JP7012437B2

JP7012437B2 - クリーンルーム

Info

Publication number: JP7012437B2
Application number: JP2017019200A
Authority: JP
Inventors: 恒佑近藤; 弥長谷部; 徹手島
Original assignee: Shimizu Corp
Current assignee: Shimizu Corp
Priority date: 2017-02-06
Filing date: 2017-02-06
Publication date: 2022-01-28
Anticipated expiration: 2037-02-06
Also published as: JP2018128147A

Description

本発明は、病院や製剤などのクリーンルームなどに使用され清浄空気を吹き出すフェイス、及びそのような吹き出し口を用いた空調システムに関する。

電子、精密、食品、衛生、バイオ、医療、製剤など清浄な作業環境が必要とされる分野ではクリーンルームが広く利用されている。

例えば、特許文献１（特開平１１－２９４８１６号公報）には、クリーン化したい部屋の天井裏面側に配設された空調ダクトに連結し、該クリーン化したい部屋の天井下面に配設した分岐接続ボックスと、該分岐接続ボックスから水平方向に延設された室内ダクトとからなり、該分岐接続ボックスの下面と室内ダクトの下面とは水平面を形成するように配設され、該室内ダクトの下面に空気清浄化用フィルタが取付固定されたことを特徴とする空気清浄化装置が開示されている。
特開平１１－２９４８１６号公報

特許文献１に記載されているように、従来技術に係るクリーンルームでは、室全体の空気清浄度の確保を目的に、フィルタを経由した複数の吹き出し口を天井に分散して設けることが一般的であった。

したがって、各吹き出し口までのダクト距離を長くする必要があり、材料費・工事作業の増加を引き起こし、クリーンルーム構築のためのコストが増大する、という問題があった。

さらに、従来方式の場合、分散された吹き出し口の直下に生産装置が設置されることも多く、吹き出し口前段に設置されるＨＥＰＡフィルタの交換といったメンテナンスが容易でない、という問題もあった。また、天井から床面へ清浄空気を吹き降ろす従来の吹き出し口は、室全体の空気を撹拌して清浄度を保持しようとするものであり、その換気効率が必ずしもよくない、という問題もあった。

この発明は、上記課題を解決するものであって、本発明に係るクリーンルームは、天井裏に設けられたＨＥＰＡフィルタユニットによって浄化された空気を室内に吹き出すフェイスが用いられたクリーンルームであって、天井から鉛直下方に突出する突出部を有し、前記突出部の側面には鉛直面内に含まれる第１吹き出し口が設けられ、前記突出部の底面には水平面内に含まれる第２吹き出し口が設けられ、前記突出部の底面が矩形であり、前記突出部の側面が互いに異なる４つの面であり、前記４つの面のうち、３つの面に第１吹き出し口が設けられ、前記４つの面のうち、１つの面には第１吹き出し口は設けられておらず、第１吹き出し口が設けられる３つの面と対向する壁面との間の距離はいずれも、第１吹き出し口が設けられていない面と対向する壁面との間の距離よりも長く、第１吹き出し口にはその高さ方向の風速分布について、鉛直下方部から上方部へ段階的に風速が大きくなるものが含まれることを特徴とする。

また、本発明に係るクリーンルームは、前記第１吹き出し口から吹き出される空気の第１平均風速は、前記第２吹き出し口から吹き出される空気の第２平均風速より大きいことを特徴とする。

また、本発明に係るクリーンルームは、前記第１吹き出し口から吹き出される気流の制御と、前記第２吹き出し口から吹き出される気流の制御にパンチングメタルを用いることを特徴とする。

本発明に係るフェイスは、天井から鉛直下方に突出する突出部を有し、前記突出部の側面には鉛直面内に含まれる第１吹き出し口が設けられており、この第１吹き出し口からも、浄化された空気が吹き出されるようになっており、このような本発明に係るフェイスによれば、前記第１吹き出し口から天井面に沿うような気流を吹き出すことで、コアンダ効果を発現させて室奥まで気流を到達させることができるので、鉛直下方への吹き出しのみを行う従来の吹き出し口ほど、吹き出し口の数が必要でなくなる。これにより、従来に比べダクトなどの材料を削減したり、工期を短縮できたりするので、クリーンルーム構築のためのコストを抑制することが可能となる。

