JPH02183749A - 二重空気膜構造クリーンルーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はニューマチック構造のクリーンルームに関する
もので、さらに詳しくは二重の膜材で作られた二重膜構
造体の内側に絶えず少量の清浄化空気を送り込むと共に
、使用された清浄化空気の１部を膜材間に送り込み、こ
れらによって構造体の内側の圧を外気圧よりもわずかに
高めることによって二重膜構造体の形態を維持すると共
に、構造体内側の清浄化を行う二重空気膜構造体で構成
されたクリーンルームに関するものである。

（従来の技術） 半導体基板の製造等の電子部品工業、精密機械工業など
の分野、あるいはドライフィルム、磁気フィルム等の機
能性フィルムの製造工程では、無塵環境が不可欠であり
、そのためのクリーンルームが種々提供されている。

これらクリーンルームは築造形、プレハブ形、ユニット
形などの室内に塵芥５微小粒子類を一定装置により除去
し清浄化した空気を室内に送り込み、これを一定風速で
循環させて室内を清浄化することによって構成されてい
る。

（発明が解決しようとする課題） 我国にあってはクリーンルームの清浄度の基準について
の規格は未だ定められていないが、一般には米国連邦規
ｑ８２０９要旨を準用して、それを基準としているのが
実情であり、それによればクリーンルームの清浄度をク
ラス１００、クラス１０．０００、クラスｔｏｏ、００
０の３段階としており、このクラス１００とは粒子径が
０５μ以上の微粒子が空気１ｆｔ”中に１００個（ｇ。

換算で空気１２中に３．５）以下である清浄度をい＼、
クラス１０，０００とは粒子径が０．５μ以上のものが
空気１ｆｔ’中に１０．０００以下、粒子径５．０μ以
上のものが空気１ｆｔ”中に６５以下である清浄度をい
＼、クラス１００゜０００とは粒子径が０．５μ以上の
ものが空気ｌｆｔ’中に１００，０００以下５粒子径５
．０μ以上のものが空気１ｆｔ’中に７００以下である
清浄度をいうものであって、本発明においてクリーンル
ームと称するのはこの清浄度クラスが１００．０００以
上のクラスすなわちクラスｔｏｏ、０００はもちろん、
クラス１０，０００やクラス１００をいうものである。

ところで、クリーンルームの室構成の面では気密性、耐
熱性、耐久性、居住性等が要求され、そのため普通には
コンクリート建築等による室の形成、あるいはアルミニ
ウム、ステンレス等のクリーンルーム専用パネルを使用
しての室の形成がなされている。したがって、クリーン
ルームの設置には、その建設に長い工期と相当の費用を
必要とするため、クリーンルームは、それほど手軽に設
置できるものではない。

しかしながら、電子工業、精密機械工業などの目ざまし
い発展にともない、その応用分野の広がりが著しい今日
にあっては空気中の微細な塵芥が製品の品質、歩留りを
悪くする原因となっており、したがって品質の向上、生
産性の向上のためには微小な塵芥を制御した作業環境す
なわちクリーンルームの設置は不可欠である。

（課題を解決するための手段） 本発明者は取上のごときクリーンルームの現状に鑑み、
より簡便な、しかも低コストのクリーンルームにつき研
究した結果、二重膜構造体の内部である膜材と膜材との
間、および二重ＩＩＩ　）Ｊ１１部の内側に空気を送り
込んで、それぞれの箇所の内部圧を外気圧より高くし、
これらの内部圧によって支持される二重膜構造体におい
て、二重膜構造体内側の空気は清浄化された空気が再循
環されて反復使用されると共に、この二重膜構造体の内
側で使用された空気の１部は、これを清浄化することな
く、二重膜構造体の内部に送給されて、内部圧を外気圧
より高く維持している二重空気膜構造クリーンルームを
得、本発明に達したものである。

すなわち、本発明は、二重空気膿横遺体を用い、この構
造体の形態維持に必要な空気として清浄化された空気を
用い、このうち、構造体の内側には清浄化された空気が
送給され、しかもこの清浄化された空気は再循環されて
反（夏使用されると共に、使用された空気の１部は、こ
れを清浄化することな（、二重膜構造体の内部である膜
材と膜材との間に送給される点に特徴を有するものであ
る。

