JP3975507B2 - 無人搬送車 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、主にクリーンルーム内においてウェーハカセットを搬送するために用いられる無人搬送車に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体の製造を行うクリーンルームにおいては、移載ロボットを搭載した無人搬送車によりウェーハカセット(ウェーハを多数収納する容器)の搬送を行っている。従来では、この搬送に際し、無人搬送車の荷台にウェーハカセットを平面的に複数個(例えば4個)並べて搬送していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、最近の技術傾向に従って大径のカセットを採用した場合、荷台に複数個のカセットを平面的に並べるには、荷台を大きくしたり、移載ロボットを大きくしたりしなくてはならず、結果的に、走行台車自体を大型にしなくてはならない。従って、クリーンルーム内のスペースの有効利用を図るという要請に反するおそれが生じていた。
【0004】
本発明は、上記事情を考慮し、走行台車自体を大型化することなく、大径のカセットを多数積載可能な無人搬送車を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、荷台にワークを載せて搬送する走行台車上に、前記荷台と外部との間で前記ワークを移載する移載ロボットを搭載した無人搬送車において、前記荷台に設けられ、前記移載ロボットに対向する前面側が開放しており、上下方向に複数段のワーク収納部を有する棚と、前記ワーク収納部の背面に設けられた吹出口より前記ワーク収納部内に空気を吹き出す送気装置と、前記棚を昇降させることで前記ワーク収納部に対する前記移載ロボットのハンドの位置決めを行う昇降機構とを備え、前記送気装置は、前記吹出口に取付けられた棚側送風ダクトと、前記走行台車に設けられ、前記移載ロボットの駆動部と前記昇降機構の駆動部とを冷却する走行台車側送風ダクトと、前記棚側送風ダクトと前記走行台車側送風ダクトとを接続し、前記棚の昇降に際して伸縮する伸縮ダクトと、前記走行台車側送風ダクトの前記伸縮ダクト側の端部に設けられ、前記棚側送風ダクトに向かって風を送る送風ファンと、前記吹出口に設けられた空気清浄フィルタと、を有することを特徴とする。
【0010】
請求項2の発明は、請求項1において、クリーンルーム内に配備され、前記ワークと
してウェーハを多数収納した容器を搬送するものであることを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は実施形態の無人搬送車の側断面図、図2は平面図である。この無人搬送車は、主として半導体製造設備のクリーンルーム内に配備されるものであり、本体部分として、4個あるいは3個の車輪1aで走行する走行台車1を備えている。走行台車1上には、外部との間でワークWを移載する移載ロボット2が搭載されている。
【0012】
移載ロボット2は、本体駆動部2aより主軸3を上に延ばし、主軸3の上端に水平移動するアーム4を設けたもので、アーム4の先端に設けたハンド5によりワークWを把持できるようになっている。この移載ロボット2は、特にハンド5の位置を上下に移動させるための昇降機構は持っておらず(若干の調整機構は保有)、ハンド5は略一定の高さで操作可能となっている。なお、ここでのワークWは、ウェーハを多数枚収容したウェーハカセットである。
【0013】
また、走行台車1の一部には荷台スペースが確保され、そのスペースには、上下方向に複数段のワーク収納部7を持つ昇降棚6が配設されている。この昇降棚6は、昇降ロッド11の上端に固定されており、昇降機構10の駆動部10aにより昇降ロッド11を伸縮することにより昇降させられ、移載ロボット2のハンド5の高さに位置合わせされる。この昇降棚6には、左右方向に2つずつワークWを収納できる2段のワーク収納部7が設けられている。ワーク収納部7は、移載ロボット2側に面した前面側がワークWの出入口として開放しており、背面側が、空気清浄フィルタ9aの装着された吹出口9を介して送風ダクト8に連通している。この棚側の送風ダクト8は、昇降棚6の背面壁6aとワーク収納部7との間に確保され、下方に延びている。
【0014】
一方、走行台車1の上面には、移載ロボット2の本体駆動部2a及び昇降機構10の駆動部10aを覆うようにカバー14が被せられており、カバー14に設けた貫通孔15、16を通して、昇降機構10のロッド11及び移載ロボット2の主軸3が上に突き出ている。このカバー14の内側には走行台車1側の送風ダクト18が確保されており、この送風ダクト18の移載ロボット2側の一端が、カバー14に設けた通孔23により、ワーク収納部7の前方の移載ロボット2の上方空間24に連通している。
【0015】
