KR101184317B1 - 물품 수납 설비 - Google Patents

Abstract

본 발명은 정화 공기 통풍 수단에 의해 유동되는 정화 공기의 풍력이 작아도 물품 수납부를 먼지가 적은 환경으로 유지하기 용이한 물품 수납 설비를 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명에 의하면, 물품 수납 선반(S)에서의 물품 수납부(14)는 공기 유동 불가능한 상태로 구획되고, 또한 반송차 이동 공간(15)은 공기 유동 가능한 상태에 연통되는 형태로, 물품 수납부(14)의 아래쪽에 물품 수납 선반(S)의 선반 가로 폭 방향의 전체 길이 또는 실질적으로 전체 길이에 걸쳐서 형성되는 공기 유동 공간(31)과, 물품 반송차(V)의 주행 방향에서 볼 때, 주행 대차(V)에서의 차량 가로 폭 방향의 단부 측 부분의 상부의 높이보다 위쪽에 위치하고, 또한 공기 유동 공간(31)의 상단 측에서의 반송차 이동 공간(15) 측의 단부로부터 반송차 이동 공간(15) 내에 돌출한 상태로, 물품 수납 선반(S)의 선반 가로 폭 방향의 전체 길이 또는 실질적으로 전체 길이에 걸친 상태로 형성된 공기 안내체(37)를 설치하고, 주행 대차(44)의 차량 주행 방향의 양 단부에서 공기가 출입 가능하도록 개구되고, 또한 그 양단의 개구부 사이를 공기가 유동 가능하게 연통되는 공기 유통로(52)를, 주행 대차(44)에 형성한다.

Description

물품 수납 설비{ARTICLE STORAGE FACILITY}

본 발명은, 복수의 물품 수납부를 구비하는 물품 수납 선반과, 상기 물품 수납 선반의 전방의 반송차 이동 공간에서의 마루부를 주행하는 주행 대차와 상기 주행 대차에 대하여 승강 가능하게 지지된 물품 이송 탑재 장치를 구비하는 물품 반송차와, 정화 공기를 상기 물품 수납부의 뒤쪽으로부터 상기 반송차 이동 공간을 향해 상기 물품 수납부를 통과하도록 유동시키고, 또한 정화 공기를 상기 반송차 이동 공간 내의 아래쪽으로 유동시킨 후 배기부로부터 배기하도록 유동시키는 정화 공기 통풍 수단이 설치된 물품 수납 설비에 관한 것이다.

전술한 바와 같은 물품 수납 설비는, 물품 반송차를 물품 수납 선반의 선반 가로 폭 방향을 따라 주행시키고, 또한 물품 이송 탑재 장치를 상하 방향으로 승강시켜서, 반도체 제품이나, 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이에 사용되는 유리 기판 등의 액정 표시 소자 등을 적층 상태로 수납하는 용기 등의 물품을, 물품 수납부와, 반도체 제품이나 액정 표시 소자 등에 대하여 처리를 행하는 물품 처리 장치 사이에서 반송한다.

그리고, 정화 공기 통풍 수단을 설치하여, 정화 공기를 물품 수납부의 뒤쪽 으로부터 반송차 이동 공간을 향해 물품 수납부를 통과하도록 유동시키고, 또한 반송차 이동 공간 내의 아래쪽으로 유동시킨 후 배기부로부터 배기하도록 유동시킴으로써 반송차 이동 공간에서 물품 반송차가 주행함으로써 마루부로부터 휩쓸려 상승한 먼지가 반송차 이동 공간으로부터 물품 수납부 측으로 쉽게 역류하지 않도록 함으로써 물품 수납부를 먼지가 적은 환경으로 유지하도록 구성되어 있다(예를 들면, 일본 특허출원 공개번호 2003-81406호를 참조).

물품 수납 설비에는, 상기 물품 수납 선반에서의 상기 물품 수납부에 대하여 공기 유동이 불가능하도록 구획하고, 또한 상기 반송차 이동 공간에 대해서는 공기 유동 가능한 상태에서, 상기 물품 수납부의 아래쪽에서 상기 물품 수납 선반의 선반 가로 폭 방향의 실질적으로 전체 길이에 걸쳐서 형성된 공기 유동 공간을 포함하는 것이 있다. 또한, 상기 물품 반송차의 주행 방향에서 볼 때, 상기 주행 대차에서의 차량 가로 폭 방향의 단부 측 부분의 상부의 높이와 같은 높이 또는 그보다 위쪽으로 위치하고, 또한 선반 전후 방향에서 상기 반송차 이동 공간의 일단 영역으로부터 상기 반송차 이동 공간 내에 돌출한 상태에서, 상기 물품 수납 선반의 선반 가로 폭 방향의 실질적으로 전체 길이에 걸쳐서 형성된 공기 안내체가 설치된 것이 있다.

공기 유동 공간을 형성함으로써, 물품 반송차가 주행할 때 주행 대차의 주행 방향 전방 측에서 압축 상태로 된 정화 공기가 주행 대차의 옆쪽의 공기 유동 공간으로 용이하게 유동하고, 정화 공기가 주행 대차의 상부 측을 유동하는 것에 기인한 주행 대차의 전방 측에서 먼지가 휩쓸려 상승하는 것이 억제된다.

또한, 공기 안내체를 설치함으로써, 상부 측으로부터 공기 안내체의 위쪽으로 정화 공기가 쉽게 유동하지 않도록 하여, 물품 반송차의 주행에 의해 공기 유동 공간으로 유동한 정화 공기의 기류가 흐트러지는 것에 기인하는 주행 대차의 횡측이나 후방 측에서 먼지가 휩쓸려 상승하는 것을 억제한다. 따라서, 정화 공기 통풍 수단에 의해 유동되는 정화 공기의 풍력이 작아도, 물품 수납부가 먼지가 적은 환경으로 유지될 수 있도록 구성되어 있다(예를 들면, 일본 특허출원 공개번호 2000-16518호를 참조).

