JP3829293B2 - 空気吹出し装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明はクリーンルーム用の空気吹出し装置に関し、特に病院の手術室や半導体チップの製造工場、または精密機器の製造工場等のように特に高いクリーン度の要求されるクリーンルームに好適な空気吹出し装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
乱流（コンベンショナルフロー）方式のクリーンルームは、天井面４ｄに対して高性能フィルターを所定の間隔で複数配し、側壁にリターンダクトの吸気口を一定の間隔で配置するものである。図１１は一般的な乱流方式のクリーンルーム４を概略的に示す模式図である。クリーンルーム４の天井４ｄにはフィルタユニット５を介して給気ダクト４ａが接続され、給気ダクト４ａには空気調和機６、および外気をろ過する外気処理ユニット７が縦列状に接続されている。また、クリーンルーム４の側壁には強制的に排気する図示しない排気ファンが設けられ、さらに、室内空気（２次空気）を空気調和機６の上流側（１次空気）に戻すリターンダクト４ｂ等が設置されている。
【０００３】
フィルタユニット５内部の上流側には図示しない送風ファンが内蔵されており、高性能フィルタ５ａに向けて１次空気を送風するように構成されている。また、フィルタユニット５の天井４ｄに臨む部分には、整流板８が設けられている。図１２は従来のフラット型の整流板８を示す正断面図である。整流板８は無数の吹出し孔がパンチング加工された平板状の金属板からなり、清浄空気を天井面４ｄから床面４ｅに向けて直線的に吹き降ろすように構成されている。
【０００４】
フィルタユニット５同士の間に所定間隔を設ける乱流方式では直線的な風の流れの周囲に空気の淀みが発生してしまい効果的な空気の循環が困難であった。空気が淀む範囲には塵埃が残り易く、さらに、この塵埃は矢印８ａのように渦流とともに回転された後に降下してくる清浄空気に乗って落下する傾向があるため、室内の清浄状態が確保された状態であっても、常に、塵埃が製品上に落下する虞れが有り望ましいものでは無かった。このような問題を回避するためにはフィルタユニット５の配設密度を高める必要があり高価な設備となっていた。
【０００５】
上記のような弊害を無くすために舟型の整流板９を取付けたフィルタユニット５がある。図１３に示されるフィルタユニット５の整流板９はパンチング加工された金属板の中央部が下側に向けて膨出されており、周縁部に傾斜された吹出し面９ａが形成されている。周縁部の傾斜された吹出し面９ａからは斜め外方向に向けて空気が放出されるので、図１２に示されるフラット型の整流板８に比較して空気の淀みが低減され、より効果的な空気清浄が可能となった。しかしながら天井面４ｄに沿った部分には清浄空気が吹き付けられないので、クリーンルーム４内のクリーン度をさらに高めることが困難である。
【０００６】
図１４はフィルタユニット５に取付けられた別の整流板１０を示すものである。図中に示される整流板１０は舟型に形成された金属板の中央面が下側に膨出され、この中央面には無数の吹出し孔がパンチング加工されており、さらに、周囲の傾斜面１０ａにはスロット形の吹出口１０ｂが形成され，内部には風向きを調節できるルーバが設けられている。スロット形の吹出口１０ｂは四角形状に形成された整流板１０の４辺に沿って形成されており、４つの角部に残された壁部分によりフィルタユニット５側に結合されている。
【０００７】
整流板１０は中央面部分からは床面４ｅに向けて鉛直下方に送風が行われ、さらに、周囲の傾斜面１０ａ部分のスロット形の吹出口１０ｂからは図１４および図１５に示されるように天井面４ｄに近接する範囲に空気を送風することができるように構成されている。
【０００８】
このように改良が重ねられた整流板１０であるが、図１５に示されるようにスロット形の吹出口１０ｂが設けられていない４つの角部からは清浄空気が吹き出されないので、この放射形状の範囲内１０ｃでは塵埃が残存しやすく効果的な清浄化が困難である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように乱流方式のクリーンルームにおいて、フィルタユニット５に取付けられる整流板は、その吹出口の周囲の何れかの部分に空気の淀みが発生することが避けられず、この気流の淀みを無くすことが技術的な課題となっている。したがって、本発明の目的は、吹出口の周囲の何れの部分にも空気の淀みを発生せずにクリーンルーム内を迅速且つ確実に清浄化することができる清浄空気用の空気吹出し装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、部屋の天井面に形成された清浄空気吹出口に取り付けられる空気吹出し装置であって、前記吹出口の下に吊下部材によって吊下保持される整流板を備え、前記整流板にはその板厚方向に複数の通気孔が穿設されており、前記整流板の外周縁部と天井面との間には前記吹出口から放出された空気を天井面に沿って放出させるための隙間が形成されており、前記吊下部材により前記隙間の寸法を調節可能としたものである。
