバ10は、温調空気流れ下流側に配される下流側チャンバ10bと、温調空気流れ上流側に配されてダクト16が接続される上流側チャンバ10aとが組み合わされてなるものである。
下流側チャンバ10bは、図2に示すように、四角枠状のチャンバ枠フレーム20に組み付けられる樹脂製ネット(あるいはパンチングメタル)よりなる吹出し面板21と、この吹出し面板21の上方にその吹出し面板21と対向して配される天板22と、これら吹出し面板21及び天板22の間の空間を取り囲むように四方に配される側板23とより構成されている。
上流側チャンバ10aは、下流側チャンバ10bにおける天板22の中央に形成された温調空気の導入開口部24に対応する温調空気の吹出し開口部25を有する箱型構造体よりなり、吹出し開口部25の吹出し面積が、下流側チャンバ10bの吹出し面積、つまり吹出し面板21の吹出し面積よりも小さく設定されてなるものである。
The
As shown in FIG. 2, the
The
上流側チャンバ10aと下流側チャンバ10bとの間には、集塵面26aを上流側チャンバ10aの吹出し開口部25に臨ませて、吹出し面26bを下流側チャンバ10bの導入開口部24に臨ませて、エアフィルタユニット26が介設されている。
こうして、空気温調装置15からダクト16を介して上流側チャンバ10aに導入された温調空気をエアフィルタユニット26を通して浄化し、浄化された温調空気を下流側チャンバ10b内に送り込むようにされている。
Between the
Thus, the temperature-controlled air introduced into the
本実施例においては、エアフィルタユニット26として、従来の温調用ブース101で用いられているエアフィルタユニット126と基本的に同じものが1個だけ使用されている。
従来の温調用ブース101では、本実施例の下流側チャンバ10bに相当するチャンバ110に温調空気が直接的に導入される構成とされているから、チャンバ110内にそのチャンバ110内空間全体を上下に二分割するように所要個数(6個)のエアフィルタユニット126を組合せ配置しなければならないが、本実施例では、下流側チャンバ10bにその下流側チャンバ10bの吹出し面積よりも小さな吹出し面積の吹出し開口部25を有する上流側チャンバ10aを付設し、温調空気を一旦この上流側チャンバ10aに導入した後に下流側チャンバ10bに導入するようにされているから、使用されるエアフィルタユニット26としては上流側チャンバ10aにおける吹出し開口部25の開口面積に対応するものであればよく、従来の温調用ブース101と比べて、エアフィルタユニットの使用個数を大幅に削減することができる。
In the present embodiment, as the
In the conventional
ここで、温調空気の定格風量の増大等に伴い集塵能力をアップさせなければならないときには、エアフィルタユニット26に代えてそのエアフィルタユニット26よりも高さ寸法の大きなエアフィルタユニットを採用することで対応するといった具合に、吹出し開口部25の開口面積を変更するといったような設計変更を要することなく集塵能力をアップさせることができる。
なお、このとき、圧損の増大が問題となる場合には、所要の送風能力の送風機を上流側チャンバ10a内に設けることで対応すればよい。
Here, when it is necessary to increase the dust collection capacity with an increase in the rated air volume of the temperature-controlled air, an air filter unit having a height dimension larger than that of the
At this time, if an increase in pressure loss becomes a problem, a blower having a required blowing capacity may be provided in the
下流側チャンバ10bの内部には、エアフィルタユニット26に対応させて拡散板30が配設されている。
より具体的には、天板22における導入開口部24の直下において、その導入開口部24の開口面積と略同面積の拡散板30がエアフィルタユニット26の吹出し面26bと対向し、かつその吹出し面26bと吹出し面板21との間に略等間隔で配設されている。
拡散板30は、縦横に所定ピッチで多数の孔30aが穿設された平板で構成されており、天板22の導入開口部24を取り囲んで天板22から吊り下げられ、エアフィルタユニット26により清浄化された温調空気を側方に向けて吹き出す開口部分31aが四方の側面に設けられた枠体31によって支持されている。
A
More specifically, immediately below the introduction opening 24 in the
The diffusing
仕切部材5は、所定間隔を存じて内外に配設した二重のシート材5a,5bにて構成されている。
これにより、内側シート材5aと外側シート材5bとの間に空間35(以下、「内外シート材間空間35」という。)が形成される。
内側シート材5a及び外側シート材5bはいずれも塩化ビニル樹脂等の合成樹脂製のシートからなるカーテンよりなり、内側シート材5aはチャンバ枠フレーム20の内周部にカーテンレールアッセンブリ36を介して吊り下げられる一方、外側シート材5bはチャンバ枠フレーム20の外周から外方に張り出されたカーテンレール取付ブラケット37にカーテンレールアッセンブリ36を介して吊り下げられている。
The
Thereby, a space 35 (hereinafter referred to as “inside / outer
Both the