최근에는, 유리 기판 등의 액정 표시 소자의 대형화에 수반하여 물품 수납 설비도 대형화되어, 대형 물품 수납 설비에서는 물품 반송차의 주행 거리가 커지므로, 물품의 반송 효율의 향상을 위해 물품 반송차의 고속 주행화가 요구되고 있다. 그러나, 전술한 종래의 물품 수납 설비에서는, 주행 대차의 하면 및 상면이 주행 방향에서 보았을 때 수평으로 연장되어 있고, 좌우 횡측면이 수직 방향으로 연장되는 직사각형으로 형성되어, 차륜이 하면으로부터 아래쪽으로 연장되어 있고, 차량 주행 방향 전방 측에서 압축 상태로 되는 정화 공기의 양이 많아지므로, 물품 반송차가 고속으로 주행한 경우, 물품 반송차의 위쪽이나 옆쪽을 유동하는 정화 공기의 양이 많아지게 되어, 먼지가 용이하게 휩쓸려 상승하는 경향이 있다. 따라서, 물품 수납부를 먼지가 적은 환경으로 유지하기 곤란하고, 물품 수납부를 먼지가 적은 환경으로 유지하기 위해 정화 공기 통풍 수단에 의해 유동하는 정화 공기의 풍력을 크게 할 필요가 있다.

또한, 종래의 물품 수납 설비에서는, 물품 반송차가 물품 수납 선반의 전방의 반송차 이동 공간을 주행했을 때, 주행 대차에 세워져 설치된 지지 기둥에 부딪힌 정화 공기가 물품 수납 선반 측으로 유동함으로써, 반송차 이동 공간으로부터 물품 수납부 측으로 정화 공기가 용이하게 역류되므로, 물품 수납부를 먼지가 적은 환경으로 유지하기 위하여 정화 공기 통풍 수단에 의해 유동되는 정화 공기의 풍력을 크게 할 필요가 있다.

본 발명의 목적은, 전술한 바와 같은 종래 기술의 문제점 중에서 하나 이상을 개선함으로써, 정화 공기 통풍 수단에 의해 유동되는 정화 공기의 풍력이 작아도 물품 수납부를 먼지가 적은 환경으로 용이하게 유지할 수 있는 물품 수납 설비를 제공하는 점에 있다.

전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 물품 수납 설비는, 복수의 물품 수납부를 구비하는 물품 수납 선반과, 상기 물품 수납 선반의 전방의 반송차 이동 공간에서의 마루부를 주행하는 주행 대차와 상기 주행 대차에 대하여 승강 가능하게 지지된 물품 이송 탑재 장치를 구비하는 물품 반송차와, 정화 공기를 상기 물품 수납부의 뒤쪽으로부터 상기 반송차 이동 공간을 향해 상기 물품 수납부를 통과하도록 유동시키고, 또한 정화 공기를 상기 반송차 이동 공간 내의 아래쪽으로 유동시킨 후 배기부로부터 배기하도록 유동시키는 정화 공기 통풍 수단과, 상기 물품 수납 선반에서의 상기 물품 수납부에 대하여 공기 유동이 불가능하도록 구획되고, 또한 상기 반송차 이동 공간에 대해서는 공기 유동 가능한 상태에서, 상기 물품 수납부의 아래쪽에서 상기 물품 수납 선반의 선반 가로 폭 방향의 실질적으로 전체 길이에 걸쳐서 형성된 공기 유동 공간과, 상기 물품 반송차의 주행 방향에서 보았을 때, 상기 주행 대차에서의 차량 가로 폭 방향의 단부 측 부분의 상부의 높이와 같거나 또는 그보다 위쪽으로 위치하면서, 선반 전후 방향에서 상기 반송차 이동 공간의 일단 영역으로부터 상기 반송차 이동 공간 내에 돌출한 상태에서, 상기 물품 수납 선반의 선반 가로 폭 방향의 실질적으로 전체 길이에 걸쳐서 형성된 공기 안내체가 설치된 물품 수납 설비로서, 상기 주행 대차의 차량 주행 방향의 양 단부에서 공기의 출입이 가능하도록 개구되고, 또한 그 양단의 개구부 사이를 공기가 유동 가능하도록 연통하는 공기 유통로가 상기 주행 대차에 형성되어 있다.

즉, 주행 대차에 공기 유통로가 형성되어 있으므로, 주행 대차의 차량 주행 방향 전방 측의 정화 공기의 일부가 공기 유통로를 통해 주행 대차의 차량 주행 방향 후방 측으로 통과하여 흐르도록 할 수 있으므로, 물품 반송차가 주행할 때 주행 대차의 차량 주행 방향 전방 측에서 압축 상태로 되는 정화 공기의 양이 적고, 주행 대차의 위쪽이나 옆쪽을 유동하는 정화 공기의 양을 적게 할 수 있다.

따라서, 공기 유동 공간을 형성함으로써, 정화 공기가 주행 대차의 위쪽을 유동하는 것에 기인하는, 주행 대차의 전방 측에서 먼지가 휩쓸려 상승하는 것을 억제하고, 공기 안내체를 형성함으로써, 공기 유동 공간으로 유동한 정화 공기의 기류가 물품 반송차의 주행에 의해 흐트러지는 것에 기인하는, 주행 대차의 횡측이나 후방 측에서 먼지가 휩쓸려 상승하는 것도 억제된다. 이에 더하여, 주행 대차에 공기 유통로를 형성함으로써, 차량 주행 방향 전방 측에서 압축 상태로 되는 정화 공기의 양이 적고, 주행 대차의 상부 측을 유동하는 정화 공기의 양이나 공기 유동 공간으로 유동하는 정화 공기의 양을 적게 할 수 있다. 따라서, 정화 공기가 주행 대차의 위쪽을 유동하는 것이나 공기 유동 공간에 유동한 정화 공기의 기류가 물품 반송차의 주행에 의해 흐트러지는 것에 기인하는, 먼지가 휩쓸려 상승하는 것을 더욱 억제할 수 있으므로, 정화 공기 통풍 수단에 의해 유동되는 정화 공기의 풍력이 작아도 물품 수납부를 먼지가 적은 환경으로 유지하기 용이하게 되므로, 정 화 공기 통풍 수단에 의해 유동되는 정화 공기의 풍력이 작아도 물품 수납부를 먼지가 적은 환경으로 유지하기 용이한 물품 수납 설비를 제공할 수 있다.

본 발명에 따른 물품 수납 설비의 실시예에서는, 상기 공기 안내체가, 상기 주행 대차에서의 차량 가로 폭 방향의 단부와, 평면에서 볼 때 중복되도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

즉, 공기 안내체가 주행 대차에서의 차량 가로 폭 방향의 단부의 위쪽으로 중복된 상태로 설치되어 있으므로, 물품 반송차의 주행에 의해 공기 유동 공간으로 유동한 정화 공기의 기류가 흐트러지는 것에 의해 주행 대차의 횡측이나 후방 측에서 먼지가 휩쓸려 상승하는 것을 억제할 수 있으므로, 정화 공기 통풍 수단에 의해 유동되는 정화 공기의 풍력이 작아도 물품 수납부를 먼지가 적은 환경으로 유지하기 용이하게 되므로, 정화 공기 통풍 수단에 의해 유동되는 정화 공기의 풍력이 작아도 물품 수납부를 먼지가 적은 환경으로 유지하기 용이한 물품 수납 설비를 제공할 수 있다.

