JPS63141341A - 半導体ウエハカセット用移送ロボット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、超ＬＳＩ、ＩＣ等の製造分野等で使用され
る部分層流型のクリーンルーム内で工程内の半導体製造
装置上にウェハカセットの設置（ローディング）、取り
出しくアンローディング）を自動的に行う半導体ウェハ
用移送ロボットに関する。

「従来の技術」 従来の部分層流型のクリーンルームの一例を第９図を用
いて示す。

図において、符号には部分層流型のクリーンルームであ
り、ｌは天井板、２は床版である。天井板１と床版２と
の間の室内には、天井部分に天井板３が設けられており
、天井板３の上部には主空調機（図示せず）からの給気
ダクト４が配設されている。また、給気ダクト４の両側
には、給気チャンバ５．５が形成されており、それらは
ＵＬＰＡフィルタ（又はＨＥ　Ｐ　Ａフィルタ）６．６
を介して下方の空間部（通路部領域）と連通されている
とともに、前記給気チャンバ５．５の両側の天井板３の
下部にも給気チャンバ５　ａ、　５　ａが設けられてお
り、それらはＵＬＰＡフィルタ（又はＨＥＰＡフィルタ
）６ａ、６ａを介して下方の空間部（装置部領域）と連
通されている。一方、室内の床部には、床版２の上方に
開口部を有する床部である、有孔床（グレーチング、パ
ンチングメタル等）７が設置されており、それらの間に
はフリーアクセスフロア８が形成されている。さらに、
室内は給気チャンバ５　ａ、　５　ａと有孔床７との間
に立設された間仕切板９，９によって、作業室１０とサ
ービス領域１１とに分けられており、給気チャンバ５ａ
、５ａのサービス領域１１側にはファン内蔵型の空調機
１２．１２が取り付けられている。間仕切板９．９の下
部付近には、ＬＳＩ等の半導体製麺装置（以下、単に製
造装置という）１３．１３が配設されており、この製造
装置１１３．１３の前面の通路部領域側の床部にはレー
ル１４．１４が敷設されており、このレール１４．１４
上には製造装置１３．１３上の所定の位置へ、ウェハカ
セット１５のロード、アンロードを自動的に行う床上移
送ロボットＮ、・Ｎが設置された構成となっている。

そして、前記部分層流型のクリーンルームＫにおいては
、まず、給気ダクト４を通って送られた゛清浄空気が、
天井に設けられた給気チャンバ５゜５．５ａ、５ａ　　
から作業室ｌＯへ吹き出される。

作業室ｌＯへ供給された清浄空気は天井部分から有孔床
７へ向けて、一方向にほぼ層流状態で流れ、次いで、フ
リーアクセスフロア８からサービス領゛域１１を経て空
調機１２に達し、さらに、空調機１２から給供ヂャンバ
５ａ内へ送られ、ＵＬＰＡフィルタ６を通過して再び作
業室ｌＯへ供給される。

また、このクリーンルームＫに用いられているウェハの
床上移送ロボットＮは、ウェハカセットを挾み持つ把持
部と、該把持部を水平平面内で移動させるための水平ア
ーム部と、この水平アーム部を回動自在に支持すると共
にこれを上下に移動できるようにした垂直アーム部と、
この垂直アーム部の下部に取り付けられたモータを駆動
源とした車輪を備えた駆動手段とを具備してなり、製造
装置１３に沿って有孔床７に敷設されたレール１４上を
車輪によって移動しなからウェハカセット１５を図示し
ないストッカー（収納棚）から所定の製造装置！３まで
搬送した後、製造袋Ｒ１３上の所定の位置に載置し、次
いで、製造装置１３での製造工程が終了したウェハが収
納されたカセッ）１５を、製造装置１３上から取り上げ
て再びストッカーの所定の場所まで搬送するものである
。

