JPH0536809A - 半導体基板処理装置に於ける半導体基板搬送アーム - Google Patents

半導体基板処理装置に於ける半導体基板搬送アーム

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JPH0536809A
JPH0536809A JP3191511A JP19151191A JPH0536809A JP H0536809 A JPH0536809 A JP H0536809A JP 3191511 A JP3191511 A JP 3191511A JP 19151191 A JP19151191 A JP 19151191A JP H0536809 A JPH0536809 A JP H0536809A
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arm
processing chamber
tip
substrate
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隆夫 谷口
Hiroshi Sato
博志 佐藤
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Abstract

(57)【要約】 【目的】１回の伸縮動作即ち半導体基板処理室の入口ゲ
ートの開閉動作１回毎に半導体基板搬出および搬入が可
能で、動作時間を短くすると共に装置の作動寿命を長く
できる半導体基板搬送装置の搬送アーム 【構成】 半導体搬送装置の伸縮腕の先端部に第１及び
第２アームが回動可能に取り付けられ、アームは先端に
基板保持部が設けられて半導体基板を支持し、アーム駆
動装置により半導体処理室内で回動できる。 【効果】 半導体基板の保持部の位置を入れ換えること
ができるので、基板の受け渡しが伸縮腕の一回の伸縮即
ち一回のゲートの開閉によりでき、作動時間が短縮され
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体基板処理室内
に基板を搬入搬出する半導体基板搬送装置の半導体基板
搬送アームに関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は、従来より知られた半導体基板搬
送装置の搬送アームの外観平面図を示し、伸縮して半導
体基板処理室（図示してない）に出入りできる伸縮搬送
アーム３７の先端に半導体基板受け皿３８を固着して具
備し、半導体基板処理室（図示してない）内に半導体基
板を搬入搬出するものである。
【０００３】この従来の基板受け皿３８は、半導体基板
処理室内（図示せず）において処理した半導体基板（図
示してない）を搬出するために、適当な手段（図示せ
ず）により搬送アーム３７を処理室内に入れ、処理済み
半導体基板を適当な手段（図示せず）により受け皿３８
に乗せ、搬送アーム３７を動かして処理室外へ搬出す
る。半導体基板処理室外では、適当な手段（図示せず）
により受け皿３８から処理済み半導体基板を取去り、未
処理半導体基板を乗せて半導体処理室に搬入する。上記
一連の動作を繰り返し、半導体基板を搬送するものであ
った。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体基板搬送
装置の搬送アームは以上のように構成されているので、
半導体基板を半導体処理室に搬入するためには、既に搬
入し処理をした半導体を搬出してからでないと搬入出来
ず、１つの半導体基板を処理するのに搬出と搬入の２回
の伸縮搬送動作が必要で、搬送時間が長くなる。また半
導体基板処理室内へのゴミの進入を防ぐために、搬送動
作の都度、処理室入り口ゲートを開閉することが必要で
あり、時間が掛かり、処理室入り口ゲートの開閉駆動部
の作動寿命が短くなる等の問題点があった。
【０００５】本発明は上記のような課題を解消するため
になされたもので、半導体受け皿を処理室に入れて出す
１回の搬送動作で、半導体の搬出搬入が出来て動作時間
を短縮するとともに、処理室入り口ゲートの開閉動作が
１回で済み、駆動部の作動寿命を長くすることが出来る
半導体基板搬送装置の基板搬送アームを得ることを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体基
板搬送装置の搬送アームによれば、それぞれ先端に基板
保持部基板保持部を有する第１及び第２アームが伸縮腕
の先端部に回転自在に取り付けられ、アーム駆動装置に
より半導体処理室内で第１及び第２アームを回動し得
る。
【０００７】また、この発明の半導体基板搬送方法によ
れば、半導体基板を伸縮腕の先端部よりも後方に位置す
る第２アームの基板保持部上に乗せ、伸縮腕を伸展させ
て半導体基板処理室に半導体基板を挿入し、処理の終わ
った半導体基板を伸縮腕の先端部よりも前方に位置する
第１アームの基板保持部上に受取り、第１アーム及び第
２アームを処理室内で回動して基板保持部の位置を入れ
換え、未処理の半導体基板が処理のために第２アームの
基板保持部から取り除かれた後に、伸縮腕を縮ませて第
１アーム上の処理の終わった半導体基板を半導体基板処
理室から取り出す。
【０００８】
【作用】この発明の半導体基板搬送装置によれば、第１
および第２アームが処理室内で基板保持部の位置を入れ
換えるように回動できるので、半導体基板の受け渡しが
伸縮腕の一回の動作で可能であるので全体の動作時間が
短縮される。第１アームと第２アームとを互いに反対方
向に回動させれば、回動に要する空間を小さくできる。
また、半導体基板処理室の開閉回数を約半分に減少させ
ることができるので、作業時間が短縮され信頼性が向上
する。
【０００９】
【実施例】図１乃至図４はこの発明の半導体基板搬送ア
ームを示し、図１に於いて半導体基板搬送アームは、駆
動部３０の回転軸３１に連結された第１リンク３２と、
第１リンク３２の先端に連結された第２リンク３３と、
第２リンク３３の先端に連結された第３リンク３４から
なる伸縮腕３５を備えている。各リンク３２〜３４間の
