WO2023188181A1

WO2023188181A1 - 基板搬送システム及び移載ロボット

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Publication number: WO2023188181A1
Application number: PCT/JP2022/016244
Authority: WO
Inventors: 敬冶金澤
Original assignee: 平田機工株式会社
Priority date: 2022-03-30
Filing date: 2022-03-30
Publication date: 2023-10-05
Also published as: WO2023190868A1; TW202402482A

Abstract

基板搬送システム（１）は、基板が搬送される範囲が規定される搬送部（２）と、基板が載置される第一載置部（３）及び第二載置部（４）と、搬送部の内部に設けられ、基板を第一載置部から第二載置部に搬送する移載ロボット（５）と、を備え、移載ロボットは、搬送部内に配置される本体部（５１）と、本体部に連結される旋回支持部（５２）と、旋回支持部に連結されるアーム支持部（５３）と、アーム支持部に連結されるアーム部（５４）と、アーム部に連結される保持部（５５）と、を備え、アーム部は、旋回支持部に連結される第一アーム（５４１）と、保持部が連結される第二アーム（５４２）と、を備え、旋回支持部は、本体部との連結部を回転軸として回転し、アーム部は、アーム支持部を回転軸として回転し、移載ロボットは、本体部に支持される旋回支持部の中心部が搬送部の範囲の中央部に位置するように本体部が配置される。

Description

基板搬送システム及び移載ロボット

　本発明は、基板搬送システム及び移載ロボットに関する。

　真空環境下のチャンバ（クリーンルーム）内に半導体基板（ウェハ）を搬送する移載ロボットを設置し、チャンバの前面に取り付けられたロードポートからウェハの搬送を行う基板搬送システムが知られている。上記の基板搬送システムにおいて、移載ロボットによりチャンバ内に取り込まれたウェハは、チャンバ内やチャンバに取り付けられたプロセスモジュールに搬送され、成膜処理等の各種半導体処理が行われる。プロセスモジュールにおいて処理が行われたウェハは、移載ロボットにより再度ロードポートに搬送され次の工程に送られる。

　例えば、特許文献１から３には、チャンバ内に移載ロボットが固定され、チャンバ内において移載ロボットが走行することなくウェハを搬送し、チャンバ内にパーティクルの巻き上げや気流の乱れを発生させない基板搬送システムが開示されている。

日本国特開２０１１－１１９５５６号公報日本国特許第５１９９１１７号公報日本国特許第４７４６０２７号公報

　上記基板搬送システムでは、第一方向に所定の長さを有するチャンバ内でウェハを搬送するロボットと、チャンバ外に設けられ、第一方向に所定間隔で並べた複数のウェハ搬送先のポートと、を備える。ロボットは、動作範囲の制限があるチャンバ内でそれぞれのポートに対してウェハの移載を行うため、水平方向に回動可能な複数のアームを備える。複数のアームは、チャンバ内の第一方向への移動距離に対応可能にそれぞれのアームの長さが設定される。アームの長さは、第一方向と直交する第二方向のチャンバ内の長さにより制限される。

　そのため、第二方向におけるロボットの設置位置をポートからできるだけ離間させた位置に設定し、第二方向の間隔を大きく取ることでロボットのアームの旋回スペースを確保している。そのため、アームの動作距離が大きくなり、搬送作業の効率に課題がある。また、第二方向の一方に構成されるポートに対向する第二方向の他方に更にポートを構成させる場合、第二方向の長さが更に大きく必要になり、搬送作業の効率が低下する虞がある。

　本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、基板の搬送を効率よく実施できる基板搬送システム及び移載ロボットを提供することを目的とする。

　本発明に係る基板搬送システムは、基板が搬送される範囲が規定される搬送部と、基板が載置される第一載置部及び第二載置部と、前記搬送部の内部に設けられ、前記基板を前記第一載置部から前記第二載置部に搬送する移載ロボットと、を備え、前記搬送部の範囲は、第一方向に前記第一載置部及び前記第二載置部を複数並べて配置可能な所定の第一の長さ、および、前記第一方向と直交し、前記第一の長さより短い第二の長さに設定され、前記移載ロボットは、前記搬送部内に配置される本体部と、前記本体部に連結され、前記本体部に対して回転する旋回支持部と、前記旋回支持部に連結され、前記旋回支持部に対して回転するアーム支持部と、前記アーム支持部に連結され、前記アーム支持部に対して回転するアーム部と、前記アーム部に連結され、前記基板を保持する保持部と、を備え、前記アーム部は、前記旋回支持部に連結される第一アームと、前記保持部が連結する第二アームと、を備え、前記第一アームは、第一端部が前記アーム支持部に回転可能に連結される第一のアーム基端部と、第二端部が前記第二アームを回転可能に支持する第一のアーム移動端部と、を備え、前記第二アームは、第一端部が前記第一のアーム移動端部に回動可能に連結される第二のアーム基端部と、第二端部が前記保持部を回転可能に支持する第二のアーム移動端部と、を備え、前記旋回支持部は、前記本体部との連結部を回転軸として平面視で回転し、前記アーム部は、前記アーム支持部を回転軸として平面視で回転し、前記移載ロボットは、前記本体部に支持される前記旋回支持部の中心部が前記搬送部の範囲の中央部に位置するように前記本体部が配置される、基板搬送システムである。

　本発明に係る基板搬送システムにおいて、前記搬送部は、前記移載ロボットの前記本体部を支持するロボット支持部と、前記第一載置部及び前記第二載置部が設けられる複数の載置設置部と、を備えていてもよい。

　本発明に係る基板搬送システムにおいて、前記本体部に前記移載ロボットの駆動を制御するロボット制御ユニットを備えていてもよい。

　本発明に係る基板搬送システムにおいて、前記保持部は、第一保持ハンドと、前記第一保持ハンドの下部に設けられる第二保持ハンドと、を備え、前記第一保持ハンド及び前記第二保持ハンドはそれぞれ前記基板を保持するハンド先端部と、前記第二のアーム移動端部に対してそれぞれ回転可能にそれぞれ支持されるハンド基端部と、を備えていてもよい。

　本発明に係る基板搬送システムにおいて、前記第一載置部及び前記第二載置部は、前記搬送部の周囲に沿って配置されると共に、前記移載ロボットが前記第一載置部と前記第二載置部との間に配置されていてもよい。

　本発明に係る基板搬送システムにおいて、前記第一載置部及び前記第二載置部は、平面視で前記移載ロボットを挟んで前記搬送部の周囲に沿って対向して複数設けられ、前記複数の第一載置部及び前記複数の第二載置部は、前記第一方向に一定の間隔でそれぞれ配置されていてもよい。

　本発明に係る基板搬送システムにおいて、前記移載ロボットが前記搬送部に複数備えられ、第一の移載ロボットで搬送可能な第一の搬送部と、第二の移載ロボットで搬送可能な第二の搬送部と、を備え、前記第一の搬送部に設けられ、前記基板を載置する第一載置部群と、前記第二の搬送部に設けられ、前記基板を載置する第二載置部群と、を備え、前記第一の移載ロボットと、前記第二の移載ロボットとの間で前記基板の受け渡しが行われる中継載置部を備え、前記中継載置部は、前記搬送部の周囲であって、前記第一載置部群と前記第二載置部群との間に設けられていてもよい。

　本発明に係る移載ロボットは、基板が搬送される範囲が規定される搬送部に沿って設けられる第一載置部から第二載置部に基板を搬送する移載ロボットであって、前記搬送部の内部に配置される本体部と、前記本体部に連結され、前記本体部に対して回転する旋回支持部と、前記旋回支持部に連結され、前記旋回支持部に対して回転するアーム支持部と、前記アーム支持部に連結され、前記アーム支持部に対して回転するアーム部と、前記アーム部に連結され、前記基板を保持する保持部と、を備え、前記アーム部は、前記旋回支持部に連結される第一アームと、前記保持部が連結する第二アームと、を備え、前記第一アームは、第一端部が前記アーム支持部に回転可能に連結される第一のアーム基端部と、第二端部が前記第二アームを回転可能に支持する第一のアーム移動端部と、を備え、前記第二アームは、第一端部が前記第一の移動端部に回動可能に連結される第二のアーム基端部と、第二端部が前記保持部を回転可能に支持する第二のアーム移動端部と、を備え、前記旋回支持部は、前記本体部との連結部を回転軸として平面視で回転し、前記アーム部は、前記アーム支持部を回転軸として平面視で回転し、前記本体部に支持される前記旋回支持部の中心部が、前記搬送部の範囲の中央部に位置するように前記本体部が配置される、移載ロボットである。