본 발명에 따른 물품 수납 설비의 실시예에서는, 상기 공기 유통로가, 상기 주행 대차의 바닥부에, 아래 방향으로 개구되어 오목한 홈 모양으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.

즉, 공기 유통로는 주행 대차의 바닥부에 아래 방향으로 개구된 오목한 홈을 형성하기만 하면 되고, 또한 이 공기 유통로는, 공기 유통로 내를 통과하여 흐르는 정화 공기가 위쪽으로 쉽게 확산하지 않으므로, 정화 공기가 위쪽으로 쉽게 확산되지 않는 공기 유통로가 형성된 주행 대차를 간단한 구성에 의해 얻을 수 있고, 따 라서 정화 공기가 위쪽으로 쉽게 확산되지 않는 공기 유통로가 형성된 주행 대차의 구성의 간소화를 도모할 수 있는 물품 수납 설비를 제공할 수 있다.

본 발명에 따른 물품 수납 설비의 실시예에서는, 상기 공기 유통로 내에, 상하 방향과 차량 주행 방향으로 연장되는 정류판이 설치되어 있는 것이 바람직하다.

전술한 바와 같은 구조에 의해, 공기 유통로 내를 유동하는 정화 공기를 차량 가로 폭 방향으로 흐르도록 층류상(層流狀)으로 정류할 수 있으므로, 공기 유통로로부터 배출되는 정화 공기에 의해 마루부 측으로부터 먼지가 휩쓸려 상승하는 것을 억제할 수 있고, 따라서 공기 유통로로부터 배출되는 정화 공기에 의해 마루부 측으로부터 먼지가 휩쓸려 상승하는 것을 억제할 수 있는 물품 수납 설비를 제공할 수 있다.

본 발명에 따른 물품 수납 설비의 실시예에서는, 상기 주행 대차에서의 차량 주행 방향의 양 단부 각각이, 차량 주행 방향에서 차량 내측을 향할수록 높아지도록 경사지는 상면과, 상기 상면의 아래쪽에 위치하고, 상기 상면의 선단에 대하여 상기 차량 내측으로 오목하게 들어가는 부분을 포함하는 것이 바람직하다.

즉, 물품 반송차가 반송차 이동 공간을 주행할 때, 주행 대차의 차량 주행 방향 전방 측에서 압축 상태로 되어 있는 정화 공기는, 물품 반송차의 감속 또는 정지에 수반하여 차량 주행 방향 전방 측으로 팽창하고, 팽창된 정화 공기의 일부가 구획벽 등 다른 요소에 의해 위쪽으로 안내되고, 이에 따라 마루부 측의 먼지가 휩쓸려 상승하게 된다. 그러나, 주행 대차가 전술한 바와 같은 구조를 가지면, 주행 대차의 차량 주행 방향 전방 측의 정화 공기는, 주행 대차의 아래쪽 부분의 공 기는 주행 대차의 위쪽으로 유동하는 것이 규제되고, 주행 대차의 위쪽 부분에서는 주행 대차의 위쪽으로 안내되므로, 주행 대차의 차량 주행 방향 전방 측에서 정화 공기가 쉽게 압축 상태로 되지 않으므로, 주행 대차가 감속 또는 정지했을 때 상부 측의 먼지가 휩쓸려 상승하는 것을 억제할 수 있고, 따라서 물품 반송차의 감속 또는 정지에 수반하여 상부 측의 먼지가 휩쓸려 상승하는 것을 억제할 수 있는 물품 수납 설비를 제공할 수 있다.

본 발명에 따른 물품 수납 설비의 실시예에서는, 상기 반송차 이동 공간을 외부와 구획하는 구획벽이, 상기 반송차 이동 공간의 선반 가로 폭 방향 단부에 설치되고, 상기 공기 안내체의 선반 가로 폭 방향에서의 단부 영역이, 그 외의 부분보다 상기 반송차 이동 공간 내를 향하여 많이 돌출한 상태로 형성되어 있는 것이 바람직하다.

전술한 구조에 의해, 반송차 이동 공간의 선반 가로 폭 방향 단부에서 마루부 측의 먼지가 휩쓸려 상승하는 것을 억제할 수 있고, 따라서 반송차 이동 공간의 선반 가로 폭 방향 단부에서 마루부 측의 먼지가 휩쓸려 상승하는 것을 억제할 수 있는 물품 수납 설비를 제공할 수 있다.

본 발명에 따른 물품 수납 설비는, 복수의 물품 수납부를 구비하는 물품 수납 선반과, 상기 물품 수납 선반의 전방의 반송차 이동 공간에서의 마루부를 주행하는 주행 대차와 상기 주행 대차에 대하여 승강 가능하게 지지된 물품 이송 탑재 장치를 구비하는 물품 반송차와, 정화 공기를 상기 물품 수납부의 뒤쪽으로부터 상기 반송차 이동 공간을 향해 상기 물품 수납부를 통과시키고 유동시키면서, 정화 공기를 상기 반송차 이동 공간 내의 아래쪽에 유동시킨 후 배기부로부터 배기하도록 유동시키는 정화 공기 통풍 수단이 설치되어 있는 물품 수납 설비로서, 상기 지지 기둥으로부터 차량 가로 폭 방향에서의 상기 물품 수납 선반이 존재하는 측으로 이격된 곳에, 차량 주행 방향을 따라 연장되는 형상을 가지면서, 상하 방향의 길이가 상기 지지 기둥과 실질적으로 같은 길이의 정류판이, 차량 가로 폭 방향의 상기 지지 기둥이 위치하는 측을 향하는 내면 및 상기 지지 기둥이 위치하는 측과는 반대 측으로 향하는 외면 중에서 적어도 한쪽이 평면에서 볼 때 차량 가로 폭 방향으로 팽출되어 곡면 형상으로 형성된 상태로 설치되어 있다.

