JP2002514001A - 同軸駆動軸を備えた二重アーム装置 - Google Patents
同軸駆動軸を備えた二重アーム装置Info
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20305—Robotic arm
- Y10T74/20323—Robotic arm including flaccid drive element
Abstract
(57)【要約】
駆動装置部分（３６）及びこの駆動装置部分（３６）に接続された可動アームアセンブリ（３８）を有する基板搬送装置（３２）。駆動装置部分（３６）は、独立して回転可能な駆動軸（７６、７８）を備えた同軸駆動軸アセンブリ（５０）を有する。可動アームアセンブリ（３８）は、２つのスカーラアーム（５６、５８）を有する。各スカーラアーム（５６、５８）は、駆動軸（７６、７８）の個別のそれぞれの駆動軸に接続された内部アーム（６０、６６）を有している。各スカーラアーム（５６、５８）の外部アーム（６２、６８）は、それぞれの伝動ベルト（６４、７０）によって駆動装置部分の回転固定プーリに接続されている。
Description
【０００１】
１． 発明の分野 本発明は、搬送装置、特に基板を搬送するための装置及び方法に関する。 ２． 従来技術 米国特許第５，１５１，００８号及び５，５７７，８７９号は、端部実施部材
を有するスカーラ（scara)アームを開示している。ＷＯ９４／２３９１１は、同
軸駆動軸アセンブリ（集成体）を有する駆動装置部分を備えた関節アーム搬送装
置を開示している。
を有するスカーラ（scara)アームを開示している。ＷＯ９４／２３９１１は、同
軸駆動軸アセンブリ（集成体）を有する駆動装置部分を備えた関節アーム搬送装
置を開示している。
【０００２】
本発明の一実施態様によれば、駆動装置部分及び可動アームアセンブリからな
る基板搬送装置が提供される。この可動アームアセンブリは、その駆動装置部分
に接続され、２つの従動アームアセンブリを有している。各従動アームアセンブ
リは、駆動装置と共通の回転アクセスで接続された内部アーム、スカーラアーム
を形成するために前記内部アームに回転可能に接続された外部アーム、前記外部
アームと駆動装置部分のプーリ間に接続された伝動ベルトとを有している。
る基板搬送装置が提供される。この可動アームアセンブリは、その駆動装置部分
に接続され、２つの従動アームアセンブリを有している。各従動アームアセンブ
リは、駆動装置と共通の回転アクセスで接続された内部アーム、スカーラアーム
を形成するために前記内部アームに回転可能に接続された外部アーム、前記外部
アームと駆動装置部分のプーリ間に接続された伝動ベルトとを有している。
【０００３】 本発明の他の実施態様によれば、駆動装置部分及びその駆動装置部分に接続さ
れた可動アームアセンブリからなる基板搬送装置が提供される。この駆動装置部
分は、２本の独立して回転可能な駆動軸を有する同軸駆動軸アセンブリ及び回転
固定プーリを有する。前記可動アームアセンブリは、駆動軸の第一軸に接続され
た第一従動アームアセンブリ及び駆動軸の第二軸に接続された第二従動アームア
センブリを有する。この第一従動アームアセンブリは、第一駆動軸に接続された
内部アーム、スカーラアームを形成するために前記内部アームに旋回可能に接続
された外部アーム及び前記外部アームを回転固定プーリに接続する伝達部材を有
している。
れた可動アームアセンブリからなる基板搬送装置が提供される。この駆動装置部
分は、２本の独立して回転可能な駆動軸を有する同軸駆動軸アセンブリ及び回転
固定プーリを有する。前記可動アームアセンブリは、駆動軸の第一軸に接続され
た第一従動アームアセンブリ及び駆動軸の第二軸に接続された第二従動アームア
センブリを有する。この第一従動アームアセンブリは、第一駆動軸に接続された
内部アーム、スカーラアームを形成するために前記内部アームに旋回可能に接続
された外部アーム及び前記外部アームを回転固定プーリに接続する伝達部材を有
している。
【０００４】 本発明の１つの方法によれば、同軸駆動軸アセンブリを備えた駆動装置部分及
びその駆動装置部分に接続された可動アームアセンブリを有するロボットを備え
た基板搬送装置を設ける工程を含む、基板を搬送する方法が提供される。可動ア
ームアセンブリは、同軸駆動軸アセンブリのそれぞれの駆動軸に個別に接続され
る２つの従動アームアセンブリを有する。この方法はさらに、その駆動軸の第一
軸を回転させて従動アームアセンブリの第一アセンブリを移動させる工程を含む
。第一従動アームアセンブリは、第一駆動軸で回転する内部アーム及びこの内部
アームに対して回転する外部アームを有する。外部アームは、外部アームと駆動
装置部分の回転固定プーリとの間で接続される第一伝動ベルトによって前記内部
アームに対して回転する。
びその駆動装置部分に接続された可動アームアセンブリを有するロボットを備え
た基板搬送装置を設ける工程を含む、基板を搬送する方法が提供される。可動ア
ームアセンブリは、同軸駆動軸アセンブリのそれぞれの駆動軸に個別に接続され
る２つの従動アームアセンブリを有する。この方法はさらに、その駆動軸の第一
軸を回転させて従動アームアセンブリの第一アセンブリを移動させる工程を含む
。第一従動アームアセンブリは、第一駆動軸で回転する内部アーム及びこの内部
アームに対して回転する外部アームを有する。外部アームは、外部アームと駆動
装置部分の回転固定プーリとの間で接続される第一伝動ベルトによって前記内部
アームに対して回転する。
【０００５】 本発明の他の方法によれば、同軸駆動軸アセンブリを備えた駆動装置部分と、
その駆動装置部分に接続された可動アームアセンブリとを備えた基板搬送装置を
設ける工程と、駆動軸を独立して回転させて２つの従動アームアセンブリを独立
に動かす工程とを含む基板を搬送する方法が提供される。この可動アームアセン
ブリは、同軸駆動軸アセンブリのそれぞれの駆動軸に個別に接続される２つの従
動アームアセンブリを有する。この２つの従動アームアセンブリの各々は、駆動
装置部分に対して完全に伸びた２つの位置だけに制限される。双方の駆動アーム
アセンブリに対する完全に伸びた２つの位置は約１８０°離れた位置にある。
その駆動装置部分に接続された可動アームアセンブリとを備えた基板搬送装置を
設ける工程と、駆動軸を独立して回転させて２つの従動アームアセンブリを独立
