JP2005093794A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 吹出ユニット22内に遮蔽板25A、25B、25Cを備えることで、強制的に吹出ユニット22内の圧力の不均一を解消し、調圧することができる。さらに、かかる遮蔽板25A、25B、25Cによれば、従来のような大きな調圧スペースがなくても調圧することができる。このため、薄型化した吹出ユニット22であっても、吹出面24にわたって均一な風速の気体を吹出すことができる。よって、このような吹出ユニット22を備えた基板処理装置を提供することができる。
【選択図】 図3
Description
近年、基板処理装置は、基板処理ユニットを積層することで処理能力向上に伴うフットプリントの増大を抑え、さらに各ユニットを薄型化してさらに多段に搭載することで高密度化を図る傾向にある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、扁平な箱状体の中へ水平方向から導入した気体を、前記箱状体の下面にある吹出面を通じて下方に吹出す気体吹出手段と、前記気体吹出手段の下方に配置され、被処理基板に所定の処理を行う基板処理部とを備える基板処理装置において、前記気体吹出手段は、前記箱状体内の気体の水平方向の流路断面積に変化を与える遮蔽部材を前記吹出面に対向するように前記箱状体内部に備えていることを特徴とするものである。
一例として、邪魔板の有無によって吹出風速がどのように変わるかについて検証した結果を表1,2に示す。表1は、邪魔板を有しない吹出ユニットの吹出風速の測定結果を示した表であり、表2は、邪魔板を有する吹出ユニットの場合のものである。
22 …吹出ユニット
24 …吹出面
25A、25B、25C …邪魔板
27 …ULPAフィルタ
31 …ダクト
32 …メインダクト
33 …空調ユニット
W …基板
Claims (8)
- 扁平な箱状体の中へ水平方向から導入した気体を、前記箱状体の下面にある吹出面を通じて下方に吹出す気体吹出手段と、
前記気体吹出手段の下方に配置され、被処理基板に所定の処理を行う基板処理部と
を備える基板処理装置において、
前記気体吹出手段は、前記箱状体内の気体の水平方向の流路断面積に変化を与える遮蔽部材を前記吹出面に対向するように前記箱状体内部に備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記遮蔽部材は、前記箱状体内の気体の流路を部分的に遮蔽することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置において、
前記遮蔽部材は、気体の導入側から奥側に向けて、気体の流路を遮蔽する面積が徐々に大きくなることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記遮蔽部材は板状部材であることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項4に記載の基板処理装置において、
前記板状部材は、気体の導入側から奥側にかけて、所定の間隔で複数枚配設されることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から5のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記装置はさらに、前記気体吹出手段の吹出面に、ULPAフィルタまたはケミカルフィルタを備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から6のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記装置はさらに、前記気体吹出手段に気体を圧送する空調ユニットと、
前記空調ユニットと前記気体吹出手段とを連通接続する送風管路と
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項7に記載の基板処理装置において、
前記気体吹出手段は、複数個の前記基板処理部のそれぞれに、搭載されており、
前記各気体吹出手段に連通接続される各送風管路は、集約されて前記空調ユニットに連通接続されることを特徴とする基板処理装置。
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