즉, 지지 기둥으로부터 차량 가로 폭 방향에서의 물품 수납 선반이 존재하는 측에 이격된 곳에, 차량 주행 방향을 따라 연장되는 형상을 가지면서, 상하 방향의 길이가 지지 기둥과 실질적으로 같은 길이의 정류판이, 차량 가로 폭 방향의 지지 기둥이 위치하는 측을 향하는 내면 및 지지 기둥이 위치하는 측과는 반대 측으로 향하는 외면 중에서 적어도 한쪽이 평면에서 볼 때 차량 가로 폭 방향으로 팽출된 곡면 형상으로 형성된 상태로 설치되어 있으므로, 물품 반송차가 물품 수납 선반의 전방의 반송차 이동 공간을 주행할 때, 주행 대차에 세워져 설치된 지지 기둥에 부딪힌 정화 공기가 물품 수납 선반 측으로 유동하지만, 상기 물품 수납 선반 측으로 유동하는 정화 공기를 정류판에 의해 차량 주행 방향으로 받아서 안내함으로써, 정화 공기가 반송차 이동 공간으로부터 물품 수납부 측으로 쉽게 역류하지 않도록 할 수 있다. 또한, 정류판의 외면과 내면 중에서 적어도 한쪽이 차량 가로 폭 방향으로 팽출된 곡면 형상으로 형성되어 있으므로, 정류판의 차량 주행 방향 후방 측에 서 부압(負壓)이 발생하므로, 이 정류판에 부딪혀서 물품 수납 선반 측으로 유동한 정화 공기를 정류판 측으로 흡인함으로써, 정화 공기가 반송차 이동 공간으로부터 물품 수납부 측으로 쉽게 역류하지 않도록 할 수 있다.

따라서, 정류판을 설치함으로써, 지지 기둥 및 정류판 자체에 부딪힌 정화 공기가 반송차 이동 공간으로부터 물품 수납부 측으로 쉽게 역류하지 않도록 할 수 있으므로, 정화 공기 통풍 수단에 의해 유동되는 정화 공기의 풍력이 작아도 물품 수납부를 먼지가 적은 환경으로 유지하기 용이하게 되고, 따라서 정화 공기 통풍 수단에 의해 유동되는 정화 공기의 풍력이 작아도 물품 수납부를 먼지가 적은 환경으로 용이하게 유지할 수 있는 물품 수납 설비를 제공할 수 있다.

본 발명에 따른 물품 수납 설비의 실시예에서는, 상기 지지 기둥이, 상기 물품 이송 탑재 장치의 차량 주행 방향에서의 양 단부를 별도로 승강 가능하게 안내 지지하도록 전후로 한쌍이 설치되고, 상기 정류판이, 전후 한쌍의 지지 기둥 각각에 대응되어 전후 한쌍 설치되어 있는 것이 바람직하다.

전술한 바와 같은 구조에 의해, 전후 한쌍의 지지 기둥에서 물품 이송 탑재 장치를 안정되게 안내 지지할 수 있고, 또한 전후 한쌍의 지지 기둥에 의해 주행 방향 전방 측의 정화 공기가 물품 수납 선반 측으로 유동하더라도, 유동하는 정화 공기를 전후 한쌍의 정류판에 의해 별도로 차량 주행 방향으로 받아서 안내함으로써, 정화 공기가 반송차 이동 공간으로부터 물품 수납부 측으로 역류하는 것을 확실하게 억제할 수 있으며, 정화 공기 통풍 수단에 의해 유동되는 정화 공기의 풍력이 작아도 물품 수납부를 먼지가 적은 환경으로 유지하기 용이하게 되고, 따라서 물품 이송 탑재 장치를 안정되게 안내 지지할 수 있고, 또한 정화 공기 통풍 수단에 의해 유동되는 정화 공기의 풍력이 작아도 물품 수납부를 먼지가 적은 환경으로 용이하게 유지할 수 있는 물품 수납 설비를 제공할 수 있다.

이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예를 설명한다.

도 1～도 3에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 물품 수납 설비(W)는, 청정화된 정화 공기가 천정 측으로부터 바닥 측을 향해 아래쪽으로 통과하여 흐르는 다운 플로우 방식의 클린룸(1) 내에 설치되고, 예를 들면 반도체 제품이나 액정 표시 소자 등의 미완성 제품(intermediate article of manufacture) 등의 판형체를 용기(C)에 적재 상태로 수납한 상태에서 먼지가 적은 환경에서 보관하도록 되어 있다. 액정 표시 소자의 예로서, 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이에 사용되는 유리 기판을 들 수 있다. 본 실시예에서는 용기(C)를 물품으로서 반송 및 보관하도록 구성하고 있다.

그리고, 도 2는 도 1의 II-II를 따라 절단한 단면도이며, 도 3은 도 1의 I II-III를 따라 절단한 단면도이다.

다운 플로우 방식의 클린룸(1)에 대하여 설명을 추가하면, 도 3에 나타낸 바와 같이, 클린룸(1)의 측벽(18)의 마루부 가까이에 측벽 흡인부(2)를 형성하고, 클린룸(1)의 천정에 천정 분출부(3)를 형성하여, 측벽 흡인부(2)를 통해 흡인된 흡인 공기를 천정 분출부(3)로부터 분출하는 형태로, 정화 공기를 클린룸(1)에 순환시키는 클린룸용 순환 통풍 수단(F)이 설치되어 있다. 그리고, 클린룸(1)의 마루부는 구멍이 없는 상태의 콘크리트에 의해 구성하고 있다.

클린룸용 순환 통풍 수단(F)은, 측벽 흡인부(2)에 측벽용 팬 필터 유닛(4)을 설치하고, 천정 분출부(3)에 HEPA 필터 등으로 이루어지는 에어 필터(5)도 설치하며, 천정 분출부(3)의 위쪽으로 공기 챔버실(6)을 설치하여, 클린룸(1)의 하부와 공기 챔버실(6)을 접속 유로(7)에 의해 연통 접속하고 있다.

또한 접속 유로(7)에서 순환용 송풍기(8)를 클린룸(1)에 흡인 작용하도록 설치하고, 또한 접속 유로(7)에서의 순환용 송풍기(8)의 공기 토출 측 부분에 프리필터(9)가 설치되어 있다.

그리고, 측벽용 팬 필터 유닛(4) 및 순환용 송풍기(8)의 통풍 작용에 의해, 클린룸(1) 내의 공기가 접속 유로(7)에 흡인되고, 이 흡인된 공기가 접속 유로(7)를 유동하고 프리필더(9)를 통과하여 청정화된 후, 공기 챔버실(6)에 유입되고, 또한 에어 필터(5)를 통과하여 청정화된 후, 천정 분출부(3)로부터 클린룸(1) 내를 향하여 아래쪽으로 분출되도록 구성되어 있다.