「発明が解決しようとする問題点」 ところで、半導体ウェハの製造過程においては、上記の
如く、半導体製造装置にウェハカセットを設置し、所定
工程終了後、半導体装置からウェハカセットを取り出す
いわゆるローディング、アンローディングといった作業
を必要とする。この半導体製造装置は、全てが同一のも
のではなく、当然のことながら処理工程の違いによりそ
の機種が異なったものとなる。すなわち、それぞれの装
置によりローディングおよびアンローディング部のかし
ながら、上記従来の半導体ウェハの床上移送ロボットＮ
においては、ロボットの動作部、すなわち、前記水平ア
ーム部等の動作自由度が小さいために、ウェハカセット
のセット位置の制御は可能であるものの、方向（向き）
、傾きの制御ができず、定まった製造装置にしか対応で
きないといった問題点があった。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ウェハカ
セットの方向および傾きの制御をも可能とすることによ
り、ローディング、アンローディング部の配置、方式が
異なる全ての半導体製造装置に対応することができ、こ
れにより、これらウェハカセットのローディング、アン
ローディング作業および移送の自動化を実現する半導体
ウェハ用移送ロボットを提供することを目的と′してい
る。

「問題点を解決するための手段」 本発明に係る半導体ウェハ用移送ロボットは、クリーン
ルーム内に設置された半導体製造装置に沿って設けられ
た軌道に案内されて移動すること脱を自動的に行うもの
であって、ウェハカセットを挾み持つ把持部と、該把持
部を水平方向伸縮自在とする水平アーム部と、この水平
アーム部を回動自在にかつ上下動可能に保持する垂直ア
ーム部と、この垂直アーム部に設けられて前記軌道に係
合する取付部とを具備し、さらに、前記水平アーム部と
前記把持部との間には、前記把持部の前記水平アーム部
に対する揺動および旋回を可能とするリスト機構部が設
けられたものとしている。

「実施例」 以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。

第１図ないし第６図は本発明の一実施例を示すもので、
第１図は本発明に係る半導体ウェハ用天吊移送ロボット
を設置した部分層流型クリーンルームにの断面図、第２
図ないし第６図は半導体ウェハ用移送ロボットの詳細図
である。これらの図において、前記第９図の従来の技術
に示した構成要素と同一の要素については、同一符号を
付してその説明を省略する。

第１図に示すクリーンルームＫにおいては、装置部領域
の天井に空気供給部である給気チャンバ５　ａ、　５　
ａが紙面に対して直交する方向に直線状に並設されてお
り、通路部領域の天井には前記給気チャンバ５　ａ、　
５　ａの間に隣接させて天井排気部２０が直線状に設置
されている。そして、前記給気チャンバ５　ａ、　５　
ａの下方には空気を清浄化するためのＵＬＰＡフィルタ
（又は）Ｉ　Ｅ　Ｐ　Ａフィルタ）６゜６が取り付けら
れており、このＵＬＰＡフィルタ６．６　が天井排気部
２０と隣接する側部６ａ、６ａは、天井排気部２０の下
方に取り付けられたガラリ１７となだらかに接続される
ように傾斜面が構成されている。一方、床部は装置部領
域と通路部領域とがコンクリート製の固定床となってお
り、装置部床７ａと血路部床７ｂとの間には、床下のフ
リーアクセスフロア８と連通ずる溝部１６．１６　が形
成され、この溝部１６．１６　　にはグレーチング等の
有孔床７．７　が取り付けられ、さらに装置部床７ａ上
には半導体製造装置（以下、製造装置という）１３．１
３　　が紙面に対して直交する方向に直線状に並設され
ている。