また、本発明に係るフェイスによれば、室一端に吹き出し口を設け、生産装置が下部に設置されることを回避する空調計画とすることで、メンテナンス性を向上させることができる。

また、本発明に係るフェイスは、従来のように、室全体の空気を撹拌して清浄度を保持しようとするものでなく、従来に比べ、換気効率を向上させることが可能となる。

本発明の実施形態に係るフェイス１０が取り付けられたクリーンルーム１の一例を示す斜視図である。本発明の実施形態に係るフェイス１０とＨＥＰＡフィルタユニット５との関係を分解して示す図である。シミュレーションに用いた本発明に係るフェイス１０を説明する図である。本発明に係るフェイス１０を適用したクリーンルーム１の斜視図である。本発明に係るフェイス１０のシミュレーション条件を示す図である。本発明に係るフェイス１０によるｘ＝１０００における気流性状のシミュレーション結果を示す図である。本発明に係るフェイス１０によるｘ＝３０００における気流性状のシミュレーション結果を示す図である。本発明に係るフェイス１０によるｚ＝１５００における気流性状のシミュレーション結果を示す図である。本発明に係るフェイス１０によるｚ＝２５００における気流性状のシミュレーション結果を示す図である。本発明に係るフェイス１０によるｘ＝１０００における粒子濃度分布のシミュレーション結果を示す図である。本発明に係るフェイス１０によるｘ＝３０００における粒子濃度分布のシミュレーション結果を示す図である。本発明に係るフェイス１０によるｚ＝１５００における粒子濃度分布のシミュレーション結果を示す図である。本発明に係るフェイス１０によるｚ＝２５００における粒子濃度分布のシミュレーション結果を示す図である。従来のフェイス１０’のシミュレーション条件を示す図である。従来のフェイス１０’によるｘ＝１０００における気流性状のシミュレーション結果を示す図である。従来のフェイス１０’によるｘ＝３０００における気流性状のシミュレーション結果を示す図である。従来のフェイス１０’によるｚ＝１５００における気流性状のシミュレーション結果を示す図である。従来のフェイス１０’によるｘ＝３０００における粒子濃度分布のシミュレーション結果を示す図である。従来のフェイス１０’によるｘ＝３０００における粒子濃度分布のシミュレーション結果を示す図である。従来のフェイス１０’によるｚ＝１５００における粒子濃度分布のシミュレーション結果を示す図である。本発明に係るフェイス１０の内部構造の一例である。本発明に係るフェイス１０の内部構造の一例である。本発明に係るフェイス１０の内部構造の一例である。

以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。図１は本発明の実施形態に係るフェイス１０が取り付けられたクリーンルーム１の一例を示す斜視図である。本実施形態においては、クリーンルーム１としては製剤室を想定しているが、本発明に係るフェイス１０は病院の手術室やその他の各種クリーンルームでも利用することが可能である。

本実施形態ではクリーンルーム１内に、１台の生産装置Ｍが設置され、３人の作業者Ｗが作業に従事している場合を例示している。また、クリーンルーム１内の空気は、２つの排気口５０から室外に排気されるようになっている。

ＨＥＰＡフィルタユニット５は不図示のダクトが接続されており、空調システム（不図示）で温度・湿度調整された空気が当該ダクトからＨＥＰＡフィルタユニット５に導入される。ＨＥＰＡフィルタユニット５は、当該ダクトから導入された空気を、内蔵する図示しないＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air）フィルタによって浄化し、鉛直下方に吹き出す構成となっている。

ＨＥＰＡフィルタユニット５は、クリーンルーム１の天井３裏に配されている。一方、フェイス１０は、ＨＥＰＡフィルタユニット５の下方に気密に取り付けられていると共に、クリーンルーム１に飛び出すように設けられている。

図２は本発明の実施形態に係るフェイス１０とＨＥＰＡフィルタユニット５との関係を分解して示す図である。図２に示すように、ＨＥＰＡフィルタユニット５によって浄化された空気は、クリーンルーム１の室内側に配されているフェイス１０上部に供給される。図２において、フェイス１０の内部構造については図示省略している。

本発明に係るフェイス１０は、クリーンルーム１などの室内側鉛直下方に突出する突出部２０を有している。本実施形態においては、突出部２０の底面２２は矩形をなすものであるが、底面２２の形状がこれに限られるものではない。