　本発明に係る移載ロボットにおいて、前記本体部に前記移載ロボットの駆動を制御するロボット制御ユニットを備えていてもよい。

　本発明に係る移載ロボットにおいて、前記保持部は、第一保持ハンドと、前記第一保持ハンドの下部に設けられる第二保持ハンドと、を備え、前記第一保持ハンド及び前記第二保持ハンドはそれぞれ前記基板を保持するハンド先端部と、前記第二のアーム移動端部に対してそれぞれ回転可能にそれぞれ支持されるハンド基端部と、を備えていてもよい。

　本発明によれば、基板の搬送を効率よく実施できる基板搬送システム及び移載ロボットを提供することができる。

本発明に係る基板搬送システムを示す平面図である。本発明に係る移載ロボットを示す斜視図である。本発明に係る移載ロボットを示す斜視図である。本発明に係る移載ロボットの操作手順を示す部分平面図である。本発明に係る移載ロボットの操作手順を模式的に示す平面図である。本発明に係る移載ロボットの操作手順を模式的に示す平面図である。本発明に係る移載ロボットの操作手順を模式的に示す平面図である。本発明に係る移載ロボットの操作手順を模式的に示す平面図である。本発明に係る移載ロボットの操作手順を模式的に示す平面図である。本発明に係る移載ロボットの操作手順を模式的に示す平面図である。本発明に係る移載ロボットの操作手順を模式的に示す平面図である。本発明に係る移載ロボットの操作手順を示す模式的に示す平面図である。本発明に係る基板搬送システムを示す平面図である。本発明に係る基板搬送システムの別の形態を示す平面図である。

　本発明に係る基板搬送システム及び移載ロボットの実施形態について以下に説明する。

　図１に示すように、基板搬送システム１は、搬送作業の範囲が設定される搬送部２と、第一載置部３と、複数の第二載置部４と、移載ロボット５とを備えている。

　基板搬送システム１は、移載ロボット５を操作して基板１０を第一載置部３から第二載置部４に搬送する搬送システムである。基板１０は、円板形状の半導体ウェハである（以下、「基板１０」を「ウェハ１０」と記載する）。ウェハ１０には、ウェハ１０の向きや面を示す目印（例えば、オリエンテーションフラットやノッチ）１０ａが形成されている。

　搬送部２は、例えば、平面視矩形形状の殻体に形成される。搬送部２は、基板が搬送される範囲が規定される。搬送部２は、対向して配置されると共に第一方向Ｘに延びる第一長壁２ａおよび第二長壁２ｂと、第一方向と直交すると共に対向して配置される第一短壁２ｃおよび第二短壁２ｄとを備えている。第一長壁２ａおよび第二長壁２ｂは第一の長さを有する。第一短壁２ｃおよび第二短壁２ｄは第一の長さと異なる第二の長さを有する。搬送部２は、第一長壁２ａ、第二長壁２ｂ、第一短壁２ｃ、および第二短壁２ｄ、に連結する下部支持体２ｅを下部に備える。搬送部２は、第一載置部３および複数の第二載置部４が設置される複数の載置設置部を備える。搬送部２は、第一長壁２ａに設けられる載置設置部に第一載置部３が設けられ、第二長壁２ｂに設けられる複数の載置設置部に複数の第二載置部４が第二長壁２ｂに沿って一定の間隔で接続される。搬送部２は、移載ロボット５を支持するロボット支持部２ｅ１が下部支持体２ｅに設けられる。

　以下、搬送部２の第一方向となる長手方向（第一長壁２ａ及び第二長壁２ｂの延在方向）をＸ方向、第一方向に直交し、搬送部２の第二方向となる短手方向（第一短壁２ｃ及び第二短壁２ｄの延在方向）をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向に直交する搬送部２の高さ方向（上下方向）をＺ方向と記載する。

　搬送部２は、第一長壁２ａ、第二長壁２ｂ、第一短壁２ｃおよび第二短壁２ｄによって囲まれる範囲の内部が搬送作業の範囲である移動領域Ａとして設定される。搬送部２は、内部に移載ロボット５が配置され、搬送部２の周囲に沿って第一載置部３および複数の第二載置部４が配置される。移動領域Ａは、中央部に移載ロボット５が配置される。移動領域Ａは、移載ロボット５が配置される中央部の中心Ｃ２を境に、Ｙ方向の一方側の領域が第一の移動領域Ａ１として設定され、Ｙ方向の他方側の領域を第二の移動領域Ａ２として設定される。第一の移動領域Ａ１は、第二載置部４が設置される第二長壁２ｂ側の領域である。第二の移動領域Ａ２は、第一載置部３が設置される第一長壁２ａ側の領域である。

　搬送部２の内部は、気流が上方から下方に向かって移動する様に気流が制御され、通常、陽圧状態に保たれている。搬送部２は、第一長壁２ａに第一載置部３としてのロードポート２１が接続され、第二長壁２ｂに複数の第二載置部４としての複数の処理ポート２２が接続されている。複数の処理ポート２２は、第二長壁２ｂの長手方向に一定の間隔で接続されている。搬送部２は、内部の気圧を陽圧状態にすると共に上方から下方への気流の制御を行うことで内部を清浄な状態に保持する。

　ロードポート２１は、ウェハ１０の供給および回収をするポートであり、複数の処理ポート２２は、ウェハ１０に成膜処理等の各種半導体の表面処理を行う処理工程との間で中継用に用いられるポートである。ウェハ１０は、移載ロボット５によりロードポート２１から処理ポート２２に搬送される。この際、ロードポート２１は第一載置部３、処理ポート２２は第二載置部４に相当する。表面処理が行われたウェハ１０は、処理ポート２２に載置され、その後、移載ロボット５により処理ポート２２から再度ロードポート２１に搬送され、次の表面処理対象のウェハ１０と取り替えられる。この際、処理ポート２２は第一載置部３、ロードポート２１は第二載置部４に相当する。ロードポート２１には、複数のウェハ１０が収容される容器が載置され、移載ロボット５により順次処理ポート２２に搬送される。容器は、例えば２５基程度の所定数のウェハ１０がＺ方向に所定の間隔を空けて積み上げられている構成が挙げられる。ロードポート２１及び処理ポート２２には、搬送部２内からウェハ１０を出し入れする出入り部が設けられている。複数の処理ポート２２のウェハ１０の出入り部は同一方向に合わせて形成されている。

　ロードポート２１は、第一長壁２ａのＸ方向中央部に設けられるロードポートの載置設置部２ａ１に接続されている。図示例では、処理ポート２２は、Ｘ方向に均等な間隔で４基（４ポート）設けられ、第二長壁２ｂに設けられる処理ポートの載置設置部２ｂ１に接続されている。複数の処理ポート２２は、Ｘ方向中央に配置される２基の処理ポート２２，２２間のＸ方向の間隔Ｌ１の中心Ｃ１と、第一長壁２ａのＸ方向中央部と、が略一致するように配置される。

　移載ロボット５は、搬送部２の内部に設けられ、ウェハ１０をロードポート２１と複数の処理ポート２２との間で搬送を行う。移載ロボット５は、ウェハ１０を載置して移動させるように構成されたロボットである。ウェハ１０の搬送としては、複数の処理ポート２２同士の間でウェハ１０の入替えを行う入替搬送、予め設定された順序で複数の処理ポート２２に対してウェハ１０の搬送を行う順次搬送、が含まれる。移載ロボット５は、平面視で第一長壁２ａと第二長壁２ｂとの間のＹ方向中間に配置され、平面視でロードポート２１と複数の処理ポート２２との間に配置される。つまり、移載ロボット５は、平面視でロードポート２１と複数の処理ポート２２との間に配置される。ロードポート２１及び複数の処理ポート２２は、平面視で移載ロボット５を挟んで対向する。

　移載ロボット５、ロードポート２１及び処理ポート２２は、移載ロボット５の平面視の中心を中心Ｃ２、ロードポート２１の平面視の中心を中心Ｃ３及びＸ方向中央の２基の処理ポート２２，２２間のＸ方向の間隔Ｌ１の中心を中心Ｃ１とし、中心Ｃ１～Ｃ３のＸ方向のそれぞれの位置がＹ方向に延びる線上で略一致するように配置される。ロードポート２１及び処理ポート２２の設置数がそれぞれ奇数の場合、Ｘ方向中央に位置するポートの平面視の中心を中心Ｃ３とする。ロードポート２１及び処理ポート２２の設置数がそれぞれ偶数の場合、Ｘ方向中央に位置する２基のポートの間のＸ方向の間隔の平面視の中心を中心Ｃ１とする。移載ロボット５の中心Ｃ２は、搬送部２のＹ方向の中央部に設定される。

