JPH0590381A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH0590381A JPH0590381A JP24772091A JP24772091A JPH0590381A JP H0590381 A JPH0590381 A JP H0590381A JP 24772091 A JP24772091 A JP 24772091A JP 24772091 A JP24772091 A JP 24772091A JP H0590381 A JPH0590381 A JP H0590381A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 部品点数の削減によりコストの低減および信
頼性の向上を図るとともに、狭い空間内で使用できる搬
送装置を提供する。 【構成】 基板搬送装置１は、回転駆動機構２に接続さ
れた駆動アーム３と、ＬＣＤ基板４を支持する基板支持
アーム５と、中間アーム６から構成されている。駆動ア
ーム３は駆動軸７とともに回転する。駆動アーム３に
は、基台８に固定された第１のプーリー９と回転軸１２
に固定された第２のプーリー１０が設けられ駆動アーム
３を回転させると、反対方向に第２のプーリー１０とと
もに中間アーム６が回転する。中間アーム６には第３の
プーリー１３と回転軸１５に固定された第４のプーリー
１４が設けられ、中間アーム６が回転すると、基板支持
アーム５が中間アーム６に対して回転する。基台８に対
する駆動アーム３の回転角と、それに対する中間アーム
６の回転角と、これに対する基板支持アーム５の回転角
との比は１：２：２に設定されている。
頼性の向上を図るとともに、狭い空間内で使用できる搬
送装置を提供する。 【構成】 基板搬送装置１は、回転駆動機構２に接続さ
れた駆動アーム３と、ＬＣＤ基板４を支持する基板支持
アーム５と、中間アーム６から構成されている。駆動ア
ーム３は駆動軸７とともに回転する。駆動アーム３に
は、基台８に固定された第１のプーリー９と回転軸１２
に固定された第２のプーリー１０が設けられ駆動アーム
３を回転させると、反対方向に第２のプーリー１０とと
もに中間アーム６が回転する。中間アーム６には第３の
プーリー１３と回転軸１５に固定された第４のプーリー
１４が設けられ、中間アーム６が回転すると、基板支持
アーム５が中間アーム６に対して回転する。基台８に対
する駆動アーム３の回転角と、それに対する中間アーム
６の回転角と、これに対する基板支持アーム５の回転角
との比は１：２：２に設定されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から被搬送体、例えば液晶表示器用
のガラス基板（ＬＣＤ基板）にアッシング処理、エッチ
ング処理等を施す装置では、複数段のアームを有し、こ
れらのアームを折曲、伸長することによって基板を搬送
する基板搬送装置が多く用いられている。特に、真空処
理室に基板をロード・アンロードするためのいわゆるロ
ードロック室内に設けられる基板搬送装置では、ロード
ロック室内の狭い空間内に搬送機構を収容しなければな
らない。このため、上述した如く伸縮自在な複数段のア
ームを有する基板搬送装置が多用されている。
のガラス基板（ＬＣＤ基板）にアッシング処理、エッチ
ング処理等を施す装置では、複数段のアームを有し、こ
れらのアームを折曲、伸長することによって基板を搬送
する基板搬送装置が多く用いられている。特に、真空処
理室に基板をロード・アンロードするためのいわゆるロ
ードロック室内に設けられる基板搬送装置では、ロード
ロック室内の狭い空間内に搬送機構を収容しなければな
らない。このため、上述した如く伸縮自在な複数段のア
ームを有する基板搬送装置が多用されている。
【０００３】従来、このような基板搬送装置では、特開
平1-198465に述べられている様に、アームを伸縮させる
ための駆動源と、回転させるための駆動源を少なくとも
2 つ備えており、これらの駆動源を電気的制御により協
調させて駆動し、所望の搬送動作を実現している。
平1-198465に述べられている様に、アームを伸縮させる
ための駆動源と、回転させるための駆動源を少なくとも
2 つ備えており、これらの駆動源を電気的制御により協