に動かす工程とを含む基板を搬送する方法が提供される。この可動アームアセン
ブリは、同軸駆動軸アセンブリのそれぞれの駆動軸に個別に接続される２つの従
動アームアセンブリを有する。この２つの従動アームアセンブリの各々は、駆動
装置部分に対して完全に伸びた２つの位置だけに制限される。双方の駆動アーム
アセンブリに対する完全に伸びた２つの位置は約１８０°離れた位置にある。
【０００６】 本発明の前述の態様及び他の特徴を、添付図面に関連した以下の記載の中で説
明する。
明する。
【０００７】
図１を参照すると、本発明の特徴を取り入れた基板処理装置の概略平面図が示
されている。本発明を、図面に示された１つの実施態様を参照して説明するが、
本発明は、代替の実施態様の多数の異なった代替形態に取り入れることが可能で
あることが分かるはずである。さらに、全ての適切なサイズ、形状、あるいはタ
イプの種々の要素あるいは材料を使用することができる。
されている。本発明を、図面に示された１つの実施態様を参照して説明するが、
本発明は、代替の実施態様の多数の異なった代替形態に取り入れることが可能で
あることが分かるはずである。さらに、全ての適切なサイズ、形状、あるいはタ
イプの種々の要素あるいは材料を使用することができる。
【０００８】 装置１０は、一般に基板処理部分１１と、基板装填（ロ−ディング）部分１３
とから構成されている。基板処理部分１１は、一般にロボットアーム搬送機構１
２、メインチャンバ−１５に接続される基板処理モジュ−ル１４及びロードロッ
ク１６から構成される。基板処理部分１１は、当技術でよく知られた多くの基板
処理部分の中のいずれか１つでよい。したがって、この基板処理部分１１は、こ
れ以上本明細書では説明しない。
とから構成されている。基板処理部分１１は、一般にロボットアーム搬送機構１
２、メインチャンバ−１５に接続される基板処理モジュ−ル１４及びロードロッ
ク１６から構成される。基板処理部分１１は、当技術でよく知られた多くの基板
処理部分の中のいずれか１つでよい。したがって、この基板処理部分１１は、こ
れ以上本明細書では説明しない。
【０００９】 前記ロードロック１６の前端には基板装填部分１３が取付けられている。同様
に図２を参照すると、基板装填部分１３は、一般にクリーンルーム壁２２に取付
けられたフレーム２０、基板カセットストッカー２４、カセットロード開口（ポ
ート）２６、基板カセットポッドドア除去装置（リムーバー）２８及び基板搬送
ロボット３２から構成される。基板ストッカー２４は、１０個あるいは２０個の
ような複数の基板カセットあるいはカプシル（capsil)３４を保持するために適
用される。このカセット３４は当技術でよく知られている。各カセット３４は、
内部で基板を個々に支持できるハウジングを有している。従来、このカセットは
、１３枚又は２５枚の基板を支持することができる。基板は半導体ウエハである
が、本発明は、フラットパネルディスプレイ基板等の他のタイプの基板で使用で
きる。このカセットはまた、１３枚あるいは２５枚以外の枚数の基板も保持でき
よう。カセット３４は、ユーザによりロード開口２６でストッカー２４に装填さ
れるか、それからはずされる。ストッカー２４は、カセットを移動させてドア除
去装置２８の前方にそれらを配置する。このドア除去装置２８は、ロボット３２
がカセットの内部に近づけるようにカセット３４のドアを移動させる。工具スト
ッカー２４は、２０個の３００ｍｍ、１３枚ウエハカプシルあるいは１０個の３
００ｍｍ、２５枚ウエハカプシルを保管する能力があるのが好ましい。２つのド
ア除去機構２８は、同期カプシルアクセスのためである。ロード開口２６は、自
動トレイと同様に自動ドアも備えている。工具ストッカー２４は、内部に１種環
境より良好な環境を好適に維持している。工具ストッカーは、専用の制御装置を
好適に有する。ロードロック１６も複数の基板を間隔をあけて積んだ状態で個々
に保持されるように好ましく設計されている。
に図２を参照すると、基板装填部分１３は、一般にクリーンルーム壁２２に取付
けられたフレーム２０、基板カセットストッカー２４、カセットロード開口（ポ
ート）２６、基板カセットポッドドア除去装置（リムーバー）２８及び基板搬送
ロボット３２から構成される。基板ストッカー２４は、１０個あるいは２０個の
ような複数の基板カセットあるいはカプシル（capsil)３４を保持するために適
用される。このカセット３４は当技術でよく知られている。各カセット３４は、
内部で基板を個々に支持できるハウジングを有している。従来、このカセットは
、１３枚又は２５枚の基板を支持することができる。基板は半導体ウエハである
が、本発明は、フラットパネルディスプレイ基板等の他のタイプの基板で使用で
きる。このカセットはまた、１３枚あるいは２５枚以外の枚数の基板も保持でき
よう。カセット３４は、ユーザによりロード開口２６でストッカー２４に装填さ
れるか、それからはずされる。ストッカー２４は、カセットを移動させてドア除
去装置２８の前方にそれらを配置する。このドア除去装置２８は、ロボット３２
がカセットの内部に近づけるようにカセット３４のドアを移動させる。工具スト
ッカー２４は、２０個の３００ｍｍ、１３枚ウエハカプシルあるいは１０個の３
００ｍｍ、２５枚ウエハカプシルを保管する能力があるのが好ましい。２つのド
ア除去機構２８は、同期カプシルアクセスのためである。ロード開口２６は、自
動トレイと同様に自動ドアも備えている。工具ストッカー２４は、内部に１種環
境より良好な環境を好適に維持している。工具ストッカーは、専用の制御装置を
好適に有する。ロードロック１６も複数の基板を間隔をあけて積んだ状態で個々
に保持されるように好ましく設計されている。
【００１０】 図３も参照すると、基板搬送ロボット３２は一般に、駆動装置部分３６及び可
動アームアセンブリ３８を含む。ロボット３２は、矢印Ｘで示されているように
フレーム２０に対してロボット３２を直線的に移動させるために移動機構５０に
好適に取付けられている。１種の移動機構の実施例を米国特許出願第０８／８９
１，５２３号に見出すことができる。この出願の全体を参照として本明細書に包
含する。移動機構５０は、フレーム２０のトラックに取付けられたカー５２を備
え、カー５２を領域５４に沿って移動する。ロボット３２及び移動機構５０はコ