関節部には、図示してないがプーリーと金属製ワイヤの
ベルトとによる連動機構が設けられていて、各リンク３
２〜３４間の回動を一定の関係に維持して第３リンク３
４が図示してない半導体基板処理室に対して軸方向に進
退し、半導体基板３６を半導体基板処理室に対して搬入
搬出できるようにしてある。
【００１０】図１乃至図４に於いて、第３リンクの先端
部には、第１アーム１と第２アーム２とが回動自在に設
けられていて、各第１及び第２アーム１及び２の先端に
は半導体基板３６を受入れて保持するための第１及び第
２基板保持部３及び４が設けられている。各アーム１及
び２は、図２及び図３に示す如く軸受５および６を介し
て回転軸７及び８により第３リンク３４に対して回動自
在にされている。第１の回転軸７は下端にプーリー９を
もつ中空軸で、軸受５により第１の回転軸７内を貫通し
ている第２の回転軸８上に支持され、第２の回転軸８は
歯車１０を持ち下端で軸受６により第３リンク３４に支
持されている。回転軸７のプーリー９は金属製ワイヤの
ベルト１１を介して第３リンク３４の中間位置に軸受１
２により回転可能に設けられたプーリー１３に連結さ
れ、また第２の回転軸８の歯車１０はプーリー１３と一
体の歯車１４に係合している。プーリー１３はベルト１
５により図示してないリンク関節部のプーリーに連結さ
れ、第２リンク３３及び第１リンク３２を介して駆動部
３０に連結されている。
【００１１】半導体基板３６を半導体基板処理室（図示
してない）に対して搬入搬出させるためには、この発明
の半導体基板搬送アームの伸縮腕３５を縮ませて処理す
べき半導体基板３６を半導体基板処理室外部で、伸縮腕
３５の先端部よりも後方位置（第１位置）にある第２ア
ーム２の先端の第２基板保持部４上に乗せる。次に半導
体基板処理室のゲート（図示してない）を開き、基板搬
送アームの伸縮腕３５を伸展させてゲートを通してその
先端部を進入させて半導体基板処理室（図示してない）
内に伸縮腕３５上の半導体基板３６を挿入する。このと
き半導体基板３５は進展した伸縮腕３５の先端部よりも
前方位置（第１位置）の第１アーム１の第１基板保持部
３上には無く、先端部よりも後方の第２アーム２の第２
基板保持部４上に乗せられている。半導体基板処理室内
では、既に処理の終わった半導体基板３６が搬出を待っ
ており、この半導体基板３６が公知の適当な方法により
第１アーム１の先端の第１基板保持部３上に乗せられ
る。
【００１２】次に、駆動部３０から伸縮腕３５内のプー
リーおよびワイヤ等の駆動装置を介して図２の中間プー
リー１３に駆動力が伝達される。中間プーリー１３の回
転は、第１アーム１にはワイヤ１１、プーリー９及び回
転軸７を通して伝えられて第１アーム１を１８０°回動
させる。中間プーリー１３の回転は、同時に歯車１４か
ら歯車１０及び回転軸８を介して第２アーム２に伝えら
れて第２アーム２を第１アーム１とは反対方向に１８０
°回転させる。このような第１及び第２アーム１及び２
の回動は、半導体基板処理室内でおこなわれ、それぞれ
の基板保持部３及び４の位置が入れ換えられる。従っ
て、第１アーム１は伸縮腕３５の先端部よりも後ろの後
退位置（第２位置）にありその第１基板保持部３上に処
理の終わった半導体基板３６が乗せられており、第２ア
ーム２は、伸縮腕３５の先端部よりも前の前進位置（第
２位置）にあり、これから処理すべき半導体基板３６は
第２アーム２の第２基板保持部４上に乗せられている。
処理すべき半導体基板３６はこの位置から公知の方法に
より容易に基板処理室内に積み降ろして処理することが
できる。
【００１３】この状態では基板搬送アーム上に乗ってい
るのは処理の終わった半導体基板３６だけであるので、
伸縮腕３５を縮ませてゲート（図示してない）を通して
後退位置にある第１アーム１上の処理の終わった半導体
基板３６を半導体基板処理室から取り出し、更に公知の
方法により次の工程に搬送することができる。
【００１４】この工程により、半導体基板搬送アームの
伸縮腕３５の一回の伸縮動作、即ち半導体基板処理室の
ゲートの一回の開閉につき、処理すべき半導体基板３６
の搬入と処理の終わった半導体基板３６の搬出との両方
を行うことができる。
【００１５】図５はこの発明の別の実施例を示し、第１
アーム２１及び第２アーム２２上の基板保持部２３及び
２４が回転軸心を中心に互いに１８０°離れた一体のも
のであって、軸受２５によって支持されプーリー２６を
有する単一の回転軸２７に取り付けられている。この実
施例では、第１及び第２アーム２１及び２２は同方向に
回転するので基板処理室（図示してない）内で回転させ
るためには基板処理室を先の実施例よりも大きくする必
要があるが、半導体基板搬送アームの構造は簡単であ
り、基板処理室のゲートの大きさは先の実施例の場合と
同じで良い。
【００１６】
【発明の効果】この発明によれば、伸縮腕の先端に配置
した半導体基板保持部即ち受皿を基板処理室内において
順次回転させて位置交換できるようにしたので、処理室
内の処理済み半導体基板の搬出と、未処理半導体基板の
搬入が伸縮腕の１回の伸縮動作で出来、搬送時間が短縮
できると共に、処理室内のゲートの開閉が１度で済むた
め、搬出装置の駆動部、ゲート開閉の駆動部の寿命が延
びた。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例による半導体基板搬送装置
の半導体基板搬送アームの斜視図である。
【図２】図１の半導体基板搬送アームの先端部分を示す
部分側面断面図である。
【図３】図２のプーリ、歯車等の駆動装置の平面図であ
る。
【図４】半導体基板搬送アームの基板保持部に半導体基
板を保持した状態の平面図である。
【図５】この発明の他の実施例を示す第１及び第２アー
ム部分の断面図である。
【図６】従来の半導体基板搬送装置の半導体基板搬送ア
ームの部分平面図である。
【符号の説明】
３６ 半導体基板 ３５ 伸縮腕 ３ 第１基板保持部 １ 第１アーム ４ 第２基板保持部 ２ 第２アーム ３０ アーム駆動装置 ７ 第１回転軸 ８ 第２回転軸