調させて駆動し、所望の搬送動作を実現している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た2 つ以上の駆動源を持つ従来の基板搬送装置では、基
板の搬送動作を実現することができるという特徴を有す
るものの、2 つ以上の駆動源と、これらの駆動源を制御
するためのマイクロコンピュータ、センサー等が必要と
なり、単一の駆動源を有する搬送装置に比べて装置コス
トが上昇するという問題がある。特に、例えばロードロ
ック室内に設けられる基板搬送装置では、駆動源の駆動
軸部分に、真空を実現するロードロック室と大気中の駆
動源を隔離するための磁気シール機構を、駆動源毎に設
けなければならないが、このような磁気シール機構は価
格が高く、シール部位が増えると装置コストが大幅に上
昇する。
た2 つ以上の駆動源を持つ従来の基板搬送装置では、基
板の搬送動作を実現することができるという特徴を有す
るものの、2 つ以上の駆動源と、これらの駆動源を制御
するためのマイクロコンピュータ、センサー等が必要と
なり、単一の駆動源を有する搬送装置に比べて装置コス
トが上昇するという問題がある。特に、例えばロードロ
ック室内に設けられる基板搬送装置では、駆動源の駆動
軸部分に、真空を実現するロードロック室と大気中の駆
動源を隔離するための磁気シール機構を、駆動源毎に設
けなければならないが、このような磁気シール機構は価
格が高く、シール部位が増えると装置コストが大幅に上
昇する。
【０００５】また、構成部品が増加することによって故
障率の上昇に伴って信頼性が低下するという問題、エッ
チング処理の様に真空中において多軸駆動による回転軸
からのコンタミ発生というトラブル発生の危険性がある
等の問題があった。さらに、高真空を実現するロードロ
ック室内に設けられる基板搬送装置等では、アームおよ
び基板の回転等に要する空間の幅をできるだけ狭くし
て、狭い空間内での搬送動作を実現し、ロードロック室
等の小形化を図る必要がある。
障率の上昇に伴って信頼性が低下するという問題、エッ
チング処理の様に真空中において多軸駆動による回転軸
からのコンタミ発生というトラブル発生の危険性がある
等の問題があった。さらに、高真空を実現するロードロ
ック室内に設けられる基板搬送装置等では、アームおよ
び基板の回転等に要する空間の幅をできるだけ狭くし
て、狭い空間内での搬送動作を実現し、ロードロック室
等の小形化を図る必要がある。
【０００６】本発明は、かかる従来の事情に対処してな
されたもので、従来に較べて部品点数を削減することが
でき、装置コストの低減および信頼性の向上を図ること
ができるとともに、狭い空間内での搬送動作を実現する
ことができ、ロードロック室等の小形化を図ることので
きる搬送装置を提供しようとするものである。
されたもので、従来に較べて部品点数を削減することが
でき、装置コストの低減および信頼性の向上を図ること
ができるとともに、狭い空間内での搬送動作を実現する
ことができ、ロードロック室等の小形化を図ることので
きる搬送装置を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明の搬送
装置は、一つの回転駆動機構に接続された駆動アーム
と、被搬送体を支持する被搬送体支持アームと、前記駆
動アームと前記被搬送体支持アームとを連結する中間ア
ームとを具備した搬送装置において、前記駆動アームを
回転させる前記回転駆動機構の駆動力を、前記中間アー
ムおよび前記被搬送体支持アームに伝達して前記被搬送
体を回転と前進、後退させる事により、搬送を行うこと
を特徴とする。
装置は、一つの回転駆動機構に接続された駆動アーム
と、被搬送体を支持する被搬送体支持アームと、前記駆
動アームと前記被搬送体支持アームとを連結する中間ア
ームとを具備した搬送装置において、前記駆動アームを
回転させる前記回転駆動機構の駆動力を、前記中間アー
ムおよび前記被搬送体支持アームに伝達して前記被搬送
体を回転と前進、後退させる事により、搬送を行うこと
を特徴とする。
【０００８】また、駆動力伝達機構は、前記駆動アーム
と前記中間アームと前記被搬送体支持アームの長さの比
が、1 ：2 ：1 となるように設定されていることを特徴
とする。
と前記中間アームと前記被搬送体支持アームの長さの比
