JP2009174828A - 温調用ブース - Google Patents

Abstract

【課題】外部空間に対してブース空間の断熱性を充分確保できるとともに、温調用ブースの組み立て等に際して、作業性が良く、熱容量が比較的低く、比較的短時間で、所定の温調状態に到達することができる温調用ブースを提供する。
【解決手段】ブース本体の周部に配設されてブース空間を外部空間から仕切る仕切部材を備えた温調用ブースを構成するに、外部空間側に位置する外側部材とブース空間側に位置する内側部材とを有し、内部に空気流通空間を備えた二重仕切部材を採用し、二重仕切部材に、チャンバから温調空気が流入する流入口と、流入口から受入れられた温調空気を空気流通空間を介して流出する流出口とを備え、流出口から流出した温調空気を、温調対象の空気を吸込む空気温調装置の吸込口に戻す。
【選択図】図１

Description

本発明は、電子部品の組立等の各種作業を行う場所において、限られた必要箇所のみを所定の温度条件下の雰囲気に保持するために用いられる温調用ブースに関し、特に、十分な断熱性を備える温調用ブースに関するものである。

従来、電子部品の組立等の各種作業を所定の温度条件下で、しかも清浄な雰囲気の中で行うために用いられる温調用ブースとして、例えば、特許文献１に開示の温調用ブースが知られている。
この特許文献１に開示の技術は、安価に、必要な領域だけを簡単に低温とし、かつクリーン度を確保することができ、生産ラインの変更に際しても容易に対応して移設でき、さらに、低温条件でもブース域を仕切る仕切り部材の外表面に結露せず、内部の目視性を維持し、煩雑な結露水への対処を必要としない低温クリーンブースを提供することを目的としており、当該明細書図２に示すように、ブース域を決めるフレーム１と、該ブースの内外を仕切る可動性のある二重カーテン４とを備え、天井材３上に、空調ユニット１０とフィルターユニット８とを備え、二重カーテン４の外側ビニールカーテン４ａ、内側ビニールカーテン４ｂが互いに接触しないように、二重カーテン４の下部に可動性のある錘５を備えた。また、空調ユニット１０に外気を取り入れる調節可能なダンパー１３を設け、フレーム１の下部に車輪２を取り付けた構成とされている。

特開平１１−８３１０４号公報

しかしながら、この特許文献１に記載の技術では、簡便にクリーンブースを提供することができるが、内外シート材間に空間を形成された空間内の空気が流動しないことから該空間の温度が外部空間の温度によって変化することによりブース空間の温度が影響を受け、内外シート材間の空間が、外部空間の温度に大きく影響され断熱性が低下するという問題があった。

一方、ブース空間を囲う周壁を先に示したようなシート材で囲うことなく、フレーム組みされた構造枠体に、断熱性が高く組み立て容易な断熱パネルを組み付けて、温調用ブースとすることも行われている。
しかしながら、断熱パネルを使用する場合は、断熱パネル自体が比較的重いため温調用ブースの組み立ての作業性が良くない。さらに、断熱パネル自体がかなりの熱容量を有するため、初期始動時に、この断熱パネルの温度と温調用ブースに求められる温度とに差がある場合、断熱パネル自体の蓄熱を除去するのに長時間を要する等の問題があった。
本発明は、上記のような問題を解決するために考案されたものであり、外部空間に対してブース空間の断熱性を充分確保できるとともに、温調用ブースの組み立て等に際して、作業性が良く、さらに、熱容量が比較的低く、比較的短時間で、所定の温調状態に到達することができる温調用ブースを提供することを目的とする。

上記目的を達成するための、空気温調装置から温調後の温調空気が導入されるチャンバを有するブース本体と、
当該ブース本体の周部に配設されてブース空間を外部空間から仕切る仕切部材と、
前記空気温調装置からの温調空気が前記チャンバを介して前記ブース空間に導入される温調用ブースの特徴構成は、
前記仕切部材として、外部空間側に位置する外側部材とブース空間側に位置する内側部材とを有し、前記外側部材と内側部材との間に空気流通空間を備えた二重仕切部材を採用するとともに、
前記二重仕切部材に、前記チャンバから温調空気が流入する流入口と、前記流入口から受入れられた温調空気を空気流通空間を介して流出する流出口とを備え、
前記流出口から流出した温調空気を、温調対象の空気を吸込む空気温調装置の吸込口に戻す第１戻り路を備えたことにある。

