JP2004245458A

JP2004245458A - クリーンベンチ

Info

Publication number: JP2004245458A
Application number: JP2003033893A
Authority: JP
Inventors: Seiichi Terajima; 誠一寺嶋
Original assignee: Shin Etsu Handotai Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Handotai Co Ltd
Priority date: 2003-02-12
Filing date: 2003-02-12
Publication date: 2004-09-02

Abstract

【課題】維持費を低減できるクリーンベンチを提供する。
【解決手段】清浄な空気が送られる作業台２を備えるクリーンベンチ１である。濾過により比較的清浄度の高い空気を生成するための第１フィルタ４１と、濾過により比較的清浄度の低い空気を生成するための第２フィルタ４２とを備える。作業台２上には、第１フィルタ４１により濾過された空気が送られる第１作業領域３１と、第２フィルタ４２により濾過された空気が送られる第２作業領域３２とが形成されている。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンベンチに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、高い清浄度が要求される作業を行うための作業台を備える装置として、クリーンベンチが知られている（例えば、特許文献１参照）。
クリーンベンチは、作業台と、該作業台上に清浄な空気を送気するための送気部とを備えて概略構成されている。このうち送気部は、例えば送気ファンと、この送気ファンより送気された空気を濾過するエアフィルタと、このエアフィルタによって濾過されることにより清浄化された空気を作業台上に向けて吹き出す吹出部とを備えている。
【０００３】
クリーンベンチの作業台上の清浄度を維持するためには、例えば定期的にエアフィルタを交換する必要がある。なお、エアフィルタは、要求される清浄度のレベルに応じて、例えばＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等、様々なグレードのものがあり、ハイグレードなもの（濾過により高い清浄度の空気を生成できるもの）ほど高価である。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−１４１２７３号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、クリーンベンチで行う作業の中にも、比較的高い清浄度を要求される作業と、そうでない作業とが含まれるが、クリーンベンチの作業台上は全域で同じ清浄度（クリーン度）に設定されている。
つまり、一部の作業を行う場合に備えて作業台の全域が高いクリーン度に保たれている。
従って、従来は、さほどの清浄度を要求しない作業も、必要以上に清浄度の高い領域で作業を行っている。
このため、必要以上にエアフィルタの交換費用、すなわち、クリーンベンチの維持費がかさむことがある。
【０００６】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたもので、維持費を低減できるクリーンベンチを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明のクリーンベンチは、清浄な空気が送られる作業台を備えるクリーンベンチにおいて、濾過により比較的清浄度の高い空気を生成するための第１フィルタと、濾過により比較的清浄度の低い空気を生成するための第２フィルタとを備え、前記作業台上には、前記第１フィルタにより濾過された空気が送られる第１作業領域と、前記第２フィルタにより濾過された空気が送られる第２作業領域とが形成されていることを特徴としている。
【０００８】