따라서, 클린룸(1) 내의 공기가, 측벽용 팬 필터 유닛(4), 프리필더(9) 및 에어 필터(5)를 통과하면서 전술한 경로를 통해 순환됨으로써, 정화 공기가 천정 분출부(3)로부터 아래쪽으로 항상 분출되는 상태로 클린룸(1)에 공급되어, 클린룸(1) 내가 청정도가 높은 상태로 유지되는 구성으로 되어 있다.

또한, 접속 유로(7)에서의 순환용 송풍기(8)의 흡인 측 부분에 외기 도입 유로(10)를 접속하고, 또한 외기 도입 유로(10)에 외기 도입량 조절용 댐퍼(11)를 설치하고, 접속 유로(7)에서의 순환용 송풍기(8)의 토출 측 부분에 배기 유로(12)를 접속하고, 또한 배기 유로(12)에 배기량 조절용 댐퍼(13)가 설치되어 있다.

그리고, 외기 도입량 조절용 댐퍼(11) 및 배기량 조절용 댐퍼(13) 각각의 개방도를 조절함으로써, 클린룸용 순환 통풍 수단(F)에 의해 순환되는 클린룸(1) 내의 정화 공기 중에서 소정량을 신선한 공기와 교환하도록 구성하고 있다.

다음에, 도 1～도 4에 따라 물품 수납 설비(W)에 대하여 설명한다.

물품 수납 설비(W)는, 복수의 물품 수납부(14)를 구비하는 물품 수납 선반(S)과, 물품 수납 선반(S)의 전방의 반송차 이동 공간(15)에서의 마루부를 주행하는 주행 대차(44)와 주행 대차(44)에 승강 가능하게 지지된 물품 이송 탑재 장치(46)를 구비하는 스태커 크레인(물품 반송차에 해당함)(V)과, 정화 공기를 물품 수납부(14)의 뒤쪽으로부터 반송차 이동 공간(15)을 향해 물품 수납부(14)를 통과시키고 유동시키면서, 반송차 이동 공간(15) 내의 아래쪽으로 유동시킨 후 배기부(34)로부터 배기하도록 유동시키는 정화 공기 통풍 수단(B)과, 물품 수납 선반(S)에서의 물품 수납부(14)는 공기 유동이 불가능한 상태로 구획되고, 또한 반송차 이동 공간(15)은 공기 유동 가능한 상태로 연통되는 형태로, 물품 수납부(14)의 아래쪽에 물품 수납 선반(S)의 선반 가로 폭 방향의 전체 길이 또는 실질적으로 전체 길이에 걸쳐서 형성되는 공기 유동 공간(31)과, 스태커 크레인(V)의 주행 방향에서 볼 때, 주행 대차(44)에서의 선반 가로 폭 방향의 단부 측 부분의 상부의 높이와 같은 높이 또는 그보다 위쪽에 위치하면서, 공기 유동 공간(31)의 상단 측에서의 반송차 이동 공간(15) 측의 단부로부터 반송차 이동 공간(15) 내로 돌출한 상태로, 물품 수납 선반(S)의 선반 가로 폭 방향의 전체 길이 또는 실질적으로 전체 길이에 걸친 상태로 형성된 공기 안내체(37)를 구비하여 구성하고, 물품 수납 설비(W)가 클린룸(1) 내에 설치되어 있다.

도 1에서 "Y"로 나타낸 방향은, 선반 가로 폭 방향과 스태커 크레인(V)의 주행 방향을 따른 방향이며, "X"로 나타낸 방향은, 선반 전후 폭 방향과 스태커 크레인(V)의 차량 가로 폭 방향을 따른 방향이다.

본 실시예에서는, 물품 수납 선반(S)을, 각각의 전방 측을 서로 마주 보게 한 상태에서, 또한 서로 간에 반송차 이동 공간(15)을 형성하기 위해 간격을 둔 상태로, 반송차 이동 공간(15)의 차량 가로 폭 방향(선반 전후 폭 방향을 따른 방향)의 양측의 마루부 상에 설치하고 있고, 이들 물품 수납 선반(S) 각각에는, 물품으로서의 용기(C)를 수납하는 물품 수납부(14)를 선반 가로 폭 방향 및 선반 상하 방향으로 복수개 배열하여 구비하고 있다.

그리고, 전술한 바와 같이 설치된 한쌍의 물품 수납 선반(S)을, 그 측주위가 상하 방향의 양 단부가 개구된 직사각형 통형의 주위벽(25)으로 둘러싸고 있으므로, 주위벽(25)의 하단부의 개구를 마루부에서 폐색하고, 주위벽(25)의 상단부의 개구를 복수의 수납 선반용 팬 필터 유닛(33)으로 폐색하고 있다.

또한, 주위벽(25)은, 각 물품 수납 선반(S)의 선반 가로 폭 방향에서의 단부에 대하여 간격을 둔 상태로 배치되어 있고, 이로써, 반송차 이동 공간(15)의 바깥쪽 돌출부(15t) 및 저장 공간(16)이 형성되어 있다. 또한, 주위벽(25)은, 각 물품 수납 선반(S)의 선반 전후 폭 방향의 후단부와 유동용 공간(19)을 형성하기 위해 간격을 둔 상태로 배치되어 있다.

즉, 반송차 이동 공간(15)은 물품 수납 선반(S)보다 선반 가로 폭 방향 외측으로 돌출되어 있고, 물품 수납 선반(S)의 선반 가로 폭 방향 외측에 물품 수납 선반(S)과 선반 가로 폭 방향으로 배열되도록 저장 공간(16)이 설치되어 있다. 또한, 각 물품 수납 선반(S)의 후부에, 클린룸(1)의 천정 분출부(3)로부터 분출된 정화 공기를 물품 수납부(14)에 안내하기 위한 유동용 공간(19)이 형성되어 있다.

그리고, 주위벽(25)이, 반송차 이동 공간(15)의 선반 가로 폭 방향 단부에 설치되어 반송차 이동 공간(15)을 외부와 구획하는 구획벽을 구성한다.

도 1 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 반송차 이동 공간(15)에서의 물품 수납 선반(S)보다 선반 가로 폭 방향 외측으로 돌출하는 바깥쪽 돌출부(15t)와 저장 공간(16)을 공기 유동 불가능하게 앞 격벽체(29)에 의해 구획되어 있으므로, 앞 격벽체(29)는, 물품 수납 선반(S)의 각 가로측부에서의 앞 둘레부와 주위벽(25) 사이의 선반 가로 폭 방향으로 개구된 개구 부분을 공기 유동 불가능한 상태로 막도록 설치되어 있다. 또한, 앞 격벽체(29)는 선반 가로 폭 방향과 평행한 자세로 설치되어 있다.