この温調用ブースにあっては、仕切部材として内部に空気流通空間を備えた二重仕切部材を使用する。そして、空気温調装置、チャンバ、仕切部材内の空気流通空間及び第１戻り路を介して、温調空気が空気温調装置に戻る循環ルートが構成される。したがって、
この構成においては、ブース空間の周りに空気温調装置により温調された温調空気が流れる層が形成される。結果、ブース空間と外部空間との間において、断熱性を十分に保つことができる。さらに、仕切部材自体の熱容量が小さくなるため、初期始動時に、この仕切部材の温度と温調用ブースに求められる温度とに差がある場合も、仕切部材自体の蓄熱を早急に除去することができ、所謂、エイジング時間（初期ならし運転時間）を短くできる。さらに、仕切部材が軽量化できるため温調用ブースの組み立て性が良くなる。

さて、上記特徴構成を採用する場合に、前記ブース空間から、ブース空間内の温調空気を、温調対象の空気を吸込む空気温調装置の吸込口に戻す第２戻り路を、前記第１戻り路とは別個に備えておくことが好ましい。この構成を採用すると、ブース空間を介して流れる温調空気に対する、仕切部材内の空気流通空間を流れる温調空気の影響を極力低減でき、ブース空間の断熱性を良好に確保できる（温調に対する応答性が高くなる）。

一方、上記特徴構成を採用する場合に、前記流出口が、前記空気流通空間から前記ブース空間に空気流通空間内の空気を流出させる流出口であり、ブース空間内の温調空気を、温調対象の空気を吸込む空気温調装置の吸込口に戻す第３戻り路を備え、前記ブース空間と前記第３戻り路で前記第１戻り路が形成されている構成とすることも好ましい。
この構成の場合は、空気温調装置に独立の吸入口を備えることなく、比較的簡単な構成でシステムを構築できる。

さて、これまで説明してきた二重仕切部材が、前記外側部材としての外側パネルと前記内側部材としての内側パネルとを有し、前記外側パネルと内側パネルとの間に前記空気流通空間を備えて構成されるパネル部材であり、
前記ブース本体を構成する構造枠体に、前記パネル部材を組み付けた組付け状態で、前記流入口が前記チャンバに連通されるとともに、前記流出口が前記第１戻り路に連通されるものであることが好ましい。
仕切部材を外側パネルと内側パネルとを備えたパネル部材で構成することで、温調用ブースを堅牢なものとでき、さらに、このパネル部材内に形成された空気流通空間に温調空気を流して、断熱性を確保する等の本願目的を容易に達成できる。

また、前記外側パネル及び内側パネルの何れか一方又は両方に、前記空気流通空間に面して断熱材層を設けることで、仕切部材をさらに断熱性の高いものとできる。

また、前記チャンバが前記ブース本体の頂部に設けられるとともに、前記二重仕切部材の組付け状態で、前記二重仕切部材の流入口に連通接続される仕切部材用開口を前記チャンバに備え、
前記仕切部材用開口と前記流入口とが離間する離間状態において、前記仕切部材用開口から下向きに吹出す温調空気が、ブース空間と外部空間との間にエアーカーテンを形成する構成とすることで、仕切部材の一部、あるいは全部が仕切部材用開口から離間して、チャンバと仕切部材内の空気流通空間とが連通しない状態で、エアーカーテンによりブース空間と外部空間とを良好に仕切ることができる。

以下、本発明の温調用ブース１の実施の形態を。図面に基づいて説明する。
図１は、温調用ブース１の全体斜視図であり、図２は、図１のＩＩ−ＩＩ断面図を、図３に図１のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図を示している。この実施形態は、温調用ブース１の後側に空気温調装置２が設けられた例である。また、図４（ａ）は、左の仕切部材としての断熱パネル３と温調用ブースの構造枠体４との取り合い状態を示しており、図４（ｂ）は、扉５に備えられる仕切部材としての断熱パネル３と温調用ブースの構造枠体４との取り合い状態を示している。

温調用ブース１では、温調用ブース１内に形成されるブース空間６に、空気温調装置２からチャンバ７を介して温調後の温調空気が導入されるとともに、ブース空間６から温調空気が空気温調装置２に戻され、空気温調装置２内でさらに温調され、ブース空間６に再度導入される。従って、このシステムでは、空気温調装置２と温調用ブース１との間を、温調空気が順次温調を受けながら循環して、ブース空間６内の温湿度を目標とする温湿度状態に維持することができる。