本発明のクリーンベンチにおいては、前記第１フィルタを介して前記第１作業領域に送気するための第１送気装置と、前記第２フィルタを介して前記第２作業領域に送気するための第２送気装置とを更に備え、前記第２送気装置よりも前記第１送気装置の方が大きい送気力に設定されていることが好ましい。
【０００９】
本発明によれば、作業の種類に応じて第１作業領域と第２作業領域とを適宜に使い分けることができる。すなわち、比較的高い清浄度を要求される作業は第１作業領域で行う一方で、比較的低い清浄度で構わない作業は第２作業領域で行うことができる。さらに、第２フィルタは第１フィルタよりも安価であるため、維持費（フィルタの交換費用）を低減することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明に係る実施の形態について説明する。
【００１１】
図１〜図５に示すように、本実施形態のクリーンベンチ１は、清浄な空気が送られる作業台２と、作業台２上の作業領域３に送られる前に空気を濾過して清浄化するためのメインフィルタ４と、メインフィルタ４を介して作業領域３に送気するための送気装置５（図２、図３）と、送気装置５等が配されたダクトチャンバ６（図２）等を備えて概略構成されている。
【００１２】
このうち作業台２は、例えば、その上面が一つの平面から構成されている。また、作業台２は、その上面の高さが、例えば椅子（図示略）に座った作業者による作業がし易い高さとなるように、後述する支持側板部２１等により支持されている。
【００１３】
また、作業領域３は、作業台２の上面と、作業台２の左右両端部上に一方ずつが立設されて互いに対向する一対の側部板状部材７と、作業台２の上面と対向するように作業台２の上方に設けられた天井構成板状部材８と、作業領域３の奥側面を構成するように作業台２の奥側端部上に立設された奥側板状部材９と、により囲まれ、前面に開口部３ａを有する領域である。
従って、作業台２の前に着座した作業者は、作業領域前面の開口部３ａを介して作業台２上にて作業を行うことができる。
なお、本実施形態のクリーンベンチ１の作業領域３には、後述するように、比較的清浄度の高い空気が送られる第１作業領域（例えば作業領域３の右側半部）３１と、比較的清浄度の低い空気が送られる第２作業領域（例えば作業領域３の左側半部）３２とが形成されている。
【００１４】
また、作業領域３を包囲する部材のうち、側部板状部材７は、例えば透明材（より具体的には、例えば強化ガラス）からなる。
また、天井構成板状部材８は、透光性を有していて、その上側には、該天井構成板状部材８を介して作業領域３を照明するための照明部材（例えば蛍光灯）８１が設けられている。なお、作業領域３の上側には、天井構成板状部材８により下面を構成され、内部に照明部材８を備える筐体上の天井ケース８０が設けられている。
また、奥側板状部材９は、清浄空気の吹出面（吹出部）を構成している。すなわち、奥側板状部材９には、表裏を貫通する多数の孔部（図示略）が一面に形成され、各孔部を介して清浄空気を吹き出し可能となっている。
【００１５】
さらに、奥側板状部材９の後側にはメインフィルタ４が配されている。
ここで、本実施形態のクリーンベンチ１におけるメインフィルタ４は、濾過により比較的清浄度の高い空気を生成するための第１フィルタ４１と、濾過により比較的清浄度の低い空気を生成するための第２フィルタ４２とからなる分割構成をなしている。
換言すれば、本実施の形態のクリーンベンチ１は、（比較的目の細かい）第１フィルタ４１と、第１フィルタ４１よりも目の粗い第２フィルタ４２とを備える。
なお、第１フィルタ４１は、具体的には例えばＵＬＰＡフィルタからなり、第２フィルタ４２は、具体的には例えばＨＥＰＡフィルタからなる。
このうち、第１フィルタ４１は、奥側板状部材９の後側領域における例えば右側半部に配されていて、第２フィルタ４２は、例えば同左側半部に配されている。
また、メインフィルタ（第１及び第２フィルタ４１、４２）４の後側には、ダクトチャンバ６の例えば上側部分を構成する陽圧部（後述）が配されている。
【００１６】
ダクトチャンバ６は、当該クリーンベンチ１の例えば後部に配されている。