【００１１】
上記構成によれば、整流板の複数の通気孔から床面に向かって清浄空気が放出される。また整流板の外周全縁部と天井面との間から天井面に沿って清浄空気が放出される。さらに調節機能により整流板の外周全縁部と天井面との間の上下寸法を変更調節できるので、天井面の吹出口から放出される清浄空気の風量を調節できる。
【００１２】
更に、前記吊下部材が前記整流板を下側から貫通された複数の吊下ねじと、前記吹出口に固着されて各吊下ねじが螺挿されるナットと、各吊下ねじに同心状に装着されて整流板側とナット側との間で両者を離間方向に付勢するコイルスプリングとを有する。
【００１３】
上記構成によれば吊下ねじとコイルスプリングによる比較的低廉で簡素な構造により整流板の上下調節と吊下支持を容易に実現することができる。また、分解組立も容易なのでメンテナンス時の作業性が向上する。
【００１４】
更には、前記整流板の外周縁部に前記天井面との間隔を徐々に狭める整流翼が傾斜して屈曲形成される。
【００１５】
上記構成によれば、天井面の吹出口から放出された清浄空気が整流板の整流翼によって天井面に向かって斜め上方向に導かれるので、整流翼の上縁と天井面との間のジェットノズル効果により、清浄空気を天井面に沿ってより遠くまで放出させることができる。したがって、１つの空気吹出し装置によりより広範囲に渡ってムラ無く塵埃を除去することができる。
【００１６】
加えて、前記整流板の吊下枠の外周縁に屈曲形成された４辺の整流翼の基辺にそれぞれヒンジ部を介して、該整流翼が傾斜角度調整可能に連結されている。
【００１７】
上記構成によれば整流翼の傾斜角度を調整することにより、天井面との間の隙間を減少させて天井面に沿って流れる風量を変更できる。天井面に沿って流出する風の状態と床面に向かって下側に放出される風の状態を様々に調節することができ、吹出口周辺の空気の淀みを無くすための調節が容易になる。
【００１８】
また好ましくは、前記整流板がヒンジ部を介装して互いに回動可能に連結された２枚の通気板からなり、前記ヒンジ部を支点として両通気板の遊端側が上下に回動調節可能とされる。
【００１９】
上記構成によれば２枚の通気板の互いの開き角度を変更することにより、連結部分を境にして対象的且つ均質な風の流れを作ることが可能となり、吹出口の周囲に広範囲に渡って安定した除塵効果を確保することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施例につき説明する。
【００２１】
【実施例】
この発明の実施例１について図１〜図５を参照して説明する。
【００２２】
図１はクリーンルーム４の天井面４ｄに設置されたフィルタユニット５を示す正断面図である。図中に示されるフィルタユニット５は金属板により形成された箱状の本体を備え、上部の一側には図示しない吸気ダクトに接続されるダクト接続口５ｂが形成され、このダクト接続口５ｂ内には吸気量を調整するボリュームダンパー５ｃが設けられている。
【００２３】
フィルタユニット５は天井面４ｄに形成された四角形状の取付け口４ｃに対して挿着され、天井４ｄに対して結合支持されている。フィルタユニット５は上記ボリュームダンパ５ｃの下流側に高性能フィルタ５ａが取付けられており、フィルタユニット５に流入した空気は全てこの高性能フィルタ５ａを通過してクリーンルーム４内に供給されるように構成されている。
【００２４】
さらに、天井面４ｄに開口されたフィルタユニット５の吹出口５ｄの四隅内側には平面視三角形状の吊下用のフランジ５ｅが形成されている。このフランジ５ｅには本発明による空気吹出し装置の整流板１を吊り下げるための吊下ねじ２が挿通される挿通孔５ｆが穿設され、この挿通孔５ｆの上部には吊下ねじ２が螺着されるナット５ｇが溶接により固着されている。
【００２５】
フィルタユニット５の吹出口５ｄの下側に設けられる整流板１は吹出口５ｄよりも大きく設定された矩形枠状の吊下枠１ａと、この吊下枠１ａの内側縁に保持された矩形平板状の通気板１ｂとを備えている。吊下枠１ａは通気板１ｂを保持する内側縁部が平板枠状に形成され、外側縁部が外側ほど上側に傾斜状に折曲された整流翼１ｃとして形成されている。さらに、吊下枠１ａの内側部分の四隅には吊下ねじ２が挿通される取付け孔ａが穿設されている。
