JP5899561B2 - 温調システム - Google Patents

Description

本発明は、空気温調機構から温調後の温調空気が導入されるチャンバを頂部に有するブース本体と、ブース本体の周囲部に配設されてブース空間を外部空間から仕切る仕切部材とを備え、ブース空間がチャンバの下方に配設され、温調後の温調空気がチャンバを介してブース空間の天井部からブース空間内に導入され、温調後の温調空気によりブース空間内を外部空間の温度よりも低い温度に温調する温調システムに関する。

かかる温調システムは、電子部品の組立や加工等の各種作業を所定の温度条件下で、しかも清浄な雰囲気の中で行うために、空気温調機構から温調後の温調空気をブース本体のブース空間内に導入して、当該ブース空間内を外部空間の温度よりも低い温度に温調するように構成されている。このようなブース空間は、ブース本体の周囲部に配設された仕切部材により外部空間から仕切られているものの、外部空間の温度変動による影響を受けて、ブース空間内の温度分布が不均一となるとともに、ブース空間内の温度も目標温調温度に迅速に安定せず、各種作業に悪影響を与える可能性がある。

そのため、特許文献１に開示の温調システムでは、ブース本体の周囲部に配設される仕切部材をブース空間の上部から吊り下げられた二重のシート材で構成し、当該二重のシート材を構成するシート材間にシート材間空間を形成して、当該二重のシート材及びシート材間空間によりブース空間と外部空間とを仕切る構成とされている。そして、ブース空間に導入される温調空気をシート材間空間にも導入することで、外部空間に対してブース空間を断熱するように構成されている。

また、特許文献２に開示の温調システムでは、ブース本体の周囲部に配設される仕切部材を、外側パネル部材と内側パネル部材との間に空気流通空間を備えた二重仕切部材で構成し、ブース空間に導入される温調空気を空気流通空間にも導入することで、外部空間に対してブース空間を断熱するように構成されている。

特開２００８−２７５２３３号公報 特開２００９−１７４８２８号公報

しかしながら、特許文献１及び２に開示の温調システムでは、外部空間とブース空間とをある程度断熱できるものの、外部空間からの熱を完全に断熱することはできず、外部空間の温度上昇により仕切部材の温度が上昇することに伴って、仕切部材の内壁面（ブース空間側の面）の近傍に存在するブース空間内の空気の温度も上昇する。この場合、当該空気が仕切部材の内壁面近傍で滞留したり、内壁面に沿って上昇気流が発生する虞がある。

ここで、かかる温調システムでは、温調後の温調空気はブース空間の天井部から導入され当該ブース空間内を鉛直下方に通流するため、ブース空間内の内壁面近傍に滞留する空気や内壁面に沿って上昇する上昇気流により、当該鉛直下方に通流する温調後の温調空気の流れが部分的に乱れる虞がある。例えば、図５（ｂ）の矢印で模式的に示すように、内壁面近傍においてブース空間の天井部から鉛直下方に通流する温調後の温調空気は、その他の箇所を通流する温調後の温調空気と比較して、内壁面近傍に発生した上昇気流等による影響を受けて鉛直下方側への流速が減少し、その流れが乱れる。

このように、ブース空間内の内壁面近傍において、温調後の温調空気の鉛直下方への流れが乱れると、ブース空間内を通流する温調後の温調空気の流速分布が不均一となり、結果、ブース空間内での温度分布が不均一となることは避けられない。特に、ブース空間内に導入される温調後の温調空気の流速が非常に遅い場合（例えば、０．０１〜０．１ｍ／ｓ程度）には、内壁面近傍に発生した上昇気流等がブース空間内を通流する温調後の温調空気の流速分布の不均一化に、非常に大きな影響を与えることとなる。

本発明は、かかる実情に鑑みてなされたものであり、ブース空間内の温度分布の均一化を簡便に図ることができる温調システムを提供することを目的とする。

上記目的を達成するための本発明に係る温調システムは、空気温調機構から温調後の温調空気が導入されるチャンバを頂部に有するブース本体と、前記ブース本体の周囲部に配設されてブース空間を外部空間から仕切る仕切部材とを備え、前記ブース空間が前記チャンバの下方に配設され、温調後の温調空気が前記チャンバを介して前記ブース空間の天井部から当該ブース空間内に導入され、温調後の温調空気により前記ブース空間内を前記外部空間の温度よりも低い温度に温調する温調システムであって、その特徴構成は、
前記仕切部材の内壁面の温度が、前記ブース空間を通過する温調後の温調空気の温度よりも低い温度となるように冷却する内壁面冷却機構を備えた点にある。