が、1 ：2 ：1 となるように設定されていることを特徴
とする。
【０００９】
【作用】上記構成の本発明の搬送装置では、駆動アーム
を回転させる回転駆動機構の一つの駆動力を中間アーム
および被搬送体支持アームに伝達してこれらのアームを
折曲、伸長させる駆動力伝達機構を有し、アームの回転
と伸縮を1 つの駆動源によって実施する。これにより、
部品点数を削減することができる。
を回転させる回転駆動機構の一つの駆動力を中間アーム
および被搬送体支持アームに伝達してこれらのアームを
折曲、伸長させる駆動力伝達機構を有し、アームの回転
と伸縮を1 つの駆動源によって実施する。これにより、
部品点数を削減することができる。
【００１０】また、上記駆動力伝達機構は、駆動アーム
と中間アームと被搬送体支持アームの長さの比が、1 ：
2 ：1 となるように設定されている。これにより、被搬
送体を直線的に搬送することができ、狭い空間内での搬
送動作を実現することができる。
と中間アームと被搬送体支持アームの長さの比が、1 ：
2 ：1 となるように設定されている。これにより、被搬
送体を直線的に搬送することができ、狭い空間内での搬
送動作を実現することができる。
【００１１】
【実施例】本発明の搬送装置を、ＬＣＤ基板に対してエ
ッチング処理を行う処理装置におけるロードロック室内
での前記ＬＣＤ基板の搬送を行う基板搬送装置に適用し
た一実施例を図面を参照しながら説明する。
ッチング処理を行う処理装置におけるロードロック室内
での前記ＬＣＤ基板の搬送を行う基板搬送装置に適用し
た一実施例を図面を参照しながら説明する。
【００１２】図５において、エッチング処理を行うＬＣ
Ｄ基板３０が下部電極３１に載置され、上部電極３２と
の間に、高周波電圧３３が印加され、さらにプラズマエ
ッチング処理用ガス例えばエッチングガスをガス供給管
３４より供給し、さらに下部電極３１は接地されて、Ｌ
ＣＤ基板３０に対してラジカルによりエッチングするプ
ラズマモードの設定となる如くプロセスチャンバー３６
は構成される。
Ｄ基板３０が下部電極３１に載置され、上部電極３２と
の間に、高周波電圧３３が印加され、さらにプラズマエ
ッチング処理用ガス例えばエッチングガスをガス供給管
３４より供給し、さらに下部電極３１は接地されて、Ｌ
ＣＤ基板３０に対してラジカルによりエッチングするプ
ラズマモードの設定となる如くプロセスチャンバー３６
は構成される。
【００１３】上記プロセスチャンバー３６内のガスは均
一に排気される如く設けられた排出口３５より図示しな
い排気機構例えばロータリーポンプやターボ分子ポンプ
等に連設している。
一に排気される如く設けられた排出口３５より図示しな
い排気機構例えばロータリーポンプやターボ分子ポンプ
等に連設している。
【００１４】このようにしてエッチング装置が構成され
ている。
ている。
【００１５】次に、プロセスチャンバー３６への被処理
基板であるＬＣＤ基板３０の搬入搬出口であるゲートバ
ルブ３７を通してロードロック室３８は接続され、上記
ロードロック室３８内の基板搬送装置３９が、前記プロ
セスチャンバー３６内の下部電極３１上のＬＣＤ基板３
０の載置場所と、ロードロック室３８にゲートバルブ４
９を通してつながるカセット収納チャンバー４０内のＬ
ＣＤ基板を収納するカセット４１との間を、ＬＣＤ基板
を搬送する如く構成されている。
基板であるＬＣＤ基板３０の搬入搬出口であるゲートバ
ルブ３７を通してロードロック室３８は接続され、上記
ロードロック室３８内の基板搬送装置３９が、前記プロ
セスチャンバー３６内の下部電極３１上のＬＣＤ基板３
０の載置場所と、ロードロック室３８にゲートバルブ４
９を通してつながるカセット収納チャンバー４０内のＬ
ＣＤ基板を収納するカセット４１との間を、ＬＣＤ基板
を搬送する如く構成されている。
【００１６】又、上記カセット収納チャンバー４０に
は、カセットを搬出搬入を行う為のゲートバルブ４２が
設けられている。
は、カセットを搬出搬入を行う為のゲートバルブ４２が
設けられている。
【００１７】又、上記ロードロック室３８及びカセット
収納チャンバー４０は、真空にする為の真空排気系４３
が、ゲートバルブ４４、４５と排気パイプ４６を通し
て、ターボ分子ポンプ４７とロータリーポンプ４８等に