【００２６】
通気板１ｂは平板状の全面に厚み方向に貫通する無数の通気孔ｂが穿設されており、通気板１ｂの外周縁部が吊下枠１ａの内側縁部に上方から乗載され保持されている。
【００２７】
上記吊下ねじ２は整流板１の全体の上下寸法よりも長く設定されており、吊下枠１ａの下側から座金２ａを介して挿着され、吊下枠１ａに貫通された吊下ねじ２の上側には平座金２ｂおよびコイルスプリング２ｃが順次装着され、吊下ねじ２の先端部はナット５ｇに螺挿されている。四隅の吊下ねじ２のナット５ｇへの螺合の深さを調節することにより整流板１の高低を調節することができる。
【００２８】
コイルスプリング２ｃは吊下用のフランジ５ｅと吊下枠１ａとを互いに離れる方向に弾性を付勢する圧縮ばねであり、螺合状態の維持や振動防止作用が得られるものである。
【００２９】
以上の如く構成された空気吹出し装置によれば、通気板１ｂを通じて床面４ｅに向かって直線的に降下する気流が発生される。また、吊下枠１ａの整流翼１ｃにより天井面４ｄに沿ったふく流が発生される。
【００３０】
さらに、吊下枠１ａの四隅の吊下ねじ２の螺挿深さを調節することにより、整流翼１ｃと天井面４ｄとの間の隙間量を調節することができ、フィルタユニット５の天井面４ｄに沿った清浄空気のふく流量を調節することができる。従って、図１３に示されるように１台のフィルタユニット５によって清浄化できる範囲半径を拡大することができる。また、整流翼１ｃは整流板１の全周で開放されているので図４に示される様に天井面４ｄに沿ったふく流は周囲３６０°に渡って放出されムラの無い風の放出が可能である。
【００３１】
実施例２は実施例１に説明されたフィルタユニット５の吊下ねじ２の螺挿構造についての変形例を示すものであり、以下では吊下ねじ２の螺挿構造についてのみ説明することとする。図６は吊下ねじ２が螺着部材３に螺挿された状態を示す要部の正断面図であり、図７は螺着部材３の構造を拡大して示す正断面図である。フィルタユニット５の吹出口５ｄに設けられたフランジ５ｅには上下に貫通された挿通孔５ｆが形成されており、この挿通孔５ｆに対して吊下ねじ２が挿通される。吊下ねじ２は先端部に螺着部材３が螺着されている。
【００３２】
螺着部材３は外形寸法が上記挿通孔５ｆよりも小さな円筒状に形成され、先端側に肉厚に形成されたナット部３ａの内周壁には雌ねじが刻設され、吊下ねじ２が螺挿されるように構成されている。ナット部３ａの基端側にはコイルスプリング２ｃに当接すると共に、フランジ５ｅに係合するフランジ状の平座面３ｂが形成され、上記ナット部３ａと平座面３ｂとの間には他の部分より肉厚が薄く設定された脆弱部３ｃが形成されている。
【００３３】
以上のように構成された螺着部材３を使用することにより吊下ねじ２を次のように取付けることができる。まず、整流板１に挿通され平座金２ｂおよびコイルスプリング２ｃを挿通した吊下ねじ２の先端部に螺着部材３を螺合する。この状態にて整流板１に対して吊下ねじ２が仮組されるので、整流板１のフィルタユニット５に対する取付け作業が容易になる。整流板１の取付け作業時に螺着部材３をフィルタユニット５のフランジ部５ｅに挿入し、吊下ねじ２を締付方向に回転操作することにより、螺着部材３のナット部３ａが下側に移動される。平座面３ｂはコイルスプリング２ｃによりフランジ５ｅに向けて押し付けられているので、脆弱部３ｃが軸方向に圧縮を受る。その結果脆弱部３ｃは外側に折曲拡開されて、フランジ５ｅの上側に係合される。
【００３４】
脆弱部３ｃの変形にり、吊下ねじ２はフランジ５ｅに吊下保持される。
【００３５】
なお、脆弱部３ｃは円筒状の周壁に複数の縦スリットが形成されたもの等であってもよい。
【００３６】
図１０は整流板の他の変形例の要部を示す正断面図である。図中のフィルタユニット５の基本的構造は上記実施例１と同一なので、構成のことなる整流板１についてのみ説明することとする。
【００３７】
整流板１は四角形枠状に形成された吊下枠１ａを備え、この吊下枠１ａの内側には平板状の通気板１ｂが載置されている。通気板１ｂには無数の通気孔ｂが穿設されており床面４ｅに向けて風を放出するように構成されている。また吊下枠１ａの四隅側の吊下ねじ２が挿通される部分には取付け孔ａが穿設されている。吊下枠１ａの外側の４辺それぞれには整流翼１ｇが設けられている。吊下枠１ａと整流翼１ｇの基辺の連結部分には夫々交互に１本のヒンジ棒をしまりばめ状に握持する如く曲げ加工が施されヒンジ部１ｆが回動可能に構成されている。