ダクトチャンバ６は、上記陽圧部と、該陽圧部の例えば下側に配された陰圧部とを備えて概略構成されている。
ダクトチャンバ６において、例えば作業台２と略等しい高さよりも上側部分は陽圧により構成されている一方で、該高さよりも下側部分は陰圧部により構成されている。
このうち陰圧部の内部には、メインフィルタ４を介して作業領域３に送気するための送気装置５が配されている。
【００１７】
ここで、本実施の形態のクリーンベンチ１の送気装置５は、第１フィルタ４１を介して第１作業領域３１に送気するための第１送気装置５１と、第２フィルタを介して前記第２作業領域に送気するための第２送気装置とからなる（図３）。
このうち第１送気装置５１の送気力は、第２送気装置５２よりも大きく設定されている。より具体的には、例えば、第１送気装置５１として、第２送気装置５２よりも大型で送気力の大きいものを用いる。
このように第１送気装置５１の方を第２送気装置５２よりも大きな送気力にするのは、第２フィルタ４２よりも目の細かい第１フィルタ４１の方が圧損が大きいためである。
また、本実施形態の場合、第１フィルタ４１を介して第１作業領域３１に送られる清浄空気の流量と、第２フィルタ４２を介して第２作業領域３２に送られる清浄空気の流量とが略等しくなるように、第１及び第２送気装置５１，５２の送気力を設定する。
なお、第１及び第２送気装置５１、５２は、例えばそれぞれモータ駆動により送気するファンからなる。
【００１８】
また、ダクトチャンバ６は、第１送気装置５１が配され、該第１送気装置５１より第１フィルタ４１に送気するための第１ダクトチャンバ（例えば右側半部）６１と、第２送気装置５２が配され、該第２送気装置５２より第２フィルタ４２に送気するための第２ダクトチャンバ（例えば左側半部）６２とからなる。
つまり、第１ダクトチャンバ６１は、第１送気装置５１が配された第１陰圧部６１ｂを、例えば下部に有し、上部には第１陽圧部６１ａを有している。
同様に、第２ダクトチャンバ６２は、第２送気装置５２が配された第２陰圧部６２ｂを、例えば下部に有し、上部には第２陽圧部６２ａを有している。
【００１９】
なお、第１ダクトチャンバ（第１陽圧部６１ａ及び第１陰圧部６１ｂ）６１と第２ダクトチャンバ（第２陽圧部６２ａ及び第２陰圧部６２ｂ）６２とは、仕切壁部６３（図４等）により互いに仕切られて、相互の雰囲気が入り混じらないようにされている。また、第１陽圧部６１ａと第１陰圧部６１ｂ、並びに、第２陽圧部６２ａと第２陰圧部６２ｂは、仕切壁部６３と直交するとともに略水平に配された仕切壁部６４（図４）により互いに仕切られている。
さらに、第１フィルタ４１の配置領域と第２フィルタ４２の配置領域とについても上記仕切壁部６３により互いに仕切られている。
また、メインフィルタ４（第１及び第２フィルタ４１、４２）の配置領域と陽圧部６１ａ、６２ａとの境界部には、仕切壁部２８（図２）が設けられている。だだし、この仕切壁部２８に形成された左右一対の開口部２８ａを介して、陽圧部６１ａと第１フィルタ４１の配置領域、並びに、陽圧部６２ａと第２フィルタ４２の配置領域とはそれぞれ連通されている。
【００２０】
また、第１及び第２陰圧部６１ｂ、６２ｂの例えば前面には、それぞれ空気取り入れ用の開口部６４（図１、図２）が形成され、該開口部６４にはプレフィルタ６５が配されている。このプレフィルタ６５は、送気装置５（第１及び第２送気装置５１，５２）に導入される前に空気を予め濾過するためのフィルタである。
【００２１】
また、第１送気装置（上記のように第１陰圧部６１ｂ内に配されている）５１の空気吹出口は、第１陽圧部６１ａの下端部に接続されている。従って、第１送気装置５１は、その空気吹出口を介して第１陽圧部６１ａ内に送気可能となっている。
同様に、第２送気装置５２は、その空気吹出口が第２陽圧部６２ａの下端部に接続されていて、該空気吹出口を介して第２陽圧部６２ａ内に送気可能となっている。
【００２２】
また、クリーンベンチ１は、例えば、作業台２の左右両側部を支持する左右一対の支持側板部２１を備えている。これら支持側板部２１は、作業台２よりも奥に向けて当該クリーンベンチ１の後端部まで延在している（図２）。