また、フェイス１０における突出部２０の周りには、互いに異なる４つの側面２１が設けられている。これらの４つの側面２１のそれぞれには、コアンダ効果を発現させることができる気流を吹き出すことができる吹き出し口が設けられている。これら側面２１に設けられ、鉛直面内に含まれる吹き出し口を、本発明では第１吹き出し口３１として定義する。一方、底面２２にも吹き出し口が設けられている。底面２２に設けられ、水平面内に含まれる吹き出し口を、第２吹き出し口３２として定義する。

また、第１吹き出し口３１から吹き出される清浄空気の平均風速を第１平均風速Ｖ₁として、第２吹き出し口３２から吹き出される清浄空気の平均風速を第２平均風速Ｖ₂として定義する。本発明に係るフェイス１０においては、第１平均風速Ｖ₁を第２平均風速Ｖ₂より速くなるように設定すると、より好ましいことを発明者がシミュレーション結果などによって確認した。

また、本実施形態においては、４つの側面２１の全てに、第１吹き出し口３１が設けられているが、４つの側面２１のうち、必要となる側面２１のみに第１吹き出し口３１を設けるようにしてもよい。

本発明に係るフェイス１０は、天井から鉛直下方に突出する突出部２０を有し、前記突出部２０の側面２１には鉛直面内に含まれる第１吹き出し口３１が設けられており、底面２２の第２吹き出し口３２の他に、第１吹き出し口３１からも、浄化された空気が吹き出されるようになっており、このような本発明に係るフェイス１０によれば、前記第１吹き出し口３１から天井面に沿うような気流を吹き出すことで、コアンダ効果を発現させて室奥まで気流を到達させることができるので、鉛直下方への吹き出しのみを行う従来の吹き出し口ほど、吹き出し口の数が必要でなくなる。これにより、従来に比べダクトなどの材料を削減したり、工期を短縮できたりするので、クリーンルーム構築のためのコストを抑制することが可能となる。

また、本発明に係るフェイスによれば、室一端に吹き出し口を設け、生産装置が下部に設置されることを回避する空調計画（図４、図５に示すようなレイアウト）とすることで、メンテナンス性を向上させることができる。

また、本発明に係るフェイス１０は、従来のように、室全体の空気を撹拌して清浄度を保持しようとするものでなく、従来に比べ、換気効率を向上させることが可能となる。

以下、複数に分散していた従来型の吹き出し口の清浄化性能を、１台の本発明のフェイス１０で発揮できる清浄空気吹き出しユニットを例として説明する。具体的には、室の天井面の一端に設置したフェイス１０から、室長手方向に対して天井面に沿うように気流を吹き出すことでコアンダ効果を発現させ、室奥まで気流を到達させるフェイス１０である。フェイス１０が室の一端に集約されることで、天井内ダクト工事量および材料の大幅な削減と、天井内メンテナンススペースの増大による作業性向上を図れる。

以下、シミュレーションに用いたフェイス１０について説明する。図３はシミュレーションに用いた本発明に係るフェイス１０を説明する図である。図３（Ａ）はフェイス１０の底面図を示しており、図３（Ｂ）はフェイス１０の正面図を示しており、図３（Ｃ）乃至（Ｅ）はフェイス１０の側面図を示している。

本シミュレーションに用いたフェイス１０は、第１吹き出し口３１が３つ設けられた構成となっている。本シミュレーションに用いたフェイス１０はクリーンルーム１の天井面の一端側に対してのみの設置を想定していることから、四側面のうち近接する壁面に対向した一側面は開口を持たず、完全に閉塞されたものとなっている。

具体的なフェイス１０の設定に際しては、数値流体解析により各吹き出し箇所の寸法、および吹き出し風速を検討した。解析モデルは図４に示すような製剤室（9000×6000×H3000mm）であり、長手方向の一端の天井面にフェイス１０を、もう一方の壁面下部の両端に排気口５０をそれぞれ設けた。