空気温調装置２は、吸込口２ａから受入れた温調空気を、別途入力される目標温度・湿度に温度調整して吹出口２ｂから吹き出すように構成されている。具体的には、この空気温調装置２は、温調空気を一旦目標温度以下に冷却し、冷却後の温調空気を再度目標温度まで加熱して、所定の温度範囲内の温調空気を得るように構成されている。

温調用ブース１は、温調用クリーンブースとも呼ばれるものである。
図１等からも判明するように、温調用ブース１を成すブース本体８は、概略箱状に形成されており、該ブース本体８の頂部にチャンバ７が配設されるとともに、このチャンバ７の下側に、ブース空間６を外部空間９から仕切る仕切部材３に囲まれたブース空間６が形成されるように構成されている。ブース本体８の後側には、空気調整装置２が配置されており、正面側にブース空間６と外部空間９との間で、開閉する扉５が設けられている。ブース空間６の左右側面には、本願独特の構成の断熱パネル３により、ブース空間６と外部空間９とが仕切られている。さらに、扉５にも、本願独特の断熱パネル３が配設されている。これら断熱パネル３は、当該断熱パネル３をブース本体の構造枠体４に組み付けた組付け状態、あるいは、扉５が閉じられた閉状態で、断熱パネル３内に形成された空気流通空間１０に、空気調整装置２により温調された温調空気が流れるように構成されている。

図１、図２に示すように、この実施形態における温調用ブース１では、空気温調装置２で温調後の温調空気がファン１１の排出側に接続して設けられるダクト１２を介してチャンバ７内に導入され、チャンバ７を介して温調空気が、その下方に形成されているブース空間６に導入されるように構成されている。

チャンバ７は、図１〜図３に示されるように、概略箱状に構成されており、温調空気流れ上流側に配されて前記ダクト１２が接続される上流側チャンバ７ａと、温調空気流れ下流側に配される下流側チャンバ７ｂとが組み合わされてなるものである。
チャンバ７は、概略、下方に開放される箱状に形成されており、天板１３とチャンバ内の空間を四方から囲む側板１４とを有して構成さている。そして、チャンバ７の側板１４の上下方向中間部位には、フィルタ支持用枠体１５が設けられるとともに、その下側開放面に、吹出し面板支持用枠体１６が備えられている。

上流側チャンバ７ａと下流側チャンバ７ｂとの間には、集塵面１７ａを上流側チャンバ７ａに臨ませて、吹出し面１７ｂを下流側チャンバ７ｂに臨ませて、エアフィルタユニット１７が、前記フィルタ支持用枠体１５に支持される形態で介設されている。
こうして、空気温調装置２からダクト１２を介して上流側チャンバ７ａに導入された温調空気をエアフィルタユニット１７を通して浄化し、浄化された温調空気を下流側チャンバ７ｂ内に送り込むようにされている。

上記吹出し面板支持用枠体１６には、パンチングメタル（あるいは樹脂製ネット）よりなる吹出し面板１８が組み付けられるように構成されており、下流側チャンバ７ｂ内に導入される浄化された温調空気を、吹出し面板１８を介して、これまで説明してきたブース空間６に送り込むように構成されている。

次に、ブース空間６周りの構成に関して説明する。
このブース空間６の頂面は、先に説明した吹出し面板１８となり、その底面は、フロアー面１９となる。そして、吹出し面板１８の四辺周部には吹出し面板支持用枠体１６が位置され、この吹出し面板支持用枠体１６に対向する形態で、フロアー面側枠体２０が配設される構成とされている。
以下の説明では、理解を容易とするために、吹出し面板支持用枠体１６を「上枠体」と、フロアー面側枠体２０を「下枠体」と呼ぶ。図１に示すように上下一対の枠体１６，２０と、これら枠体をその四辺において接続する支持柱２１が備えられている。