ンピュ−タのような制御装置５６に接続される。この制御装置５６は、３方向運
動、すなわちＸ、Ｔ及びＺすなわち垂直方向運動を端部実施部材に与えるように
移動機構５０とロボット３２の移動を制御するようになっている。この制御装置
５６は、移動機構５０及びロボット３２によりソ−スとタ−ゲット場所の間、す
なわちカセット３４とロードロック１６との間で基板を移動させるために使用さ
れる。この制御装置５６は、基板処理部分１１の制御装置の動作と制御に、さら
に詳細には前方ドアのロードロック１６への開閉に相互作用可能な予めプログラ
ムされた方法を有することが好ましい。駆動装置部分３６は、米国特許第５，２
７０，６００号に開示されているように、駆動軸アセンブリを有する磁気駆動シ
ステムであることが好ましい。この特許の全体は、参照として本明細書に包含す
る。この実施態様において、駆動装置部分３６も、フレーム４０、垂直駆動装置
部分４２、２つの磁気駆動装置部分４４、４６、プーリ４８及び同軸駆動軸アセ
ンブリ５０を有している。フレーム４０は、前方が開いた一般にケ−ジ形状を有
する。このフレーム４０は、カー５２に固定取付けされる。２つの磁気駆動装置
部分４４、４６は、フレーム４０に沿って垂直長手方向移動のためにフレーム４
０のトラックに取付けられるハウジングを有する。この垂直駆動装置部分４２は
、フレーム４０の底部に取付けられるハウジング及びスクリュ−取付け部品５４
に取付けられるスクリュ−軸５２とを有している。このスクリュ−取付け部品５
４は、駆動装置部分４６の底部に固定取付けされる。同軸駆動軸アセンブリ５０
は、内部軸７６及び外部軸７８を有する。同様の駆動装置部分が、１９９７年６
月１２日に出願された米国特許出願第０８／８７３，６９３号に開示されており
、この出願の全体を参照として本明細書に包含する。しかしながら、代替の実施
態様において、他の種類の駆動装置部分を備えることができる。
動アームアセンブリ３８を含む。ロボット３２は、矢印Ｘで示されているように
フレーム２０に対してロボット３２を直線的に移動させるために移動機構５０に
好適に取付けられている。１種の移動機構の実施例を米国特許出願第０８／８９
１，５２３号に見出すことができる。この出願の全体を参照として本明細書に包
含する。移動機構５０は、フレーム２０のトラックに取付けられたカー５２を備
え、カー５２を領域５４に沿って移動する。ロボット３２及び移動機構５０はコ
ンピュ−タのような制御装置５６に接続される。この制御装置５６は、３方向運
動、すなわちＸ、Ｔ及びＺすなわち垂直方向運動を端部実施部材に与えるように
移動機構５０とロボット３２の移動を制御するようになっている。この制御装置
５６は、移動機構５０及びロボット３２によりソ−スとタ−ゲット場所の間、す
なわちカセット３４とロードロック１６との間で基板を移動させるために使用さ
れる。この制御装置５６は、基板処理部分１１の制御装置の動作と制御に、さら
に詳細には前方ドアのロードロック１６への開閉に相互作用可能な予めプログラ
ムされた方法を有することが好ましい。駆動装置部分３６は、米国特許第５，２
７０，６００号に開示されているように、駆動軸アセンブリを有する磁気駆動シ
ステムであることが好ましい。この特許の全体は、参照として本明細書に包含す
る。この実施態様において、駆動装置部分３６も、フレーム４０、垂直駆動装置
部分４２、２つの磁気駆動装置部分４４、４６、プーリ４８及び同軸駆動軸アセ
ンブリ５０を有している。フレーム４０は、前方が開いた一般にケ−ジ形状を有
する。このフレーム４０は、カー５２に固定取付けされる。２つの磁気駆動装置
部分４４、４６は、フレーム４０に沿って垂直長手方向移動のためにフレーム４
０のトラックに取付けられるハウジングを有する。この垂直駆動装置部分４２は
、フレーム４０の底部に取付けられるハウジング及びスクリュ−取付け部品５４
に取付けられるスクリュ−軸５２とを有している。このスクリュ−取付け部品５
４は、駆動装置部分４６の底部に固定取付けされる。同軸駆動軸アセンブリ５０
は、内部軸７６及び外部軸７８を有する。同様の駆動装置部分が、１９９７年６
月１２日に出願された米国特許出願第０８／８７３，６９３号に開示されており
、この出願の全体を参照として本明細書に包含する。しかしながら、代替の実施
態様において、他の種類の駆動装置部分を備えることができる。
【００１１】 図４を参照すると、可動アームアセンブリ３８が、第一従動アームアセンブリ
５６及び第二従動アセンブリ５８を備えている。第一従動アームアセンブリ５６
は、第一内部アーム６０、第一外部アーム６２及び第一伝動ベルト６４を備えて
いる。第二従動アームアセンブリ５８は、第二内部アーム６６、第一外部アーム
６８及び第二伝動ベルト７０を備えている。各従動アームアセンブリの内部アー
ムと外部アームは、それぞれ互いに直列に接続され、端部実施部材として機能す
る外部アームの外部端部７２、７４とで２つのスカーラアームを形成してその上
に基板を支持する。２つの内部アーム６０、６６は、駆動軸７６、７８のそれぞ
れの軸に固定接続される。従って、外部軸７８を回転させると第一内部アーム６
０がそれと共に回転する。内部軸７６を回転させると第二内部アーム６６がそれ
と共に回転する。
５６及び第二従動アセンブリ５８を備えている。第一従動アームアセンブリ５６
は、第一内部アーム６０、第一外部アーム６２及び第一伝動ベルト６４を備えて
いる。第二従動アームアセンブリ５８は、第二内部アーム６６、第一外部アーム
６８及び第二伝動ベルト７０を備えている。各従動アームアセンブリの内部アー
ムと外部アームは、それぞれ互いに直列に接続され、端部実施部材として機能す
る外部アームの外部端部７２、７４とで２つのスカーラアームを形成してその上
に基板を支持する。２つの内部アーム６０、６６は、駆動軸７６、７８のそれぞ
れの軸に固定接続される。従って、外部軸７８を回転させると第一内部アーム６
０がそれと共に回転する。内部軸７６を回転させると第二内部アーム６６がそれ
と共に回転する。
【００１２】 図３で最もよく分るように、外部アーム６２、６８は、それらのそれぞれの内
部アーム６０、６６に接合部８０、８２で回転可能に接続される。この実施態様
において、接合部は内部アーム６０、６６を通る孔８４、８６、ベアリング８８
、ローラ９０、９２及び軸９４、９６を有している。第一接合部８０は、その軸