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 半導体基板処理室に対して伸縮して、半
    導体基板を上記半導体基板処理室に対して搬入搬出させ
    るための半導体基板搬送アームであって、 半導体基板処理室に対して出入できる先端部を有する伸
    縮腕と、 上記伸縮腕の上記先端部に回転自在に設けられて第１基
    板保持部を有し、上記第１基板保持部が上記先端部から
    前方の位置にある第１位置と、上記第１基板保持部が上
    記先端部に対して後方の位置にある第２位置との間で回
    動可能な第１アームと、 上記伸縮腕の上記先端部に上記第１アームと同軸関係に
    回転自在に設けられて第２基板保持部を有し、上記第２
    基板保持部が上記先端部から前方の位置にある第１位置
    と、上記第２基板保持部が上記先端部に対して後方の位
    置にある第２位置との間で回動可能な第２アームと、 上記第１及び第２アームを回動させてそれぞれの上記第
    １位置と上記第２位置との間で移動させるアーム駆動装
    置とを備えた半導体基板搬送アーム。
  2. 【請求項２】 上記第１アームが第１回転軸上に設けら
    れ、上記第２アームが上記第１回転軸を囲んで同心配置
    された第２回転軸上に設けられ、上記アーム駆動装置
    が、上記第１アームと上記第２アームとを互いに反対方
    向に回動させ得るものである請求項１記載の半導体基板
    搬送アーム。
  3. 【請求項３】 上記第１および第２アームが共通の回転
    軸上に設けられ、互いに同じ方向に回動するものである
    請求項１記載の半導体基板搬送アーム。
  4. 【請求項４】 半導体基板を半導体基板処理室に対して
    搬入搬出させるための半導体基板搬送方法であって、 伸縮して半導体基板処理室に出入りできる先端部を有す
    る伸縮腕を用意し、 上記伸縮腕の先端部に上記半導体基板処理室内で回動で
    き、それぞれ第１及び第２基板保持部を有する第１およ
    び第２アームを設け、 上記伸縮腕を縮ませて処理すべき半導体基板を上記基板
    搬送アームの先端部よりも後方位置の上記第２アームの
    上記第２基板保持部上に乗せ、 上記伸縮腕を伸展させて上記半導体基板処理室に上記半
    導体基板を挿入し、 上記半導体基板処理室内の処理の終わった半導体基板を
    上記伸縮腕の先端部よりも前方位置の上記第１アームの
    第１基板保持部上に受け取り、 上記第１アーム及び上記第２アームを上記処理室内で回
    動して２つの上記基板保持部の位置を入れ換え、 処理すべき半導体基板が処理のために上記第１アームの
    上記第１基板保持部から取り除かれた後に、上記伸縮腕
    を縮ませて上記第１アーム上の上記処理の終わった半導
    体基板を上記半導体基板処理室から取り出す半導体基板
    搬送方法。
  5. 【請求項５】 上記第１アーム及び上記第２アームを上
    記処理室内で互いに反対方向に回動させる請求項４記載
    の半導体基板搬送方法。
JP3191511A 1991-07-31 1991-07-31 半導体基板処理装置に於ける半導体基板搬送アーム Pending JPH0536809A (ja)

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