【００３８】
従って、吊下ねじ２の螺挿深さを調節することにより通気板１ｂの高低を調節することができると共に、整流翼１ｇの連結部分を直接操作することにより整流翼１ｇの角度調節を行うことができる。
【００３９】
以下に整流板の変形例について説明する。フィルタユニット５の基本的構造は上記実施例１と同一なので、構成の異なる整流板１についてのみ説明することとする。
【００４０】
整流板１は長方形平板状の２枚の通気板１ｄ，１ｅが互いの長辺同士を回動自在に連結されることにより構成されている。通気板１ｄ，１ｅは共に無数の通気孔ｂがパンチング加工により穿設されており、互いの連結部分は交互に１本のヒンジ棒を握持する如く曲げ加工を施されヒンジ部１ｆが構成されている。さらに、それぞれの通気板１ｄ，１ｅの４本の吊下ねじ２が挿通される取付け孔ａは、それぞれの短辺に平行な長円状に形成されており、所定範囲で固定位置を移動調節可能に構成されている。
【００４１】
以上のように構成されたことによって、２枚の通気板１ｄ，１ｅを互いに一平板状に吊下ることも可能であり、また、図８に示されるように互いが所定の開き角を成して傾斜されるように吊下ることも可能となる。従って、整流板１を平板状に水平に取付けた場合と、ヒンジ部１ｆを上下に移動して整流板１の中央を所定角度に折り曲げた状態に取り付けた場合とに各種調節することが可能となり、各方向に吹き出す風量や風力の調節を容易に行うことが可能である。
【００４２】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、この発明によればフィルタユニットの吹出口の周囲の何れの部分にも空気の淀みを発生せずにクリーンルーム内を迅速且つ確実に清浄化することができる空気吹出し装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 クリーンルームの天井に設置されたフィルタユニットと本発明の一実施例による空気吹出し装置を示す縦断面図である。
【図２】 図１の空気吹出し装置の要部を示す縦断面図である。
【図３】 図１の実施例における清浄空気の吹出し状態を示す縦断面図である。
【図４】 図１の実施例における清浄空気の吹出し状態を示す底面図である。
【図５】 図２の分解斜視図である。
【図６】 吊下ねじの他の螺着構造を示す要部の縦断面図である。
【図７】 図６の要部を拡大して示す縦断面図である。
【図８】 本発明のさらに他の実施例を示すフィルタユニットと空気吹出し装置の縦断面図である。
【図９】 図８の空気吹出し装置の整流板を展開した状態を示す平面図である。
【図１０】 他の整流板を示す要部の縦断面図である。
【図１１】 乱流方式のクリーンルームの構成を示す模式図である。
【図１２】 フィルタユニットに設けられた従来の別の空気吹出し装置を示す縦断面図である。
【図１３】 フィルタユニットに設けられた従来の別の空気吹出し装置を示す縦断面図である。
【図１４】 フィルタユニットの吹出口に設けられた従来の別の空気吹出し装置を示す縦断面図である。
【図１５】 図１４の空気吹出し装置から清浄空気が放出される様子を示す下面図である。
【符号の説明】
１ 整流板
１ａ 吊下枠
ａ 取付け孔
１ｂ 通気板
ｂ 通気孔
１ｃ 整流翼
１ｄ，１ｅ 通気板
１ｆ ヒンジ部
１ｇ 整流翼
２ 吊下ねじ
２ａ 座金
２ｂ 平座金
２ｃ コイルスプリング
３ 螺着部材
３ａ ナット部
３ｂ 平座面
３ｃ 脆弱部
４ クリーンルーム
４ａ 給気ダクト
４ｂ リターンダクト
５ フィルタユニット
５ａ 高性能フィルタ
５ｄ 吹出口
５ｅ フランジ
５ｆ 挿通孔
５ｇ ナット
【発明の属する技術分野】
この発明はクリーンルーム用の空気吹出し装置に関し、特に病院の手術室や半導体チップの製造工場、または精密機器の製造工場等のように特に高いクリーン度の要求されるクリーンルームに好適な空気吹出し装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
乱流（コンベンショナルフロー）方式のクリーンルームは、天井面４ｄに対して高性能フィルターを所定の間隔で複数配し、側壁にリターンダクトの吸気口を一定の間隔で配置するものである。図１１は一般的な乱流方式のクリーンルーム４を概略的に示す模式図である。クリーンルーム４の天井４ｄにはフィルタユニット５を介して給気ダクト４ａが接続され、給気ダクト４ａには空気調和機６、および外気をろ過する外気処理ユニット７が縦列状に接続されている。また、クリーンルーム４の側壁には強制的に排気する図示しない排気ファンが設けられ、さらに、室内空気（２次空気）を空気調和機６の上流側（１次空気）に戻すリターンダクト４ｂ等が設置されている。