そして、前記天井排気部２０の下方には、給気チャンバ
５　ａ、　５　ａと天井排気部２０との境界線付近に沿
って紙面と直交する方向に支持部材１８゜１８　が設け
られており、この支持部材１８．１８に沿って軌道１９
が取り付けられている。軌道１９は、後述の半導体ウェ
ハ用ロボットの上部と共にリニアモーターを構成するも
ので、この軌道１９がリニアモーターの一次導体となっ
ている。軌道１９には、リニアモーターの二次導体を構
成する移動腕２１が、この軌道に沿って移動自在となる
ように係合している。移動腕２１には、半導体ウェハ用
移送ロボット（以下、単に移送ロボットという）Ｍの取
付部ＭＬが取付フランジ２２を介して取り付けられてい
る。

移送ロボットＭは、第２図に示すように、前記取付部Ｍ
ｔから垂下される垂直アーム部２６と、この垂直アーム
部２６の下端部から水平方向に延びた水平アーム部２７
と、水平アーム部２７の先端部に設けられ、把持部（後
述）の揺動・旋回を行うリスト部２８と、リスト部２８
の先端に設けられ、ウェハカセット１５の把持・解放を
行う把持部２５とを主な構成要素としている。

前記取付部ＭＬと垂直アーム部２６との間には、モータ
３０および減速機３１等からなる回転機構３２が介され
ており、この回転機構３２により垂直アーム部２６はそ
の軸回りに回動自在なものとなっている。この垂直アー
ム部２Ｇの回動に伴い、前記水平アーム部２７は垂直ア
ーム部２６を軸中心として回動することができる。ここ
で、前記モータ３０は、無励磁ブレーキおよびエンコー
ダ（回転角検出機構）付きのＤＣ（直流）モータとして
おり、また、前記減速機３１は、差動歯車装置の一種で
あるハーモニックドライブシステムを有したハーモニッ
ク減速機としている。

水平アーム部２゛７の基端部近傍からは°、水平アーム
部２７と直角となる垂直ロッド３３が延びており、この
垂直ロッド３３が前記垂直アーム部２６に同軸的に挿入
されている。垂直ロッド３３の軸中心部には長寸のネジ
孔が形成される一方、そのネジ孔には、垂直アーム部２
６に軸支される垂直ロッド伸縮用ボールネジ３４が螺合
している。

前記ボールネジ３４は、その頭部にベルト車３５を備え
る一方、垂直アーム部２６の側部にはモータ（垂直ロッ
ド駆動用）３６が付設されており、ボールネジ３４は、
このモータ３６および前記ベルト車３５間に架設される
ベルト３７により駆動されるようになっている。これら
の駆動は、ベルト３７と、モータ３６および前記ベルト
車３５との間に、滑り等による回転のずれを生じないタ
イミングベルト駆動とされている。また、垂直アーム部
２６の内部には、前記垂直ロッド３３が伸縮する際のガ
イド３８が形成されている。垂直ロッド３３はこのガイ
ド３７に案内される係合部３９を備えており、これによ
り垂直ロッド３３のスムーズな上下動がなされるように
なっている。なお、ちなみに、本実施例に示す移送ロボ
ットＭにおいて、この垂直アーム部２６の長さは約８０
０　ｍｍ。

垂直ロッド３３のストロークは４００ｎ＋ａ＋のらのと
なっている。

前記垂直ロッド３３の端部に設けられる水平アーム部２
７は、前記垂直アーム部２６とほぼ同様の構成を示し、
前記垂直アーム部２６をちょうど９０度倒して水平にし
たものとなっている。すなわち、その内部には、軸中心
に長寸のネジ孔を形成された水平ロッド４３が挿入され
、そのネジ孔には、水平アーム部２７に軸支される水平
ロッド伸縮用ボールネジ４４が螺合しており、この水平
ロッド伸縮用ボールネジ４４の基端部に設けられたベル
ト車４５が、水平アーム部２７に付設された水平ロッド
駆動用モータ４６によりタイミングベルト４７を介して
回動できるようになっている。