上枠体１６は、中央側にブース空間６に連通する概略方形のブース用開口６ａを有する、概略方形の板枠体として構成されている。このブース用開口６ａの上には、先に説明したように吹出し面板１８が載置される。一方、ブース用開口６ａより外側部位には、後述する断熱パネル３内に形成される空気流通空間１０に連通するためのパネル用開口６ｂ（仕切部材用開口の一例）が設けられている。このパネル用開口６ｂは、左右の断熱パネル３に対応する開口に関しては前後方向に長い方形の開口として構成されており、扉５の断熱パネル３に対応する開口に関しては左右方向に長い方形の開口として構成されている。

一方、下枠体２０は、内部に、空気が流通可能な空気流通空間２２を形成可能な型材２３を、コの字型に組み付けて形成可能とされており、型材２３それぞれに備えられる空気流通空間２２が組付け状態で接続されて、空気温調装置２側に配設される両端部２２ａで、空気流通空間２２が開口するように構成されている。すなわち、下枠体２０は、コの字の両端部２２ａに開口を備え、３つの型材内の空気流通空間２２が全て連通するように構成されている。

さらに、図１から判明するように、下枠体２０は、それぞれの型材２３が、その上側に、それぞれパネル用開口６ｃを備えている。このパネル用開口６ｃは、上記上枠体１６に設けられる３つのパネル用開口６ｂに、それぞれ対応するものであり、左右の断熱パネル３に対応する開口が左右それぞれの型材２３に設けられ、扉５の断熱パネル３に対応する開口が前側に配設される型材２３に設けられる。そして、下枠体２０の空気流通空間２２の両端２２ａに位置する一対の開口は、それぞれ、空気温調装置２に設けられる吸込口２ａに接続されるように構成されている。

先に説明した断熱パネル３は、本願にいう二重仕切部材（仕切部材の一例）となるが、この断熱パネル３の構成に関して、以下、図２〜４に基づいて説明する。
断熱パネル３は、図４（ａ）に示すように、外側部材としての外側パネル３ａと内側部材としての内側パネル３ｂとを有し、これら外側パネル３ａと内側パネル３ｂとの間に、先に説明した空気流通空間１０が形成される構成となっている。そして、その断熱パネル３の長手方向端である上方向端には、チャンバから温調空気が流入する流入口３ｃが備えられるとともに、その下方向端には、流入口３ｃから受入れられた温調空気が空気流通空間１０を介して流出する流出口３ｄが備えられている。図２、３から判明するように、この断熱パネル３は、ブース本体８を構成する構造枠体（具体的には上枠体１６及び下枠体２０）に、当該断熱パネル３を組み付けた組付け状態で、あるいは、扉５が閉じられた閉状態で、流入口３ｃがチャンバ７に連通されるとともに、流出口３ｄが第１戻り路である下枠体２０内の空気流通空間２２に連通される構成が採用されている。
また、図４に示すように、これら外側パネル３ａ及び内側パネル３ｂの空気流通空間１０側に、それぞれ断熱材層２４を設けて構成されている。従って、この断熱パネル３は高い断熱性を有している。

以上の構成を採用することにより、本願に係る温調用ブース１では、扉５が閉じられた閉状態で、空気温調装置２、チャンバ７、ブース空間６を経て空気温調装置２へ戻る循環ルートが形成されるとともに、空気温調装置２、チャンバ７、断熱パネル３、下枠体２０を経て空気温調装置２に戻る循環ルートを備える構成とされている。本願では、後者の循環ルートにおいて、断熱パネル３に設けられる流出口３ｄから流出した温調空気を、空気温調装置２の吸込口２ａに戻す流路を第１戻り路と呼ぶ。一方、ブース空間６から、ブース空間６内の温調空気を、空気温調装置２の吸込口２ａに戻す流路を第２戻り路と呼ぶ。この実施形態では第２戻り路は、第１戻り路とは別個独立のものとされている。

このように、循環ルートを独立に２つ設け、ブース空間６を覆う形態で、チャンバ７、断熱パネル３の空気流通空間１０、下枠体２０の空気流通空間２２に渡って、温調空気を循環させることで、ブース空間６を確実に外部空間９から仕切り、その断熱性を向上させるとともに、ブース空間６の温調を良好に行うことができる。