（作　用） 高性能フィルターを経て所望の清浄度とされてクリーン
ルーム内に供給された清浄空気は、クリーンルーム内で
消費されて汚濁した空気となった後、循環流として高性
能フィルターを経て再び清浄空気となってクリーンルー
ムに供給されるが。

この時、１部の汚濁された空気は、二重膜構造体の膜材
と膜材との間に送給され、クリーンルームの形態維持に
利用される。

この清浄空気の反復循環使用と、使用された汚濁空気を
クリーンルームの形態維持のための使用とにより、クリ
ーンルームの空気清浄化と形態維持のための設備と費用
とを著しく低減することとなった。

（実　施　例） 次に図面に従って本発明の一実施態様を説明する８図面
は本発明の空気膜構造クリーンルームの一例を示す断面
図である。１は二重膜構造体であって、膜材２と膜材２
′との二重の膜からなり、この膜材２と２′との間であ
る内部３には空気が送給される。この二重膜構造体ｌの
内側４にも空気が送給されるが、これには例えば送風機
５で空気を高性能フィルター６を通して清浄空気７とし
て送り込む、この清浄空気７を床面に設けた多孔板８お
よび循環ダクト９を経て送風ダクトｌＯから高性能フィ
ルター１１を通すことによって、再循環させてクリーン
ルーム１２を構成する。すなわち高性能フィルタ６を通
して送風機５から絶えず送り込まれる清浄空気７によっ
て二重構造体ｌを膨張支持すると共に清浄空気３をクリ
ーンルーム１２内部で高性能フィルタ１１を通して再循
環させることにより、クリーンルーム１２の清浄空気は
反復使用される。また送風ダクトｌＯに分岐管１３を設
け、この分岐管１３を二重膜構造体ｌの内部３に挿入開
口することによって、クリーンルーム１２で使用された
清浄空気の１部は再び清浄化されることなく送風ダクト
ｌＯにより二重膜構造体ｌの内部に送給されて、二重膜
構造体ｌの形態を維持するものとなる。

なお、本発明において二重空気膜構造体というのは、建
造物において周壁と屋根とが共に二重空気膜からなる構
造体、あるいは周壁は構築物ではあるが、これの屋根は
二重空気膜からなる構造体をいうものである。

なお、空気膜構造体内側の空気漏れは、出入口の開閉時
において多いが、例λば２重扉方式を採用することによ
って、これを防止することができる。

またクリーンルーム形成材の内面にあっては静電気障害
によるホコリの付着があってはならず。

したがって本発明では表面平滑性及び表面滑り性に１呆
れていると共に、その表面電気抵抗値が１０”Ω以下で
ある膜材を使用することが好ましい、すなわち、使用す
る膜材の表面電気抵抗値を１Ｏ１０Ω以下とすることに
よって、静電気障害を完全に排除しクリーンルーム内壁
面へのホコリの付着を防止するものである。

本発明の空気膜構造クリーンルームは屋外への設置はも
とより、屋内での簡易クリーンルームとしての設置も可
能である。屋内での設置では特に断熱性を要求されない
場合も多いが、屋外の場合では、直接に太陽光線の熱を
受けるため膜材に対して断熱性が要求される０本発明に
あっては、単一膜材と単一膜材との間に空気が入った二
重空気膜構造体であることによって、断熱効果が発揮さ
れる。

又１発泡ポリエチレンのごとき断熱効果があり、かつ膜
材としての機能を損わない物質層を単一膜材と単一膜材
との間に積層一体化したもの、あるいは表面にアルミ箔
を積層する等の表面断熱処理を施したものを膜材として
用いることによっても断熱の目的を達成する。

一般にクリーンルームにあっては、そのクリーンルーム
空間全体に清浄空気の層流を形成させ、その平均風速を
０．２〜３ｍ／ｓｅｃの範囲に保つことが好ましい、一
方二重空気膜構造体の内側の圧を外気圧よりも００１％
以上好ましくは０．２５％程度高く保つことによって二
重空気膜構造体が支持され室空間が形成されるのである
。

したがって二重空気膜構造体をクリーンルームとして応
用するためには外気圧に対してＯ，１％以上高い二重空
気膜構造体の内側の圧と平均風速０．２〜３ｍ／ｓｅｃ
とを二重空気膜構造体の室空気内においてバランスさせ
ることが好ましい。