그리고, 각 물품 수납 선반(S)의 물품 수납부(14)와 저장 공간(16)을 공기 유동 불가능하게 옆 격벽체(17)에 의해 구획하고 있으므로, 이 옆 격벽체(17)는, 각 물품 수납 선반(S)의 선반 가로 폭 방향 양 단부를 공기 유동 불가능한 상태로 막도록 설치되어 있다. 또한, 옆 격벽체(17)는 선반 전후 폭 방향과 평행한 자세로 설치되어 있다.

또한, 앞 격벽체(29) 및 옆 격벽체(17)는, 후술하는 공기 안내용 판형체(32) 보다 위쪽에 설치되어 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 주위벽(25)에서의 각 저장 공간(16)에 대응되는 부분에는, 저장 공간(16)에 출입하기 위한 개구부를 개폐하는 배기 공간용 도어(26)를 설치하고, 주위벽(25)에서의 반송차 이동 공간(15)의 바깥쪽 돌출부(15t)에 대응되는 부분에는, 반송차 이동 공간(15)에 출입하기 위한 개구부를 개폐하는 이동 공간용 도어(27)가 설치되어 있다.

그리고, 도시는 생략하지만, 저장 공간(16)에는 물품 보관 설비의 운전을 제어하는 제어 장치나 분전반 등이 설치되어 있다.

공기 유동 공간(31)은, 최하단의 물품 수납부(14)보다 아래쪽에 수평인 자세로 공기 안내용 판형체(32)를 설치함으로써, 이 공기 안내용 판형체(32)와 마루부 사이에 형성되어 있다.

그리고, 정화 공기 통풍 수단(B)의 배기부(34)가 공기 유동 공간(31)의 선반 전후 폭 방향의 반송차 이동 공간(15)이 위치하는 측과는 반대 측의 깊이 측, 및 공기 유동 공간(31) 및 반송차 이동 공간(15)의 선반 가로 폭 방향 양측에 위치하도록, 배기부(34)를 주위벽(25)에서의 공기 유동 공간(31) 및 반송차 이동 공간(15)에 대응되는 곳에 형성하고 있고, 이 배기부(34)는, 주위벽용 팬 필터 유닛(35)을 가진다.

공기 안내용 판형체(32)는, 통기 불가능하도록 구멍이 없는 판에 의해 구성되어 있고, 선반 가로 폭 방향의 양 단부 및 선반 전후 폭 방향의 반송차 이동 공간(15)으로부터 이격되는 측의 단부를 주위벽(25)에 접촉한 상태로 설치하면서, 한 쌍의 물품 수납 선반(S) 각각에 대응하여 선반 전후 폭 방향으로 간격을 둔 상태로 한쌍이 설치되어 있다.

그리고, 한쌍의 공기 안내용 판형체(32) 각각은, 반송차 이동 공간(15) 측의 단부가 주행 대차(44)에서의 차량 가로 폭 방향의 단부 측 부분과 상하 방향으로(즉, 평면에서 볼 때) 중복되도록 반송차 이동 공간(15) 내에 돌출되어 있고, 이 돌출 부분에 의해 공기 안내체(37)를 형성하고 있다.

즉, 공기 안내체(37)는, 스태커 크레인(V)의 주행 방향에서 볼 때, 주행 대차(44)에서의 선반 전후 폭 방향의 단부 측 부분의 위쪽으로 중복된 상태로 설치되어 있다.

또한, 도 1 혹은 도 4에서 나타낸 바와 같이, 공기 안내체(37)에서의 선반 가로 폭 방향의 단부 측 부분(37a)이, 그 외의 부분보다 반송차 이동 공간(15) 내를 향하여 많이 돌출한 상태로 형성되어 있다.

설명을 추가하면, 공기 안내체(37)에서의 단부 측 부분(37a)은, 반송차 이동 공간(15)의 선반 가로 폭 방향 단부에 위치하는 주행 대차(44)보다 선반 가로 폭 방향 중앙부 측 및 그 가까이에 형성되어 있고, 스태커 크레인(V)과 선반 가로 폭 방향으로 중복되도록, 반송차 이동 공간(15) 내를 향하여 많이 돌출한 상태로 형성되어 있다.

또한, 공기 안내체(37)에서의 그 외의 부분은, 스태커 크레인(V)과 선반 가로 폭 방향으로 중복되지 않도록, 반송차 이동 공간(15) 내를 향하여 작게 돌출하는 상태로 형성해도 된다.

도 5 및 도 10에 나타낸 바와 같이, 공기 유동 공간(31)에, 상하 방향을 따르는 자세로 선반 전후 폭 방향으로 연장되는 정류용 부재(36)가, 선반 가로 폭 방향으로 배열된 상태로 복수개 설치되어 있고, 이 정류용 부재(36)는, 공기 유동 공간(31)에서의 반송차 이동 공간(15)의 선반 가로 폭 방향 단부에 위치하는 주행 대차(44)보다 선반 가로 폭 방향 중앙부 측에 설치되어 있다.

그리고, 복수의 정류용 부재(36) 중에서 선반 가로 폭 방향의 단부 측에 위치하는 단부 측 정류용 부재(36a)를, 통풍 가능한 다공형으로 형성하고, 또한 복수의 정류용 부재(36) 중에서 단부 측 정류용 부재(36a)보다 선반 가로 폭 방향에서 중앙 측에 위치하는 중앙 측 정류용 부재(36b)를, 통기 불가능하도록 구멍이 없이 형성하고 있다.

또한, 단부 측 정류용 부재(36a)는, 공기 유동 공간(31)의 선반 전후 폭 방향의 길이와 같은 길이로 형성되고, 중앙 측 정류용 부재(36b)가, 단부 측 정류용 부재(36a)보다 선반 전후 폭 방향으로 짧게 형성되고, 또한 공기 유동 공간(31) 내에서의 선반 전후 폭 방향의 반송차 이동 공간(15)이 위치하는 측과는 반대측에 치우친 상태로 설치되어 있다.