　図２および図３は、移載ロボット５の斜視図である。図３は、移載ロボット５の一部を省略して記載している。図２及び図３に示すように、移載ロボット５は、本体部５１と、旋回支持部５２と、アーム支持部５３と、アーム部５４と、保持部５５と、を備えている。

　図３に示すように、本体部５１は、基台５１１と、昇降部５１２と、昇降モータ５１３と、旋回モータ５１４と、アーム支持駆動モータ５１５と、制御ユニット５１６と、格納体５１７と、を備えている。基台５１１は搬送部２の底部となる下部支持体２ｅに設けられるロボット支持部２ｅ１に固定される。本体部５１は、基台５１１を介して搬送部２内に支持される。昇降部５１２、昇降モータ５１３、旋回モータ５１４及びアーム支持駆動モータ５１５は、格納体５１７内に内蔵される。アーム支持駆動モータ５１５は、格納体５１７内のＺ方向上端側に配置されている。制御ユニット５１６は、基台５１１上の格納体５１７の内部に配置される。

　昇降部５１２は、基台５１１上の格納体５１７内に昇降可能に設けられる。昇降部５１２の上部には、旋回支持部５２が昇降部５１２に対して回動可能に支持される。昇降モータ５１３による昇降部５１２の昇降機構としては、例えば、昇降方向に延設されるボールネジと、ボールネジに螺合し、ボールネジの動作により昇降方向に移動すると共に昇降部５１２に連結するガイド部材（ナット）とを備えるボールネジ機構が採用される。昇降部５１２は、昇降モータ５１３によりボールネジを回転させることで、本体部５１よりもＺ方向上部に配置される旋回支持部５２、アーム支持部５３、アーム部５４及び保持部５５を本体部５１と共に昇降させる。移載ロボット５は、昇降部５１２により高さを調整することによって、ロードポート２１及び複数の処理ポート２２のそれぞれの配置高さに応じてウェハ１０の保持高さを変更できる。なお、第一載置部３及び第二載置部４の高さを変更可能に構成することによって、移載ロボット５の昇降部５１２及び昇降モータ５１３を省略してもよい。

　制御ユニット５１６は、格納体５１７内に設けられ、移載ロボット５によるウェハ１０の搬送動作を制御する。移載ロボット５は、制御ユニット５１６を本体部５１の基台５１１上に配置することにより、制御ユニット５１６を移載ロボット５に構成される制御機器（例えば、各種モータなどの出力機器やセンサ―等の検出機器）に近づけて配置することによって、制御線を含む電気配線長を短くし、制御速度を向上することが可能となる。

　旋回支持部５２は、本体部５１のＺ方向上部に配置されている。旋回支持部５２は、一方に設けられる第一端部５２ａと本体部５１の昇降部５１２の上端とが連結され、本体部５１のＺ方向上部に配置されている。旋回支持部５２は、横方向に延びるアーム形状を有し、長手方向の一端部となる第一端部５２ａが本体部５１の昇降部５１２の上端と連結されている。旋回支持部５２は、旋回モータ５１４により第一端部５２ａを回転軸（以下、「第一回転軸６１」と記載する）として本体部５１に対して平面視で回転する。第一回転軸６１は、中心Ｃ２と同一の中心線ＣＺ１を中心とする。旋回支持部５２は、中心線ＣＺ１に対応する第一端部５２ａと、中心線ＣＺ１と異なる中心線ＣＺ２に対応する第二端部５２ｂと、を備える。第一回転軸６１は、Ｚ方向に沿って配置され、中心線ＣＺ１を中心に回転する。旋回支持部５２は、中心線ＣＺ１を中心に略水平方向に回転する。旋回支持部５２の中心（中心部）が中心Ｃ２と同一の位置になるように、本体部５１が搬送部２内に配置される。

　アーム支持部５３は、旋回取付部５３ａとアーム取付部５３ｂとを備える。アーム支持部５３は、旋回支持部５２のＺ方向上部に配置されている。旋回取付部５３ａのＺ方向下方には、旋回支持部５２の長手方向における第一端部５２ａと反対側の第二端部５２ｂが設けられている。旋回取付部５３ａは、旋回支持部５２の第二端部５２ｂと連結される。アーム取付部５３ｂは、Ｚ方向上部に設けられ、アーム部５４と連結される。旋回取付部５３ａは、アーム支持駆動モータ５１５を含むアーム支持部回転機構により旋回支持部５２に対して平面視で回転する。第二端部５２ｂは、中心線ＣＺ２が設定され、アーム支持部５３が中心線ＣＺ２を中心に回転可能に旋回支持部５２に支持される。アーム支持部５３は、中心線ＣＺ２を中心にアーム部５４を動作させるアーム駆動機構５４３ａを含むアームモータ５４３を備える。

　アーム部５４は、第一アーム５４１と、第二アーム５４２と、アーム動作機構５４ａと、第一保持ハンドモータ５４４と、第二保持ハンドモータ５４５と、ハンド駆動伝達機構５４６と、を備える。アーム部５４は、アーム支持部５３のＺ方向上部に配置されている。アーム動作機構５４ａは、アームモータ５４３の駆動力を伝達し、第一アーム５４１および第二アーム５４２に所定の動作をさせる。

　第一アーム５４１は、アーム支持部５３に回転可能に連結される第一のアーム基端部としての第一端部５４１ａと、第二アーム５４２を回転可能に支持する第一のアーム移動端部としての第二端部５４１ｂと、を備える。第一端部５４１ａと第二端部５４１ｂとは、第一アーム５４１の長手方向の両端部に位置する。第一アーム５４１は、第一端部５４１ａとアーム支持部５３のアーム取付部５３ｂとが連結されている。第一アーム５４１は、第二アーム５４２の下部に配置される。第一アーム５４１は、第一端部５４１ａ側がアーム駆動機構５４３ａに接続される。第一アーム５４１は、旋回取付部５３ａの回転に伴って第一端部５４１ａを回転軸（以下、「第二回転軸６２」と記載する）として平面視で旋回支持部５２に対して回転する。また、第一アーム５４１は、アームモータ５４３によるアーム駆動機構５４３ａの回転動作により第一端部５４１ａを回転軸（以下、「第二回転軸６２」と記載する）として平面視でアーム支持部５３に対して回転する。第二回転軸６２は、中心線ＣＺ１と異なる中心線ＣＺ２を中心とする。中心線ＣＺ２はＺ方向に沿う線であり、中心線ＣＺ１と平行な線である。第一アーム５４１は、第一端部５４１ａにおいて、中心線ＣＺ２を中心として第二回転軸６２回りに回転する。

　アーム支持部５３は、Ｚ方向上下に位置する旋回支持部５２及びアーム部５４の軸台となる。アーム支持部５３は、旋回支持部５２及びアーム部５４に対して単独で回転する。具体的には、アーム支持部５３は、アーム支持駆動モータ５１５により旋回支持部５２に対して独自に回転される。アーム部５４は、アームモータ５４３によりアーム支持部５３に対して独自に回転される。

　第二アーム５４２は、第一のアーム移動端部としての第二端部５４１ｂに回動可能に連結される第二のアーム基端部としての第一端部５４２ａと、保持部５５を回転可能に支持する第二のアーム移動端部としての第二端部５４２ｂと、を備える。第一端部５４２ａと第二端部５４２ｂとは、第二アーム５４２の長手方向の両端部に位置する。第二アーム５４２は、第一端部５４２ａと第一アーム５４１の第二端部５４１ｂとが連結され、第一アーム５４１に支持されている。第二アーム５４２は、アームモータ５４３によるアーム駆動機構５４３ａの回転動作により第一端部５４２ａを回転軸（以下、「第三回転軸６３」と記載する）として第一アーム５４１に対して平面視で回転する。第三回転軸６３は、中心線ＣＺ１および中心線ＣＺ２と異なる中心線ＣＺ３を中心とする。中心線ＣＺ３はＺ方向に沿う線であり、中心線ＣＺ１および中心線ＣＺ２と平行な線である。第二アーム５４２は、第一端部５４２ａにおいて、中心線ＣＺ３を中心として第三回転軸６３回りに回転する。

　第二アーム５４２は、第一保持ハンドモータ５４４及び第二保持ハンドモータ５４５が内蔵され、第二端部５４２ｂ側にハンド駆動伝達機構５４６が内蔵されている。第一保持ハンドモータ５４４及び第二保持ハンドモータ５４５は、Ｙ方向に並列に配置される。ハンド駆動伝達機構５４６は、第一保持ハンドモータ５４４の駆動力を伝達する第一ハンド駆動伝達機構５４６ａと、第二保持ハンドモータ５４５の駆動力を伝達する第二ハンド駆動伝達機構５４６ｂと、を含む。