さて、これまで説明してきたように、本願にあっては、温調用ブース１の正面に設けられている扉５が閉じられた閉状態において、扉５に備えられる断熱パネル３内の空気流通空間１０に温調空気を流すことで、ブース空間６の断熱性を確保することができる。但し、本願にあっては、扉５が開かれ、パネル用開口６ｂと断熱パネル３の流入口３ｃとが離れた位置にある離間状態においても、ブース空間１０と外部空間９との間のある程度の断熱性を確保することができる。すなわち、先にも説明したように、上枠体１６の前面には、扉５に備えられる断熱パネル３の空気流通空間１０に温調空気を流入させるための、正面視、左右方向に延びるパネル用開口６ｂが設けられている。このパネル用開口６ｂからは温調空気が下降するが、本願構造では、扉５が開状態とされた場合、このパネル用開口６ｂから温調空気が下向きに吹出し、ブース空間６と外部空間９との間にエアーカーテンを形成することとなる。従って、上述のように、扉５が閉状態にある場合のみならず、扉５が開状態にある場合も、ブース空間６、外部空間９間で所定の仕切性能を発揮することができる。

以上に述べたように構成される温調用ブース１においては、空気温調装置２によって所定の温度に調整された温調空気がダクト１２を介して上流側チャンバ７ａに導入される。
上流側チャンバ７ａに導入された温調空気はエアフィルタユニット１７を通過する際に浄化され、浄化された温調空気はエアフィルタユニット１７の吹出し面１７ｂから下流側チャンバ７ｂ内に吹き出される。
エアフィルタユニット１７の吹出し面１７ｂから下流側チャンバ７ｂ内に吹き出された温調空気は下方に流下し、その一部の温調空気が上枠体１６の三方の側面に設けられたパネル用開口６ｂを通って断熱パネル３内に導かれる。一方、残りの大部分の温調空気は吹出し面板１８からブース空間６に向けて均一な下降流として吹き出される。
そして、ブース空間６を下降した温調空気は、空気温調装置２に第２戻り路を介して戻される。一方、断熱パネル３内の空気流通空間１０を下降した温調空気は、第１戻り路である、コの字状の下枠体２０内に形成された空気流通空間２２を介して、空気温調装置２に戻される。
こうして、断熱パネル３内に設けられる空気流通空間１０内に温調空気を流下させることができるので、この空間１０の温度が外部空間９の温度によって変化することを確実に防止することができ、十分な断熱性を確保することができる。

〔別実施形態〕
（１） 上記の実施の形態にあっては、ブース空間を介する温調空気の循環ルートと、断熱パネル内の空気流通空間を介する温調空気の循環ルートとが、別々となっている例を示した。しかしながら、本願の趣旨からすると、断熱パネル内の空気流通空間を温調空気が流れればよく、その空気温調装置への戻りに関しては、ブース空間を介して戻ってもよい。このような例を図５、図６に示した。図５に示す例は、断熱パネルの下部にブース空間へ連通する開口を設けた例である。一方、図６に示した例は、下枠体の側部にブース空間へ連通する開口を設けた例である。これらの例にあっては、これら開口が空気流通空間からブース空間に空気流通空間内の空気を流出させる流出口となり、ブース空間内の温調空気を、空気温調装置の吸込口に戻す第３戻り路を備え、ブース空間と第３戻り路で本願にいう第１戻り路が形成されていることとなる。
（２） 上記の実施の形態では、空気温調装置と温調用ブースとが一体となっている例を示したが、空気温調装置と温調用ブースとが別体とされ、両者間が所定のダクト等で接続される構成を採用してもいっこうに構わない。
（３） 上記の実施の形態にあっては、仕切部材の例として、内部に断熱層、空気流通空間を備えた二重構造の断熱パネルの例を示したが、仕切部材としては、断熱層の有無、構成部材がパネルか否かを問うものではない。本願にあっては、仕切部材が内部に空気流通空間を備え、その流出口から空気温調装置に温調空気が戻されればよい。従って、パネルを使用することなく、例えば二重構造としたシート状部材を使用して、その中間に本願にいう空気流通空間を形成して仕切部材としてもよい。
（４） 上記の実施形態では、温調用ブースの前面に扉を設けるものとしたが、別途、ブース空間への出入りを確保できるのであれば、扉を設ける必要はない。例えば、仕切部材を二重シートから構成し、その二重シートをシート長手方向にカーテン状にずらせて出入りを確保できるものとしてもよい。この場合も、パネル用開口６ｂから流下する温調空気はエアーカーテンを形成することができる。
（５） 上記の実施形態では、チャンバを構成するに、その水平断面積がほぼ同一の上流側チャンバと、下流側チャンバとを設けたが、エアフィルタユニットが配設される上流側チャンバの断面積を下流側チャンバの断面積より小さくしておいてもよい。
（６） 上記の実施形態では、チャンバの下側にブース空間を配設する例を示し、断熱パネルにおいて、温調空気が空気流通空間内を鉛直下向きに流れる例を示したが、先に説明した支持柱に開口を設け、この支持柱内にチャンバより温調空気を導き、この開口から断熱パネル内に温調空気を導入するとともに、他方の端部から流出させるように構成し、温調空気がパネル内において水平方向に流れる構造を採用してもよい。

