JP6898403B2 - 基板搬送システム、基板処理装置、及び基板搬送方法 - Google Patents
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Description
Claims (7)
- 基板搬送システムであって、
基板を基板容器から移送するように構成されるフロントエンドユニットと、
前記フロントエンドユニットに接合する移送モジュールと、
前記移送モジュールの前記フロントエンドユニットとは反対側において前記移送モジュールに結合されている基板処理チャンバであって、前記移送モジュール及び前記処理チャンバが前記フロントエンドユニットから基板を搬送するための前記フロントエンドユニットの搬送経路に沿って実質的に直列の配置を有する基板処理チャンバと、
前記フロントエンドユニットから基板を移送するために、前記フロントエンドユニットの搬送経路に沿って前記移送モジュールと実質的にインライン配列を有するように前記移送モジュールに結合された基板処理チャンバと、
駆動部を含む基板搬送機と、を含み、
前記駆動部は、固定位置において前記移送モジュール、2つのアームリンク及び少なくとも1つのエンドエフェクタと結合されており、前記2つのアームリンク及び前記少なくとも1つのエンドエフェクタは、前記移送モジュール内に配されかつ互いに直列に結合され、
前記2つのアームリンクは、各々第1のアームリンク及び第2のアームリンクであり、
前記第1のアームリンクは、前記移送モジュールのハウジングに第1のアームリンク回転軸周りに枢動可能に接続されており、
前記第2のアームリンクは、前記第1のアームリンクに第2のアームリンク回転軸周りに枢動可能に接続され、
前記基板搬送機は、前記基板搬送機の前記2つのアームリンク及び前記少なくとも1つのエンドエフェクタの前記第1のアームリンク回転軸周りに回転するユニットとしての共同の同時の同一回転方向の回転無しに、前記2つのアームリンク及び前記少なくとも1つのエンドエフェクタを直線経路に沿った2方向に伸展して、前記基板搬送機の前記2つのアームリンク及び前記少なくとも1つのエンドエフェクタが、前記移送モジュールを通り抜けて前記移送モジュールを跨いだ両側に存在し、直線でありかつ前記移送モジュールを通って互いにアラインメントされている前記直線経路に沿った連続した直線動作を行って、前記処理チャンバと前記フロントエンドユニットとの間の前記直線経路に沿って基板を搬送するように構成され、
前記直線経路は、前記移送モジュールの各々を通って伸長しかつ前記移送モジュールの各々の中心に近接した中心線軸を有し、
前記第1のアームリンクは、第1の端部において前記の移送モジュールの前記ハウジングに前記第1のアームリンク回転軸周りに枢動可能に接合され、前記第1のアームリンクは第1の長さを有し、
前記第2のアームリンクの第1の端部は、前記第1のアームリンクの第2端部に前記第2のアームリンク回転軸周りに枢動可能に結合され、前記第2のアームリンクは前記第1の長さとは異なる第2の長さを有し、前記第2のアームリンクの回転は前記第1のアームリンクの回転に従属し、
前記少なくとも1つのエンドエフェクタは、前記第2のアームリンクの第2端部に枢動可能に接合され、少なくとも1つの基板を保持するように構成され、前記第1および第2リンクと独立して回転できるように駆動されることを特徴とするシステム。 - 前記フロントエンドユニットがそれぞれ実質的に平行な複数の作業経路を備え、移送モジュールが前記の複数作業経路のそれぞれに接続されていることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送システム。
- 前記移送モジュールが、少なくとも1つの基板をバッファするためのバッファ部と、前記基板搬送機の少なくとも一部を格納する搬送部を備えていることを特徴とする請求項1
に記載の基板搬送システム。 - 前記移送モジュールが、前記バッファ部を前記搬送部から隔離可能な雰囲気を有するロードロックに転換するよう構成される着脱自在の弁インサートをさらに備えていることを特徴とする請求項3に記載の基板搬送システム。