　ハンド駆動伝達機構５４６は、第一保持ハンドモータ５４４の駆動力を伝達する第一ハンド駆動伝達機構５４６ａと、第二保持ハンドモータ５４５の駆動力を伝達する第二ハンド駆動伝達機構５４６ｂと、を含む。

　アーム部５４は、アーム駆動機構５４３ａを介してアームモータ５４３の駆動力を伝達することで第一アーム５４１及び第二アーム５４２に平面視で所定の動作に応じて回転させることにより、中心線ＣＺ３を中心にアーム部５４全体を屈伸動作させアーム部５４の最大長さを調整する。具体的には、アーム部５４は、アームモータ５４３の駆動力をアーム駆動機構５４３ａにより伝達することで、第一のアーム基端部としての第一端部５４１ａに対して中心線ＣＺ２と中心線ＣＺ４とを結ぶ直線に沿って第二のアーム移動端部としての第二端部５４２ｂを接近または離間させてアーム部５４の長さを調整する。

　保持部５５は、第一保持ハンド５５１と、第二保持ハンド５５２と、第一支持部５５３と、第二支持部５５４と、を含む。保持部５５は、アーム部５４のＺ方向上部に配置されている。

　第一保持ハンド５５１及び第二保持ハンド５５２は、Ｚ方向に一定の間隔を有して配置される。第一保持ハンド５５１は、第二保持ハンドの５５２の上部に設けられる。第一保持ハンド５５１は、ウェハ１０を保持する第一のハンド先端部５５１ａを含む。第二保持ハンド５５２は、ウェハ１０を保持する第二のハンド先端部５５２ａを含む。第一保持ハンド５５１及び第二保持ハンド５５２は、それぞれ不図示の保持機構によりウェハ１０を第一のハンド先端部５５１ａおよび第二のハンド先端部５５２ａに保持する。ウェハ１０の保持方法は限定されず、例えばハンドをウェハ１０の下部に差し込んでウェハ１０を掬って載置した後にウェハ１０を負圧によりウェハ１０をハンドに吸着させて保持する構成が採用される。

　図２に示すように、第一支持部５５３及び第二支持部５５４は、第二アーム５４２に保持されている。第一支持部５５３は、第二アーム５４２に回転可能に支持される第一のハンド基端部５５１ｃを備える。第一支持部５５３の遠位端５５１ｂには、第一保持ハンド５５１が連結されている。第二支持部５５４は、第二アーム５４２に回転可能に支持される第二のハンド基端部５５２ｃを備える。第二支持部５５４の遠位端５５２ｂには、第二保持ハンド５５２が連結されている。

　第一支持部５５３は、図３に示す第一保持ハンドモータ５４４により第二アーム５４２に対して平面視で回転する。第二支持部５５４は、図３に示す第二保持ハンドモータ５４５により第二アーム５４２に対して平面視で回転する。以下、第一支持部５５３の回転軸を第四回転軸６４、第二支持部５５４の回転軸を第五回転軸６５と記載する。第四回転軸６４の中心および第五回転軸６５の中心は、中心線ＣＺ１、中心線ＣＺ２、および中心線ＣＺ３と異なる中心線ＣＺ４に一致する。中心線ＣＺ４はＺ方向に沿う線であり、中心線ＣＺ１、中心線ＣＺ２、および中心線ＣＺ３と平行な線である。第一支持部５５３及び第二支持部５５４は、中心線ＣＺ４を中心とする第四回転軸６４および第五回転軸６５まわりに回転する。第一支持部５５３及び第二支持部５５４は、それぞれ独立して回転する。例えば、第一支持部５５３及び第二支持部５５４はそれぞれ正逆方向に独立して回転する。

　搬送システム１では、第一載置部３及び第二載置部４にウェハ１０が載置される載置部の位置としてのそれぞれ設定される載置位置と、第一載置部３及び第二載置部４のそれぞれの載置位置に対応し、搬送部２の範囲内にそれぞれ設定される載置部の前の位置としてのそれぞれの載置前位置と、が設定される。本実施例における第一載置部３に対応するロードポート２１には、載置部２１０の位置として載置位置２１Ｐａが設定され、載置部２１０の前の位置として載置前位置２１Ｆａが設定される。また、第二載置部４に対応する複数の処理ポート２２には、それぞれの処理ポート２２に対応する載置部２２０ａ～２２０ｄの位置として載置位置２２Ｐａ～２２Ｐｄが設定され、載置部２２０ａ～２２０ｄの前の位置として載置前位置２２Ｆａ～２２Ｆｄが設定される。

　制御ユニット５１６（ロボット制御ユニット）は、移載ロボット５によるウェハ１０の搬送動作制御、またはウェハ１０の取出動作制御を行う際に、それぞれの動作制御に応じて設定されるそれぞれの載置位置およびそれぞれの載置前位置を経由する保持部５５の移動を制御する。

　制御ユニット５１６は、ロードポート２１に設定される載置位置２１Ｐａと載置前位置２１Ｆａとの間、またはそれぞれの処理ポート２２に設定される載置位置２２Ｐａ～２２Ｐｄとそれぞれの載置位置２２Ｐａ～２２Ｐｄに対応して設定される載置前位置２２Ｆａ～２２Ｆｄとの間、で保持部５５を移動させる第一の移動制御を含む。制御ユニット５１６は、搬送部２の内部において少なくとも第一方向に沿って設定されるそれぞれの載置前位置２２Ｆａ～２２Ｆｄの間で保持部５５を移動させる第二の移動制御、を含む。

　第一の移動制御は、保持部５５を第二方向に沿って直線補間移動させる第二の直線補間移動制御を含む。第二の移動制御は、保持部５５を第一方向に沿って直線補間移動させる第一の直線補間移動制御と、旋回支持部５２を所定の旋回方向へ旋回移動させる旋回回転制御と、アーム支持部５３を旋回支持部５２の旋回方向に対して逆方向に回転移動させる動作制御（相殺動作制御）と、を含む。

　制御ユニット５１６は、保持部５５の移動制御を第二方向への移動制御として第一の移動制御を実行し、または保持部５５の移動制御を第一方向への移動制御として第二の移動制御を実行することにより、ウェハ１０の目印１０ａをそれぞれの載置位置に対して一定の同じ方向に維持したまま保持部５５を移動させ、ウェハ１０を搬送することができる。保持部５５をそれぞれの載置位置から異なる他の載置位置に対して最短の移動経路で移動させるべく、それぞれの載置前位置を設定することができ、基板搬送システム１における基板の搬送を効率よく実施できる。

　上記基板搬送システム１における移載ロボット５によるウェハ１０の搬送方法について、図４Ａから図７Ｂを参照して以下に説明する。以下、移載ロボット５の旋回支持部５２、アーム支持部５３、アーム部５４及び保持部５５を纏めてアーム５０と記載する。

　基板搬送システム１では、移載ロボット５がロードポート２１からウェハ１０を受け取り、アーム５０を操作して搬送対象の処理ポート２２に搬送する。ウェハ１０は、先ず、ロードポート２１内の載置部２１０（第一載置部３）から第一処理ポート２２ａ内の載置部２２０ａ（第二載置部４）に搬送され、第一処理ポート２２ａを介して表面処理工程へ搬送される。アーム５０の運動は、本体部５１に設けられた制御ユニット５１６により制御される。

　図４Ａに示すように、移載ロボット５は、第二回転軸６２を回転軸としてアーム支持部５３およびアーム部５４を移動させ、第三回転軸６３を回転軸としてアーム部５４の第一アーム５４１に対する第二アーム５４２を移動させ、かつ、第四回転軸６４または第五回転軸６５のいずれかを回転軸として保持部５５を移動させることによって、載置部２２０ａからウェハ１０の取り出しを行う。

　移載ロボット５は、載置部２２０ａからウェハ１０を取り出し、第二回転軸６２及び第三回転軸６３を回転軸としてアーム支持部５３及びアーム部５４を保持部５５及びウェハ１０の移動方向に応じて平面視でそれぞれ同方向に回転させる。第四回転軸６４を回転軸として第一保持ハンド５５１を所定の回転方向へ、及び第五回転軸６５を回転軸として第二保持ハンド５５２を所定の回転方向へ回転させる。これらの回転によって、ウェハ１０の目印１０ａを所定の方向に維持しながら保持部５５を載置部２２０ａのＹ方向手前の載置前位置２２Ｆａに配置する。アーム部５４は、第三回転軸６３を回転軸として第一アーム５４１に対する第二アーム５４２の平面視逆方向の回転により、第一のアーム基端部としての第一端部５４１ａに対して中心線ＣＺ２と中心線ＣＺ４とを結ぶ直線に沿って第二のアーム移動端部としての第二端部５４２ｂを接近または離間させることで屈伸させてアーム長さを調整する。