９４及び第一外部アーム６２に固定取付けされたローラ９０を有している。第二
接合部８２は、その軸９６及び第二外部アーム６６に固定取付けされたローラ９
２を有している。ベアリング８８は、孔８４、８６内で軸９４、９６を回転可能
に支持する。
部アーム６０、６６に接合部８０、８２で回転可能に接続される。この実施態様
において、接合部は内部アーム６０、６６を通る孔８４、８６、ベアリング８８
、ローラ９０、９２及び軸９４、９６を有している。第一接合部８０は、その軸
９４及び第一外部アーム６２に固定取付けされたローラ９０を有している。第二
接合部８２は、その軸９６及び第二外部アーム６６に固定取付けされたローラ９
２を有している。ベアリング８８は、孔８４、８６内で軸９４、９６を回転可能
に支持する。
【００１３】 ２つの伝動ベルト６４、７０は、プーリ４８とそれらのそれぞれのローラ９０
、９２との間に取付けられる。プーリ４８は、上部駆動装置部分４４の上面に固
定接続される。したがって、プーリ４８は、駆動装置部分４４、４６と共に垂直
に移動するが、フレーム４０及び駆動装置部分４４、４６のハウジングに対し回
転固定である。この実施態様において、２つの内部アーム６０、６６が、２つの
実質的に別個の通路に沿った中心共通回転軸９８あるいは駆動装置部分３６の反
対側に約１８０°の回転領域に対して回転するようになっている。２つの従動ア
ームアセンブリ５６、５８は各々、駆動装置部分３６に対して３つの主要な位置
、すなわち、引っ込められたホームポジション（定位置）、第一方向伸長位置、
及び第二反対方向伸長位置を有する。この引っ込められたホームポジションは、
図２及び図５Ｂに示されている。このホームポジションにおいて、内部アーム６
０、６６が一般的にロードロック１６及びストッカー２４に平行に向けられてい
る。外部アーム６２、６８は、それらのそれぞれ内部アーム直上で配向されてい
る。第一外部端部７２は、第二外部端部７４の下に、第一外部端部７２上の基板
が第二外部端部７４の下を通れるだけの間隙を備えて配置される。
、９２との間に取付けられる。プーリ４８は、上部駆動装置部分４４の上面に固
定接続される。したがって、プーリ４８は、駆動装置部分４４、４６と共に垂直
に移動するが、フレーム４０及び駆動装置部分４４、４６のハウジングに対し回
転固定である。この実施態様において、２つの内部アーム６０、６６が、２つの
実質的に別個の通路に沿った中心共通回転軸９８あるいは駆動装置部分３６の反
対側に約１８０°の回転領域に対して回転するようになっている。２つの従動ア
ームアセンブリ５６、５８は各々、駆動装置部分３６に対して３つの主要な位置
、すなわち、引っ込められたホームポジション（定位置）、第一方向伸長位置、
及び第二反対方向伸長位置を有する。この引っ込められたホームポジションは、
図２及び図５Ｂに示されている。このホームポジションにおいて、内部アーム６
０、６６が一般的にロードロック１６及びストッカー２４に平行に向けられてい
る。外部アーム６２、６８は、それらのそれぞれ内部アーム直上で配向されてい
る。第一外部端部７２は、第二外部端部７４の下に、第一外部端部７２上の基板
が第二外部端部７４の下を通れるだけの間隙を備えて配置される。
【００１４】 図５Ａ及び図５Ｃも参照すると、図５Ａは、そのホームポジションにある第一
従動アームアセンブリ５６及び第一伸長位置にある第二従動アームアセンブリ５
８を示す。図５Ｃは、そのホームポジションにある第一従動アームアセンブリ５
６及びその第二の反対側伸長位置にある第二従動アームアセンブリ５８を示す。
第二従動アームアセンブリ５８がその第一及び第二伸長位置間に移動するので、
それはそのホームポジションを通る。この実施態様において、第一及び第二伸長
位置は、互いに一直線に並ぶ内部及び外部アーム６６、６８を有する。しかしな
がら、完全に伸びた位置では、内部アーム６６の回転円弧が１８０°未満の場合
のように、内部及び外部アームは互いに僅かに角度が付いている。内部アーム６
６の位置は、内部駆動軸７６からの傾斜位置により直接制御される。内部アーム
６６に対する外部アーム６８の位置は、第二伝動ベルト７０によって直接制御さ
れる。プーリ４８が回転固定であるため、内部アーム６６を回転中心軸９８の周
りに回転させると、第二伝動ベルト７０によりローラ９２が第二内部アーム６６
の端部を回転する。ローラ９２が外部アーム６８の後端に軸９６で接続されるた
めに、このことにより外部アームが内側に、その後２つの伸長位置間の外側に（
図５Ｂに示されているホームポジションを通る）再度回転する。カー５２（図２
参照）を移動させて端部７４を、ロードロック１６の１つか、ドア除去装置２８
の２つのカセット３４内に挿入あるいはそこから取り出すことが可能である。
従動アームアセンブリ５６及び第一伸長位置にある第二従動アームアセンブリ５
８を示す。図５Ｃは、そのホームポジションにある第一従動アームアセンブリ５
６及びその第二の反対側伸長位置にある第二従動アームアセンブリ５８を示す。
第二従動アームアセンブリ５８がその第一及び第二伸長位置間に移動するので、
それはそのホームポジションを通る。この実施態様において、第一及び第二伸長
位置は、互いに一直線に並ぶ内部及び外部アーム６６、６８を有する。しかしな
がら、完全に伸びた位置では、内部アーム６６の回転円弧が１８０°未満の場合
のように、内部及び外部アームは互いに僅かに角度が付いている。内部アーム６
６の位置は、内部駆動軸７６からの傾斜位置により直接制御される。内部アーム
６６に対する外部アーム６８の位置は、第二伝動ベルト７０によって直接制御さ
れる。プーリ４８が回転固定であるため、内部アーム６６を回転中心軸９８の周
りに回転させると、第二伝動ベルト７０によりローラ９２が第二内部アーム６６
の端部を回転する。ローラ９２が外部アーム６８の後端に軸９６で接続されるた
めに、このことにより外部アームが内側に、その後２つの伸長位置間の外側に（
図５Ｂに示されているホームポジションを通る）再度回転する。カー５２（図２
参照）を移動させて端部７４を、ロードロック１６の１つか、ドア除去装置２８
の２つのカセット３４内に挿入あるいはそこから取り出すことが可能である。
【００１５】 図５Ｄ及び図５Ｅを参照すると、図５Ｄは、そのホームポジションにある第二
従動アームアセンブリ５８及び第一伸長位置にある第一従動アームアセンブリ５