連設されている。
収納チャンバー４０は、真空にする為の真空排気系４３
が、ゲートバルブ４４、４５と排気パイプ４６を通し
て、ターボ分子ポンプ４７とロータリーポンプ４８等に
連設されている。
【００１８】以上の様に構成されているプラズマエッチ
ング装置において、本発明の実施例であるＬＣＤ基板の
搬送装置３９は、プロセスチャンバー３６内の下部電極
３１上のＬＣＤ基板載置場所と、カセット収納チャンバ
ー４０内のＬＣＤ基板収納用のカセット４１の間を、図
示しない一つの回転駆動力を用いてＬＣＤ基板３０を前
進、後退、回転の動作により搬送する。
ング装置において、本発明の実施例であるＬＣＤ基板の
搬送装置３９は、プロセスチャンバー３６内の下部電極
３１上のＬＣＤ基板載置場所と、カセット収納チャンバ
ー４０内のＬＣＤ基板収納用のカセット４１の間を、図
示しない一つの回転駆動力を用いてＬＣＤ基板３０を前
進、後退、回転の動作により搬送する。
【００１９】前記ロードロック室３８及びカセット収納
チャンバー４０を、プロセスチャンバー３６と同程度に
真空状態にすることにより、ＬＣＤ基板３０をロードロ
ック室３８からプロセスチャンバー３６へ搬出搬入する
際、プロセスチャンバー３６の真空雰囲気に維持した状
態で、効率良くエッチング処理を行うことができる。前
記ロードロック室３８内の搬送装置３９は、図示しない
一つの回転駆動力を用いることにより、真空中に駆動源
の回転軸より発生するコンタミを従来の２軸の回転軸を
用いる場合に比べて少なくすることができると共に、小
さくすることができ、装置の小形化に大きく寄与してい
る。
チャンバー４０を、プロセスチャンバー３６と同程度に
真空状態にすることにより、ＬＣＤ基板３０をロードロ
ック室３８からプロセスチャンバー３６へ搬出搬入する
際、プロセスチャンバー３６の真空雰囲気に維持した状
態で、効率良くエッチング処理を行うことができる。前
記ロードロック室３８内の搬送装置３９は、図示しない
一つの回転駆動力を用いることにより、真空中に駆動源
の回転軸より発生するコンタミを従来の２軸の回転軸を
用いる場合に比べて少なくすることができると共に、小
さくすることができ、装置の小形化に大きく寄与してい
る。
【００２０】次に、本発明をロードロック室内でＬＣＤ
基板の搬送を行う基板搬送装置に適用した一実施例を図
面を参照して説明する。
基板の搬送を行う基板搬送装置に適用した一実施例を図
面を参照して説明する。
【００２１】図１に示すように、基板搬送装置１は、回
転駆動機構２に接続された駆動アーム３と、被搬送基板
であるＬＣＤ基板４を支持する基板支持アーム５と、こ
れらの駆動アーム３と基板支持アーム５とを連結する中
間アーム６の3つのアームから構成されている。
転駆動機構２に接続された駆動アーム３と、被搬送基板
であるＬＣＤ基板４を支持する基板支持アーム５と、こ
れらの駆動アーム３と基板支持アーム５とを連結する中
間アーム６の3つのアームから構成されている。
【００２２】上記駆動アーム３は、回転駆動機構２の駆
動軸７に接続されており、この駆動軸７とともに、回転
するよう構成されている。また、駆動アーム３内には、
駆動軸７と同軸に設定され、基台８に固定された第１の
プーリー９と、駆動アーム３先端側に回転自在に配置さ
れた第２のプーリー１０が設けられており、これらのプ
ーリー９、１０間には、ベルト１１が掛け渡されてい
る。また、第２のプーリー１０は、中間アーム６に接続
された回転軸１２に固定されており、回転駆動機構２を
駆動して駆動アーム３を回転させると、反対方向に第２
のプーリー１０とともに中間アーム６が回転するよう構
成されている。この回転角は、基台８に対する駆動アー
ム３の回転角と、駆動アーム３に対する中間アーム６の
回転角との比が１：２となるよう設定されている。
動軸７に接続されており、この駆動軸７とともに、回転
するよう構成されている。また、駆動アーム３内には、
駆動軸７と同軸に設定され、基台８に固定された第１の
プーリー９と、駆動アーム３先端側に回転自在に配置さ
れた第２のプーリー１０が設けられており、これらのプ
ーリー９、１０間には、ベルト１１が掛け渡されてい
る。また、第２のプーリー１０は、中間アーム６に接続
された回転軸１２に固定されており、回転駆動機構２を
駆動して駆動アーム３を回転させると、反対方向に第２