　アーム部５４は、左腕の姿勢のまま屈曲させるときは、左回り（反時計回り）であり、伸長させるときは、右回り（反時計回り）となる。
　つまり、図４Ａから図４Ｃにおいて、アーム支持部５３が、本体部５１より右側に位置するときの旋回支持部５２の長さより大きい位置の処理ポート２２ｄの載置部２２０ｄに対する、載置位置２２Ｐｄから載置前位置２２Ｆｄへ移動させるときは、右回り（時計回り）であり、載置前位置Ｆｄから載置位置Ｐｄへ移動させるときは、左回り（反時計回り）となる。アーム支持部５３が、本体部５１より左側に位置するときの旋回支持部５２の長さより大きい位置の処理ポート２２ａの載置部２２０ａに対する、載置位置２２Ｐａから載置前位置２２Ｆａへ移動させるときは、左回り（反時計回り）であり、載置前位置２２Ｆａから載置位置２２Ｐａへ移動させるときは、右回り（時計回り）となる。

　図４Ａに示すように、ウェハ１０を載置部２２０ａのＹ方向手前に配置させた後、第二回転軸６２を回転軸として第一アーム５４１を平面視時計回りに回転させ、第三回転軸６３を回転軸として第二アーム５４２を第一アーム５４１の回転量に対してウェハ１０の姿勢を保持するように平面視時計回りに回転させる。アーム５０の回転により、ウェハ１０の姿勢を保持したままウェハ１０を載置前位置２２Ｆａから載置位置２２Ｐａに搬送し、第一処理ポート２２ａを介してウェハ１０が第一の表面処理工程に搬送される。

　図４Ｂに示すように、第一の表面処理が行われたウェハ１０が第一処理ポート２２ａの載置部２２０ａに載置されると、ウェハ１０を載置部２２０ａ（第一載置部３）から第二処理ポート２２ｂ内の載置部２２０ｂ（第二載置部４）に搬送する。移載ロボット５は、第二回転軸６２を回転軸としてアーム支持部５３およびアーム部５４と、第三回転軸６３を回転軸としてアーム部５４の第一アーム５４１に対する第二アーム５４２と、を平面視反時計回りに回転させる。第四回転軸６４または第五回転軸６５のいずれかを回転軸として保持部５５を回転させる。これらの回転によって、ウェハ１０の目印１０ａを所定の方向に維持しながらウェハ１０の姿勢を保持したまま載置部２２０ａからウェハ１０を取り出して載置部２２０ａのＹ方向手前の位置となる載置前位置２２Ｆａまで再度搬送する。

　アーム５０は、制御装置５１６の制御によって、載置部２２０ａにウェハ１０を搬送する際及び載置部２２０ａからウェハ１０を取り出す際に、載置部２２０ａの平面視中心２２Ｐａと、載置前位置２２Ｆａと、を結ぶＹ方向に平行な中心線ＬＶ２１に沿って保持部５５を移動し、ウェハ１０を搬送する。具体的は、保持部５５に保持されるウェハ１０の目印１０ａの方向を維持したまま、保持部５５を中心線ＬＶ２１に沿って移動させる。

　図４Ｃに示すように、移載ロボット５は、Ｘ方向（第一方向）の一方側へウェハ１０を搬送する際に、第一回転軸６１を回転軸として旋回支持部５２を平面視時計回りに回転させ、第二回転軸６２を回転軸としてアーム支持部５３を平面視反時計回りに回転させてウェハ１０の搬送を行う。または、移載ロボット５は、Ｘ方向（第一方向）の他方側へウェハ１０を搬送する際に、第一回転軸６１を回転軸として旋回支持部５２を平面視反時計回りに回転させ、第二回転軸６２を回転軸としてアーム支持部５３を平面視時計回りに回転させてウェハ１０の搬送を行う。これらの搬送を行うことによって、ウェハ１０の目印１０ａを所定の方向に維持させた状態で載置前位置２２Ｆａ～２２Ｆｄの一つの載置前位置から異なる他の載置前位置へ搬送することができる。例えば、ウェハ１０の姿勢を保持しながらウェハ１０を載置前位置２２Ｆａ～２２Ｆｄの一つの載置前位置となる載置部２２０ａのＹ方向手前の載置前位置２２ＦａからＸ方向に配置される載置部２２０ｂ側に移動させ、載置部２２０ｂのＹ方向手前の載置前位置２２Ｆｂにウェハ１０の目印１０ａを所定の方向に維持させた状態で搬送することができる。

　ウェハ１０を載置部２２０ｂのＹ方向手前の載置前位置２２Ｆｂに配置させた後、図５Ａに示すように、移載ロボット５は、第二回転軸６２を回転軸としてアーム支持部５３およびアーム部５４を平面視時計回りに回転させ、第三回転軸６３を回転軸としてアーム部５４の第一アーム５４１に対する第二アーム５４２を平面視時計回りに回転させる。また、第四回転軸６４または第五回転軸６５のいずれかを回転軸として保持部５５を回転させる。これらの回転によって、ウェハ１０の目印１０ａを所定の方向に維持しながらウェハ１０の姿勢を保持したままウェハ１０を載置前位置２２Ｆｂから載置部２２０ｂに搬送し、第二処理ポート２２ｂを介してウェハ１０が第二の表面処理工程に搬送される。

　図５Ｂに示すように、第二の表面処理が行われたウェハ１０が第二処理ポート２２ｂの載置部２２０ｂに載置されると、ウェハ１０を載置部２２０ｂ（第一載置部３）から第三処理ポート２２ｃ内の載置部２２０ｃ（第二載置部４）に搬送する。移載ロボット５は、第二回転軸６２を回転軸としてアーム支持部５３およびアーム部５４を平面視反時計回りに回転させ、第三回転軸６３を回転軸としてアーム部５４の第一アーム５４１に対する第二アーム５４２を平面視反時計回りに回転させる。また、第四回転軸６４または第五回転軸６５のいずれかを回転軸として保持部５５を回転させる。これらの回転によって、ウェハ１０の目印１０ａを所定の方向に維持しながらウェハ１０の姿勢を保持したまま載置部２２０ｂからウェハ１０を取り出して載置部２２０ｂのＹ方向手前の位置となる載置前位置２２Ｆｂまで再度搬送する。

　アーム５０は、制御装置５１６の制御によって、載置部２２０ｂにウェハ１０を搬送する際及び載置部２２０ｂからウェハ１０を取り出す際に、載置部２２０ｂの平面視中心２２Ｐｂと、載置前位置２２Ｆｂと、を結ぶＹ方向に平行な中心線ＬＶ２２に沿って保持部５５を移動しウェハ１０を搬送する。具体的は、保持部５５に保持されるウェハ１０の目印１０ａの方向を維持したまま、保持部５５を中心線ＬＶ２２に沿って移動させる。

　図６Ａに示すように、ウェハ１０を載置前位置２２Ｆｂから載置部２２０ｃのＹ方向手前の載置前位置２２Ｆｃに配置させた後、移載ロボット５は、第一回転軸６１を回転軸として旋回支持部５２及び第二回転軸６２を回転軸としてアーム支持部５３およびアーム部５４を平面視反時計回りに回転させる。また、第四回転軸６４または第五回転軸６５のいずれかを回転軸として保持部５５を回転させる。これらの回転によって、ウェハ１０の目印１０ａを所定の方向に維持しながらウェハ１０の姿勢を保持したままウェハ１０を載置部２２０ｃに搬送し、第三処理ポート２２ｃを介してウェハ１０が第三の表面処理工程に搬送される。

　図６Ｂに示すように、第三の表面処理が行われたウェハ１０が第三処理ポート２２ｃの載置部２２０ｃに載置されると、ウェハ１０を載置部２２０ｃ（第一載置部３）から第四処理ポート２２ｄ内の載置部２２０ｄ（第二載置部４）に搬送する。移載ロボット５は、第一回転軸６１を回転軸として旋回支持部５２を平面視時計回りに回転させ、及び第二回転軸６２を回転軸としてアーム支持部５３およびアーム部５４を平面視時計回りに回転させることによって、ウェハ１０の目印１０ａを所定の方向に維持しながらウェハ１０の姿勢を保持したまま載置部２２０ｃからウェハ１０を取り出して載置部２２０ｃのＹ方向手前の位置となる載置前位置２２Ｆｃまで再度搬送する。