クリーンルーム１の室内には生産装置Ｍ（4000×2000×H2000mm）および作業者を模擬した熱負荷を作成し、3人の作業者Ｗからは400，000個/min/人で発じん負荷も与えた。生産装置Ｍの発熱負荷は10kWとし、室の短手中心線上、かつフェイス１０の正面と相対する壁面に接するように設置した。また、同室において従来の分散型吹き出し方式（4か所の600×600mm吹き出し口）から同風量で吹き出す条件でも解析し、本発明が従来方式に対して同等以上の性能を発揮し得るか比較検討した。

本発明のフェイス１０に対する解析結果の一例について、図５に記載の各断面における気流性状を図６～図９に、粒子濃度を図１０～図１３にそれぞれ示す。ここでは、幅1800mmで高さ75mmの正面の第１吹き出し口３１、および幅550mmで高さ75mmの左右側面の第１吹き出し口３１を有し、底面には1650×500mmの開口を持つ第２吹き出し口３２を想定している（図３）。室温を23℃設定とし、各スリットから3m/s（第１平均風速）、底面から0.5m/s（第２平均風速）で14.5℃の気流を吹き出す条件とした。製剤室の最低換気回数は20h-1であり、この吹き出し条件では23.7h-1程度に相当する風量となる。

正面の第１吹き出し口３１からの吹き出し気流は生産装置Ｍ上部に到達し、その上部を流れて対向壁面に衝突したのち、両側壁面に沿うように逆流し、生産装置Ｍの周囲に清浄空気を供給できている様子がうかがえる（図７、図９）。

室奥に適切に清浄空気を導くためには、このように生産装置Ｍ上部に正面の第１吹き出し口３１からの気流を到達させる必要があることが、幾度かの試行で確認された。またそのためには、正面の第１吹き出し口３１からの吹き出し風量および風速、加えて第１吹き出し口３１の高さが重要なパラメータであり、最低換気回数との兼ね合いから、本条件が最適であることが確認された。

また底面２２における第２吹き出し口３２ならびに左右側面の第１吹き出し口３１からの気流も、正面の第１吹き出し口３１からの気流の安定に少なからず寄与しており、その値はある程度制限される。

ただし本発明は、これらのパラメータを適切に変更することで室内の清浄度を保持することができ、たとえば本解析モデルでは、第１吹き出し口３１からの吹き出し風速が2.0m/sであれば200mm程度、2.5m/sであれば125mm程度、4.0m/sであれば50mm程度、と第１吹き出し口３１の高さを確保することで、気流が生産装置Ｍ上部に到達し得ることが確認できた。

さらに、正面の第１吹き出し口３１の高さ方向の風速分布について、鉛直下方部から上方部へ段階的に風速が大きくなることでその後の気流の挙動が安定する結果も得られた。

次に、図１５乃至図２０に従来の吹き出し口分散方式で解析した結果を示す。解析条件は、吹き出し口の構成以外、本発明を対象としたものと同様である。従来型のフェイス１０’のレイアウトについては図１４に示されている。従来方式では、本発明方式に比べ、作業者からの粉じんが大きく撹拌し、汚染度が室全体として高い様子が確認できる（図２０）。

また生産装置Ｍ上部に清浄空気が十分に供給されないことから、その領域の汚染度が高くなってしまっている（図１９）。図示はしていないが、同様の理由から同領域が高温となることも確認された。さらに気流の挙動に着目すると、排気口５０に近い吹き出し口１０’からの気流は、床面まで吹き降ろされる過程で排気口５０に引き寄せられてショートサーキットを起こし、室内を室内の清浄化に寄与しないまま排気されてしまう様子がうかがえる（図１５）。

以上の解析から、本発明で生産装置Ｍ上部に清浄な気流を到達させることで、従来型の吹き出し口を複数用いるよりも効果的にクリーンルーム１の清浄度を保持できることが確認された。また本発明に期待される性能を満足するためには、幅1800mm程度で高さ75mmの第１吹き出し口３１を正面に、幅600mm程度で高さ75mmの第１吹き出し口３１を左右側面に、1650mm×600mm程度の第２吹き出し口３２を底面に有し、各第１吹き出し口３１から3.0m/s、底面の第２吹き出し口３２から0.5m/sで吹き出すことのできるフェイス１０が必要である。この場合、第１吹き出し口３１と第２吹き出し口３２からの吹き出し風量比は6:4程度であった。さらに、第１吹き出し口３１の高さ方向の風速分布は、下から段階的に増加することが望ましいことが確認された。このように、本発明に係るフェイス１０においては、第１平均風速Ｖ₁を第２平均風速Ｖ₂より速くなるように設定すると、より好ましい
次に、第１吹き出し口３１からの清浄空気の吹き出しが第１平均風速Ｖ₁となり、第２吹き出し口３２からの清浄空気の吹き出しが第２平均風速Ｖ₂となるようなフェイス１０の内部構造について説明する。