上記特徴構成によれば、仕切部材の内壁面の温度が、ブース空間を通過する温調後の温調空気の温度よりも低い温度となるように冷却する内壁面冷却機構を備えているので、外部空間の温度が上昇して仕切部材の温度が上昇しようとしても、仕切部材の内壁面の温度はブース空間を通過する温調後の温調空気の温度よりも常に低い温度に維持され、当該内壁面近傍の空気の温度も当該温調後の温調空気の温度よりも常に低い温度に維持することができる。
従って、外部空間の温度が上昇しても、ブース空間内に存在する空気、特に、仕切部材の内壁面近傍に存在する空気が、内壁面近傍に滞留したり内壁面に沿って上昇気流を発生することを良好に防止でき、内壁面近傍を鉛直下方に流れる温調後の温調空気の流れを乱すことが無くなる。
これにより、従来の温調システムに、上記内壁面冷却機構を設けるという非常に簡便な改良により、外部空間の温度が上昇しても、ブース空間内の内壁面近傍に存在する空気の滞留及び上昇気流の発生を確実に防止することができ、ブース空間内に導入され当該ブース空間内を天井部から鉛直下方に通流する温調後の温調空気の流速分布を均一化し、当該ブース空間内の温度分布を簡便且つ確実に均一化することができる。

本発明に係る温調システムの更なる特徴構成は、前記内壁面冷却機構が、内壁面冷却用媒体を冷却する媒体冷却部と、前記仕切部材の外側に配設されて当該仕切部材を前記外部空間から仕切り、前記仕切部材との隣接間に空間を形成する外側仕切部材と、前記媒体冷却部にて冷却した内壁面冷却用媒体を前記空間内に供給する供給機構とを備える点にある。

上記特徴構成によれば、外部空間と仕切部材との間に外側仕切部材を配設することで、仕切部材と外側仕切部材との隣接間に空間を簡便に形成することができ、しかも、この空間内に、仕切部材の内壁面の温度がブース空間を通過する温調後の温調空気の温度よりも低い温度となるように媒体冷却部にて冷却した内壁面冷却用媒体を、簡便な構成によって確実に供給することができる。これにより、従来からの空気温調機構の構成に加えて、主として、外側仕切部材を仕切部材の外側に配設するという非常に簡便且つ低コストな改良により、仕切部材の内壁面をブース空間を通過する温調後の温調空気の温度よりも低い温度に冷却して、ブース空間内の温度分布をより簡便且つより確実に均一化することができる。

本発明に係る温調システムの更なる特徴構成は、前記空気温調機構が、温調空気を冷却する冷却部と、当該冷却部にて冷却された温調空気を加熱して温調後の温調空気とする加熱部と、温調後の温調空気を前記チャンバに送風する送風ファンと、前記冷却部、前記送風ファン、前記加熱部及び前記チャンバを連通接続するメイン流路とを備え、
前記冷却部が前記内壁面冷却機構の媒体冷却部として機能するとともに、前記メイン流路における前記冷却部と前記加熱部との間から分岐して、前記冷却部の下流側と前記空間とを連通接続するバイパス路を備え、前記内壁面冷却機構が、前記冷却部にて冷却され前記加熱部にて加熱される前の温調空気を前記内壁面冷却用媒体として前記バイパス路を介して前記空間に供給するように構成されている点にある。

上記特徴構成によれば、空気温調機構の冷却部と内壁面冷却機構の媒体冷却部とを兼用することができ、内壁面冷却機構の構成、ひいては、温調システムの構成を簡便な構成とすることができ、ブース空間内の温度分布の均一化を図る際において、コストの低減、コンパクト化及びエネルギー消費の低減を図ることができる。
具体的には、ブース空間を温調後の温調空気により目標温調温度に温調する際には、メイン流路を通流する温調空気を、冷却部により冷却し、当該冷却された温調空気の一部を加熱部にて加熱して温調後の温調空気として、当該温調後の温調空気を送風ファンによりチャンバを介してブース空間内に導入することができる。これと同時に、仕切部材の内壁面の温度がブース空間を通過する温調後の温調空気の温度よりも低い温度になるように冷却する際には、メイン流路を通流し冷却部（媒体冷却部）にて冷却された温調空気の他部を、加熱部を通過させずにバイパス路を介して、仕切部材と外側仕切部材との隣接間に形成された空間内に供給することができる。
これにより、従来からの空気温調機構の構成に加えて、主として、外側仕切部材を仕切部材の外側に配設し、バイパス路を配設するという非常に簡便且つ低コストな改良により、ブース空間内の温度分布をより簡便且つより確実に均一化することができる。