- 前記バッファ部および搬送部が、前記処理チャンバおよびフロントエンドユニットから選択可能に隔離可能な単一のチャンバ単体を形成していることを特徴とする請求項3に記載の基板搬送システム。
- 前記移送モジュールに少なくとも1つの基板バッファと、基板冷却装置と、基板アライナとを含むことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送システム。
- 基板搬送システムであって、
基板を基板容器から移送するように構成されるフロントエンドユニットと、
前記フロントエンドユニットに接合する移送モジュールと、
前記移送モジュールの前記フロントエンドユニットとは反対側において前記移送モジュールに結合されている基板処理チャンバであって、前記移送モジュール及び前記処理チャンバが前記フロントエンドユニットから基板を搬送するための前記フロントエンドユニットの搬送経路に沿って実質的に直列の配置を有する基板処理チャンバと、
前記フロントエンドユニットから基板を移送するために、前記フロントエンドユニットの搬送経路に沿って前記移送モジュールと実質的にインライン配列を有するように前記移送モジュールに結合された基板処理チャンバと、
駆動部を含む基板搬送機と、を含み、
前記駆動部は、固定位置において前記移送モジュール、2つのアームリンク及び1つのエンドエフェクタまたは2つエンドエフェクタと結合されており、前記2つのアームリンク及び前記1つのエンドエフェクタまたは2つのエンドエフェクタは、前記移送モジュール内に配されかつ互いに直列に結合され、
前記駆動部は複数の駆動源を有し、前記複数の駆動源は前記1のエンドエフェクタ及び2つのエンドエフェクタの一方と共に構成された前記基板搬送機に共通であり、
前記2つのアームリンクは、各々第1のアームリンク及び第2のアームリンクであり、
前記第1のアームリンクは、前記移送モジュールのハウジングに第1のアームリンク回転軸周りに枢動可能に接続されており、
前記第2のアームリンクは、前記第1のアームリンクに第2のアームリンク回転軸周りに枢動可能に接続され、
前記基板搬送機は、前記基板搬送機の前記2つのアームリンク及び前記1つのエンドエフェクタまたは前記2つのエンドエフェクタの前記第1のアームリンク回転軸周りに回転するユニットとしての共同の同時の同一回転方向の回転無しに、前記共通の複数の駆動源を用いて前記2つのアームリンク及び前記1つのエンドエフェクタまたは前記2つのエンドエフェクタを、前記基板搬送機が前記1つのエンドエフェクタを有するかまたは前記2つのエンドエフェクタを有するかにかかわらず、直線経路に沿った2方向に伸展して、前記基板搬送機の前記2つのアームリンク及び前記1つのエンドエフェクタまたは前記2つのエンドエフェクタが、前記移送モジュールを通り抜けて前記移送モジュールを跨いだ両側に存在し、直線でありかつ前記移送モジュールを通って互いにアラインメントされている前記直線経路に沿った連続した直線動作を行って、前記処理チャンバと前記フロントエンドユニットとの間の前記直線経路に沿って基板を搬送するように構成され、
前記直線経路は、前記移送モジュールの各々を通って伸長しかつ前記移送モジュールの各々の中心に近接した中心線軸を有し、
前記第1のアームリンクは、第1の端部において前記の移送モジュールの前記ハウジングに前記第1のアームリンク回転軸周りに枢動可能に接合され、前記第1のアームリンクは第1の長さを有し、
前記第2のアームリンクの第1の端部は、前記第1のアームリンクの第2端部に前記第2のアームリンク回転軸周りに枢動可能に結合され、前記第2のアームリンクは前記第1の長さとは異なる第2の長さを有し、前記第2のアームリンクの回転は前記第1のアームリンクの回転に従属し、
前記1つのエンドエフェクタまたは前記2つのエンドエフェクタは、前記第2のアームリンクの第2端部に枢動可能に接合され、少なくとも1つの基板を保持するように構成され、前記1つのエンドエフェクタまたは前記2つのエンドエフェクタは、前記第1および第2リンクと独立して回転できるように駆動されることを特徴とするシステム。
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