以下、正面と左右側面に計３つの第１吹き出し口３１があり、底面２２に第２吹き出し口３２が設けられたシミュレーションを行ったものと同タイプのフェイス１０を例に説明するが、寸法については必ずしもシミュレーション条件とは同様ではない。以下、図２１乃至図２３は本発明に係るフェイス１０の内部構造の一例を示すものであり、各図の（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は平面図、（Ｄ）は底面図である。

図２１に示すフェイス１０においては、２枚の矩形枠６０が、スペーサー６３によって所定間隔離間され配されている。２枚の矩形枠６０の間の間隔が第１吹き出し口３１の高さとなる。フェイス１０では、パンチングメタル７０によって風量を制御するようにしている。

第１吹き出し口３１は鉛直上方から、パンチングメタル７０が設けられていない領域、開口率が大きいパンチングメタル７０（D=5.5mm、P=7mm、開口率55.6%））が設けられている領域、開口率が小さいパンチングメタル７０（D=4mm、P=7mm、開口率29.4%）が設けられている領域が順（25mm毎）に設けられている。第１吹き出し口３１をこのような構成とすることで、第１吹き出し口３１の高さ方向の風速分布を下から段階的に増加するようなものとしている。

また、第２吹き出し口３２には、底面を形成する矩形枠６０の上面に、D=2mm、P=3.5mm、開口率29.4%）のパンチングメタル７０を取り付け、下面に（D=4mm、P=7mm、開口率29.4%）のパンチングメタル７０を取り付けるようにして、風量を制御している。２枚のパンチングメタル７０は、底面を形成する矩形枠６０の厚さ分離間されることとなり、ＨＥＰＡフィルタユニット５より吹き降ろされた清浄空気の一部が、底面を形成する矩形枠６０に取り付けられた2枚のパンチングメタル７０の孔を抜け、560×260mmの断面で床面方向に抜けるつくりとなっている。

また、底面を形成する矩形枠６０の２枚のパンチングメタル７０を抜けずに方向を変えた気流は、第１吹き出し口３１から流出しようとする。この際、その気流は底面を形成する矩形枠６０の上面に沿うように流れるため、第１吹き出し口３１の下方の領域に大きな風速を有する気流が形成される。

この気流が、先述の第１吹き出し口３１のパンチングメタル７０に衝突することで、一部が当該パンチングメタル７０の孔を抜け、残りが方向を変えてパンチングメタル７０の障壁を乗り越え、第１吹き出し口３１の上部（25mm）のパンチングメタル７０が設けられていない領域を抜けて流れ出ることが期待される。

さらに第１吹き出し口３１のパンチングメタル７０は、先述のとおり上部25mmと下部25mmとでその開口率が異なるため、下部よりも上部の方が抵抗が小さいことから、気流が容易に通りぬけ、障壁上部の風速が大きくなる。これにより、ＨＥＰＡフィルタユニット５から吹き降ろされた下向きの気流を、第１吹き出し口３１と第２吹き出し口３２とに分配し、さらに第１吹き出し口３１においては高さ方向の風速分布を、下部から上部へと徐々に大きいものとすることで、コアンダ効果を有効に発現できる気流が形成される。

図２２に示すフェイス１０は、上方側及び下方側で互いに平行に対向する２枚のパンチングメタル７０と、当該２枚のパンチングメタル７０との間に配され、正面側、左右面側でそれぞれ傾斜の異なる３枚のパンチングメタル７０とから構成されており、これらのパンチングメタル７０によって、基本的な気流の流れを形成する。

さらに、第１吹き出し口３１の正面側と右面側とを区画する仕切り板６５と、第１吹き出し口３１の正面側と左面側とを区画する仕切り板６５の２枚の仕切り板６５が配されている。また、第１吹き出し口３１には、高さの調整が可能な２枚のルーバー羽根６７が設けられている。