本発明に係る温調システムの更なる特徴構成は、前記仕切部材が、板状のパネル部材で構成され、前記外側仕切部材が、合成樹脂製のシート状カーテンで構成されている点にある。

上記特徴構成によれば、仕切部材が板状のパネル部材で構成され、外側仕切部材が合成樹脂製のシート状カーテンで構成されているので、非常に簡便で且つ低コストに実現することができ、しかも、ブース本体への組立て性も非常に簡易な構成を採用することができる。

本発明に係る温調システムの更なる特徴構成は、前記外側仕切部材が、前記ブース本体の周囲部の全周に亘って配設されている点にある。

上記特徴構成によれば、外側仕切部材がブース本体の周囲部の全周に亘って配設されているので、外側仕切部材が仕切部材の外側をその全周に亘って囲繞する、即ち、外側仕切部材と仕切部材との間に形成される空間が仕切部材の外側をその全周に亘って囲繞することとなる。これにより、当該空間内に供給される内壁面冷却媒体により仕切部材の内壁面を全周に亘って、ブース空間を通過する温調後の温調空気の温度よりも低い温度に確実に維持することができる。従って、ブース空間内の温度分布を、より一層簡便且つより一層確実に均一化することができる。

本発明に係る温調システムの更なる特徴構成は、前記仕切部材が、良熱伝導性板部材により構成されている点にある。

上記特徴構成によれば、仕切部材が良熱伝導性板部材により構成されているので、仕切部材と外側仕切部材との間の空間に媒体冷却部にて冷却した内壁面冷却用媒体が供給されると、当該内壁面冷却用媒体の冷熱が良熱伝導性板部材に迅速且つ確実に伝熱されて、当該良熱伝導性板部材（仕切部材）の内壁面を迅速且つ確実に冷却することができる。

本願に係る温調システムの斜視図 図１のＩＩ−ＩＩ断面視図 図１のＩＩＩ−ＩＩＩ断面視図 （ａ）本願に係る温調システムにおける温度分布と経過時間との関係を示すグラフ図、（ｂ）ブース空間内における温調後の温調空気の上下方向での流速を概略的に示す模式図 （ａ）従来の温調システムでの温度分布と経過時間との関係を示すグラフ図、（ｂ）ブース空間内における温調後の温調空気の上下方向での流速を概略的に示す模式図

以下、本発明の温調システム５０の実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１〜図３に示すように、本発明に係る温調システム５０は、温調後の温調空気Ｐによりブース空間５内を外部空間４０の温度よりも低い温度に温調する空気温調機構１と、空気温調機構１から温調後の温調空気Ｐが導入されるチャンバ４を頂部に有するブース本体２と、ブース本体２の周囲部に配設されてブース空間５を外部空間４０から仕切る板状のパネル部材（仕切部材の一例）６と、パネル部材６の内壁面６ａの温度が、ブース空間５を通過する温調後の温調空気Ｐの温度よりも低い温度となるように冷却する内壁面冷却機構Ａと、温調システム５０の運転を制御する制御部（図示せず）とを備える。
温調システム５０は、概略直方体形状に形成されて、前方側にブース本体２が配置され、後方側に空気温調機構１が配置される。

ブース本体２は、ブース本体２の上下、左右、及び前後側が閉塞された概略直方体形状に形成され、前後及び左右の四方の周囲部は板状のパネル部材６（本実施形態では、４枚）により囲繞されている。これらパネル部材６により囲繞されたブース本体２の内部には、頂部に箱状のチャンバ４が形成され、このチャンバ４の下方に箱状のブース空間５が形成されている。後方側のパネル部材６には、チャンバ４に連通する上方側の位置に、空気温調機構１から送風される温調後の温調空気Ｐを導入可能な導入口７が形成され、ブース空間５に連通する下方側の位置に、ブース空間５内の温調空気を空気温調機構１に戻すことが可能な導出口８が形成されている。なお、導入口７は、上流側チャンバ４Ａの左右方向幅の全域にわたって概略長方形状に開口しており、導出口８は、ブース空間５の左右方向の中央位置において、当該ブース空間５の左右方向幅の３分の２程度にわたって概略長方形状に開口している。また、前方側のパネル部材６には、人間等が外部空間４０側とブース空間５側との間を出入り可能な一対の扉９を備えている。

