JPS6233231A - 清浄装置 - Google Patents
清浄装置Info
- Publication number
- JPS6233231A JPS6233231A JP60172521A JP17252185A JPS6233231A JP S6233231 A JPS6233231 A JP S6233231A JP 60172521 A JP60172521 A JP 60172521A JP 17252185 A JP17252185 A JP 17252185A JP S6233231 A JPS6233231 A JP S6233231A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- casing
- chamber
- blower
- blow
- cleaning unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/163—Clean air work stations, i.e. selected areas within a space which filtered air is passed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は組立１分解が容易な清浄度を局所的に高めるた
めの清浄装置に関する。
めの清浄装置に関する。
（従来の技術）
従来より、クリーンルーム内の清浄空間の清浄度を局所
的に高めるための手段としてクリーンベンチやクリーン
ブースなどの清浄装置が提案されている。
的に高めるための手段としてクリーンベンチやクリーン
ブースなどの清浄装置が提案されている。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、従来の局所清浄装置は、部品点数が多く
、また固定式であるために生産機器のレイアウトの変更
が多い半導体工場などの業種ではこの変更に簡単に即応
できず、このため簡易に対応できる装置が期待されてお
り、また可動式のものもあるが、大型のものであるので
設置スペースが広くとられる不都合があった。
、また固定式であるために生産機器のレイアウトの変更
が多い半導体工場などの業種ではこの変更に簡単に即応
できず、このため簡易に対応できる装置が期待されてお
り、また可動式のものもあるが、大型のものであるので
設置スペースが広くとられる不都合があった。
本発明の目的は部品点数が少なく、簡単に組み立て、分
解ができるようにすることであり、他の目的は設置スペ
ースを少なくすることにある。
解ができるようにすることであり、他の目的は設置スペ
ースを少なくすることにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、送風ケーシング２と吹出しチャンバー３とか
らなる清浄ユニット１と、この清浄ユニットのケーシン
グの下部に取り外し可能に取り付けてあるベース４とを
具備するもので、上記送風ケーシング２はその内部に送
風機２４を収納し、一側面下部に吸込み口２１を設けて
あり、上記吹出しチャンバー３は送風ケーシングの上部
の一側方に張り出したもので、上記ケーシング内と連通
しており、チャンバー下面が吹出し面３１であり、この
吹出し面の上部に高性能フィルター３２を配設している
。
らなる清浄ユニット１と、この清浄ユニットのケーシン
グの下部に取り外し可能に取り付けてあるベース４とを
具備するもので、上記送風ケーシング２はその内部に送
風機２４を収納し、一側面下部に吸込み口２１を設けて
あり、上記吹出しチャンバー３は送風ケーシングの上部
の一側方に張り出したもので、上記ケーシング内と連通
しており、チャンバー下面が吹出し面３１であり、この
吹出し面の上部に高性能フィルター３２を配設している
。
（作用）
送風ケーシング２内の送風機２４を作動させると、清浄
ユニット１の内側の作業空間の空気は吸込み口２１から
ケーシング２内に入り、送風機の案内筒２４ａからケー
シングの上部に送られて、やがてチャンバー３内に入り
高性能フィルター３２を通過して除塵されて吹出し面３
１からチャンバーの下方の作業空間に吹き出される。
ユニット１の内側の作業空間の空気は吸込み口２１から
ケーシング２内に入り、送風機の案内筒２４ａからケー
シングの上部に送られて、やがてチャンバー３内に入り
高性能フィルター３２を通過して除塵されて吹出し面３
１からチャンバーの下方の作業空間に吹き出される。
（実施例）
以下本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
本発明の清浄装置は、清浄ユニット１と、この清浄ユニ