【０００３】
フィルタユニット５内部の上流側には図示しない送風ファンが内蔵されており、高性能フィルタ５ａに向けて１次空気を送風するように構成されている。また、フィルタユニット５の天井４ｄに臨む部分には、整流板８が設けられている。図１２は従来のフラット型の整流板８を示す正断面図である。整流板８は無数の吹出し孔がパンチング加工された平板状の金属板からなり、清浄空気を天井面４ｄから床面４ｅに向けて直線的に吹き降ろすように構成されている。
【０００４】
フィルタユニット５同士の間に所定間隔を設ける乱流方式では直線的な風の流れの周囲に空気の淀みが発生してしまい効果的な空気の循環が困難であった。空気が淀む範囲には塵埃が残り易く、さらに、この塵埃は矢印８ａのように渦流とともに回転された後に降下してくる清浄空気に乗って落下する傾向があるため、室内の清浄状態が確保された状態であっても、常に、塵埃が製品上に落下する虞れが有り望ましいものでは無かった。このような問題を回避するためにはフィルタユニット５の配設密度を高める必要があり高価な設備となっていた。
【０００５】
上記のような弊害を無くすために舟型の整流板９を取付けたフィルタユニット５がある。図１３に示されるフィルタユニット５の整流板９はパンチング加工された金属板の中央部が下側に向けて膨出されており、周縁部に傾斜された吹出し面９ａが形成されている。周縁部の傾斜された吹出し面９ａからは斜め外方向に向けて空気が放出されるので、図１２に示されるフラット型の整流板８に比較して空気の淀みが低減され、より効果的な空気清浄が可能となった。しかしながら天井面４ｄに沿った部分には清浄空気が吹き付けられないので、クリーンルーム４内のクリーン度をさらに高めることが困難である。
【０００６】
図１４はフィルタユニット５に取付けられた別の整流板１０を示すものである。図中に示される整流板１０は舟型に形成された金属板の中央面が下側に膨出され、この中央面には無数の吹出し孔がパンチング加工されており、さらに、周囲の傾斜面１０ａにはスロット形の吹出口１０ｂが形成され，内部には風向きを調節できるルーバが設けられている。スロット形の吹出口１０ｂは四角形状に形成された整流板１０の４辺に沿って形成されており、４つの角部に残された壁部分によりフィルタユニット５側に結合されている。
【０００７】
整流板１０は中央面部分からは床面４ｅに向けて鉛直下方に送風が行われ、さらに、周囲の傾斜面１０ａ部分のスロット形の吹出口１０ｂからは図１４および図１５に示されるように天井面４ｄに近接する範囲に空気を送風することができるように構成されている。
【０００８】
このように改良が重ねられた整流板１０であるが、図１５に示されるようにスロット形の吹出口１０ｂが設けられていない４つの角部からは清浄空気が吹き出されないので、この放射形状の範囲内１０ｃでは塵埃が残存しやすく効果的な清浄化が困難である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように乱流方式のクリーンルームにおいて、フィルタユニット５に取付けられる整流板は、その吹出口の周囲の何れかの部分に空気の淀みが発生することが避けられず、この気流の淀みを無くすことが技術的な課題となっている。したがって、本発明の目的は、吹出口の周囲の何れの部分にも空気の淀みを発生せずにクリーンルーム内を迅速且つ確実に清浄化することができる清浄空気用の空気吹出し装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、部屋の天井面に形成された清浄空気吹出口に取り付けられる空気吹出し装置であって、前記吹出口の下に吊下部材によって吊下保持される整流板を備え、前記整流板にはその板厚方向に複数の通気孔が穿設されており、前記整流板の外周縁部と天井面との間には前記吹出口から放出された空気を天井面に沿って放出させるための隙間が形成されており、前記吊下部材により前記隙間の寸法を調節可能としたものである。
【００１１】
上記構成によれば、整流板の複数の通気孔から床面に向かって清浄空気が放出される。また整流板の外周全縁部と天井面との間から天井面に沿って清浄空気が放出される。さらに調節機能により整流板の外周全縁部と天井面との間の上下寸法を変更調節できるので、天井面の吹出口から放出される清浄空気の風量を調節できる。
【００１２】
更に、前記吊下部材が前記整流板を下側から貫通された複数の吊下ねじと、前記吹出口に固着されて各吊下ねじが螺挿されるナットと、各吊下ねじに同心状に装着されて整流板側とナット側との間で両者を離間方向に付勢するコイルスプリングとを有する。