ブース本体２には、複数の孔１０ａを備えたパンチングメタル（或いは樹脂ネット等）等の吹き出し面板１０が、チャンバ４とブース空間５とを区画するように配設され、温調後の温調空気Ｐをチャンバ４側から複数の孔１０ａを介してブース空間５側に均一に整流した状態で通流可能に構成されている。従って、ブース空間５の天井部５ａは吹き出し面板１０により構成されている。
チャンバ４内は、導入口７に連通する上流側チャンバ４Ａと、上流側チャンバ４Ａの下方側に位置して吹き出し面板１０側に位置する下流側チャンバ４Ｂとを備えている。上流側チャンバ４Ａと下流側チャンバ４Ｂとの間には、複数のエアフィルタユニット１１を支持するフィルタ支持枠体１２が設けられている。エアフィルタユニット１１は、例えば、所謂ＵＬＰＡフィルタ等のフィルタで構成され、上流側チャンバ４Ａから下流側チャンバ４Ｂに通流する温調後の温調空気Ｐから塵埃等を除去して浄化するように構成されている。

空気温調機構１は、基本的に、ブース本体２の導出口８から受入れた温調空気を、目標温調温度（例えば、２３℃）及び目標湿度に温度調整してブース本体２の導入口７から吹き出すように構成されている。具体的には、この空気温調機構１は、温調空気を冷却部２０にて一旦目標温調温度（例えば、２０℃）以下に冷却し、冷却後の温調空気を加熱部２１にて再度目標温調温度（例えば、２３℃）まで加熱して、所定の温度範囲内の精密に温調した温調後の温調空気Ｐを得るように構成されている。

空気温調機構１は、温調空気を冷却する冷却部２０と、当該冷却部２０にて冷却された温調空気を加熱して温調後の温調空気Ｐとする加熱部２１と、温調後の温調空気Ｐをチャンバ４に送風する送風ファン２２とを備え、ブース空間５の導出口８、冷却部２０、送風ファン２２、加熱部２１及び上流側チャンバ４Ａの導入口７を記載順に連通接続するメイン流路２３とを備えている。
従って、温調後の温調空気Ｐは、メイン流路２３を通流し、ブース本体２の導入口７、上流側チャンバ４Ａ、フィルタユニット１１、下流側チャンバ４Ｂ、複数の孔１０ａ、ブース空間５、導出口８の順に通流して、再度、空気温調機構１内のメイン流路２３に戻り、空気温調機構１内でさらに温調され、ブース空間５に再度導入される。よって、この温調システム５０では、空気温調機構１とブース本体２との間を、温調空気が順次温調を受けながら循環して、ブース空間５内の温湿度を目標とする温湿度状態に維持することができる。

空気温調機構１の冷却部２０は、図示しないが、公知の圧縮機、凝縮器、膨張弁、蒸発器等を備えた冷凍回路により構成されており、ブース本体２の導出口８から空気温調機構１内に導入された温調空気を当該蒸発器にて適切に冷却可能に構成されている。なお、当該冷凍回路を通流する冷媒の温熱により、蒸発器にて冷却した温調空気を適切に加熱する再熱器を設ける構成としてもよい。
また、本実施形態では、加熱部２１は、公知の電気ヒータにより構成されているが、温調空気を適切に加熱することができる構成であれば、その他の加熱手段を採用することができる。

次に、本発明に係る温調システムの特徴的な構成について説明する。
空気温調機構１には、メイン流路３２における送風ファン２２と加熱部２１との間に、冷却部２０にて冷却され加熱部２１にて加熱される前の温調空気が通過する通過空間２４が形成されている。当該通過空間２４の上流側（下部）は、送風ファン２２の吹き出し口（図示せず）以外の部分を閉塞する閉鎖部材２５により閉鎖されており、下流側（上部）は加熱部２１に連通する部位と後述する第２ダクト３０Ｂに連通する部位とに分岐されている。従って、詳細は後述するが、第２ダクト３０Ｂが、メイン流路３２における冷却部２０と加熱部２１との間から分岐するバイパス路３１の一部として機能する。なお、第２ダクト３０Ｂは、空気温調機構１の左右方向の中央部において、左右方向の幅の３分の１程度にわたって概略長方形状に形成されている。