　アーム５０は、制御装置５１６の制御によって、載置部２２０ｃにウェハ１０を搬送する際及び載置部２２０ｃからウェハ１０を取り出す際に、載置部２２０ｃの平面視中心２２Ｐｃと、載置前位置２２Ｆｃと、を結ぶＹ方向に平行な中心線ＬＶ２３に沿って保持部５５を移動しウェハ１０を搬送する。具体的は、保持部５５に保持されるウェハ１０の目印１０ａの方向を維持したまま、保持部５５を中心線ＬＶ２３に沿って移動させる。

　図７Ａに示すように、ウェハ１０を載置前位置２２Ｆｃから載置部２２０ｄのＹ方向手前の載置前位置２２Ｆｄに移動させた後、移載ロボット５は、第二回転軸６２を回転軸としてアーム支持部５３およびアーム部５４を平面視時計回りに回転させ、第三回転軸６３を回転軸としてアーム部５４の第一アーム５４１に対する第二アーム５４２を平面視反時計回りに回転させる。また、第四回転軸６４または第五回転軸６５のいずれかを回転軸として保持部５５を回転させる。これらの回転によって、ウェハ１０の目印１０ａを所定の方向に維持しながらウェハ１０の姿勢を保持したままウェハ１０を載置前位置２２Ｆｄから載置部２２０ｄに搬送し、第四処理ポート２２ｄを介してウェハ１０が第四の表面処理工程に搬送される。

　図７Ｂに示すように、第四の表面処理が行われたウェハ１０が第四処理ポート２２ｄの載置部２２０ｄに載置されると、ウェハ１０を載置部２２０ｄ（第一載置部３）から再度ロードポート２１内の載置部２１０（第二載置部４）に搬送する。移載ロボット５は、第二回転軸６２を回転軸としてアーム支持部５３およびアーム部５４を平面視時計回りに回転させ、第三回転軸６３を回転軸としてアーム部５４の第一アーム５４１に対する第二アーム５４２を平面視時計回りに回転させる。また、第四回転軸６４または第五回転軸６５のいずれかを回転軸として保持部５５を回転させる。これらの回転によって、ウェハ１０の目印１０ａを所定の方向に維持しながらウェハ１０の姿勢を保持したまま載置部２２０ｄからウェハ１０を出して載置部２２０ｄのＹ方向手前の載置前位置２２Ｆｄまで再度搬送する。

　アーム５０は、制御装置５１６の制御によって、載置部２２０ｄにウェハ１０を搬送する際及び載置部２２０ｄからウェハ１０を取り出す際に、載置部２２０ｄの平面視中心２２Ｐｄと、載置前位置２２Ｆｄと、を結ぶＹ方向に平行な中心線ＬＶ２４に沿って保持部５５を移動し、ウェハ１０を搬送する。具体的は、保持部５５に保持されるウェハ１０の目印１０ａの方向を維持したまま、保持部５５を中心線ＬＶ２４に沿って移動させる。

　ウェハ１０を載置部２２０ｄのＹ方向手前の載置前位置２２Ｆｄまで再度搬送した後、旋回支持部５２、アーム部５４を平面視時計回りに回転させる。また、第四回転軸６４または第五回転軸６５のいずれかを回転軸として保持部５５を回転させる。そして、各処理ポート２２における全ての表面処理を行ったウェハ１０を載置部２１０に搬送し、ウェハ１０の表面処理を完了する。ロードポート２１に載置されているウェハ１０が一つの容器に複数収納される場合は、上記の操作を繰り返し行い、容器に収納される全てのウェハ１０の表面処理を順次行う。

　基板搬送システム１は、第一保持ハンド５５１及び第二保持ハンド５５２にそれぞれウェハ１０を保持させ、平面視で相対回転させることにより、平面視位置をずらして２基のウェハ１０を同時に搬送し表面処理を連続して行ってもよい。この場合、各処理ポート２２にウェハ１０を搬送する際、移載ロボット５は、先ずいずれかのウェハ１０を処理ポート２２の載置部に搬送する。そして、搬送した処理ポート２２を介して表面処理工程にウェハ１０が搬送されることでウェハ１０の表面処理を行う。表面処理が完了したウェハ１０が対応する処理ポート２２の載置部に載置されると、移載ロボット５が処理ポート２２の載置部のＹ方向手前の位置となる載置前位置まで取り出す。

　その後、移載ロボット５は、中心線ＣＺ４を中心として第一支持部５５３及び第二支持部５５４を平面視で回転させ、表面処理を行っていないウェハ１０を処理ポート２２の載置部のＹ方向手前の位置となる載置前位置２２Ｆａに配置し、同様の手順で処理ポート２２の載置部に搬送する。そして、搬送した処理ポート２２を介して表面処理工程にウェハ１０が搬送されることでウェハ１０の表面処理を行う。表面処理が完了した後に表面処理が完了したウェハ１０が処理ポート２２の載置部に載置されると、移載ロボット５は、処理ポート２２の載置部から表面処理が完了したウェハ１０を取り出す。

　各第二載置部４への搬送時における旋回支持部５２及びアーム部５４の平面視回転方向は上記に限定されず、基板搬送システム１のレイアウトや各載置部への搬送の順番等の条件に応じて決定してよい。旋回支持部５２及びアーム部５４の回転時において、アーム支持部５３が介在して動作することでウェハ１０の姿勢の方向はＹ方向（第二方向）の一方側または他方側においては、所定の方向に常に保持された状態にある。

　アーム支持部５３及びアーム部５４の回転は、ウェハ１０の移動方向が第二載置部４の平面視中心と、第二載置部４のＹ方向手前の位置となる載置前位置と、を結ぶ中心線から保持部５５に支持するウェハ１０の移動軌道が外れることを抑制する動作である。

　ウェハ１０を第二載置部４のＹ方向手前の載置前位置に配置した際、ウェハ１０と第二載置部４とのＺ方向の高さが異なる場合は、本体部５１の昇降部５１２により、ウェハ１０の高さを調整する。

　図１、図８に示すように、第一の移動領域Ａ１は、移載ロボット５の本体部５１が設置される平面視中心Ｃ２と第二長壁２ｂとの間の距離として第一領域長Ａ１Ｌが設定される。第一領域長Ａ１Ｌは、旋回支持部５２の第一端部５２ａに設定される第一回転軸６１と、旋回支持部５２の第二端部５２ｂ側の外形先端と、の長さとして設定される旋回先端長５２Ｌａと同等の長さの距離に設定される。

　第二の移動領域Ａ２は、移載ロボット５の本体部５１が設置される平面視中心Ｃ２と第一長壁２ａとの間の距離として第二領域長Ａ２Ｌが設定される。第二領域長Ａ２Ｌは、旋回支持部５２の第一端部５２ａに設定される第一回転軸６１と、旋回支持部５２の第二端部５２ｂ側の外形先端と、の長さとして設定される旋回先端長５２Ｌａと同等の長さの距離に設定される。つまり、第二領域長Ａ２Ｌは、第一領域長Ａ１Ｌと同じ距離で設定され、第一の移動領域Ａ１と同等の第二の移動領域Ａ２を備える。

　旋回支持部５２は、第一の移動領域Ａ１および第二の移動領域Ａ２に対して移載ロボット５の本体部５１が設置される平面視中心Ｃ２を中心に移動可能に本体部５１に連結される。つまり、旋回支持部５２の旋回移動は、移動領域Ａ内で自由に旋回移動することができる。

　搬送部２の第一の移動領域Ａ１側に設けられる第二長壁２ｂに沿って配置される複数の処理ポート２２の配置間隔としてポート距離２２Ｌが設定される。ポート距離２２Ｌは、旋回支持部５２の第一端部５２ａに設定される第一回転軸６１と、旋回支持部５２の第二端部５２ｂに設定される第二回転軸６２と、の長さとして設定される旋回軸間長５２Ｌに対する二倍の長さの距離として設定される。つまり、中心Ｃ２を中心に旋回する旋回支持部５２の第二端部５２ｂに設定される第二回転軸６２が移動する円周軌道を有する円の直径と同じ距離で配置される。

　設置する複数の処理ポート２２が奇数のときは、他の処理ポート２２との間に配置される内側の処理ポート２２の一つの載置位置が、中心Ｃ２を通る直線の位置と一致する位置に配置される。そして、内側の処理ポート２２と、両側に配置される他の処理ポート２２とは、ポート距離２２Ｌと同等の間隔をそれぞれ空けて配置される。