【００１３】
上記構成によれば吊下ねじとコイルスプリングによる比較的低廉で簡素な構造により整流板の上下調節と吊下支持を容易に実現することができる。また、分解組立も容易なのでメンテナンス時の作業性が向上する。
【００１４】
更には、前記整流板の外周縁部に前記天井面との間隔を徐々に狭める整流翼が傾斜して屈曲形成される。
【００１５】
上記構成によれば、天井面の吹出口から放出された清浄空気が整流板の整流翼によって天井面に向かって斜め上方向に導かれるので、整流翼の上縁と天井面との間のジェットノズル効果により、清浄空気を天井面に沿ってより遠くまで放出させることができる。したがって、１つの空気吹出し装置によりより広範囲に渡ってムラ無く塵埃を除去することができる。
【００１６】
加えて、前記整流板の吊下枠の外周縁に屈曲形成された４辺の整流翼の基辺にそれぞれヒンジ部を介して、該整流翼が傾斜角度調整可能に連結されている。
【００１７】
上記構成によれば整流翼の傾斜角度を調整することにより、天井面との間の隙間を減少させて天井面に沿って流れる風量を変更できる。天井面に沿って流出する風の状態と床面に向かって下側に放出される風の状態を様々に調節することができ、吹出口周辺の空気の淀みを無くすための調節が容易になる。
【００１８】
また好ましくは、前記整流板がヒンジ部を介装して互いに回動可能に連結された２枚の通気板からなり、前記ヒンジ部を支点として両通気板の遊端側が上下に回動調節可能とされる。
【００１９】
上記構成によれば２枚の通気板の互いの開き角度を変更することにより、連結部分を境にして対象的且つ均質な風の流れを作ることが可能となり、吹出口の周囲に広範囲に渡って安定した除塵効果を確保することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施例につき説明する。
【００２１】
【実施例】
この発明の実施例１について図１〜図５を参照して説明する。
【００２２】
図１はクリーンルーム４の天井面４ｄに設置されたフィルタユニット５を示す正断面図である。図中に示されるフィルタユニット５は金属板により形成された箱状の本体を備え、上部の一側には図示しない吸気ダクトに接続されるダクト接続口５ｂが形成され、このダクト接続口５ｂ内には吸気量を調整するボリュームダンパー５ｃが設けられている。
【００２３】
フィルタユニット５は天井面４ｄに形成された四角形状の取付け口４ｃに対して挿着され、天井４ｄに対して結合支持されている。フィルタユニット５は上記ボリュームダンパ５ｃの下流側に高性能フィルタ５ａが取付けられており、フィルタユニット５に流入した空気は全てこの高性能フィルタ５ａを通過してクリーンルーム４内に供給されるように構成されている。
【００２４】
さらに、天井面４ｄに開口されたフィルタユニット５の吹出口５ｄの四隅内側には平面視三角形状の吊下用のフランジ５ｅが形成されている。このフランジ５ｅには本発明による空気吹出し装置の整流板１を吊り下げるための吊下ねじ２が挿通される挿通孔５ｆが穿設され、この挿通孔５ｆの上部には吊下ねじ２が螺着されるナット５ｇが溶接により固着されている。
【００２５】
フィルタユニット５の吹出口５ｄの下側に設けられる整流板１は吹出口５ｄよりも大きく設定された矩形枠状の吊下枠１ａと、この吊下枠１ａの内側縁に保持された矩形平板状の通気板１ｂとを備えている。吊下枠１ａは通気板１ｂを保持する内側縁部が平板枠状に形成され、外側縁部が外側ほど上側に傾斜状に折曲された整流翼１ｃとして形成されている。さらに、吊下枠１ａの内側部分の四隅には吊下ねじ２が挿通される取付け孔ａが穿設されている。
【００２６】
通気板１ｂは平板状の全面に厚み方向に貫通する無数の通気孔ｂが穿設されており、通気板１ｂの外周縁部が吊下枠１ａの内側縁部に上方から乗載され保持されている。
【００２７】
上記吊下ねじ２は整流板１の全体の上下寸法よりも長く設定されており、吊下枠１ａの下側から座金２ａを介して挿着され、吊下枠１ａに貫通された吊下ねじ２の上側には平座金２ｂおよびコイルスプリング２ｃが順次装着され、吊下ねじ２の先端部はナット５ｇに螺挿されている。四隅の吊下ねじ２のナット５ｇへの螺合の深さを調節することにより整流板１の高低を調節することができる。
【００２８】
コイルスプリング２ｃは吊下用のフランジ５ｅと吊下枠１ａとを互いに離れる方向に弾性を付勢する圧縮ばねであり、螺合状態の維持や振動防止作用が得られるものである。
【００２９】