ブース本体２には、平面視で略ロ字形状の第１ダクト３０Ａが、各パネル部材６における上部の外側、即ち、上流側チャンバ４Ａに開口する導入口７の下方で且つブース空間５の天井部５ａ（吹き出し面板１０の下端部）の上方に対応する位置に、各パネル部材６の外側に向けて突出形成された状態で配設されている。更に、第１ダクト３０Ａのうち後方側に位置する部位には、当該部位から後方側に空気温調機構１内に延出し、後方端が下方側に延出する第２ダクト３０Ｂを備えている。
上述の通り、第２ダクト３０Ｂの一端側は、空気温調機構１の通過空間２４に連通するように配設されており、第１ダクト３０Ａ及び第２ダクト３０Ｂ内に形成される流路が、バイパス流路３１として機能する。第１ダクト３０Ａの下方側壁面には、略等間隔に複数の貫通孔３０ａが形成されており、それら複数の貫通孔３０ａの開口面積を増減させることができるホールプラグ等の通流量調整機構（図示せず）が設けられている。

本体ブース２の四方周囲部に配置されたパネル部材６は、良熱伝導性板部材の一例であるアルミ板により構成され、図示しない支柱や枠部材に組み付け固定されている。

ブース本体２には、塩化ビニル樹脂製（合成樹脂製の一例）のシート状カーテン（外側仕切部材の一例）３２が、パネル部材６の上部から外側に突出する第１ダクト３０Ａの下部外端縁から、鉛直下方に吊り下げ状態で配設されている。従って、シート状カーテン３２がパネル部材６の外側をその全周に亘って囲繞する、即ち、シート状カーテン３２とパネル部材６との間に形成される冷却用空間（空間の一例）３４がパネル部材６の外側をその全周に亘って囲繞することとなる。これにより、冷却部２０にて冷却された通過空間２４に存在する温調空気のうちの一部を加熱部２１に供給してブース空間５に供給し、温調空気のうちの他部（内壁面冷却用空気Ｑ）を、第２ダクト３０Ｂ、第１ダクト３０Ａ内のバイパス路３１に通流させ、貫通孔３０ａを介して冷却用空間３４に供給できるように構成されている。

従って、冷却部２０にて冷却され加熱部２１にて加熱される前の通過空間２４に存在する温調空気のうちの他部を内壁面冷却用空気Ｑとし、空気温調機構１の冷却部２０を内壁面冷却機構Ａの媒体冷却部Ａ１とし、シート状カーテン３２を内壁面冷却機構Ａの外側仕切部材とし、送風ファン２２、第１ダクト３０Ａ及び第２ダクト３０Ｂを内壁面冷却機構Ａの供給機構Ａ２として機能させることができる。

シート状カーテン３２の吊り下げは、シート状カーテン３２の上端部に、第１ダクト３０Ａの下部外端縁（図示せず）に取り付けられた複数のフック部材３３を接続することにより行われ、シート状カーテン３２の下端部と床面（図示せず）とは若干の隙間（図示せず）が形成された状態となっている。なお、冷却用空間３４に供給された温調空気の他部（内壁面冷却用空気Ｑ）は、シート状カーテン３２の下部に形成された隙間から外部空間４０に排出されるため、図示しないが、当該排出される温調空気の他部（内壁面冷却用空気Ｑ）の流量に相当する量の空気を、外部空間４０から空気温調機構１のメイン流路３２内に導入可能に構成されている。また、シート状カーテン３２の下端部には、シート状カーテン３２の揺動を防止するための錘体３５が設けられている。なお、シート状カーテン３２のうち少なくとも前方側に配設されるシート状カーテン３２は、前方側に配置されるパネル部材６における扉９の開閉を阻害しないように、左右方向に２分割されている。

このように構成された温調システム５０の運転動作について説明する。
制御部にて外部空間４０の温度よりも低い目標温調温度（例えば、２３℃）が設定されて温調システム５０の運転が開始されると、空気温調機構１（内壁面冷却機構Ａも含む）が作動して、温調空気が冷却部２０にて目標温調温度よりも低い温度（例えば、２０℃）に冷却されて送風ファン２２により通過空間２４内に供給される。そして、当該冷却部２０により冷却された温調空気の一部は、加熱部２１にて目標温調温度にまで加熱され温調後の温調空気Ｐとして、導入口７を介してチャンバ４内に導入される。チャンバ４に導入された温調後の温調空気Ｐは、フィルタユニット１１にて浄化されながら、上流側チャンバ４Ａ及び下流側チャンバ４Ｂを通流し、吹き出し面板１０の複数の孔１０ａを通過する際に均一に整流されてブース空間５の天井部５ａからブース空間５内に導入される。ブース空間５内を通流する温調空気Ｐは、天井部５ａから鉛直下方側に向かって通流し、ブース空間５の下部に設けられた導出口８を介して、再度、空気温調機構１の冷却部２０にて冷却される。これにより、精密に温調された温調後の温調空気Ｐによりブース空間５内を目標温調温度に精密に温調できる。