설명을 추가하면, 단부 측 정류용 부재(36a)는, 상하 방향의 길이가 공기 유동 공간(31)의 상하 방향의 길이와 같고, 또한 선반 전후 폭 방향의 길이가 공기 유동 공간(31)의 선반 전후 폭 방향의 길이와 같게 되도록 형성한 다공형 판부재에 의해 구성되어 있고, 반송차 이동 공간(15)에 돌출하지 않는 상태로 설치되어 선반 가로 폭 방향에서 볼 때 공기 유동 공간(31)의 전체 범위를 덮고 있다.

그리고, 단부 측 정류용 부재(36a)는, 반송차 이동 공간(15)의 선반 가로 폭 방향 단부에 위치하는 주행 대차(44)보다 선반 가로 폭 방향 중앙부 측에 위치하고, 또한 공기 유동 공간(31)에서의 선반 가로 폭 방향의 일단부와 타단부에 위치하도록, 공기 유동 공간(31) 각각에 한쌍이 설치되어 있다.

또한, 중앙 측 정류용 부재(36b)는, 상하 방향의 길이가 공기 유동 공간(31)의 상하 방향의 길이와 같고, 또한 선반 전후 폭 방향의 길이가 공기 유동 공간(31)의 선반 전후 폭 방향의 길이의 절반 정도로 형성된, 구멍이 없는 판 부재에 의해 구성되어 있고, 공기 유동 공간(31)의 반송차 이동 공간(15)이 위치하는 측과는 반대 측의 뒤쪽에 치우친 상태로 설치되어 선반 가로 폭 방향에서 볼 때 공기 유동 공간(31)의 뒤쪽 절반의 범위를 덮고 있다.

그리고, 중앙 측 정류용 부재(36b)는, 한쌍의 단부 측 정류용 부재(36a) 사이에 위치하도록, 공기 유동 공간(31) 각각에 선반 가로 폭 방향으로 등 간격으로 배열된 상태로 복수개 설치되어 있다.

도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 공기 유동 공간(31)에서의 정류용 부재(36)를 설치한 곳으로부터 단부 측 개소에, 상하 방향을 따르는 자세로 선반 전후 폭 방향으로 연장되는 수납 선반 측 다공형 판형체(38)와, 상하 방향을 따르는 자세로 선반 가로 폭 방향으로 연장되는 이동 공간 측 다공형 판형체(39)가 설치되어 있다.

설명을 추가하면, 수납 선반 측 다공형 판형체(38)는, 물품 수납 선반(S)의 아래쪽에 위치하는 공기 유동 공간(31)의 선반 가로 폭 방향 중앙부와 저장 공 간(16)의 아래쪽에 위치하는 공기 유동 공간(31)의 선반 가로 폭 방향 단부를 공기 유동 가능하게 구획한 상태로 설치되어 있고, 이동 공간 측 다공형 판형체(39)는, 공기 유동 공간(31)에서의 선반 가로 폭 방향 단부와 반송차 이동 공간(15)의 바깥쪽 돌출부(15t)를 공기 유동 가능하게 구획한 상태로 설치되어 있다.

또한, 수납 선반 측 다공형 판형체(38)는, 공기 유동 공간(31)의 뒤쪽에 치우친 상태로 선반 전후 폭 방향과 평행한 자세로 설치되어 있고, 이동 공간 측 다공형 판형체(39)는, 선반 가로 폭 방향 중앙부 측일수록 후방측[반송차 이동 공간(15)으로부터 이격되는 측]에 위치하도록 선반 가로 폭 방향에 대하여 경사진 자세로 설치되어 있다.

그리고, 수납 선반 측 다공형 판형체(38)와 이동 공간 측 다공형 판형체(39)는, 수납 선반 측 다공형 판형체(38)의 일단부 및 이동 공간 측 다공형 판형체(39)의 일단부를 주위벽(25)에 접촉시키로, 또한 수납 선반 측 다공형 판형체(38)의 타단과 이동 공간 측 다공형 판형체(39)의 타단을 접촉시킨 상태로 설치되어 있다.

또한, 수납 선반 측 다공형 판형체(38) 및 이동 공간 측 다공형 판형체(39)는, 공기 안내용 판형체(32)보다 아래쪽에 설치되어 있다. 또한, 수납 선반 측 다공형 판형체(38) 및 이동 공간 측 다공형 판형체(39)의 개구율(판형체의 개구 부분의 면적을 판형체의 전체 면적으로 나눈 값)은 30%로 설정되어 있다.

정화 공기 통풍 수단(B)을, 수납 선반용 팬 필터 유닛(33)의 통풍 작용에 의해, 클린룸(1) 내의 정화 공기를 물품 수납 설비(W) 내의 아래쪽으로 분출하여, 분출된 정화 공기를, 유동용 공간(19)에 의해 안내하여 물품 수납부(14)에 공급하고, 물품 수납부(14)를 뒤쪽으로부터 통과하고 반송차 이동 공간(15)으로 유동하고, 또한 반송차 이동 공간(15)의 아래쪽으로 유동하여 한쌍의 공기 안내체(37) 사이를 통과하고 공기 유동 공간(31)으로 유동하고, 공기 유동 공간(31)의 정화 공기를 배기부(34)를 통해 물품 수납 설비(W) 밖으로 배기하는 형태로, 정화 공기를 유동시키도록 구성하고 있다.

즉, 정화 공기 통풍 수단(B)을, 수납 선반용 팬 필터 유닛(33), 공기 유동 공간(31), 공기 안내용 판형체(32)[공기 안내체(37)] 및 배기부(34) 등을 구비하여 구성하고 있다.

다음에, 스태커 크레인(V)에 대하여 설명을 가한다.

도 6～도 8에 나타낸 바와 같이, 스태커 크레인(V)은, 마루부 상을 선반 가로 폭 방향을 따라 주행하는 주행 대차(44)에, 물품 이송 탑재용 물품 이송 탑재 장치(46)의 차량 주행 방향(선반 가로 폭 방향과 같은 방향)에서의 양 단부 각각을 별도로 승강 가능하게 안내 지지하는 전후 한쌍의 지지 기둥으로서의 중앙 지지 기둥체(45)를 세워서 설치하고 있고, 이 주행 대차(44)에 세워져 설치된 중앙 지지 기둥체(45)에서 물품 이송 탑재 장치(46)가 승강 가능하게 안내 지지되도록 구성하고 있다.

그리고, 전후 한쌍의 중앙 지지 기둥체(45) 각각은, 차량 주행 방향의 양쪽 면을, 평면에서 볼 때 차량 주행 방향으로 팽출시킨 곡면 형상으로 형성되어 있고, 전후 한쌍의 중앙 지지 기둥체(45)의 상단부끼리를 상부 프레임(47)에 의해 연결하고 있다. 이 곡면 형상의 예로서, 원호, 타원의 일부, 눈물(tear drop) 형상의 일 부, 유선형 등을 들 수 있지만 이에 한정되지 않는다.