６を示す。図５Ｅは、そのホームポジションにある第二従動アームアセンブリ５
８及びその第二の反対側伸長位置にある第一従動アームアセンブリ５６を示す。
第一従動アームアセンブリ５６がその第一及び第二伸長位置間に移動するので、
それはそのホームポジションを通る。この実施態様において、第一及び第二伸長
位置は、互いに一直線に並ぶ内部及び外部アーム６０、６２を有する。しかしな
がら、完全に伸びた位置では、内部アーム６０の回転円弧が１８０°未満の場合
のように、内部及び外部アームは互いに僅かに角度が付いている。内部アーム６
０の位置は、外部駆動軸７８からの傾斜位置により直接制御される。内部アーム
６０に対する外部アーム６２の位置は、第一伝動ベルト６４によって直接制御さ
れる。プーリ４８が回転固定であるため、内部アーム６６を回転中心軸９８の周
りに回転させると、第一伝動ベルト６４によりローラ９０が第一内部アーム６０
の端部を回転する。ローラ９０が外部アーム６２の後端に軸９４で接続されるた
めに、このことにより外部アームが内側に、その後２つの伸長位置間の外側に（
図５Ｂに示されたホームポジションを通る）再度回転する。カー５２（図２参照
）を移動させて端部７２を、ロードロック１６の１つか、ドア除去装置２８の２
つのカセット３４内に挿入あるいはそこから取り出すことが可能である。
従動アームアセンブリ５８及び第一伸長位置にある第一従動アームアセンブリ５
６を示す。図５Ｅは、そのホームポジションにある第二従動アームアセンブリ５
８及びその第二の反対側伸長位置にある第一従動アームアセンブリ５６を示す。
第一従動アームアセンブリ５６がその第一及び第二伸長位置間に移動するので、
それはそのホームポジションを通る。この実施態様において、第一及び第二伸長
位置は、互いに一直線に並ぶ内部及び外部アーム６０、６２を有する。しかしな
がら、完全に伸びた位置では、内部アーム６０の回転円弧が１８０°未満の場合
のように、内部及び外部アームは互いに僅かに角度が付いている。内部アーム６
０の位置は、外部駆動軸７８からの傾斜位置により直接制御される。内部アーム
６０に対する外部アーム６２の位置は、第一伝動ベルト６４によって直接制御さ
れる。プーリ４８が回転固定であるため、内部アーム６６を回転中心軸９８の周
りに回転させると、第一伝動ベルト６４によりローラ９０が第一内部アーム６０
の端部を回転する。ローラ９０が外部アーム６２の後端に軸９４で接続されるた
めに、このことにより外部アームが内側に、その後２つの伸長位置間の外側に（
図５Ｂに示されたホームポジションを通る）再度回転する。カー５２（図２参照
）を移動させて端部７２を、ロードロック１６の１つか、ドア除去装置２８の２
つのカセット３４内に挿入あるいはそこから取り出すことが可能である。
【００１６】 この実施態様において、外部アーム６２、６８が、それらのそれぞれの内部ア
ーム６０、６６に対し、軸７６、７８での内部アームの反対の回転方向に常に回
転する。内部アーム６０、６６は回転円弧が１８０°以下に制限される。この実
施態様はロボットの反対側の基板の収集（ピックアップ）と降下（ドロップオフ
）だけを可能にする。２つの従動アームアセンブリ５６、５８を同時に同じ側に
あるいは反対側に伸ばし、引っ込めることができる。従動アームアセンブリがそ
れらのホームポジションにある間、及びそれらが反対側の伸長位置にある間、カ
ー５２はロボット３２を移動させることができる。
ーム６０、６６に対し、軸７６、７８での内部アームの反対の回転方向に常に回
転する。内部アーム６０、６６は回転円弧が１８０°以下に制限される。この実
施態様はロボットの反対側の基板の収集（ピックアップ）と降下（ドロップオフ
）だけを可能にする。２つの従動アームアセンブリ５６、５８を同時に同じ側に
あるいは反対側に伸ばし、引っ込めることができる。従動アームアセンブリがそ
れらのホームポジションにある間、及びそれらが反対側の伸長位置にある間、カ
ー５２はロボット３２を移動させることができる。
【００１７】 この新しい設計の概念は、同軸出力軸と主要ロボットタレットに配置された固
定プーリを使用して独立の２つのアーム半径方向運動を考慮している。この概念
は、各々２つのアームリンク、すなわち下リンク及び上リンク（端部実施部材）
からなる２つのアーム設計である。これらの２つのアームの動作と設計構成は、
２つのアームセット間で一致するが、上下同一側に複数の端部実施部材を与える
ために微妙な変化がある（すなわち、端部実施部材（上リンク）は１つのアーム
から次のアームまで同一面にない）。２つのアームは、１つのアームが上端部実
施部材を含み、もう１つのアームが下端部実施部材を含むように構成されている
。
定プーリを使用して独立の２つのアーム半径方向運動を考慮している。この概念
は、各々２つのアームリンク、すなわち下リンク及び上リンク（端部実施部材）
からなる２つのアーム設計である。これらの２つのアームの動作と設計構成は、
２つのアームセット間で一致するが、上下同一側に複数の端部実施部材を与える
ために微妙な変化がある（すなわち、端部実施部材（上リンク）は１つのアーム
から次のアームまで同一面にない）。２つのアームは、１つのアームが上端部実
施部材を含み、もう１つのアームが下端部実施部材を含むように構成されている
。
【００１８】 アームアセンブリ５８の場合、アームの下リンクが同軸駆動装置の内部出力軸
に直接取付けられる。その特定のアームの端部実施部材（上リンク）はエルボで
下リンクに取付けられ、二重のベアリングセットを使用して回転運動が可能にな
るが、軸方向面内に拘束される。その特定アームの端部実施部材（上リンク）は
、その端部実施部材（上リンク）及びロボット駆動装置の固定回転プーリに取付
けられたローラを介して取付けられるベルト、ケーブル、あるいはバンドで駆動
する。
に直接取付けられる。その特定のアームの端部実施部材（上リンク）はエルボで
下リンクに取付けられ、二重のベアリングセットを使用して回転運動が可能にな
るが、軸方向面内に拘束される。その特定アームの端部実施部材（上リンク）は
、その端部実施部材（上リンク）及びロボット駆動装置の固定回転プーリに取付
けられたローラを介して取付けられるベルト、ケーブル、あるいはバンドで駆動
する。
【００１９】 アームアセンブリ５６の場合、アームの下リンクが同軸駆動装置の外部出力軸
に直接取付けられる。その特定のアームの端部実施部材（上リンク）は、エルボ