なお、この水平アーム部２７においても、その内部にガ
イド４８が形成されていて、前記水平ロッド４３に設け
られる係合部４９がこれに案内されることにより、水平
ロッド４３はスムーズな水平動が行なえるようになって
いる。また、ちなみに、本実施例に示す移送ロボットＭ
において、この水平アーム部２７の長さは、前記垂直ア
ーム部の軸中心から先端部までにおいて約３９０１ｎｌ
、水平ロッド４３のストロークは３００■としている。

水平ロッド４３の先端部は、水平ロッド４３が水平アー
ム部２７内に最も挿入された状態においてもその端部が
水平アーム部２７より突出するものとなっており、その
突出した端部には、第３図に示すように、口字状の腕５
０が水平平面内に（鉛直方向より見た際に口字状を呈す
るように）形成されている。さらに、コ字状腕５０には
、このコ字状腕５０を形成して平行に延びる２本の腕部
５０ａ間に挾まれる形態に、揺動体５１が取り付けられ
ている。前記コ字状腕５０と揺動体５１とでリスト機構
部２８が構成される。揺動体５１はほぼ直方体形をした
箱体で、前記腕部５０ａには揺動軸５２により軸着され
ている。そして、第４図などに示すように、前記揺動軸
５２には、揺動体５１の内部において、前記揺動軸５２
と同軸となるウオームホイール（第１）５３が固着しで
ある。この第１のウオームホイール５３は、これと噛合
する第１のウオーム５４により駆動するものであるが、
第５図に示すように、このウオームホイール５３は一般
のウオームホイールのように完全なる円形状のものでは
なく、前記第１ウオーム５４と噛合する側とほぼ対向す
る側が、その直径において約４分の１はどのところで、
揺動体５１の軸線とほぼ平行となるように除去されたも
のとなっている。さらに、ウオームホイール５３は、２
枚重ねのものとなっており、その内側のものと外側のも
のとが互いに独立していると共に、上記除去された部分
には、それら２枚のウオームホイールにわたってバネ（
第１　）５５が取り付けである。つまり、前記バネ５５
は、その一端が内側のウオームホイールに、他端が外側
のウオームホイールにつながれているわけである。これ
は、２つのウオームホイールにそれぞれ相反するトルク
を付勢することにより、前記ウオーム５４とのバックラ
ッシュをなくすことができる。前記′ウオーム５４は、
サーボモータ（第１）５６により駆動される。

また、前記揺動体５１の軸中心における前部には、前記
揺動軸５２と直交する方向に縦軸６２がその先端部を揺
動体５１の先端面５１ａから突出した状態に設けられて
いる。縦軸６２にも、前記揺動軸５２と同様、それと同
軸となるウオームホイール（第２）６３が固着しである
。第２つ１−ムホイール６３は、これと噛合するウオー
ム（第２）６４により駆動されるが、前記第１ウオーム
ホイール５３同槌２枚重ねの構成とされ、それぞれにバ
ネ（第２）６５による相反する付勢力を与えられること
により、前記第２ウオーム６４とのバックラッシュが生
じないようになっている。前記第２ウオーム６４はサー
ボモーフ（第２）６６によりタイミングベルト６７によ
り駆動される。

前記縦軸６２の先端部には、従来一般に提供されている
把持機構を備えた把持部２５が構成される。把持部２５
は把持ハンド２５ａを備えもち、この把持ハンド２５ａ
の開閉により前記ウェハカセット１５の把持および解放
を行う。

次に、本発明に係る半導体ウェハ用移送ロボットＭの作
用について説明する。

まず、軌道１９と移動腕２１とで構成されるリニアモー
タを作動させることにより移送ロボットＭを、給気ヂャ
ンバ５ａと天井排気部２０との境界線付近に沿って架設
された前記軌道１９上に沿って摺動させ、ウェハカセッ
ト１５を図示しないストッカー（収納棚）から所定の製
造装置１３の前まで搬送し、次いで、把持部２５を製造
装置１３上の所定の位置まで移動させてウェハカセット
１５を載置する。すなわちローディングを行う。これら
一連の作業を行うには、移送ロボットＭの把持部２５の
把持ハンド２５ａを、それがウェハカセット１５を的確
な高さ、向き、傾きで把持てきるように動作させなけれ
ばならない。