さらに、支持側板部２１の後部の上側には、ダクトチャンバ６の陽圧部６１ａ、６２ｂ及びメインフィルタ４の配置領域の左右側壁を構成する上部側壁構成板状部２２（図２〜図４）がそれぞれ設けられている。これら上部側壁構成板状部２２の前側端部における下部には、該上部側壁構成板状部２２間の前側開口を塞ぐように上記奥側板状部材９が配されている。また、これら上部側壁構成板状部２２の前側端部における上部は上記天井ケース８０に連なっている。
なお、天井ケース８０の前側端部における左右両端部は、作業台２上に垂下するように側部板状部材７の前縁部に沿って設けられた補強柱２７により支持されている。
また、上部側壁構成板状部２２間の上側開口には、該開口を塞ぐように天板２３（図２〜図４）が設けられている。なお、天板２３は、このように天井ケース８０の上面部とは別体の部材であっても良いし、該上面部と一体であっても良い。
また、支持側板部２１間の後部における下側の開口には、該開口を塞ぐように底板２４（図２〜図４）が設けられている。
さらに、作業台２の下側領域における奥には、底板２４の前側端部より垂直に起立するとともに左右の支持側板部２１間に亘って延在する下部奥側板状部２５（図１、図２）が設けられている。なお、この下部奥側板状部２５は、上記開口部６４が形成されているとともにプレフィルタ６５を保持している。
加えて、底板２４、天板２３、上部側壁構成板状部２２及び支持側板部２１の後側端部間の開口には、当該クリーンベンチの背面部を構成する背面構成板状部２６（図２〜図４）が設けられている。
【００２３】
なお、図３に示すように、背面構成板状部材２６の上部における正面視右側半部には、第１フィルタ４１のメンテナンス（交換作業）を行うための開口部２６１が形成されているとともに、常時は該開口部２６１を閉塞するための閉塞用板状部２６１ａが例えば止着部材により取付けられている。同様に、背面構成板状部材２６の上部における正面視左側半部には、第２フィルタ４２のメンテナンスを行うための開口部２６２が形成されているとともに、常時は該開口部２６２を閉塞するための閉塞用板状部２６２ａが取付けられている。
さらに、背面構成板状部材２６の下部において、正面視右側半部には、第１送気装置５１のメンテナンスを行うための開口部２６３及び常時は該該開口部２６３を閉塞するための閉塞用板状部２６３ａが設けられ、正面視左側半部には、第２送気装置５２のメンテナンスを行うための開口部２６４及び常時は該開口部２６４を閉塞するための閉塞用板状部２６４ａが設けられている。
【００２４】
なお、以上において、第１及び第２陽圧部６１ａ、６２ａは、それぞれ、仕切壁部２８、上部側壁構成板状部２２、仕切壁部６３、６４、背面構成板状部２６及び天板２３により囲まれて形成されている。
同様に、第１及び第２陰圧部６１ｂ、６２ｂは、それぞれ、下部奥側板状部２５、支持側板部２１、仕切壁部６３、６４、背面構成板状部２６及び天板２３により囲まれて形成されている。
【００２５】
また、作業台２の下側領域、すなわち、下部奥側板状部２５の手前側で支持側板部２１間の領域は、作業者のフットスペースを構成している。
クリーンベンチ１は、他に、支持側板部２１の下側に設けられた移動用のキャスター１１及び位置固定用のジャッキ１２（図２）等を備えている。
【００２６】
本実施形態のクリーンベンチは以上のように構成されている。
そして、クリーンベンチは、送気装置５の稼働状態で、以下のように作業領域３に清浄空気を送ることができる。
【００２７】
すなわち、第１送気装置５１により減圧されている第１陰圧部６１ｂ内にプレフィルタ６５を介して外部より吸入された空気は、該第１送気装置５１により第１陽圧部６１ａ内に送気される。すると、第１陽圧部６１ａ内が加圧され、第１フィルタ４１にも圧が加わる。
よって、第１陽圧部６１ａ内の空気は、第１フィルタ４１を通過することにより濾過されて清浄化され、該第１フィルタ４１の手前側に位置する奥側板状部材９における右側半部の孔部を介して、第１作業領域３１内に吹き出される。
従って、第１作業領域３１内には、該第１作業領域３１の奥側から手前側に向かった後に開口部３ａを介して外部に吹き出される清浄な気流が略水平に形成される。