で下リンクに取付けられ、二重のベアリングセットを使用して回転運動が可能に
なるが、軸方向面内に拘束される。その特定アームの端部実施部材（上リンク）
は、その端部実施部材（上リンク）とロボット駆動装置がアームアセンブリ５８
に対して使用する同じ固定回転プーリに取付けられたローラを介してまた取付け
られるベルト、ケーブル、あるいはバンドで駆動される。
に直接取付けられる。その特定のアームの端部実施部材（上リンク）は、エルボ
で下リンクに取付けられ、二重のベアリングセットを使用して回転運動が可能に
なるが、軸方向面内に拘束される。その特定アームの端部実施部材（上リンク）
は、その端部実施部材（上リンク）とロボット駆動装置がアームアセンブリ５８
に対して使用する同じ固定回転プーリに取付けられたローラを介してまた取付け
られるベルト、ケーブル、あるいはバンドで駆動される。
【００２０】 同軸の軸アセンブリに関して、複数の軸が独立して制御され、ロボットアーム
は用途により一緒か独立して作動する。アームアセンブリ５６、５８の双方が一
緒に作動する場合、共に伸び、ロボットがこのアセンブリ５６、５８を同時に、
同じ速度で上げることができる。この動作モードは、ウエハの載置位置と端部実
施部材の等ピッチ（それらの距離）に依存する。この設計において、このシーケ
ンスにさらに垂直運動が付加されればウエハ載置面と端部実施部材を別のピッチ
とすることができる。
は用途により一緒か独立して作動する。アームアセンブリ５６、５８の双方が一
緒に作動する場合、共に伸び、ロボットがこのアセンブリ５６、５８を同時に、
同じ速度で上げることができる。この動作モードは、ウエハの載置位置と端部実
施部材の等ピッチ（それらの距離）に依存する。この設計において、このシーケ
ンスにさらに垂直運動が付加されればウエハ載置面と端部実施部材を別のピッチ
とすることができる。
【００２１】 ウエハ及びフラットパネル市場で使用される現在のロボットは以下のアーム設
計タイプの１つを使用している。すなわち、 スカーラ ‐２つのリンクアーム（２つの対向する端部実施部材、あるいは
１つの端部実施部材） フログレッグ（Frog Leg) ‐４つのバーリンク装置（１つの端部実施部材
） 左右対称 ‐２つの４本バーリンク装置（２つの対向する端部実施部材） リープフロッグ（Leap frog) ‐２つの４本バーリンク装置（２つの同じ側
面端部実施部材） ２つのアームスカーラ ‐２つの独立した駆動装置スカーラアーム（２つの
同じ側面端部実施部材） 本発明の目的は、２アームスカーラ及びリープフロッグアーム設計で使用され
る考え方の改良である。
計タイプの１つを使用している。すなわち、 スカーラ ‐２つのリンクアーム（２つの対向する端部実施部材、あるいは
１つの端部実施部材） フログレッグ（Frog Leg) ‐４つのバーリンク装置（１つの端部実施部材
） 左右対称 ‐２つの４本バーリンク装置（２つの対向する端部実施部材） リープフロッグ（Leap frog) ‐２つの４本バーリンク装置（２つの同じ側
面端部実施部材） ２つのアームスカーラ ‐２つの独立した駆動装置スカーラアーム（２つの
同じ側面端部実施部材） 本発明の目的は、２アームスカーラ及びリープフロッグアーム設計で使用され
る考え方の改良である。
【００２２】 リープフロッグアームは、共通のロボット同心軸駆動装置へバーリンク装置を
介して連結された２つの端部実施部材を備えるだけでシータ（θ）軸の回転なし
でウエハ交換を可能にする。これらの端部実施部材は同じ側だが、異なった高さ
に配置される。これによりウエハ交換が可能になるが、アームは、２つのウエハ
の上げ下ろしを同時に実施できないために制限される。その理由は、全てのリン
ク装置が同じ駆動軸に接続されているからである。
介して連結された２つの端部実施部材を備えるだけでシータ（θ）軸の回転なし
でウエハ交換を可能にする。これらの端部実施部材は同じ側だが、異なった高さ
に配置される。これによりウエハ交換が可能になるが、アームは、２つのウエハ
の上げ下ろしを同時に実施できないために制限される。その理由は、全てのリン
ク装置が同じ駆動軸に接続されているからである。
【００２３】 ２つのアームスカーラは、リ−プフロッグアームの場合のように同時か独立に
作動する２つの独立従動スカーラアームを使用することによってシータ軸の回転
なしでウエハ交換を可能にする。この場合、ロボット駆動装置内に収容され独立
のアーム駆動装置を備える必要性がある。これは、他のモータが必要となるため
、コストと制御の複雑さを増すことになる。駆動装置の動作方法は、設計から変
えることができる。しかし、このタイプのアームでは、ウエハの上げ下げ動作の
実施には少なくとも３つのモータ必要である。リープフロッグの場合のように、
これらの端部実施部材は同じ側に、しかし違った高さに配置される。この設計に
より交換が可能となるが、リープフロッグアームで与えられるウエハ搬送の依存
制限を受けない。
作動する２つの独立従動スカーラアームを使用することによってシータ軸の回転
なしでウエハ交換を可能にする。この場合、ロボット駆動装置内に収容され独立
のアーム駆動装置を備える必要性がある。これは、他のモータが必要となるため
、コストと制御の複雑さを増すことになる。駆動装置の動作方法は、設計から変
えることができる。しかし、このタイプのアームでは、ウエハの上げ下げ動作の
実施には少なくとも３つのモータ必要である。リープフロッグの場合のように、
これらの端部実施部材は同じ側に、しかし違った高さに配置される。この設計に
より交換が可能となるが、リープフロッグアームで与えられるウエハ搬送の依存
制限を受けない。
【００２４】 他方、本発明により同軸の軸を有するロボット駆動装置から独立のあるいは２
つのウエハ搬送が可能になる。 このロボットアームは３つのモードで作動できる。すなわち、 １．リープフロッグアーム設計と同じ方法でのウエハの交換。この動作はシ
ータ軸の回転を必要としない。
つのウエハ搬送が可能になる。 このロボットアームは３つのモードで作動できる。すなわち、 １．リープフロッグアーム設計と同じ方法でのウエハの交換。この動作はシ
ータ軸の回転を必要としない。
【００２５】 ２．１つの収集運動で近傍（すなわち、ウエハカセット）の２つの独立のウ
エハを収集可能。 ３．さらに垂直軸運動及びオフセット移動回数（上げ下ろし）を使用した異