また、送風ダクト18の昇降機構10側の他端には、同他端の開口19より上方へ向けて風を送る送風ファン20が設けられている。この走行台車1側の送風ダクト18の開口19は、棚側の送風ダクト8の下端の開口8aの真下に位置しており、両開口19、8a間は蛇腹状の伸縮ダクト22で接続されている。ここでは、空気清浄フィルタ9a、送風ダクト8、18、伸縮ダクト22、送風ファン20によって、ワーク収納部7の背面の吹出口9よりワーク収納部7内へ清浄空気を吹き出す送気装置30が構成されている。なお、図1において、空気の流れを点線矢印で示す。
【0016】
次に作用を説明する。
昇降棚6と外部との間でワークWのやり取りを行うには、まず、対象となるワーク収納部7の高さを、昇降機構10により、移載ロボット2のハンド5の高さに位置合わせする。その状態で、移載ロボット2を駆動し、アーム4を水平面内で操作することにより、ワークWを昇降棚6に収納したり、昇降棚6からワークWを取り出したりすることができる。走行時は、昇降棚6をワークの出入れ時の位置のままに保持してもよいが、安定性確保のために下端位置に降ろして保持する。
【0017】
このようなワークWの取り扱い動作とは別に、送風ファン20を駆動することにより、ワーク収納部7の背面から、清浄な空気をワーク収納部7内に向けて吹き出すことができる。その際、空気は、移載ロボット2側のカバー14の通孔23から送風ダクト18内に吸い込まれ、移載ロボット2の駆動部2aや昇降機構10の駆動部10aを通過して、送風ファン20により上方に送り出され、伸縮ダクト22及び棚側の送風ダクト8を通過し、フィルタ9aを通してワーク収納部7に吹き出される。そして、吹き出された空気は、ワーク収納部7の前面より移載ロボット2の上方空間24に流出し、その一部は再び、走行台車1側の送風ダクト18に吸い込まれ、循環する。このようにフィルタ9aの通過で清浄化された空気がワーク収納部7の背後から供給されることにより、ワーク収納部7内が清浄な雰囲気に保たれ、その結果、ウェーハへの汚染の影響が軽減される。
【0018】
この装置の場合、特に送風ファン20を昇降棚6に設けずに、走行台車1上に設けているので、昇降棚6の昇降動作の負担を軽くすることができる。また、走行台車1側の送風ダクト18と昇降棚6側の送風ダクト8を伸縮ダクト22で接続しているので、昇降棚6の昇降動作や昇降位置に関係なく、常に送風ファン20による風を、昇降棚6の吹出口9に送り込むことができる。また、走行台車1側の送風ダクト18を、昇降機構10の駆動部10aと移載ロボット2の本体駆動部2aを通過するように設けているので、ダクト18を通る風によって、それらの駆動部10a、2aを冷却することができる。
【0019】
なお、移載ロボット2の仕様の変更が容易に可能な場合は、移載ロボット2側に昇降機構を設けてもよい。その場合は、棚が固定となるので、伸縮ダクト22は不要となる。また、送風ファン20の位置も棚側に設定してよくなる。
【0020】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1の発明によれば、ワークを上下方向に多段に積載することができるので、ワークの径が大きくなっても、積載スペースの横方向への拡大を抑えることができる。従って、走行台車自体を大型化することなく、大径のカセットを多数積載することが可能となり、クリーンルーム内のスペースの有効利用を図ることができる。。
【0021】
また、移載ロボット側で多段積載に対応するのではなく、棚側を昇降させることで多段積載に対応させるので、移載ロボット側の動きを複雑にする必要がなく、結果的に、移載時間の短縮による搬送能力の向上を図ることができる。
【0022】
また、棚に多段に設けたワーク収納部の背後から清浄空気を吹き出すようにしたので、ウェーハカセット等のワークの汚染の軽減を図ることができる。
【0023】
さらに、送気装置の送風ファンを棚側ではなく走行台車側に設置したので、棚側の昇降機構の負担を軽減することができる。また、伸縮ダクトで走行台車側の送風ダクトと棚側の送風ダクトを接続したので、棚の昇降に拘らず、走行台車側から棚側へ風を送ることができる。加えて、走行台車側の送風ダクトを、移載ロボットの駆動部と昇降機構の駆動部を通過するように設けたので、ワーク収納部に送り込む空気によって移載ロボットや昇降機構の駆動部を冷却することができる。また、本発明の無人搬送車は、請求項2のように、クリーンルーム内に配備してウェーハを搬送するときに特に有効性を発揮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態の側断面図である。
【図2】 本発明の実施形態の平面図である。
【符号の説明】
1 走行台車
2 移載ロボット
2a 本体駆動部
5 ハンド
6 昇降棚
7 ワーク収納部
8 送風ダクト
10 昇降機構
10a 駆動部
18 送風ダクト
22 伸縮ダクト
20 送風ファン
30 送気装置
W ワーク
Claims (2)