のプーリー１０とともに中間アーム６が回転するよう構
成されている。この回転角は、基台８に対する駆動アー
ム３の回転角と、駆動アーム３に対する中間アーム６の
回転角との比が１：２となるよう設定されている。
【００２３】なお、上記駆動軸７には図示しない気密シ
ール機構、例えば磁気流体シールが設けられており、基
台８と駆動軸７との間を気密に閉塞し、各アーム３、
５、６が配置された基台８の上部の空間と、回転駆動機
構２が配置された基台８の下部空間とを隔離するよう構
成されている。
ール機構、例えば磁気流体シールが設けられており、基
台８と駆動軸７との間を気密に閉塞し、各アーム３、
５、６が配置された基台８の上部の空間と、回転駆動機
構２が配置された基台８の下部空間とを隔離するよう構
成されている。
【００２４】また、中間アーム６内には、駆動アーム３
との接続部分に第３のプーリー１３が、基板支持アーム
５との接続部分に第４のプーリー１４が設けられてい
る。この第３のプーリー１３は駆動アーム３に固定され
ており、第４のプーリー１４は基板支持アーム５に接続
された回転軸１５に固定されている。そして、これらの
プーリー１３、１４の間には、ベルト１６が掛け渡され
ており、中間アーム６が駆動アーム３に対して回転する
と、第４のプーリー１４が回転し、基板支持アーム５が
中間アーム６に対して回転するよう構成されている。な
お、駆動アーム３に対する中間アーム６の回転角と、中
間アーム６に対する基板支持アーム５の回転角との比は
１：１に設定されており、回転方向は反対方向である。
との接続部分に第３のプーリー１３が、基板支持アーム
５との接続部分に第４のプーリー１４が設けられてい
る。この第３のプーリー１３は駆動アーム３に固定され
ており、第４のプーリー１４は基板支持アーム５に接続
された回転軸１５に固定されている。そして、これらの
プーリー１３、１４の間には、ベルト１６が掛け渡され
ており、中間アーム６が駆動アーム３に対して回転する
と、第４のプーリー１４が回転し、基板支持アーム５が
中間アーム６に対して回転するよう構成されている。な
お、駆動アーム３に対する中間アーム６の回転角と、中
間アーム６に対する基板支持アーム５の回転角との比は
１：１に設定されており、回転方向は反対方向である。
【００２５】さらに、駆動軸７と回転軸１２との間の長
さ（図１に示すＡ）と、回転軸１２と回転軸１５との間
の長さ（図１に示すＢ）と、回転軸１５とＬＣＤ基板４
の中心との間の長さ（図１に示すＣ）との比は、１：
２：１に設定されている。
さ（図１に示すＡ）と、回転軸１２と回転軸１５との間
の長さ（図１に示すＢ）と、回転軸１５とＬＣＤ基板４
の中心との間の長さ（図１に示すＣ）との比は、１：
２：１に設定されている。
【００２６】次に、図２および図３を参照して、上記構
成の基板搬送装置１の動作について説明する。
成の基板搬送装置１の動作について説明する。
【００２７】図２（ａ）に示すように、駆動アーム３、
中間アーム６、基板支持アーム５が直線上に配列された
状態から、図２（ｂ）に示すように、回転駆動機構２に
よって、駆動アーム３を反時計回りに45度回転させる
と、上述したプリー９、１０、１３、１４およびベルト
１１、１６からなる駆動力伝達機構の作用により、駆動
アーム３に対して中間アーム６が時計回りに90度、中間
アーム６に対して基板支持アーム５が反時計回りに90度
それぞれ回転し、さらに、図２（ｃ）に示すように、駆
動アーム３を同方向に90度回転させると、駆動アーム３
に対して中間アーム６が180 度、中間アーム６に対して
基板支持アーム５が180 度それぞれ回転し、ＬＣＤ基板
４の中心が中心軸を通る直線上を移動するように搬送さ
れる。
中間アーム６、基板支持アーム５が直線上に配列された
状態から、図２（ｂ）に示すように、回転駆動機構２に
よって、駆動アーム３を反時計回りに45度回転させる
と、上述したプリー９、１０、１３、１４およびベルト
１１、１６からなる駆動力伝達機構の作用により、駆動
アーム３に対して中間アーム６が時計回りに90度、中間
アーム６に対して基板支持アーム５が反時計回りに90度
それぞれ回転し、さらに、図２（ｃ）に示すように、駆
動アーム３を同方向に90度回転させると、駆動アーム３