【００２８】
同様に、第２送気装置５２によりプレフィルタ６５を介して第２陰圧部６１ｂ内に吸入された空気は、該第２送気装置５２により第２陽圧部６２ａ内に送気され、第１陽圧部６２ａ内の空気は、第２フィルタ４２により濾過されて清浄化され、奥側板状部材９における左側半部の孔部を介して第２作業領域３２内に吹き出される。
従って、第２作業領域３２内には、該第２作業領域３２の奥側から手前側に向かった後に開口部３ａを介して外部に吹き出される清浄な気流が略水平に形成される。
【００２９】
つまり、作業領域３は、第１フィルタにより濾過された比較的清浄度の高い空気が送られるためクリーン度が比較的高く維持される第１作業領域３１と、第２フィルタにより濾過された比較的清浄度の低い空気（ただし、こちらもＨＥＰＡフィルタにより濾過された空気であるだけに清浄度が高められているのは勿論である）が送られるためクリーン度が比較的低い第２作業領域３２とを左右方向に並んで備える。
【００３０】
また、第１フィルタ４１を介して第１作業領域３１に送られる清浄空気と、第２フィルタ４２を介して第２作業領域３２に送られる清浄空気と、の流量が互いに略等しくなるように、第１及び第２送気装置５１，５２の送気力が設定されているので、相互の領域が互いに侵されてしまうことを抑制できる。
【００３１】
以上のような実施の形態によれば、作業台２上には、クリーン度の比較的高い第１作業領域３１と、比較的低い第２作業領域３２とが形成されているので、作業の種類に応じて第１作業領域３１と第２作業領域３２とを適宜に使い分けることができる。すなわち、比較的高い清浄度を要求される作業は第１作業領域３１で行う一方で、比較的低い清浄度で構わない作業は第２作業領域３２で行うことができる。さらに、第２フィルタ４２は第１フィルタ４１よりも安価であるため、維持費（フィルタの交換費用）を低減することができる。
【００３２】
なお、上記の実施の形態では、第１及び第２フィルタ４１、４２を作業領域３の後側に設け、清浄空気が作業空間内を略水平に流れるようにした水平気流形のクリーンベンチ１に本発明を適用した例を示したが、これに限らず、例えば、第１及び第２フィルタ４１、４２を作業領域３の天井部（天井ケース８０内）に設け、作業台２に向けて清浄空気を吹き下ろすようにした垂直気流形に本発明を適用しても良い。
【００３３】
【発明の効果】
本発明によれば、作業の種類に応じて第１作業領域と第２作業領域とを適宜に使い分けることができる。すなわち、比較的高い清浄度を要求される作業は第１作業領域で行う一方で、比較的低い清浄度で構わない作業は第２作業領域で行うことができる。さらに、第２フィルタは第１フィルタよりも安価であるため、維持費を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る実施の形態のクリーンベンチを示す正面図である。
【図２】本発明に係る実施の形態のクリーンベンチを示す側面図である。
【図３】本発明に係る実施の形態のクリーンベンチを示す背面図である。
【図４】本発明に係る実施の形態のクリーンベンチを背面側から見た概略斜視図である。
【図５】本発明に係る実施の形態のクリーンベンチの作業台を示す図である。
【符号の説明】
１クリーンベンチ
２作業台
４１第１フィルタ
４２第２フィルタ
３１第１作業領域
３２第２作業領域
５１第１送気装置
５２第２送気装置

Claims

清浄な空気が送られる作業台を備えるクリーンベンチにおいて、濾過により比較的清浄度の高い空気を生成するための第１フィルタと、濾過により比較的清浄度の低い空気を生成するための第２フィルタとを備え、前記作業台上には、前記第１フィルタにより濾過された空気が送られる第１作業領域と、前記第２フィルタにより濾過された空気が送られる第２作業領域とが形成されていることを特徴とするクリーンベンチ。
前記第１フィルタを介して前記第１作業領域に送気するための第１送気装置と、前記第２フィルタを介して前記第２作業領域に送気するための第２送気装置とを更に備え、前記第２送気装置よりも前記第１送気装置の方が大きい送気力に設定されていることを特徴とする請求項１に記載のクリーンベンチ。