ここで、前記把持部２５を水平回転させるためには、前
記上端取付部ＭＬと垂直アーム部２６との間に設けられ
た回転機構３２を駆動させて、垂直アーム部２６を目的
の方向へ回転させればよい。

これにより、この垂直アーム部２６と直交して設けられ
た水平アーム部２７が垂直アーム部２６を中心として回
転する。把持部２５の高さを変えるためには、垂直アー
ム部２６に付設された前記垂直ロッド駆動用モータ３６
を駆動させる。ベルト３７を介して垂直ロッド伸縮用ボ
ールネジ３４が回転し、垂直ロッド３３を下方に螺進さ
仕る。垂直ロッド３３に固定された水平アーム部２７は
この結果下方移動することとなる。これの上方移動を行
なうには前記モータ３６を逆回転させればよい。把持部
２５の前記垂直アーム部２６からの距離を変えるには、
水平アーム部２７に付設された前記水平ロッド駆動用モ
ータ４６を駆動さ仕る。

タイミングベルト４７を介して水平ロッド伸縮用ボール
ネジ４４が回転し、把持部２５を水平方向に移動させる
ことができる。

把持部２５の向き、および傾きを変えるには、前記リス
ト機構部２８を作動させる。前記第１サーボモータ５６
を作動するとウオーム５４が駆動し、これと噛合するウ
オームホイール５３が回転する。これにより、先端部に
把持部２５を備えた前記揺動体５１は揺動軸５２を中心
として回動する。前記第１ウオームホイール５３は、前
述したように、完全な同体とはなっていないか、この揺
のではないから上記構成が成立する。さらに、前記第２
サーボモータ６６を作動させるとタイミングベルト６７
を介して第２のウオーム６４が駆動され、第２ウオーム
ホイール６３が回転する。これにより、把持部２５は、
揺動体５１の軸中心を回転中心として回動する。そして
、これらリスト機構部２８を作動させることにより、ウ
ェハカセット）１５の向き、傾きに即した把持部２５の
動作制御が行える。ところで、前記ウェハカセット１５
は、それが収納する半導体ウェハに振動による悪影響を
与えないように、前記ストッカーへの収納中あるいは搬
送中などにおいて、常に、例えば約１０度の傾きを与え
られたものとなっている。これら傾いて載置されたウェ
ハカセット■５の取す出し、あるいはウェハカセット１
５を傾けての載置も、前記リスト機構部２８を作動させ
ることにより可能である。

製造装置１３内での所定の工程が終了し、半導体ウェハ
が再びウェハカセット１５内に収容されよって把持した
後、前記リスト機構部２８および各アーム部を駆動させ
てウェハカセット１５を製造装置１３上から取り上げ（
アンローディング）、再びリニアモータを作動させるこ
とによってそれをストッカーの所定の場所まで搬送すれ
ばよい。

移送ロボットＭが製造装置１３ヘウエハカセツトを載置
する場所（ステージジン）には、移送ロボットＭを駆動
するための電源を供給するための図示しない給電装置が
備えられており、この給電装置と停止した移送ロボット
Ｍの接点とが自動的に接続されることによって、移送ロ
ボットＭが所定の動作を行うようになっている。さらに
、前記ステーションには、移送ロボットＭの駆動部分か
ら発生する塵埃を、移送ロボットＭの内部から吸引する
集塵装置が設けられており、移送ロボットＭがステーシ
ョンに停止すると自動的に接続され、移送口ボッ）Ｍの
駆動部分から発生する塵埃を除去するようになっている
。