ットの下部に取り付けたベース４とからなる。清浄ユニ
ット１は、第１図に示すように送風ケーシング２と吹出
しチャンバー３とを「かぎ」形状に組み立てたものであ
る。送風ケーシング２は、高さ約３０００ｍｍ、幅約１
０００ｍｍ、厚さ約２５０ｍｍの薄形のケーシングで必
る。ケーシング２は一側面（第１図左側面）の下部に気
流吸込み口２１が設けてあり、この吸込み口は下部をヒ
ンヂで取り付けた蓋板２２で開閉可能であって、作業時
にはこの吸込み口は開放している。開放状態で、蓋板２
２の上部の吸込み入口に粗しんフィルター２１８が張設
しである。吸込み口２１の上部のケーシング２の側面に
は作業台２３が水平状態に取り付けてあり、この作業台
は取り外し可能である。作業台２３には、小透孔が全面
に穿設してあり、気流が作業台の上方から下方に通過可
能である。送風ケーシング２の内部中央部には送風機２
４が収納しである。送風機２４の作動により、吸込み口
２１からケーシング内に入った気流は、送風機の案内筒
２４ａからガイドベーン２４ｂを経てケーシング内上部
に設けたバッフル板２５を通過して上方へ吹き出される
。
ットの下部に取り付けたベース４とからなる。清浄ユニ
ット１は、第１図に示すように送風ケーシング２と吹出
しチャンバー３とを「かぎ」形状に組み立てたものであ
る。送風ケーシング２は、高さ約３０００ｍｍ、幅約１
０００ｍｍ、厚さ約２５０ｍｍの薄形のケーシングで必
る。ケーシング２は一側面（第１図左側面）の下部に気
流吸込み口２１が設けてあり、この吸込み口は下部をヒ
ンヂで取り付けた蓋板２２で開閉可能であって、作業時
にはこの吸込み口は開放している。開放状態で、蓋板２
２の上部の吸込み入口に粗しんフィルター２１８が張設
しである。吸込み口２１の上部のケーシング２の側面に
は作業台２３が水平状態に取り付けてあり、この作業台
は取り外し可能である。作業台２３には、小透孔が全面
に穿設してあり、気流が作業台の上方から下方に通過可
能である。送風ケーシング２の内部中央部には送風機２
４が収納しである。送風機２４の作動により、吸込み口
２１からケーシング内に入った気流は、送風機の案内筒
２４ａからガイドベーン２４ｂを経てケーシング内上部
に設けたバッフル板２５を通過して上方へ吹き出される
。
またケーシング２の上部側方に吹出しチャンバー３が水
平状態に張出してあり、このチャンバーはケーシングと
一体的に結合し、内部はケーシングの内部と連通状態と
なっている。チャンバー３の厚さおよび幅はケーシング
２のそれらと同一である。チャンバー３の下面は吹出し
面３１となっており、この吹出し面の上部には高性能フ
ィルターであるＨＥＰＡフィルター３２が全面に張設し
である。チャンバー３内の下面側には照明器具であるダ
ウンライト３３が設けてあり、このダウンライトが作業
者Ｍの手元を照らしている。
平状態に張出してあり、このチャンバーはケーシングと
一体的に結合し、内部はケーシングの内部と連通状態と
なっている。チャンバー３の厚さおよび幅はケーシング
２のそれらと同一である。チャンバー３の下面は吹出し
面３１となっており、この吹出し面の上部には高性能フ
ィルターであるＨＥＰＡフィルター３２が全面に張設し
である。チャンバー３内の下面側には照明器具であるダ
ウンライト３３が設けてあり、このダウンライトが作業
者Ｍの手元を照らしている。
またベース４はケーシング２の下部両側に取り付けてあ
り、このベースに固着した固定板５がケーシング２の側
面にネジ６よってケーシングから取り外し可能に固定し
である。ベース４の長さは清浄ユニット１が自立できる
に十分のものである。
り、このベースに固着した固定板５がケーシング２の側
面にネジ６よってケーシングから取り外し可能に固定し
である。ベース４の長さは清浄ユニット１が自立できる
に十分のものである。
各ベース４，４の前後の２個所にはレベル調整具４１が
取り付けてある。
取り付けてある。
清浄装置の分解について説明すると、第１図示の状態か
らネジ６を固定板５から外してベース４゜４をケーシン
グ２の下部から外し、作業台２３も外せば、清浄ユニッ
ト１とベース４との２部品に分解される。
らネジ６を固定板５から外してベース４゜４をケーシン
グ２の下部から外し、作業台２３も外せば、清浄ユニッ
ト１とベース４との２部品に分解される。
組立は上記分解の手順と逆に行なえばよい。
次に作用について説明する。
送風機２４を作動させると、チャンバー３下方の作業空
間の空気は粗しんフィルター２１ａを通過して吸込み口
２１からケーシング２内に吸い込まれて、送風機の案内
筒２４ａからガイドベーン２４ｂを経てバッフル板２５
に衝突しこのバッフル板を通過して、さらにケーシング