- 荷台にワークを載せて搬送する走行台車上に、前記荷台と外部との間で前記ワークを移載する移載ロボットを搭載した無人搬送車において、
前記荷台に設けられ、前記移載ロボットに対向する前面側が開放しており、上下方向に複数段のワーク収納部を有する棚と、
前記ワーク収納部の背面に設けられた吹出口より前記ワーク収納部内に空気を吹き出す送気装置と、
前記棚を昇降させることで前記ワーク収納部に対する前記移載ロボットのハンドの位置決めを行う昇降機構と、
を備え、
前記送気装置は、
前記吹出口に取付けられた棚側送風ダクトと、
前記走行台車に設けられ、前記移載ロボットの駆動部と前記昇降機構の駆動部とを冷却する走行台車側送風ダクトと、
前記棚側送風ダクトと前記走行台車側送風ダクトとを接続し、前記棚の昇降に際して伸縮する伸縮ダクトと、
前記走行台車側送風ダクトの前記伸縮ダクト側の端部に設けられ、前記棚側送風ダクトに向かって風を送る送風ファンと、
前記吹出口に設けられた空気清浄フィルタと、
を有することを特徴とする無人搬送車。 - クリーンルーム内に配備され、前記ワークとしてウェーハを多数収納した容器を搬送することを特徴とする請求項1に記載の無人搬送車。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10989097A JP3975507B2 (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 無人搬送車 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10989097A JP3975507B2 (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 無人搬送車 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10303274A JPH10303274A (ja) | 1998-11-13 |
JP3975507B2 true JP3975507B2 (ja) | 2007-09-12 |
Family
ID=14521761
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10989097A Expired - Lifetime JP3975507B2 (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 無人搬送車 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3975507B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6305500B1 (en) * | 1999-08-25 | 2001-10-23 | Maxtor Corporation | Material delivery system for clean room-like environments |
JP4629286B2 (ja) * | 2001-09-18 | 2011-02-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 無人搬送車 |
TWI256372B (en) * | 2001-12-27 | 2006-06-11 | Tokyo Electron Ltd | Carrier system of polishing processing body and conveying method of polishing processing body |
JP4606388B2 (ja) | 2006-06-12 | 2011-01-05 | 川崎重工業株式会社 | 基板移載装置の搬送系ユニット |
WO2015052825A1 (ja) | 2013-10-11 | 2015-04-16 | 株式会社日立製作所 | 搬送ロボットシステム |
-
1997
- 1997-04-25 JP JP10989097A patent/JP3975507B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH10303274A (ja) | 1998-11-13 |
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Effective date: 20070129 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
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R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
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