このように、前記移送ロボットＭにおいては、垂直アー
ム部２６に回動自在かつ上下動自在に支持された水平ア
ーム部２７と、ウェハカセット１５を把持する把持部２
５との間に、把持部の前記水平アーム部に対する揺動お
よび旋回を可能とするリスト機構部２８を備えたものと
なっているため、ウェハカセット１５の製造装置１３等
への着脱（例えばローディング、アンローディング）の
際に、その向きおよび傾きまでを制御することが可能と
なる。これによりあらゆる種類の製造装置に対応できる
ものとなって、クリーンルーム内における半導体ウェハ
の製造装置への着脱および移送といった一連の土程の自
動化が図れる。

さらに、クリーンルームにの天井の、給気チャンバ５ａ
と天井排気部１５との境界部に沿って設けた軌道１９を
一次導体とし、移送ロボットＭｈ＜付設させる移動腕２
１とでリニアモータを構成したものとしたので、ロボッ
トＭに比較的大型となる走行用のモータ等の駆動源を積
載する必要がなく重量の軽減を図ると共に、駆動源から
発生する振動を根本的に解消することができる。また、
移動ロボットＭの軽量化により、移動ロボットＭの走行
に伴う振動をも低減することができ、しかも発生した振
動が床を介して直接製造装置！３へ伝わるのを防止する
ことができる。また、移送ロボットＭへの給電は、各ス
テーションにおいて停止中に行なわれるものであるから
、従来のように、ロボット用電源集電用の摺動部が不要
となり、その部分からの発塵を防ぐことができる。そし
て、クリーンルームＫにおいては、給気ヂャンバ５ａ、
５ａから供給された清浄空気は、その大半がＵＬＰＡフ
ィルタ６．６　を通過した後、製造装置１３゜Ｉ３　の
上部を包み込むようにして室内を流れて有孔床７から排
気されるとともに、その一部分はＵＬＰＡフィルタの側
部６　ａ、　６　ａを通過した後、移送ロボットＭの上
部を包み込むようにして天井排気部２０へ排気されるも
のとなっている。したがって、室内に拡散した塵埃は給
気チャンバ５ａからＵＬＰＡフィルタの側部６ａ４：通
って供給される清浄空気の気流によって天井排気部１９
内へ排気されるため製造装置Ｉ３上へ拡散するのを防す
る半導体ウェハ上に凹路素子を形成する作業等に悪影響
を与えるクリーンルームに内の塵埃や製造装置の振動を
減らすことができ、製品の歩留まりを高めることができ
る。これについては上記手段の他に、例えば、第７図に
示すように、移送ロボットＭを案内する軌道１９の全体
を、給気チャンバ５ａに近接して設けられると共に通路
部領域Ｔ側に開口部７０ａを形成したダクト７０内に構
成し、この開口部７０ａからダクト７０を通って給気チ
ャンバ５ａに向かう空気流（矢印）により、移送ロボッ
トＭの走行によって軌道付近に発生した塵埃を吸引でき
るようにしたもの等でもよい。

なお、図中符号７１はプロワ−を示す。このように構成
した場合には、クリーンルームＫを、その天井部に前記
天井排気部２０を設けずに、一般のクリーンルームのよ
うに、全て清浄空気を天井部から供給して有孔床７より
排気するといったものとすることもできる。

また、本実施例に示す移送口、ボットＭは天吊り用いた
クリーンルームの場合のように、製造装置の前に移送ロ
ボットおよびレールが位置せず、製造装置の保守点検時
においてもそれらがじゃまになることがなく極めて好都
合である。

なお、本実施例においては、移送ロボットＭを、クリー
ンルームにの天井部に架設した軌道に沿って移動するも
のとしているが、これに限定されるものではなく、例え
ば第８図に示すように、軌道１９を装置部床７ｂに形成
するとともに移送ロボットＭをこの軌道１９から製造装
置１３に沿って上方に立ち上がらせた形感のもの、すな
わち従来の床走行型のものとすることもできる。このよ
うにした場合においても、移送ロボットＭは、ウェハカ
セット１５をそれが要求されるあらゆる姿勢に制御する
ことができ、広範囲の製造装置に対応できるものとなる
。