に対して中間アーム６が180 度、中間アーム６に対して
基板支持アーム５が180 度それぞれ回転し、ＬＣＤ基板
４の中心が中心軸を通る直線上を移動するように搬送さ
れる。
【００２８】そして、さらに、図２（ｃ）に示す各アー
ム３、５、６が折曲された状態から図２（ｄ）、（ｅ）
に示すようにさらに駆動アーム３を回転させることによ
り、中間アーム６および基板支持アーム５が同様に回転
して伸長し、最初の状態とは反対方向に各アーム３、
５、６が伸びた状態となる。
ム３、５、６が折曲された状態から図２（ｄ）、（ｅ）
に示すようにさらに駆動アーム３を回転させることによ
り、中間アーム６および基板支持アーム５が同様に回転
して伸長し、最初の状態とは反対方向に各アーム３、
５、６が伸びた状態となる。
【００２９】これにより、ＬＣＤ基板４の中心が中心軸
上を直線的に移動するように反対側まで搬送される。な
お、この時のＬＣＤ基板４の動きを示したのが図３であ
る。この図３に示すように、ＬＣＤ基板４は、自身の対
角線長さの幅Ｄの幅内で回転しながら直線上を搬送され
る。したがって、最小の幅内でＬＣＤ基板４を搬送する
ことができ、基板搬送装置１が配置される装置の小形化
を実現することができる。
上を直線的に移動するように反対側まで搬送される。な
お、この時のＬＣＤ基板４の動きを示したのが図３であ
る。この図３に示すように、ＬＣＤ基板４は、自身の対
角線長さの幅Ｄの幅内で回転しながら直線上を搬送され
る。したがって、最小の幅内でＬＣＤ基板４を搬送する
ことができ、基板搬送装置１が配置される装置の小形化
を実現することができる。
【００３０】図４に、上記構成の基板搬送装置１をＬＣ
Ｄ基板４に所定の処理を施す装置内に配置した状態を示
す。同図において２０は、ＬＣＤ基板４に例えばエッチ
ング処理、アッシング処理等を施す真空処理室であり、
この真空処理室２０に連設されたロードロック室２１内
に基板搬送装置１が配置されている。なお、ロードロッ
ク室２１の両側には、それぞれ真空処理室２０および外
部２２との間を気密に閉塞可能に構成された図示しない
ゲートバルブが設けられている。
Ｄ基板４に所定の処理を施す装置内に配置した状態を示
す。同図において２０は、ＬＣＤ基板４に例えばエッチ
ング処理、アッシング処理等を施す真空処理室であり、
この真空処理室２０に連設されたロードロック室２１内
に基板搬送装置１が配置されている。なお、ロードロッ
ク室２１の両側には、それぞれ真空処理室２０および外
部２２との間を気密に閉塞可能に構成された図示しない
ゲートバルブが設けられている。
【００３１】そして、例えば、外部２２側に設けられた
図示しないゲートバルブを開け、真空処理室２０側に設
けられた図示しないゲートバルブを閉じた状態とし、常
圧雰囲気とされた外部２２から、前述したようにして、
まずＬＣＤ基板４をロードロック室２１内に搬入し、こ
の後、外部２２側に設けられた図示しないゲートバルブ
を閉じてロードロック室２１内を所定の真空雰囲気と
し、しかる後、真空処理室２０側に設けられた図示しな
いゲートバルブを開けてＬＣＤ基板４を真空処理室２０
内の所定位置に搬入するよう構成されている。なお、真
空処理室２０内には、例えばＬＣＤ基板４の周縁部等を
支持する図示しない基板支持機構等が設けられており、
例えば基板搬送装置１とこの基板支持機構とを相対的に
上下動することにより、ＬＣＤ基板４の受け渡しを行う
よう構成されている。
図示しないゲートバルブを開け、真空処理室２０側に設
けられた図示しないゲートバルブを閉じた状態とし、常
圧雰囲気とされた外部２２から、前述したようにして、
まずＬＣＤ基板４をロードロック室２１内に搬入し、こ
の後、外部２２側に設けられた図示しないゲートバルブ
を閉じてロードロック室２１内を所定の真空雰囲気と
し、しかる後、真空処理室２０側に設けられた図示しな
いゲートバルブを開けてＬＣＤ基板４を真空処理室２０
内の所定位置に搬入するよう構成されている。なお、真
空処理室２０内には、例えばＬＣＤ基板４の周縁部等を
支持する図示しない基板支持機構等が設けられており、
例えば基板搬送装置１とこの基板支持機構とを相対的に
上下動することにより、ＬＣＤ基板４の受け渡しを行う
よう構成されている。
【００３２】このように、本実施例の基板搬送装置１で