ここで、外側シート材5bは、その下端が床面FLに接触するようにその上下方向寸法が設定される一方、内側シート材5aは、その下端と床面FLとの間に所定の隙間Sを存するようにその上下方向寸法が設定されている。
こうして、内側シート材5aの下端と床面FLとの間に隙間Sを設けることにより、内外シート材間空間35とブース空間3とを連通する連通手段としての開口部40を形成することができる。
また、外側シート材5bはブース空間3の陽圧により外側に膨張するのに対し、内側シート材5aは陽圧の影響が相殺されるため、内外シート材5a,5bが接することがなく、内外シート材間空間35を確実に確保することができる。
Here, the
Thus, by providing the gap S between the lower end of the
Further, the
チャンバ枠フレーム20において、その内周と外周との間の中間部には、下流側チャンバ10bと内外シート材間空間35とを連通する連通手段としての連通孔41が、図1に示すように全周にわたって所定ピッチで穿設されている。
こうして、下流側チャンバ10b内の温調空気を、連通孔41を通して、内外シート材間空間35に導入することができる。
なお、複数の連通孔41を通して内外シート材間空間35に導入される温調空気の流量は、適宜に連通孔41をホールプラグ等で塞ぐことにより調整することができる。
In the
In this way, the temperature-controlled air in the
The flow rate of the temperature-controlled air introduced into the inner and outer
以上に述べたように構成される温調用ブース1においては、空気温調装置15によって所定の温度に調整された温調空気がダクト16を介して上流側チャンバ10aに導入される。
上流側チャンバ10aに導入された温調空気はエアフィルタユニット26を通過する際に浄化され、浄化された温調空気はエアフィルタユニット26の吹出し面26bから下流側チャンバ10b内に吹き出される。
エアフィルタユニット26の吹出し面26bから下流側チャンバ10b内に吹き出された温調空気は拡散板30に吹き付けられ、拡散板30に吹き付けられた温調空気は、その一部の温調空気が枠体31の四方の側面に設けられた開口部分31aを通って四方に拡散され、残りの温調空気が拡散板30に設けられた孔30aを通って下方へと流下される。
こうして、下流側チャンバ10b内全体に温調空気が分散される。
In the
The temperature-controlled air introduced into the
The temperature-controlled air blown into the
Thus, the temperature-controlled air is dispersed throughout the
下流側チャンバ10b内全体に分散された温調空気のうち、大部分の温調空気は吹出し面板21からブース空間3に向けて均一な下降流として吹き出される一方、一部分の温調空気は連通孔41を通って内外シート材間空間35に導入され、この内外シート材間空間35に導入された温調空気は当該空間35を流下した後、ブース空間3に導入され内外シート材間空間35とブース空間3とを連通する連通手段としての開口部40を介して吹き出される温調空気と合流して、外側シート材5bと床面FLとの隙間から外部空間4に放出される。
こうして、内外シート材間空間35内に温調空気を流下させることができるので、内外シート材間空間35の温度が外部空間4の温度によって変化することを確実に防止することができ、十分な断熱性を確保することができる。
Of the temperature-controlled air dispersed throughout the
Thus, the temperature-controlled air can flow down into the
本実施例の温調用ブース1は、空気温調装置15からの温調空気が導入されるチャンバ10(10a,10b)を頂部に有するブース本体2と、このブース本体2の周囲に配設されてブース空間3を外部空間4と仕切る仕切部材5とを備え、空気温調装置15からの温調空気をチャンバ10を介してブース空間3に導入するようにした温調用ブースにおいて、仕切部材5を、所定間隔を存じて内外に配設した二重のシート材5a,5bにて構成することにより内外シート材間空間35を形成し、内外シート材間空間35と下流側チャンバ10bとを連通する連通孔41を設けるとともに、内外シート材間空間35とブース空間3とを連通する開口部40を設けるようにしているので、内外シート材間空間35内の空気が流動し内外シート材間空間35の温度が外部空間4の温度によって変化することを防止するとともに温度ムラをなくすことができ、仕切部材5の断熱性を実質的に高めることができ、十分な断熱性を備えるものとすることができる。
The
以上、本発明の温調用ブースについて、実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。 As mentioned above, although the temperature control booth of the present invention has been described based on the embodiments, the present invention is not limited to the configurations described in the above embodiments, and the configurations are appropriately changed without departing from the gist thereof. It is something that can be done.