さらに、上記実施例においては、移送ロボットＭの走行
手段をリニアモータ駆動としているが、この、移送ロボ
ットの走行手段はこれに限定されるものではなく、移送
ロボットＭの軽量化を図れ、かつ低発塵のものであれば
他の手段によってもよい。

「発明の効果」 以上説明したように本発明に係る半導体ウェハ用移送ロ
ボットは、クリーンルーム内に設置された半導体製造装
置に沿って設けられた軌道に案内されて移動することに
より、前記半導体製造装置に半導体ウェハの着脱を自動
的に行うものであって、ウェハカセットを挾み持っ把持
部と、該把持部を水平方向伸縮自在とする水平アーム部
と、この水平アーム部を回動自在にかつ上下動可能に保
持する垂直アーム部と、この垂直アーム部に設けられて
前記軌道に係合する取付部とを具備し、さらに、前記水
平アーム部と前記把持部との間には、前記把持部の前記
水平アーム部に対する揺動および旋回を可能とするリス
ト機構部が設けられているものとしたので、ウェハカセ
ットの製造装置等へのローディング、アンローディング
等の際に、その向きおよび傾きまでを制御することが可
能となる。これによって、ローディング位置およびロー
ディング姿勢等がそれぞれ異なったあらゆる製造装置に
対応できるものとなり、半導体ウェハの製造装置への着
脱および移送といった一連の工程の完全自動化が図れる
、といった優れた効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る半導体ウェハ用移送ロボットＭの
設置されたクリーンルームにの一例を示す立断面図、第
２図ないし第６図は半導体ウェハ用移送ロボットＭの一
実施例を示すもので、第２図は側面図、第３図はリスト
機構部付近における第２図の上面図、第４図はリスト機
構部の内部機＃虜を示す断面図、第５図は第４図の右側
面断面図、第６図は第４図の上面断面図。第７図は半導
体移送ロボットＭが係合する軌道部の他の措成例を説明
するためのものでクリーンルームＫを半導体移送口ボッ
）Ｍと共に示す立断面図。第８図は本発明の変形実施例
を示すもので、クリーンルームＫを半導体移送口ボッ）
Ｍと共に示す立断面図。第９図は従来例を示すもので、
従来の移送ロボットを備えたクリーンルームの立断面図
である。 Ｋ・・・・・・クリーンルーム、　Ｍ・・・・・・半導
体ウェハ用移送ロボット、　　１３・・・・・・半導体
製造装置、Ｉ５・・・・・・ウェハカセット、　　１９
・・・・・・軌道、Ｍｔ・・・・・・取付部、　２５・
・・・・・把持部、　２６・・・・・・垂直アーム部、
　２７・・・・・・水平アーム部、　２８・・・・・・
リスト機ｈＭ部、　　５０・・・・・・コ字状体、　　
５１・・・・・・揺動体。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　クリーンルーム内に設置された半導体製造装置に沿っ
   て設けられた軌道に案内されて移動することにより、前
   記半導体製造装置に半導体ウェハの着脱を自動的に行う
   半導体ウェハ用移送ロボットであって、ウェハカセット
   を挾み持つ把持部と、該把持部を水平方向伸縮自在とす
   る水平アーム部と、この水平アーム部を回動自在にかつ
   上下動可能に保持する垂直アーム部と、この垂直アーム
   部に設けられて前記軌道に係合する取付部とを具備し、
   さらに、前記水平アーム部と前記把持部との間には、前
   記把持部の前記水平アーム部に対する揺動および旋回を
   可能とするリスト機構部が設けられていることを特徴と
   する半導体ウェハ用移送ロボット。