　設置する複数の処理ポート２２が偶数のときは、他の処理ポート２２との間に配置される二つの処理ポート２２，２２の間の位置が、中心Ｃ２を通る直線の位置と一致する位置に配置される。二つの処理ポート２２，２２の間の位置を中心に一方側および他方側に配置される処理ポート２２のポート距離２２Ｌａは、中心Ｃ２を中心に旋回する旋回支持部５２の第二端部５２ｂに設定される第二回転軸６２が移動する円周軌道を有する円の半径と同じ距離で配置される。そして、二つの処理ポート２２，２２の外側に配置される他の処理ポート２２は、ポート距離２２Ｌと同等の間隔をそれぞれ空けて配置される。

　以上のように複数の処理ポート２２が配置される配置位置は、中心Ｃ２を中心に旋回軸間長５２Ｌと同じ距離に設定されるポート距離２２Ｌａの整数倍の間隔で設定され、奇数で配置される場合と偶数で配置される場合とにおいては、一つのポート距離２２Ｌａの分ずらして配置される。また、第二の移動領域Ａ２側に設けられる第一長壁２ａに沿って配置されるロードポート２１も処理ポート２２を配置する位置としてポート距離２２Ｌａで設定される位置に配置される。

　以上のように基板搬送システム１に設けられる第一の移動領域Ａ１および第二の移動領域Ａ２を含む移動領域Ａ、移動領域Ａの周囲に配置される第一載置部３としてのロードポート２１、複数の第二載置部４としての複数の処理ポート２２、移載ロボット５に構成される旋回支持部５２の旋回軸間長５２Ｌおよび旋回先端長５２Ｌａの位置および長さが中心Ｃ２を基準に設定される。このように設定されることで移載ロボット５の運動を効率よく実施できる。また、ロードポート２１および複数の処理ポート２２に対するウェハ１０目印１０ａを所定の方向に位置付けてウェハ１０の搬送を行うことができる。また、移動領域Ａの内部におけるウェハ１０の移動軌道を最短距離で設定することができる。

　本実施形態に係る基板搬送システム及び移載ロボットの作用効果について説明する。

　基板搬送システム１は、移載ロボット５のアーム５０の旋回支持部５２とアーム部５４との間にアーム支持部５３を備えることで第一の移動領域Ａ１内及び第二の移動領域Ａ２内での運動のための演算制御を容易化することができる。また、移載ロボット５のアーム５０の旋回支持部５２とアーム部５４との間にアーム支持部５３を備えることでアーム５０の運動時における動作軌道を最小限の動作軌道で運動させることができるので、移動領域Ａ１及び移動領域Ａ２の範囲（移動領域Ａ１及び移動領域Ａ２のＹ方向の長さ）を狭めることができる。そのため、移載ロボット５を設置する搬送部２をコンパクト化できる。移載ロボット５は、アーム５０の旋回支持部５２とアーム部５４との間にアーム支持部５３を備えることでアーム５０の運動をコンパクト化し、高効率にウェハ１０を搬送できる。

　基板搬送システム１は、移載ロボット５のアーム５０の旋回支持部５２とアーム部５４との間にアーム支持部５３を備えることで、ウェハ１０の目印１０ａを所定の方向に維持した状態でウェハ１０の姿勢を保持したままウェハ１０を搬送することができるため、ウェハ１０を各載置部に取り入れる際にウェハ１０の向きを調整する必要がなく、各処理ポート２２を介して接続される処理工程におけるウェハ１０の表面処理を効率よく行うことができる。移載ロボット５は、旋回支持部５２とアーム部５４との間にアーム支持部５３を備えると共に動作制御されることで、第一載置部３および第二載置部４に対してウェハ１０の向きを合わせてウェハ１０を搬送できるため、ウェハ１０を効率よく搬送することができる。

　基板搬送システム１において、移載ロボット５、ロードポート２１及び複数の処理ポート２２は、移載ロボット５の平面視中心Ｃ２、ロードポート２１の平面視中心Ｃ３及びＸ方向中央の２基の処理ポート２２，２２間のＸ方向の間隔Ｌ１の中心Ｃ１のＸ方向の位置がＹ方向において略一致するように配置される。上記の構成により、移載ロボット５は、旋回支持部５２とアーム部５４との間にアーム支持部５３を備えると共に搬送部２内の平面視中央の中心Ｃ２を中心に配置され、ロードポート２１および複数の処理ポート２２が中心Ｃ２を中心に旋回支持部５２の旋回軸間長５２Ｌおよび旋回先端長５２Ｌａを基に設定されるため、アーム５０の移動距離を短縮することができ、ウェハ１０の搬送を高効率化することができる。

　基板搬送システム１は、移載ロボット５のアーム５０の回転により、ウェハ１０を各載置部からウェハ１０の目印１０ａの位置を維持したまま、Ｙ方向に対して平行に取り出すことができる。基板搬送システム１は、ウェハ１０をＸ方向に複数配置される処理ポート２２間において移動させる際に、アーム５０の回転により、ウェハ１０の目印１０ａの位置を維持したままウェハ１０をＸ方向に対して平行に移動させることができる。移載ロボット５は、ウェハ１０の姿勢を保持しながら直線移動によりウェハ１０を搬送する。そのため、移載ロボット５は、ウェハ１０の方向合せの動作を短縮することができ、ウェハ１０を効率よく搬送することができる。

　基板搬送システム１は、ウェハ１０を各載置部からＹ方向に対して平行に取り出すことができるため、ウェハ１０を搬送する際のアーム５０の動作範囲を考慮して各ポート及び各載置部を大きく形成する必要がなく、装置の大型化を抑制することができる。また、基板搬送システム１は、ウェハ１０を直線方向に移動させることができるため、ウェハ１０を第二載置部４に搬送する際のアームの方向の制御が複雑でなくなり、アームの制御を簡略化できる。

　基板搬送システム１のアーム５０は、連結部を中心に屈曲動作可能な連結する二つのアームを含むアーム部５４が、一方向に屈曲する第一姿勢および他方向に屈曲する第二姿勢の内、いずれか一方の姿勢に維持した状態でアーム５０の運動を行うことにより、アーム部５４の屈曲姿勢の方向を変更することなくウェハ１０の搬送を行うことができる。そのため、アーム部５４の屈曲姿勢の姿勢変更時の衝撃・振動を解消することができる。

（基板搬送システムの別の形態）
　本実施形態の基板搬送システムの別の形態について図９を用いて説明する。図９に示すように、基板搬送システム１００は、搬送部１０２に２台の移載ロボット１０５Ａ，１０５Ｂが備えられている。

　搬送部１０２は、搬送可能な領域として、第一の移載ロボット１０５Ａで搬送可能な領域を第一の搬送部１１１と、第二の移載ロボット１０５Ｂで搬送可能な領域を第二の搬送部１１２と、が設定される。
　第一の搬送部１１１の周囲には、基板を載置可能な第一載置部群１２１が設けられ、第二の搬送部１１２の周囲には、基板を載置可能な第二載置部群１２２が設けられている。

　搬送部１０２は、第一の移載ロボット１０５Ａと、第二の移載ロボット１０５Ｂとの間で基板を受け渡しする中継載置部１３０が備えられている。中継載置部１３０は、第一の搬送部１１１および第二の搬送部１１２のそれぞれの搬送可能な領域に含まれ、第一載置部群１２１と第二載置部群１２２との間に設けられている。

　例えば、基板は第一の移載ロボット１０５Ａで図示しない中継ポートから第一載置部群１２１の第一ポート１２１ａに搬送され、基板に第一処理が施される。その後、基板は、第一の移載ロボット１０５Ａにより第一ポート１２１ａから第二ポート１２１ｂに搬送され、基板に第二処理が施される。

　第二処理が施された基板は、第一の移載ロボット１０５Ａにより、中継載置部１３０の第一中継ポート１３０ａに搬送される。

　中継載置部１３０の第一中継ポート１３０ａへ搬送された基板は、第二の移載ロボット１０５Ｂにより第三ポート１２２ａへ搬送され、基板に第三処理が施される。その後、基板は、第二の移載ロボット１０５Ｂにより、第三ポート１２２ａから搬送方向の一方向に並ぶ第四ポート１２２ｂおよび第五ポート１２２ｃへ順次搬送される。第四ポート１２２ｂおよび第五ポート１２２ｃへ搬送された基板は、第四ポート１２２ｂで第四処理が施され、第五ポート１２２ｃで第五処理が施される。
　第五処理が施された基板は、第二の移載ロボット１０５Ｂにより、第五ポート１２２ｃから第六ポート１２２ｄへ搬送され、第六処理が施される。