また、ブース空間５内の目標温調温度への温調と同時に、冷却部２０にて目標温調温度よりも低い温度（例えば、２０℃）に冷却された温調空気の他部（内壁面冷却用空気Ｑ）は、加熱部２１にて加熱されない状態で、送風ファン２２により第１ダクト３０Ａ及び第２ダクト３０Ｂ内のバイパス流路３１及び貫通孔３０ａを介して冷却用空間３４内に供給される。冷却用空間３４内に供給された温調空気の他部（内壁面冷却用空気Ｑ）はブース空間５の目標温調温度（例えば、２３℃）よりも常に低い温度であるため、当該冷却用空間３４の内側に位置するパネル部材６（特に、パネル部材６の内壁面６ａ）の温度が、当該目標温調温度よりも低い温度（例えば、２０℃）に常に維持される。なお、当該冷却用空間３４内に供給する温調空気の他部（内壁面冷却用空気Ｑ）の温度及び流量は、冷却部２０の出力及び通流量調整機構による貫通孔３０ａの開度調整等により、適宜調整することができる。

よって、温調システム５０によれば、外部空間４０の温度が上昇してパネル部材６の温度が上昇しようとしても、パネル部材６の内壁面６ａの温度はブース空間５を通過する温調後の温調空気Ｐの温度よりも常に低い温度に維持され、当該内壁面６ａ近傍の空気の温度も当該温調後の温調空気Ｐの温度よりも常に低い温度に維持することができる。
従って、外部空間４０の温度が上昇しても、ブース空間５内に存在する空気、特に、パネル部材６の内壁面６ａ近傍に存在する空気が、内壁面６ａ近傍に滞留したり内壁面６ａに沿って上昇気流を発生することを良好に防止でき、内壁面６ａ近傍を鉛直下方に流れる温調後の温調空気Ｐの流れを乱すことが無くなる。特に、ブース空間５の天井部５ａから導入される温調後の温調空気Ｐの鉛直下方への流速が非常に遅い場合（例えば、０．０１〜０．１ｍ／ｓ程度）には、内壁面６ａ近傍に発生した上昇気流等がブース空間５内を通流する温調後の温調空気Ｐの流速分布の均一化に、非常に大きな悪影響を与えることがあるが、このよう場合であっても、内壁面６ａ近傍に上昇気流等が発生することを確実に防止できているので、内壁面６ａ近傍を鉛直下方に流れる温調後の温調空気Ｐの流れを乱すことが無い。

また、外部空間４０とパネル部材６との間にシート状カーテン３２を配設することで、パネル部材６とシート状カーテン３２との隣接間に冷却用空間３４を簡便に形成することができ、しかも、この冷却用空間３４内に、パネル部材６の内壁面６ａの温度がブース空間５を通過する温調後の温調空気Ｐの温度よりも低い温度となるように冷却した内壁面冷却用空気Ｑを、簡便な構成によって確実に供給することができる。
更に、空気温調機構１の冷却部２０と内壁面冷却機構Ａの媒体冷却部Ａ１とを兼用することができ、内壁面冷却機構Ａの構成、ひいては、温調システム５０の構成を簡便な構成とすることができ、ブース空間５内の温度分布の均一化を図る際において、コストの低減、コンパクト化及びエネルギー消費の低減を図ることができる。
加えて、パネル部材６が良熱伝導性板部材であるアルミ板により構成されているので、パネル部材６とシート状カーテン３２との間の冷却用空間３４に内壁面冷却用空気Ｑが供給されると、当該内壁面冷却用空気Ｑの冷熱がパネル部材６に迅速且つ確実に伝熱されて、当該パネル部材６の内壁面６ａを迅速且つ確実に冷却することができる。

〔実施例〕
上記温調システム５０の効果を実証するために、温調システム５０を運転し、ブース空間５内の複数の箇所における温度が時間経過とともにどのように変化するかを計測した。

温度計測した複数の箇所は、ブース空間５の上下方向の中間に位置する平面上の任意の８箇所とした。ブース空間５の目標温調温度（温調後の温調空気Ｐの温度）は２３℃とし、冷却用空間３４の目標温度（内壁面冷却用空気Ｑの温度）は２０℃とした。なお、図４（ａ）の経過時間は、運転開始からの経過時間ではなく、運転状態がある程度定常化した時点からの経過時間である。