以上の如く構成された空気吹出し装置によれば、通気板１ｂを通じて床面４ｅに向かって直線的に降下する気流が発生される。また、吊下枠１ａの整流翼１ｃにより天井面４ｄに沿ったふく流が発生される。
【００３０】
さらに、吊下枠１ａの四隅の吊下ねじ２の螺挿深さを調節することにより、整流翼１ｃと天井面４ｄとの間の隙間量を調節することができ、フィルタユニット５の天井面４ｄに沿った清浄空気のふく流量を調節することができる。従って、図１３に示されるように１台のフィルタユニット５によって清浄化できる範囲半径を拡大することができる。また、整流翼１ｃは整流板１の全周で開放されているので図４に示される様に天井面４ｄに沿ったふく流は周囲３６０°に渡って放出されムラの無い風の放出が可能である。
【００３１】
実施例２は実施例１に説明されたフィルタユニット５の吊下ねじ２の螺挿構造についての変形例を示すものであり、以下では吊下ねじ２の螺挿構造についてのみ説明することとする。図６は吊下ねじ２が螺着部材３に螺挿された状態を示す要部の正断面図であり、図７は螺着部材３の構造を拡大して示す正断面図である。フィルタユニット５の吹出口５ｄに設けられたフランジ５ｅには上下に貫通された挿通孔５ｆが形成されており、この挿通孔５ｆに対して吊下ねじ２が挿通される。吊下ねじ２は先端部に螺着部材３が螺着されている。
【００３２】
螺着部材３は外形寸法が上記挿通孔５ｆよりも小さな円筒状に形成され、先端側に肉厚に形成されたナット部３ａの内周壁には雌ねじが刻設され、吊下ねじ２が螺挿されるように構成されている。ナット部３ａの基端側にはコイルスプリング２ｃに当接すると共に、フランジ５ｅに係合するフランジ状の平座面３ｂが形成され、上記ナット部３ａと平座面３ｂとの間には他の部分より肉厚が薄く設定された脆弱部３ｃが形成されている。
【００３３】
以上のように構成された螺着部材３を使用することにより吊下ねじ２を次のように取付けることができる。まず、整流板１に挿通され平座金２ｂおよびコイルスプリング２ｃを挿通した吊下ねじ２の先端部に螺着部材３を螺合する。この状態にて整流板１に対して吊下ねじ２が仮組されるので、整流板１のフィルタユニット５に対する取付け作業が容易になる。整流板１の取付け作業時に螺着部材３をフィルタユニット５のフランジ部５ｅに挿入し、吊下ねじ２を締付方向に回転操作することにより、螺着部材３のナット部３ａが下側に移動される。平座面３ｂはコイルスプリング２ｃによりフランジ５ｅに向けて押し付けられているので、脆弱部３ｃが軸方向に圧縮を受る。その結果脆弱部３ｃは外側に折曲拡開されて、フランジ５ｅの上側に係合される。
【００３４】
脆弱部３ｃの変形にり、吊下ねじ２はフランジ５ｅに吊下保持される。
【００３５】
なお、脆弱部３ｃは円筒状の周壁に複数の縦スリットが形成されたもの等であってもよい。
【００３６】
図１０は整流板の他の変形例の要部を示す正断面図である。図中のフィルタユニット５の基本的構造は上記実施例１と同一なので、構成のことなる整流板１についてのみ説明することとする。
【００３７】
整流板１は四角形枠状に形成された吊下枠１ａを備え、この吊下枠１ａの内側には平板状の通気板１ｂが載置されている。通気板１ｂには無数の通気孔ｂが穿設されており床面４ｅに向けて風を放出するように構成されている。また吊下枠１ａの四隅側の吊下ねじ２が挿通される部分には取付け孔ａが穿設されている。吊下枠１ａの外側の４辺それぞれには整流翼１ｇが設けられている。吊下枠１ａと整流翼１ｇの基辺の連結部分には夫々交互に１本のヒンジ棒をしまりばめ状に握持する如く曲げ加工が施されヒンジ部１ｆが回動可能に構成されている。
【００３８】
従って、吊下ねじ２の螺挿深さを調節することにより通気板１ｂの高低を調節することができると共に、整流翼１ｇの連結部分を直接操作することにより整流翼１ｇの角度調節を行うことができる。
【００３９】
以下に整流板の変形例について説明する。フィルタユニット５の基本的構造は上記実施例１と同一なので、構成の異なる整流板１についてのみ説明することとする。
【００４０】
整流板１は長方形平板状の２枚の通気板１ｄ，１ｅが互いの長辺同士を回動自在に連結されることにより構成されている。通気板１ｄ，１ｅは共に無数の通気孔ｂがパンチング加工により穿設されており、互いの連結部分は交互に１本のヒンジ棒を握持する如く曲げ加工を施されヒンジ部１ｆが構成されている。さらに、それぞれの通気板１ｄ，１ｅの４本の吊下ねじ２が挿通される取付け孔ａは、それぞれの短辺に平行な長円状に形成されており、所定範囲で固定位置を移動調節可能に構成されている。
【００４１】