本発明の温調用ブースは、十分な断熱性を備えるという特性を有していることから、実施例に記載した温調用クリーンブースの用途に好適に用いることができるほか、ブース空間の空気の一部を空気温調装置との間で循環させるようにした温調用クリーンブース、フィルタを配設しない温調用ブース(ブース空間の空気の一部を空気温調装置との間で循環させるようにしたものを含む)等の各種温調用ブース(恒温用ブースを含む)に広く適用できるものであって、これらを排除しないものである。 Since the temperature control booth of the present invention has a characteristic that it has sufficient heat insulation, it can be suitably used for the use of the temperature control clean booth described in the examples, as well as one of the air in the booth space. Temperature control clean booth that circulates between the air temperature control device and temperature control booth without a filter (a part of the air in the booth space is circulated with the air temperature control device) The present invention can be widely applied to various temperature control booths (including constant temperature booths) and the like, and these are not excluded.
1 温調用ブース
2 ブース本体
3 ブース空間
4 外部空間
5 仕切部材
10 チャンバ
10a 上流側チャンバ
10b 下流側チャンバ
15 空気温調装置
25 吹出し開口部
26 エアフィルタユニット
30 拡散板
35 内外シート材間空間
40 開口部(連通手段)
41 連通孔(連通手段)
DESCRIPTION OF
41 communication hole (communication means)
Claims (3)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007118255A JP4664941B2 (en) | 2007-04-27 | 2007-04-27 | Temperature control booth |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007118255A JP4664941B2 (en) | 2007-04-27 | 2007-04-27 | Temperature control booth |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008275233A true JP2008275233A (en) | 2008-11-13 |
JP4664941B2 JP4664941B2 (en) | 2011-04-06 |
Family
ID=40053390
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007118255A Active JP4664941B2 (en) | 2007-04-27 | 2007-04-27 | Temperature control booth |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4664941B2 (en) |
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WO2017138356A1 (en) | 2016-02-08 | 2017-08-17 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | Structure for removing static electricity in low-humidity space |
JPWO2017138356A1 (en) * | 2016-02-08 | 2018-02-15 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | Static electricity removal structure in low humidity space |
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JP2021167722A (en) * | 2021-07-15 | 2021-10-21 | 株式会社西部技研 | Clean booth |
JP7102032B2 (en) | 2021-07-15 | 2022-07-19 | 株式会社西部技研 | Clean booth |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4664941B2 (en) | 2011-04-06 |
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Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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