図２２に示すようなフェイス１０によっても、第１吹き出し口３１からの清浄空気の吹き出しが第１平均風速Ｖ₁となり、第２吹き出し口３２からの清浄空気の吹き出しが第２平均風速Ｖ₂となるようなフェイス１０を構成することができる。

図２３に示すフェイス１０においては、２枚の矩形枠６０が、スペーサー６３によって所定間隔離間され配されている。２枚の矩形枠６０の間には、３枚のパンチングメタル７０が25mmの間隔をあけて、互いに平行となるように設けられている。３枚のパンチングメタル７０は上から下へ目が細かく開口率の小さいものになるように取り付けられている。

パンチングメタル７０の目の粗いパターンとして、例えば、上から（孔径D=8mm、ピッチP=10mm、開口率57.6%）のパンチングメタル７０、（D=6mm、P=9mm、開口率40.0%）のパンチングメタル７０、（D=4mm、P=7mm、開口率29.4%）のパンチングメタル７０を用いることができる。

また、パンチングメタル７０の細かいパターンとして、例えば、上から（D=6mm、P=9mm、開口率40.0%）のパンチングメタル７０、（D=4mm、P=7mm、開口率29.4%）のパンチングメタル７０、（D=2mm、P=3.5mm、開口率29.4%のパンチングメタル７０を用いることができる。

図２３に示すようなフェイス１０によっても、第１吹き出し口３１からの清浄空気の吹き出しが第１平均風速Ｖ₁となり、第２吹き出し口３２からの清浄空気の吹き出しが第２平均風速Ｖ₂となるようなフェイス１０を構成することができる。

以上、本発明に係るフェイス１０は、天井から鉛直下方に突出する突出部２０を有し、前記突出部２０の側面には鉛直面内に含まれる第１吹き出し口３１が設けられており、この第１吹き出し口３１からも、浄化された空気が吹き出されるようになっており、このような本発明に係るフェイス１０によれば、前記第１吹き出し口３１から天井面に沿うような気流を吹き出すことで、コアンダ効果を発現させて室奥まで気流を到達させることができるので、鉛直下方への吹き出しのみを行う従来の吹き出し口ほど、吹き出し口の数が必要でなくなる。これにより、従来に比べダクトなどの材料を削減したり、工期を短縮できたりするので、クリーンルーム構築のためのコストを抑制することが可能となる。

１・・・クリーンルーム
３・・・天井
５・・・ＨＥＰＡフィルタユニット
１０・・・フェイス
１０’ ・・・従来の吹き出し口（鉛直下方への吹き出しのみ）
２０・・・突出部
２１・・・側面
２２・・・底面
３１・・・第１吹き出し口
３２・・・第２吹き出し口
５０・・・排気口
６０・・・矩形枠
６３・・・スペーサー
６５・・・仕切り板
６７・・・ルーバー羽根
７０・・・パンチングメタル
Ｍ・・・生産装置
Ｗ・・・作業者

Claims

天井裏に設けられたＨＥＰＡフィルタユニットによって浄化された空気を室内に吹き出すフェイスが用いられたクリーンルームであって、
天井から鉛直下方に突出する突出部を有し、
前記突出部の側面には鉛直面内に含まれる第１吹き出し口が設けられ、
前記突出部の底面には水平面内に含まれる第２吹き出し口が設けられ、
前記突出部の底面が矩形であり、前記突出部の側面が互いに異なる４つの面であり、
前記４つの面のうち、３つの面に第１吹き出し口が設けられ、
前記４つの面のうち、１つの面には第１吹き出し口は設けられておらず、
第１吹き出し口が設けられる３つの面と対向する壁面との間の距離はいずれも、
第１吹き出し口が設けられていない面と対向する壁面との間の距離よりも長く、
第１吹き出し口にはその高さ方向の風速分布について、鉛直下方部から上方部へ段階的に風速が大きくなるものが含まれることを特徴とするクリーンルーム。
前記第１吹き出し口から吹き出される空気の第１平均風速は、前記第２吹き出し口から吹き出される空気の第２平均風速より大きいことを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム。
前記第１吹き出し口から吹き出される気流の制御と、前記第２吹き出し口から吹き出される気流の制御にパンチングメタルを用いることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のクリーンルーム。