は、基板搬送装置１をロードロック室２１内に配置する
場合、図３に示したようにＬＣＤ基板４が直線上を移動
するよう搬送することができるので、搬送に要する空間
を最小に設定することができ、ロードロック室２１内の
容積を小さく設定することができる。また、回転駆動機
構２および磁気シール機構等の数が1 つですみ、電気的
な制御機構も簡素化することができるので、従来に較べ
て部品点数を削減することができ、装置コストの低減お
よび信頼性の向上を図ることができる。
は、基板搬送装置１をロードロック室２１内に配置する
場合、図３に示したようにＬＣＤ基板４が直線上を移動
するよう搬送することができるので、搬送に要する空間
を最小に設定することができ、ロードロック室２１内の
容積を小さく設定することができる。また、回転駆動機
構２および磁気シール機構等の数が1 つですみ、電気的
な制御機構も簡素化することができるので、従来に較べ
て部品点数を削減することができ、装置コストの低減お
よび信頼性の向上を図ることができる。
【００３３】以上の実施例では、被搬送体として方形状
のＬＣＤ基板の例を説明したが、半導体ウエハその他ガ
ラス基板についても適用することができる。
のＬＣＤ基板の例を説明したが、半導体ウエハその他ガ
ラス基板についても適用することができる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の搬送装置
によれば、従来に較べて部品点数を削減することがで
き、装置コストの低減および信頼性の向上を図ることが
できるとともに、狭い空間内での搬送動作を実現するこ
とができ、この搬送装置を採用した装置の小形化を図る
ことができる。
によれば、従来に較べて部品点数を削減することがで
き、装置コストの低減および信頼性の向上を図ることが
できるとともに、狭い空間内での搬送動作を実現するこ
とができ、この搬送装置を採用した装置の小形化を図る
ことができる。
【図１】本発明の一実施例の基板搬送装置の概略構成を
示す図。
示す図。
【図２】図１の基板搬送装置の搬送動作を説明するため
の図。
の図。
【図３】図１の基板搬送装置によるＬＣＤ基板の搬送動
作を説明するための図。
作を説明するための図。
【図４】図１の基板搬送装置をロードロック室内に配置
した状態を示す図。
した状態を示す図。
【図５】本発明の一実施例をエッチング装置における基
板搬送装置で示した図。
板搬送装置で示した図。
１ 基板搬送装置 ２ 回転駆動機構 ３ 駆動アーム ４ ＬＣＤ基板 ５ 基板支持アーム ６ 中間アーム ７ 駆動軸 ８ 基台 ９、１０、１３、１４ プーリー １１、１６ ベルト １２、１５ 回転軸
Claims (2)
- 【請求項１】 一つの駆動源により駆動される回転駆動
機構に接続された駆動アームと、被搬送体を支持する被
搬送体支持アームと、前記駆動アームと前記被搬送支持
アームとを連結する中間アームとを具備した搬送装置に
おいて、 前記駆動アームを回転させる前記回転駆動機構の駆動力
を、前記中間アームおよび前記被搬送体支持アームに伝
達してこれらのアームを折曲、伸長させる駆動力伝達機
構を有し、前記被搬送体を搬送することを特徴とする搬
送装置。 - 【請求項２】 駆動力伝達機構は、駆動アームと中間ア
ームと被搬送体支持アームのそれぞれの長さの比が、1
：2 ：1 となる様に設定されていることを特徴とする
請求項１の搬送装置。ただし、アームの長さの定義は、
駆動アームと中間アームにおいては、一端の関節の中心
位置から他端の関節の中心位置までの距離であり、被搬
送体支持アームにおいては、一端の関節の中心位置から
被搬送体が設けられた中心位置までとする。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24772091A JPH0590381A (ja) | 1991-09-26 | 1991-09-26 | 搬送装置 |
| US07/942,841 US5374147A (en) | 1982-07-29 | 1992-09-10 | Transfer device for transferring a substrate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24772091A JPH0590381A (ja) | 1991-09-26 | 1991-09-26 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0590381A true JPH0590381A (ja) | 1993-04-09 |