なる高さで、多数のウエハを収集可能。 本発明は、以下を提供する。すなわち、 ・複数のアームが独立して駆動するためリープフロッグ技術とは別の独立し
た２つの同じ側のアーム。
エハを収集可能。 ３．さらに垂直軸運動及びオフセット移動回数（上げ下ろし）を使用した異
なる高さで、多数のウエハを収集可能。 本発明は、以下を提供する。すなわち、 ・複数のアームが独立して駆動するためリープフロッグ技術とは別の独立し
た２つの同じ側のアーム。
【００２６】 ・この新しい考え方は、２つのモータだけを有する同軸駆動装置を使用する
ため、２つのスカーラアームとは別である。 ・この設計では、上リンクが端部実施部材となり、従ってスカーラタイプア
ームで典型的に見られる３つのリンクアームとは異なる２つのリンクアームであ
る。
ため、２つのスカーラアームとは別である。 ・この設計では、上リンクが端部実施部材となり、従ってスカーラタイプア
ームで典型的に見られる３つのリンクアームとは異なる２つのリンクアームであ
る。
【００２７】 ・この設計では、ウエハが端部実施部材に取付けられるため、アームが半径
方向軸に伸びるようにウエハが回転する。整合が必要であれば、このアーム作動
前にウエハの角回転を知らなければならない。アーム／ロボット駆動装置はオフ
セット値を校正することができる。 前述の説明は、発明の例示にすぎないことが理解されるべきである。当業者は
、この発明から逸脱せずに種々の代替及び変更を考え付くことが可能である。従
って、本発明は、添付の特許請求の範囲内に入るそのような全ての代替、変更及
び変形を含むことを意図している。
方向軸に伸びるようにウエハが回転する。整合が必要であれば、このアーム作動
前にウエハの角回転を知らなければならない。アーム／ロボット駆動装置はオフ
セット値を校正することができる。 前述の説明は、発明の例示にすぎないことが理解されるべきである。当業者は
、この発明から逸脱せずに種々の代替及び変更を考え付くことが可能である。従
って、本発明は、添付の特許請求の範囲内に入るそのような全ての代替、変更及
び変形を含むことを意図している。
【図１】 本発明の特徴を取り入れた基板処理装置の概略上面図である。
【図２】 ロードロックに取付けられる、図１に示されている装置の大気部の概略上面図
である。
である。
【図３】 図２に示されている大気ローディング部分で使用される、基板搬送ロボットの
破断部分を有する斜視図である。
破断部分を有する斜視図である。
【図４】 図３に示されているロボットの可動アームアセンブリの斜視図である。
【図５Ａ】 図４に示されている可動アームアセンブリの異なった位置における上面図であ
る。
る。
【図５Ｂ】 図４に示されている可動アームアセンブリの異なった位置における上面図であ
る。
る。
【図５Ｃ】 図４に示されている可動アームアセンブリの異なった位置における上面図であ
る。
る。
【図５Ｄ】 図４に示されている可動アームアセンブリの異なった位置における上面図であ
る。
る。
【図５Ｅ】 図４に示されている可動アームアセンブリの異なった位置における上面図であ
る。
る。
【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成１２年３月１６日（２０００．３．１６）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，Ｅ Ａ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，Ｇ Ｈ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ， ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，Ｍ Ｗ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ， ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＷ Ｆターム(参考） 3C007 AS24 AS25 BS15 BS26 CT04 CV07 CW07 HS01 HS04 HS26 HS27 HT02 NS09 NS12 5F031 CA02 DA17 FA01 FA11 FA12 FA15 GA44 LA13 MA04
Claims (27)
- 【請求項１】 駆動装置部分と、 ２つの従動アームアセンブリを有し、その各々の従動アームアセンブリは、前
記駆動装置部分と共通の回転軸に接続される内部アーム、スカーラアームを形成
するために前記内部アームに回転可能に接続される外部アーム及び前記外部アー
ムと前記駆動装置部分上のプーリとの間に接続される伝動ベルトとを有する、前
記駆動装置部分に接続された、可動アームアセンブリ を含む基板搬送装置。 - 【請求項２】 前記駆動装置部分は、前記従動アームアセンブリの第一の従
動アームアセンブリの内部アームに接続された第一駆動軸及び前記従動アームア
センブリの第二の従動アームアセンブリの内部アームに接続された第二駆動軸と
を有する同軸駆動軸アセンブリを備える、請求項１記載の装置。 - 【請求項３】 前記駆動装置部分は前記同軸駆動軸アセンブリを垂直に移動
させ、それにより前記可動アームアセンブリを垂直に移動させるための手段を備
える、請求項２記載の装置。 - 【請求項４】 前記プーリは前記駆動装置部分で回転固定である、請求項１
記載の装置。 - 【請求項５】 前記２つの従動アームアセンブリの各々は、約１８０°離れ
た完全に伸びた２つの位置に制限される、請求項４記載の装置。 - 【請求項６】 前記双方の従動アームアセンブリの外部アームの遠端が２つ
の伸長位置間の共通軸上を通過し、前記外部アームの一方の遠端が他方の前記外
部アームの遠端上を通過するようにした、請求項５記載の装置。 - 【請求項７】 フレーム及び前記フレームに対して前記駆動装置部分を移動
させるための移動機構をさらに備える、請求項１記載の装置。 - 【請求項８】 前記移動機構は、前記フレーム上で直線通路に沿って移動さ
せるために前記フレームに可動に取付けられたカーを備え、前記駆動装置部分は
前記カーに取付けられる、請求項７記載の装置。 - 【請求項９】 前記駆動装置部分は、前記カーに固定取付けされたケ−ジ、