その結果、図４（ａ）に示すように、時間が経過しても（時間が経過すると、外部空間４０の温度が変動し、パネル部材６及びブース空間５の温度の上昇或いは下降が生じ得るが）、ブース空間５内の複数の箇所の温度（８箇所）は、何れも目標温調温度である２３℃に対して±０．０５℃の範囲内に制御されていることが判明した。
これは、パネル部材６の内壁面６ａが、内壁面冷却用空気Ｑによりブース空間５を流れる温調後の温調空気Ｐの温度よりも低い２０℃程度（実際の計測結果は、２０℃であった）に常に冷却されているため、ブース空間５内、特に、パネル部材６の内壁面６ａの近傍に存在する空気も同様に冷却され、当該空気が内壁面６ａ近傍で滞留したり上昇気流の発生が確実に防止されていることによるものと考えられる。つまり、図４（ｂ）の矢印で模式的に示すように、ブース空間５内を鉛直下方に通流する温調後の温調空気Ｐの流れを乱すことなく、当該温調後の温調空気Ｐの上下方向での流速を均一に維持できていることにより、ブース空間５内の温度分布が均一に維持されていることによると考えられる。
よって、実施例に係る温調システム５０では、ブース空間５内に導入される流速が非常に遅い場合でも、外部空間４０の温度変化（特に温度上昇）による影響を受けずに、ブース空間５内の温度分布を均一化することができ、結果として、ブース空間５内の温度を目標温調温度に非常に精密（誤差が、±０．０５℃以内）に安定させることができた。

〔比較例〕
上記実施例に係る温調システム５０において、内壁面冷却機構Ａを備えない構成、即ち、空気温調機構１により目標温調温度に温調された温調後の温調空気Ｐをブース空間５内に導入するだけの従来の温調システムを運転し、ブース空間５内の複数の箇所における温度が時間経過とともにどのように変化するかを計測して、比較例とした。

その結果、図５（ａ）に示すように、ブース空間５内の複数の箇所の温度（８箇所）は、計測時間中、何れも目標温調温度である２３℃に対して±０．２℃の範囲内で変動することが判明した。
これは、時間の経過とともに外部空間４０の温度が変動（特に、上昇）し、外部空間４０の温度上昇によりパネル部材６の内壁面６ａの温度が上昇することに伴って、パネル部材６の内壁面６ａの近傍に存在するブース空間５内の空気の温度も上昇して、当該空気がパネル部材６の内壁面６ａ近傍で滞留したり、内壁面６ａに沿って上昇気流が発生したことによるものと考えられる。つまり、図５（ｂ）の矢印で模式的に示すように、内壁面６ａ近傍においてブース空間５の天井部５ａから鉛直下方に通流する温調後の温調空気Ｐは、その他の箇所を通流する温調後の温調空気Ｐと比較して、内壁面６ａ近傍に発生した上昇気流等による影響を受けて鉛直下方側への流速が減少し、その流れが乱れ、当該温調後の温調空気Ｐの上下方向での流速が不均一となり、ブース空間５内の温度分布が不均一になったことによると考えられる。
よって、比較例に係る従来の温調システムでは、外部空間４０の温度変化（特に温度上昇）による影響を大きく受けて、ブース空間５内の温度分布が不均一となり、結果として、ブース空間５内の温度が目標温調温度に精密に安定させることが困難であった（誤差は、±０．２℃）。

〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、空気温調機構１を内壁面冷却機構Ａとしての機能を備えるように構成して、冷却部２０を媒体冷却部Ａ１としても機能させる等、両機構の構成を兼用したが、空気温調機構１と内壁面冷却機構Ａとをそれぞれ別の温調機構により構成することもできる。この場合、内壁面冷却機構Ａとして機能する温調機構は、仕切部材としてのパネル部材６の内壁面６ａを良好に冷却することができる構成であれば、内壁面冷却用媒体として、内壁面冷却用空気等の気体を用いる構成とすることもでき、また、内壁面冷却用水等の液体を用いる構成とすることもできる。

（２）上記実施形態では、空気温調機構１のメイン流路２３からブース空間５内に導入された温調後の温調流体Ｐを、導出口８を介して再度、空気温調機構１内にて冷却されるように循環させたが、当該温調後の温調流体Ｐを、ブース空間５内から外部空間４０に排出して循環しないように構成することもできる。この場合、空気温調機構１は外部空間４０からの空気を温調空気として冷却及び加熱する構成となる。

（３）上記実施形態では、空気温調機構１とブース本体２とがメイン流路２３の一部を構成するダクトで接続される構成としたが、空気温調機構１とブース本体２とを一体とする構成を採用してもよい。