　第六処理が施された基板は、第二の移載ロボット１０５Ｂにより、第六ポート１２２ｄから搬送方向の一方向と逆方向となる他方向に並ぶ第七ポート１２２ｅおよび第八ポート１２２ｆへ順次搬送される。第七ポート１２２ｅおよび第八ポート１２２ｆへ搬送された基板は、第七ポート１２２ｅで第七処理が施され、第八ポート１２２ｆで第八処理が施される。

　第八処理まで行われた基板は、第二中継ポート１３０ｂへ搬送され、第一の移載ロボット１０５Ａにより、図示しない中継ポートへ搬送される。搬送部１０２において、ウェハ１０の搬送は、第一中継ポート１３０ａから図９に矢印Ｄで示すように、時計回りに順次搬送される。

　このように構成した基板搬送システム１００においても、上記実施形態と同様の作用効果が得られる。なお、搬送部、載置部群、中継載置部の配置については、任意に設定可能であり、移載ロボットで搬送可能な範囲に適宜各部を配置すればよい。

　基板搬送システム１は、１基のロードポート２１と、４基の処理ポート２２と、を備えるが、上記の構成に限定されず、例えば１基のロードポート２１と３基の処理ポート２２が備えられた構成でもよいし、ロードポート２１及び処理ポート２２がそれぞれ３基備えられた構成でもよいし、複数のロードポート２１と１基の処理ポート２２が備えられた構成でもよい。ロードポート２１及び処理ポート２２のいずれかが１基であり他方が２基以上である場合、移載ロボット５は２基以上の載置部のいずれか１基にＹ方向に対向するように配置してもよい。

　基板搬送システム１は、移載ロボット５を挟んでＹ方向の第一長壁２ａ側にロードポート２１が配置され、Ｙ方向の第二長壁２ｂ側に処理ポート２２が配置されているが、上記の構成に限定されず、例えばロードポート２１及び処理ポート２２をＸ方向またはＹ方向のいずれかの方向に並列配置した構成でもよい。上記の構成において、移載ロボット５をロードポート２１及び処理ポート２２の配置方向と同一方向に複数配置し、ロードポート２１と処理ポート２２との間に隣り合う移載ロボット５，５間でウェハ１０を中継するためにウェハ１０を一時的に載置する中継部を設ける構成としてもよい。上記の構成の場合、中継部は、搬送されたウェハ１０を一時的に載置する際における第二載置部４となり、一時的に載置したウェハ１０を取り出す際における第一載置部３となる。

　以上、図面を参照して、本発明の実施形態を詳述してきたが、具体的な構成は、この実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱しない程度の設計的変更は、本発明に含まれる。

　基板搬送システム及び移載ロボットを用いて、基板の搬送を効率よく実施できる。

１、１００　　基板搬送システム
２、１０２　　搬送部
３　　第一載置部
４　　第二載置部
５、１０５Ａ、１０５Ｂ　　移載ロボット
１０　ウェハ（基板）
５１　本体部
５２　旋回支持部
５３　アーム支持部
５４　アーム部
５５　保持部
５１６　制御ユニット（ロボット制御ユニット）

Claims

　基板が搬送される範囲が規定される搬送部と、
　基板が載置される第一載置部及び第二載置部と、
　前記搬送部の内部に設けられ、前記基板を前記第一載置部から前記第二載置部に搬送する移載ロボットと、
を備え、
　前記搬送部の範囲は、第一方向に前記第一載置部及び前記第二載置部を複数並べて配置可能な所定の第一の長さ、および、前記第一方向と直交し、前記第一の長さより短い第二の長さに設定され、
前記移載ロボットは、
　前記搬送部内に配置される本体部と、
　前記本体部に連結され、前記本体部に対して回転する旋回支持部と、
　前記旋回支持部に連結され、前記旋回支持部に対して回転するアーム支持部と、
　前記アーム支持部に連結され、前記アーム支持部に対して回転するアーム部と、
　前記アーム部に連結され、前記基板を保持する保持部と、
を備え、
　前記アーム部は、前記旋回支持部に連結される第一アームと、前記保持部が連結する第二アームと、を備え、
　前記第一アームは、
　　第一端部が前記アーム支持部に回転可能に連結される第一のアーム基端部と、
　　第二端部が前記第二アームを回転可能に支持する第一のアーム移動端部と、
を備え、
　前記第二アームは、
　　第一端部が前記第一のアーム移動端部に回動可能に連結される第二のアーム基端部と、
　　第二端部が前記保持部を回転可能に支持する第二のアーム移動端部と、
を備え、
　前記旋回支持部は、前記本体部との連結部を回転軸として平面視で回転し、
　前記アーム部は、前記アーム支持部を回転軸として平面視で回転し、
　前記移載ロボットは、前記本体部に支持される前記旋回支持部の中心部が前記搬送部の範囲の中央部に位置するように前記本体部が配置される、
基板搬送システム。
　前記搬送部は、
　　前記移載ロボットの前記本体部を支持するロボット支持部と、
　　前記第一載置部及び前記第二載置部が設けられる複数の載置設置部と、を備える、
請求項１に記載の基板搬送システム。
　前記本体部に前記移載ロボットの駆動を制御するロボット制御ユニットを備える、
請求項１または２に記載の基板搬送システム。
　前記保持部は、第一保持ハンドと、前記第一保持ハンドの下部に設けられる第二保持ハンドと、を備え、
　前記第一保持ハンド及び前記第二保持ハンドはそれぞれ前記基板を保持するハンド先端部と、前記第二のアーム移動端部に対してそれぞれ回転可能にそれぞれ支持されるハンド基端部と、を備える、
請求項１から３のいずれか一項に記載の基板搬送システム。
　前記第一載置部及び前記第二載置部は、前記搬送部の周囲に沿って配置されると共に、前記移載ロボットが前記第一載置部と前記第二載置部との間に配置される、
請求項１から４のいずれか一項に記載の基板搬送システム。
　前記第一載置部及び前記第二載置部は、平面視で前記移載ロボットを挟んで前記搬送部の周囲に沿って対向して複数設けられ、
　前記複数の第一載置部及び前記複数の第二載置部は、前記第一方向に一定の間隔でそれぞれ配置される、
請求項１から５のいずれか一項に記載の基板搬送システム。
　前記移載ロボットが前記搬送部に複数備えられ、
　第一の移載ロボットで搬送可能な第一の搬送部と、
　第二の移載ロボットで搬送可能な第二の搬送部と、を備え、
　前記第一の搬送部に設けられ、前記基板を載置する第一載置部群と、
　前記第二の搬送部に設けられ、前記基板を載置する第二載置部群と、を備え、
　前記第一の移載ロボットと、前記第二の移載ロボットとの間で前記基板の受け渡しが行われる中継載置部を備え、
　前記中継載置部は、前記第一載置部群と前記第二載置部群との間に設けられている、
請求項１から６のいずれか一項に記載の基板搬送システム。
　基板が搬送される範囲が規定される搬送部に沿って設けられる第一載置部から第二載置部に基板を搬送する移載ロボットであって、
　前記搬送部の内部に配置される本体部と、
　前記本体部に連結され、前記本体部に対して回転する旋回支持部と、
　前記旋回支持部に連結され、前記旋回支持部に対して回転するアーム支持部と、
　前記アーム支持部に連結され、前記アーム支持部に対して回転するアーム部と、
　前記アーム部に連結され、前記基板を保持する保持部と、
を備え、
　前記アーム部は、
　　前記旋回支持部に連結される第一アームと、
　　前記保持部が連結する第二アームと、
を備え、
　前記第一アームは、
　　第一端部が前記アーム支持部に回転可能に連結される第一のアーム基端部と、
　　第二端部が前記第二アームを回転可能に支持する第一のアーム移動端部と、
を備え、
　前記第二アームは、
　　第一端部が前記第一のアーム移動端部に回動可能に連結される第二のアーム基端部と、
　　第一端部が前記保持部を回転可能に支持する第二のアーム移動端部と、
を備え、
　前記旋回支持部は、前記本体部との連結部を回転軸として平面視で回転し、
　前記アーム部は、前記アーム支持部を回転軸として平面視で回転し、
　前記本体部に支持される前記旋回支持部の中心部が、前記搬送部の範囲の中央部に位置するように前記本体部が配置される、
移載ロボット。
　前記本体部に前記移載ロボットの駆動を制御するロボット制御ユニットを備える、
請求項８に記載の移載ロボット。
　前記保持部は、第一保持ハンドと、前記第一保持ハンドの下部に設けられる第二保持ハンドと、を備え、
　前記第一保持ハンド及び前記第二保持ハンドはそれぞれ前記基板を保持するハンド先端部と、前記第二のアーム移動端部に対してそれぞれ回転可能にそれぞれ支持されるハンド基端部と、を備える、
請求項８または９に記載の移載ロボット。