前記ケ−ジ内で前記ケ−ジの片面だけに取付けられた２つの積層駆動モジュ−ル
及び前記駆動モジュ−ルから伸び、前記可動アームアセンブリに取付けられた２
つの回転可能な同心軸とを備える、請求項８記載の装置。 - 【請求項１０】 ２つの独立に回転可能な駆動軸を備えた同軸駆動軸アセン
ブリと回転固定プーリとを有する駆動装置部分と、 前記駆動装置部分に接続される可動アームアセンブリであって、前記可動アー
ムアセンブリは前記駆動軸の第一軸に接続された第一従動アームアセンブリと前
記駆動軸の第二軸に接続された第二従動アームアセンブリとを有し、前記第一従
動アームアセンブリは前記第一駆動軸に接続された内部アーム、スカーラアーム
を形成するために前記内部アームに旋回可能に接続された外部アーム及び前記外
部アームを前記回転固定プーリに接続する伝動部材とを有する可動アームアセン
ブリとを備える、基板搬送装置。 - 【請求項１１】 前記駆動装置部分は前記同軸駆動軸アセンブリを垂直に移
動させ、それにより前記可動アームアセンブリを垂直に移動させるための手段を
備える、請求項１０記載の装置。 - 【請求項１２】 前記第一従動アームアセンブリは、約１８０°離れた完全
に伸びた２つの位置に制限される、請求項１０記載の装置。 - 【請求項１３】 前記第一従動アームアセンブリの外部アームの遠端は前記
２つの完全に伸びた位置間で移動する時に前記第一駆動軸上を通過する、請求項
１２記載の装置。 - 【請求項１４】 フレームと、前記フレームに対して前記駆動装置部分を移
動させるための移動機構とをさらに備える、請求項１０記載の装置。 - 【請求項１５】 前記移動機構は、前記フレーム上で直線通路に沿って移動
させるために前記フレームに可動に取付けられたカーを備え、前記駆動装置部分
が前記カーに取付けられる、請求項１４記載の装置。 - 【請求項１６】 同軸駆動軸アセンブリを備えた駆動装置部分と、前記同軸
駆動軸アセンブリのそれぞれの駆動軸に個別に接続された２つの従動アームアセ
ンブリを有しており、前記駆動装置部分に接続された可動アームアセンブリとを
有するロボットを備えた基板搬送装置を設ける工程と、 前記駆動軸の第一駆動軸を回転させて前記従動アームアセンブリの第一従動ア
ームアセンブリを移動させる工程であって、前記第一従動アームアセンブリは前
記第一駆動軸を回転する内部アーム及び前記内部アームに対して回転する外部ア
ームを有し、前記外部アームは、前記外部アームと前記駆動装置部分上の回転固
定のプーリとの間に接続された第一伝動ベルトにより前記内部アームに関して回
転する工程とを含む、基板を搬送する方法。 - 【請求項１７】 前記回転させる工程は、前記第一駆動軸を約１８０°回転
させて２つの完全に伸びた位置と反対側の位置間に前記第一従動アームアセンブ
リを移動させる工程から構成される、請求項１６記載の方法。 - 【請求項１８】 前記第一従動アームアセンブリをその２つの反対側に完全
に伸びた位置の間に移動した時に、前記外部アームの遠端はその上で基板を支持
し、前記同軸駆動軸アセンブリ上を通過する、請求項１７記載の方法。 - 【請求項１９】 前記従動アームアセンブリの第二従動アームアセンブリを
回転させる工程であって、前記第二従動アームアセンブリは、前記第二駆動軸を
回転する内部アーム及び前記第二従動アームアセンブリの前記内部アームに関し
て回転する外部アームを有し、前記第二駆動軸を回転した時に前記第二従動アー
ムアセンブリの外部アームを前記第二従動アームアセンブリの内部アームに関し
て回転させるために、第二伝動ベルトが前記回転固定プーリと前記第二従動アー
ムアセンブリの外部アームとの間に接続される工程をさらに有する、請求項１８
記載の方法。 - 【請求項２０】 前記第二従動アームアセンブリを回転させる工程は、前記
第二従動アームアセンブリを、２つの完全に伸びた反対側の位置間に移動させる
ために前記第二駆動軸を約１８０°回転させる工程を有する、請求項１９記載の
方法。 - 【請求項２１】 前記第二従動アームアセンブリをその２つの反対側に完全
に伸びた位置の間に移動した時に、前記第二従動アームアセンブリの外部アーム
の遠端はその上で基板を支持し、前記同軸駆動軸アセンブリ上を通過する、請求
項２０記載の方法。 - 【請求項２２】 前記基板搬送装置には、フレーム及び前記ロボットが前記
カーに取付けられている状態で前記フレームに可動に取付けられたカーを有して
おり、前記フレームに対して前記ロボットを移動させるための移動機構とが設け
られ、前記方法はさらに、少なくとも１つの基板をその上に有するロボットを前
記フレームに対して移動させるために、前記フレームに沿って前記カーを移動さ
せる工程を有する、請求項１６記載の方法。 - 【請求項２３】 同軸駆動軸アセンブリを備えた駆動装置部分及び前記同軸
駆動軸アセンブリのそれぞれの駆動軸に個別に接続された２つの従動アームアセ
ンブリを有しており、前記駆動装置部分に接続された可動アームアセンブリとを
備えた基板搬送装置を設ける工程と、 前記２つの従動アームアセンブリを独立して移動させるために前記駆動軸を独
立して移動させる工程であって、前記２つの従動アームアセンブリの各々が、前
記駆動装置部分に対して約１８０°離れている２つの完全に伸びた位置だけに制
限される工程とを含む、基板を搬送する方法。 - 【請求項２４】 前記独立して回転させる工程は、完全に伸びた位置で基板
を収集し、降下するために、前記駆動軸を回転させることにより、また前記駆動
装置部分の台を回転させずに同軸駆動軸上で前記完全に伸びた位置間で基板を移
動させる工程を有する、請求項２３記載の方法。 - 【請求項２５】 前記独立して回転させる工程は、約１８０°以下の制限さ
れた一定の回転角で前記駆動軸を回転させる、請求項２３記載の方法。 - 【請求項２６】 前記２つの従動アームアセンブリは、実質的に同時に前記
駆動装置部分の反対側に基板を収集し、配置する、請求項２３記載の方法。 - 【請求項２７】 各従動アームアセンブリは、内部アーム及び外部アームを
備えたスカーラアームであり、伝動ベルトは前記外部アームを回転固定プーリに
前記駆動装置部分で接続し、それにより前記内部アームの回転によって前記外部
アームがそれらのそれぞれの内部アームに対して回転する、請求項２３記載の方
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