以上のように構成されたことによって、２枚の通気板１ｄ，１ｅを互いに一平板状に吊下ることも可能であり、また、図８に示されるように互いが所定の開き角を成して傾斜されるように吊下ることも可能となる。従って、整流板１を平板状に水平に取付けた場合と、ヒンジ部１ｆを上下に移動して整流板１の中央を所定角度に折り曲げた状態に取り付けた場合とに各種調節することが可能となり、各方向に吹き出す風量や風力の調節を容易に行うことが可能である。
【００４２】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、この発明によればフィルタユニットの吹出口の周囲の何れの部分にも空気の淀みを発生せずにクリーンルーム内を迅速且つ確実に清浄化することができる空気吹出し装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 クリーンルームの天井に設置されたフィルタユニットと本発明の一実施例による空気吹出し装置を示す縦断面図である。
【図２】 図１の空気吹出し装置の要部を示す縦断面図である。
【図３】 図１の実施例における清浄空気の吹出し状態を示す縦断面図である。
【図４】 図１の実施例における清浄空気の吹出し状態を示す底面図である。
【図５】 図２の分解斜視図である。
【図６】 吊下ねじの他の螺着構造を示す要部の縦断面図である。
【図７】 図６の要部を拡大して示す縦断面図である。
【図８】 本発明のさらに他の実施例を示すフィルタユニットと空気吹出し装置の縦断面図である。
【図９】 図８の空気吹出し装置の整流板を展開した状態を示す平面図である。
【図１０】 他の整流板を示す要部の縦断面図である。
【図１１】 乱流方式のクリーンルームの構成を示す模式図である。
【図１２】 フィルタユニットに設けられた従来の別の空気吹出し装置を示す縦断面図である。
【図１３】 フィルタユニットに設けられた従来の別の空気吹出し装置を示す縦断面図である。
【図１４】 フィルタユニットの吹出口に設けられた従来の別の空気吹出し装置を示す縦断面図である。
【図１５】 図１４の空気吹出し装置から清浄空気が放出される様子を示す下面図である。
【符号の説明】
１ 整流板
１ａ 吊下枠
ａ 取付け孔
１ｂ 通気板
ｂ 通気孔
１ｃ 整流翼
１ｄ，１ｅ 通気板
１ｆ ヒンジ部
１ｇ 整流翼
２ 吊下ねじ
２ａ 座金
２ｂ 平座金
２ｃ コイルスプリング
３ 螺着部材
３ａ ナット部
３ｂ 平座面
３ｃ 脆弱部
４ クリーンルーム
４ａ 給気ダクト
４ｂ リターンダクト
５ フィルタユニット
５ａ 高性能フィルタ
５ｄ 吹出口
５ｅ フランジ
５ｆ 挿通孔
５ｇ ナット
Claims (3)
- 部屋の天井面に形成された清浄空気放出用の吹出口の下に吊下部材によって吊下保持される整流板と、該整流板の外周縁部と天井面との間に前記吹出口から放出された空気を天井面に沿って放出させるための隙間とを備えた空気吹出し装置であって、前記吊下部材は前記整流板を下側から貫通する複数の吊下ねじと、前記吹出口に固着されて各吊下ねじが螺挿されるナットと、各吊下ねじに同心状に装着されて整流板側とナット側との間で両者を離間方向に弾性を付勢するコイルスプリングとを備え、前記整流板は複数の吊下ねじを貫通させる複数の取付け孔を穿設した矩形枠状の吊下枠と、該吊下枠の外周縁部に前記天井面との間隔を徐々に狭めるように屈曲形成させた整流翼と、前記吊下枠の内周辺の上面に外周辺を乗載され板厚方向に複数の通気孔が穿設した通気板とを備え、前記吊下部材により前記隙間の寸法を調節可能としたことを特徴とする空気吹出し装置。
- 前記整流板の夫々の整流翼の基辺に夫々ヒンジ部を介装して整流翼が傾斜角度調整可能に連結されたことを特徴とする請求項１に記載の空気吹出し装置。
- 部屋の天井面に形成された清浄空気放出用の吹出口の下に吊下部材によって吊下保持される整流板と、該整流板の外周縁部と天井面との間に前記吹出口から放出された空気を天井面に沿って放出させるための隙間とを備えた空気吹出し装置であって、前記吊下部材は前記整流板を下側から貫通する複数の吊下ねじと、前記吹出口に固着されて各吊下ねじが螺挿されるナットと、各吊下ねじに同心状に装着されて整流板側とナット側との間で両者を離間方向に弾性を付勢するコイルスプリングとを備え、前記整流板は複数の吊下ねじを貫通させる複数の取付け用の遊動孔を穿設すると共に板厚方向に複数の通気孔を穿設した２枚の通気板と、該２枚の通気板を互に回動可能に連結させたヒンジ部とを備え、前記吊下部材により前記ヒンジ部を支点として両通気板の遊端側が上下に回動調節可能であることを特徴とする空気吹出し装置。
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