本発明の温調用ブースは、十分な断熱性を備えるという特性を有していることから、ブース空間の空気の一部を空気温調装置との間で循環させるようにした温調用クリーンブースに適している他、フィルタを配設しない温調用ブース（ブース空間の空気の一部を空気温調装置との間で循環させるようにしたものを含む）等の各種温調用ブース（恒温用ブースを含む）に広く適用できるものであって、これらを排除しないものである。

本願に係る温調用ブースの斜視図 図１のＩＩ−ＩＩ断面図 図１のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図 断熱パネルの取り付け構造を示す詳細図 本願の別実施形態の図２に対応する図 本願の更なる別実施形態の図２に対応する図

符号の説明

１ 温調用ブース
２ 空気温調装置
３ 断熱パネル（仕切部材・二重仕切部材）
３ａ 外側パネル
３ｃ 流入口
３ｄ 流出口
３ｂ 内側パネル
６ ブース空間
７ チャンバ
８ ブース本体
９ 外部空間
１０ 空気流通空間
１６ 吹出し面板支持用枠体（上枠体・構造枠体）
１７ エアフィルタユニット
２０ フロワー面側枠体（下枠体・構造枠体）
２２ 空気流通空間

Claims (6)

1. 空気温調装置から温調後の温調空気が導入されるチャンバを有するブース本体と、
   当該ブース本体の周部に配設されてブース空間を外部空間から仕切る仕切部材と、
   前記空気温調装置からの温調空気が前記チャンバを介して前記ブース空間に導入される温調用ブースであって、
   前記仕切部材として、外部空間側に位置する外側部材とブース空間側に位置する内側部材とを有し、前記外側部材と内側部材との間に空気流通空間を備えた二重仕切部材を採用するとともに、
   前記二重仕切部材に、前記チャンバから温調空気が流入する流入口と、前記流入口から受入れられた温調空気を空気流通空間を介して流出する流出口とを備え、
   前記流出口から流出した温調空気を、温調対象の空気を吸込む空気温調装置の吸込口に戻す第１戻り路を備えた温調用ブース。
2. 前記ブース空間から、ブース空間内の温調空気を、温調対象の空気を吸込む空気温調装置の吸込口に戻す第２戻り路を、前記第１戻り路とは別個に備えた請求項１記載の温調用ブース。
3. 前記流出口が、前記空気流通空間から前記ブース空間に空気流通空間内の空気を流出させる流出口であり、ブース空間内の温調空気を、温調対象の空気を吸込む空気温調装置の吸込口に戻す第３戻り路を備え、前記ブース空間と前記第３戻り路で前記第１戻り路が形成されている請求項１記載の温調用ブース。
4. 前記二重仕切部材が、前記外側部材としての外側パネルと前記内側部材としての内側パネルとを有し、前記外側パネルと内側パネルとの間に前記空気流通空間を備えて構成されるパネル部材であり、
   前記ブース本体を構成する構造枠体に、前記パネル部材を組み付けた組付け状態で、前記流入口が前記チャンバに連通されるとともに、前記流出口が前記第１戻り路に連通される請求項１〜３の何れか一項記載の温調用ブース。
5. 前記外側パネル及び内側パネルの何れか一方又は両方に、前記空気流通空間に面して断熱材層を設けた請求項４記載の温調用ブース。
6. 前記チャンバが前記ブース本体の頂部に設けられるとともに、前記二重仕切部材の組付け状態で、前記二重仕切部材の流入口に連通接続される仕切部材用開口を前記チャンバに備え、
   前記仕切部材用開口と前記流入口とが離間する離間状態において、前記仕切部材用開口から下向きに吹出す温調空気が、ブース空間と外部空間との間にエアーカーテンを形成する請求項１〜５の何れか一項記載の温調用ブース。

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