本発明にあっては、二重空気膜構造体の内側への清浄化
空気の送り込みは、その方法、装置を特に限定するもの
ではなく、例えば適当な送風機で送られた空気を高性能
フィルタを通して清浄化しこれを０．３〜３ｍ／ｓｅｃ
、一般的には０．５ｍ／ｓｅｃ程度の風速に整流して送
り込む、このようにして送り込まれた清浄化空気は、二
重空気膜構造体の内側においてその床面に設けられた多
孔板を通過し、天井面に設けられた高性能フィルターを
通して、再び室空間内に送り込まれる、いわゆるダウン
フロー式、あるいはまた−壁面部に設けられた多孔板を
通過し１反対側の壁面部に設けられた高性能フィルタを
通して再び室空間内に送り込まれる。いわゆるクロスフ
ロー式のいづれかの再循環方式によって循環させるのが
好ましいが、例＾ばダウンフロー式の場合は、天井に高
性能フィルターおよび送風ダクトを配置し、床下には多
孔板および循環ダクトを取付けた構造とすることによっ
て行うのがよい。

なお、二重空気ｌｌ！構造体の内側に送り込む空気の清
浄化のための機械、例＾ば高性能フィルタの設置場所は
二重空気膜構造体の内外いづれであってもよ（、例久ば
空気送り込み用ダクトのうち、二重空気膜構造体の内側
に突出した部分に高性能フィルタを装置してもよい、ま
た必要に応じて調潰調濃された清浄化空気を送り込むこ
とは好ましい、また、使用された清浄空気を二重膜構造
体の内部である膜材と膜材との間に送給するには、清浄
空気を再循環させるための送風系の１部を分岐して膜材
と膜材との間に送風させるのがよい。

ところで本発明において使用される膜材は、その表面平
滑性及び表面滑り性に優れていると共に表面電気抵抗値
が１０１０Ω以下であるものならばよく特に限定はしな
い、これら膜材としては、繊維布と合成樹脂層とを積層
一体化してなる合成樹脂被覆布が一般に使用され１例え
ばフッ素樹脂加ニガラス布、ナイロン織布をポリ塩化ビ
ニル加工してなるナイロンターポリンなど、その他フィ
ルムシート類が上げられる。

（発明の効果） 本発明は以上に詳細に説明したように構成されているの
で、クリーンルーム内の清浄空気は清浄空気としての役
割と共に二重膜構造体の形態を維持しており、しかも使
用された清浄空気は再循環されて清浄化され反復使用す
ることによりりｇ−ンルームの維持費用を低減するもの
であり、また使用された清浄空気の１部は再び清浄化さ
れないで二重膜構造体の内部に送給されるから、この点
でもクリーンルームの維持費用はさらに低減されること
となる。また本発明のクリーンルームは二重構造体であ
ることから、断熱効果が大きく、このため温調について
も極めて好ましいクリーンルームということができる。

これらのことから清浄度保持機能に優れたクリーンルー
ムを、短かい工期によって低コストで提供することがで
き、特に電子部品工業、精密機械工業などの分野で使用
されるインダストリアルクリーンルームとしては最適の
ものである。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の二重空気膜構造クリーンルームの一実施
態様を示す縦断面図である。 ｌ：二重膜構造体　　２．２′：Ｉｌｉ材３：二重膜構
造体の内部 ４：二重膜構造体の内側 ７：清浄空気　　　　１２：クリーンルーム特許出願人
　ダイニック株式会社

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）二重膜構造体の内部である膜材と膜材との間、お
   よび二重膜構造体の内側に空気を送り込んで、それぞれ
   の箇所の内部圧を外気圧より高くし、これらの内部圧に
   よって支持される二重膜構造体において、二重膜構造体
   内側の空気は清浄化された空気が再循環されて反復使用
   されると共に、この二重膜構造体の内側で使用された空
   気の１部は、これを清浄化することなく、二重膜構造体
   の内部に送給されて内部圧を外気圧より高く維持してい
   ることを特徴とする二重空気膜構造クリーンルーム。
2. （２）膜材は表面電気抵抗値が１０＾１＾０Ω以下であ
   り、かつ表面平滑性に優れた膜材であることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の二重空気膜構造クリーン
   ルーム。
3. （３）二重空気膜構造体の内側の圧が外気圧よりも０．
   １％以上高くかつ、清浄空気流の平均流速は０．２〜３
   ｍ／ｓｅｃであることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載の二重空気膜構造クリーンルーム。