Family
ID=17167674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24772091A Pending JPH0590381A (ja) | 1982-07-29 | 1991-09-26 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0590381A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001148410A (ja) * | 1999-09-06 | 2001-05-29 | Tokyo Electron Ltd | 半導体処理用の搬送装置及び収容装置、並びに半導体処理システム |
| KR20030057188A (ko) * | 2001-12-28 | 2003-07-04 | 동부전자 주식회사 | 반도체패키지 제조용 다이 본더의 픽업 장치 |
| KR100424326B1 (ko) * | 2000-04-07 | 2004-03-24 | 가와사키 쥬코교 가부시키가이샤 | 로봇시스템 |
| JP2004235549A (ja) * | 2003-01-31 | 2004-08-19 | Rorze Corp | 薄板状物搬送ロボット及び薄板状物処理装置 |
| US7641247B2 (en) | 2002-12-17 | 2010-01-05 | Applied Materials, Inc. | End effector assembly for supporting a substrate |
| JP2020010059A (ja) * | 2007-05-18 | 2020-01-16 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板搬送システム、基板処理装置、及び基板搬送方法 |
-
1991
- 1991-09-26 JP JP24772091A patent/JPH0590381A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001148410A (ja) * | 1999-09-06 | 2001-05-29 | Tokyo Electron Ltd | 半導体処理用の搬送装置及び収容装置、並びに半導体処理システム |
| JP4607301B2 (ja) * | 1999-09-06 | 2011-01-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体処理用の搬送装置及び半導体処理システム |
| KR100424326B1 (ko) * | 2000-04-07 | 2004-03-24 | 가와사키 쥬코교 가부시키가이샤 | 로봇시스템 |
| KR20030057188A (ko) * | 2001-12-28 | 2003-07-04 | 동부전자 주식회사 | 반도체패키지 제조용 다이 본더의 픽업 장치 |
| US7641247B2 (en) | 2002-12-17 | 2010-01-05 | Applied Materials, Inc. | End effector assembly for supporting a substrate |
| JP2004235549A (ja) * | 2003-01-31 | 2004-08-19 | Rorze Corp | 薄板状物搬送ロボット及び薄板状物処理装置 |
| JP2020010059A (ja) * | 2007-05-18 | 2020-01-16 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板搬送システム、基板処理装置、及び基板搬送方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19991210 |