上部からチャンバー３内に入り、フィルター３２除塵さ
れ、清浄な空気となって吹出し面３１から下方の作業空
間へ、さらに作業台２３に吹き付けられた空気は、作業
台を通過して再び吸込み口２］に吸い込まれて、上記し
たと同様の過程を繰返しつつ、作業空間と清浄ユニット
１内とを循環する。
間の空気は粗しんフィルター２１ａを通過して吸込み口
２１からケーシング２内に吸い込まれて、送風機の案内
筒２４ａからガイドベーン２４ｂを経てバッフル板２５
に衝突しこのバッフル板を通過して、さらにケーシング
上部からチャンバー３内に入り、フィルター３２除塵さ
れ、清浄な空気となって吹出し面３１から下方の作業空
間へ、さらに作業台２３に吹き付けられた空気は、作業
台を通過して再び吸込み口２］に吸い込まれて、上記し
たと同様の過程を繰返しつつ、作業空間と清浄ユニット
１内とを循環する。
なお、清浄ユニット１の両側に側板を設けてもよいが、
図示するように両側を開放しておけば、作業者Ｍの作業
空間が広がり、作業がしやすくなる。
図示するように両側を開放しておけば、作業者Ｍの作業
空間が広がり、作業がしやすくなる。
（発明の効果）
本発明によれば、清浄ユニットとベースの２部品からな
るので部品点数が少なく、そして簡単かつ容易に組立、
分解ができ、必要に応じて装置の台数を簡単な作業で増
減でき、また生産機器のレイアウトの変更の多い業種に
特に有益であり、設置スペースも少なくてすむ。
るので部品点数が少なく、そして簡単かつ容易に組立、
分解ができ、必要に応じて装置の台数を簡単な作業で増
減でき、また生産機器のレイアウトの変更の多い業種に
特に有益であり、設置スペースも少なくてすむ。
１・・・清浄ユニット、
２・・・送風ケーシング、
２１・・・吸込み口
２４・・・送風機
３・・・吹出しチャンバー
３１・・・吹出し面
３２・・・高性能フィルター
４◆・・ベース。
以上
第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 内部に送風機を収納し、一側面下部に吸込み口を設けた
送風ケーシングと、このケーシングの上部に一側方に張
り出し、上記ケーシング内と連通しており、下面が吹出
し面であり、この吹出し面の上部に高性能フィルターを
配設した吹出しチャンバーとからなる清浄ユニットと、 この清浄ユニットのケーシングの下部に取り外し可能に
取り付けてあるベースと を具備する清浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60172521A JPS6233231A (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 | 清浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60172521A JPS6233231A (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 | 清浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6233231A true JPS6233231A (ja) | 1987-02-13 |
Family
ID=15943485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60172521A Pending JPS6233231A (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 | 清浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6233231A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6884158B1 (en) * | 1999-03-09 | 2005-04-26 | Biometron Ab | Placing unit for a human being |
-
1985
- 1985-08-07 JP JP60172521A patent/JPS6233231A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6884158B1 (en) * | 1999-03-09 | 2005-04-26 | Biometron Ab | Placing unit for a human being |
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