（４）上記実施形態では、仕切部材としてのパネル部材６を良熱伝導性板部材であるアルミ板により構成する例について説明したが、その他の鉄や樹脂等の良熱伝導性板部材を採用することもでき、また、二重の鉄板間にスポンジ状の断熱部材を挟んだ構造の断熱パネル部材を採用することもできる。

（５）上記実施形態では、外側仕切部材として塩化ビニル樹脂製（合成樹脂製の一例）のシート状カーテン３２を採用したが、パネル部材６との間に冷却用空間３４を良好に形成することができる構成であれば、その他の合成樹脂を採用することもでき、また、複数の短冊状の部材を複数用いてシート状に形成してもよく、更には、必要に応じてパネル部材６の外側の一部のみを囲繞するようにシート状カーテン３２を設ける構成としてもよい。

（６）上記実施形態では、ブース本体の前面に扉９を設けるものとしたが、その他の箇所に扉９を設けてもよく、また、別途、ブース空間への出入りを確保できるのであれば、扉９を設けなくてもよい。

（７）上記実施形態では、チャンバ４を構成するに、その水平断面積がほぼ同一の上流側チャンバ４Ａと、下流側チャンバ４Ｂとを設けたが、当該水平断面積を異なるように構成してもよい。

本発明の温調システムは、ブース空間内の温度分布の均一化を簡便に図ることができる温調システムを提供できる。

１ 空気温調機構
２ ブース本体
４ チャンバ
５ ブース空間
５ａ 天井部
６ パネル部材（仕切部材）
６ａ 内壁面
２０ 冷却部
２１ 加熱部
２２ 送風ファン
２３ メイン流路
３０ａ 貫通孔
３１ バイパス流路
３２ シート状カーテン（外側仕切部材）
３４ 冷却用空間（空間）
４０ 外部空間
５０ 温調システム
Ａ 内壁面冷却機構
Ａ１ 媒体冷却部
Ａ２ 供給機構
Ｐ 温調後の温調空気
Ｑ 内壁面冷却用空気（内壁面冷却用媒体）

Claims (6)

1. 空気温調機構から温調後の温調空気が導入されるチャンバを頂部に有するブース本体と、前記ブース本体の周囲部に配設されてブース空間を外部空間から仕切る仕切部材とを備え、前記ブース空間が前記チャンバの下方に配設され、温調後の温調空気が前記チャンバを介して前記ブース空間の天井部から当該ブース空間内に導入され、温調後の温調空気により前記ブース空間内を前記外部空間の温度よりも低い温度に温調する温調システムであって、
   前記仕切部材の内壁面の温度が、前記ブース空間を通過する温調後の温調空気の温度よりも低い温度となるように冷却する内壁面冷却機構を備えた温調システム。
2. 前記内壁面冷却機構が、内壁面冷却用媒体を冷却する媒体冷却部と、前記仕切部材の外側に配設されて当該仕切部材を前記外部空間から仕切り、前記仕切部材との隣接間に空間を形成する外側仕切部材と、前記媒体冷却部にて冷却した内壁面冷却用媒体を前記空間内に供給する供給機構とを備える請求項１に記載の温調システム。
3. 前記空気温調機構が、温調空気を冷却する冷却部と、当該冷却部にて冷却された温調空気を加熱して温調後の温調空気とする加熱部と、温調後の温調空気を前記チャンバに送風する送風ファンと、前記冷却部、前記送風ファン、前記加熱部及び前記チャンバを連通接続するメイン流路とを備え、
   前記冷却部が前記内壁面冷却機構の媒体冷却部として機能するとともに、前記メイン流路における前記冷却部と前記加熱部との間から分岐して、前記冷却部の下流側と前記空間とを連通接続するバイパス路を備え、前記内壁面冷却機構が、前記冷却部にて冷却され前記加熱部にて加熱される前の温調空気を前記内壁面冷却用媒体として前記バイパス路を介して前記空間に供給するように構成されている請求項２に記載の温調システム。
4. 前記仕切部材が、板状のパネル部材で構成され、前記外側仕切部材が、合成樹脂製のシート状カーテンで構成されている請求項２又は３に記載の温調システム。
5. 前記外側仕切部材が、前記ブース本体の周囲部の全周に亘って配設されている請求項２〜４のいずれか一項に記載の温調システム。
6. 前記仕切部材が、良熱伝導性板部材により構成されている請求項２〜５のいずれか一項に記載の温調システム。

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