그리고, 전후 한쌍의 중앙 지지 기둥체(45) 각각은, 차량 주행 방향의 양쪽 면을 차량 주행 방향으로 팽출시키지 않는 직선형으로 형성해도 되고, 이와 같이 차량 주행 방향의 양쪽 면을 직선형으로 형성한 각진 기둥에 의해 구성해도 된다.

주행 대차(44)를, 차량 주행 방향의 양 단부에 위치하여 차량 가로 폭 방향(선반 전후 폭 방향과 같은 방향)을 따르는 자세의 전후 한쌍의 지지용 부분(44a)과, 차량 가로 폭 방향의 양 단부에 위치하여 차량 주행 방향을 따른 자세의 좌우 한쌍의 기대용 부분(44b)을 구비하여 구성하여, 평면에서 볼 때 형상이 직사각형으로 형성되어 있고, 지지용 부분(44a)과 기대용 부분(44b)은, 지지용 부분(44a)의 차량 주행 방향의 단부가 기대용 단부(44b)의 차량 가로 폭 방향의 단부의 위쪽으로 중첩된 형태로 설치되어 있다.

그리고, 좌우 한쌍의 기대용 부분(44b) 각각에, 차량 가로 폭 방향으로 배열된 상태로 마루부 상에 설치된 좌우 한쌍의 주행 레일(42)에 대하여 차량 주행 방향으로 한쌍의 주행륜(41)을 구비하고 있고, 주행 대차(44)는, 도시하지 않은 주행용 모터에 의해 주행륜(41)을 회전 구동시킴으로써, 주행 레일(42)을 따라 주행 이동하도록 구성하고 있다.

주행 대차(44)에, 주행 대차(44)의 차량 주행 방향의 양 단부에서 공기가 출입 가능하게 개구되고, 또한 그 양단의 개구부(52b) 사이를 공기의 유동 가능하게 연통시키는 공기 유통로(52)가 형성되어 있고, 이 공기 유통로(52)는, 주행 대차(44)의 바닥부에 하향으로 개구된 오목 홈 모양으로 형성되어 있다.

즉, 전술한 바와 같은 주행 대차(44)가 형성되므로, 주행 대차(44)에서의 좌우 한쌍의 기대용 부분(44b) 사이에서, 또한 전후 한쌍의 지지용 부분(44a)의 아래쪽 각각에 오목 홈(52a)을 형성하고 있고, 이 전후 한쌍의 오목 홈(52a)에 의해 공기 유통로(52)가 형성되어 있다.

그리고, 공기 유통로(52)를, 전후 한쌍의 오목 홈(52a) 각각의 차량 주행 방향의 바깥쪽 단부를 개구부(52b)로 하여, 도중에 한쌍의 지지용 부분(44a) 사이의 공간을 통과하는 형태로, 양단의 개구부(52b) 사이를 공기가 유동 가능하게 연통하고 있다.

도 7 및 도 10의 (a)에 나타낸 바와 같이, 공기 유통로(52) 내에, 상하 방향을 따르는 자세로 차량 주행 방향으로 연장된(즉, 상하 방향과 차량 주행 방향으로 연장된) 정류판(53)이 설치되어 있다.

이 정류판(53)은, 차량 가로 폭 방향으로 배열된 상태로 복수개 설치되어 있고, 전후 한쌍의 오목 홈(52a) 각각에 지지용 부분(44a)의 하면에 연결된 상태로 설치되어 있다.

도 6 및 도 10의 (b)에 나타낸 바와 같이, 주행 대차(44)에서의 차량 주행 방향의 양단 측 부분[한쌍의 지지용 단부(44a) 각각의 바깥쪽 부분] 각각을, 그 아래쪽 부분을 위쪽 부분보다 차량 내측으로 오목하게 들어간 상태로, 또한 위쪽 부분의 상면을 차량 내측에 위치할수록 높아지는 경사진 상태로 형성하고 있다.

설명을 추가하면, 전후 한쌍의 지지용 부분(44a) 각각은 좌우 한쌍의 기대용 부분(44b)에 대하여 차량 주행 방향의 바깥쪽으로 돌출하는 상태로 설치되어 있고, 이로써, 주행 대차(44)에서의 차량 주행 방향의 양단 측 부분 각각에서, 그 아래쪽 부분(44d)을 위쪽 부분[경사진 상면(44c)]의 선단(44e)보다 차량 내측으로 오목하게 들어간 상태로 형성하고 있다.

또한, 전후 한쌍의 지지용 부분(44a) 각각에서의 좌우 한쌍의 기대용 부분(44b)보다 차량 주행 방향의 바깥쪽으로 돌출하는 부분의 상면(44c)을 차량 내측에 위치할수록 높아지는 경사진 상태로 형성하고 있고, 이로써, 주행 대차(44)에서의 차량 주행 방향의 양단 측 부분 각각을, 그 위쪽 부분의 상면(44c)이 차량 내측에 위치할수록 높아지는 경사진 상태로 형성하고 있다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 지지용 부분(44a)이, 그 차량 가로 폭 방향의 양쪽의 단부 측 부분이 그 사이에 위치하는 중앙 부분보다 아래쪽으로 오목하게 들어간 상태로 형성되어 있고, 주행 대차(44) 전체로서도, 그 차량 가로 폭 방향의 양쪽 측의 단부 측 부분이 그 사이에 위치하는 중앙 부분보다 아래쪽으로 오목하게 들어간 상태로 형성되어 있다.

그리고, 이와 같이 주행 대차(44)를 형성함으로써, 도 11에 나타낸 바와 같이, 공기 안내체(37)가 주행 대차(44)의 단부 측 부분과 상하 방향으로 중복하면서도 차량 가로 폭 방향의 중앙 부분의 상면보다 아래쪽에 위치하고, 또한 공기 안내체(37)의 반송차 이동 공간(15)으로 많이 돌출하는 단부 측 부분(37a)이 주행 대차(44)의 중앙 부분과 차량 주행 방향으로 중복되도록 구성하고 있다.

또한, 기대용 부분(44b) 각각의 차량 주행 방향 양 단부는 평면에서 볼 때 끝이 가는 형상이 되도록 형성되어 있다.

도 8 및 도 12에 나타낸 바와 같이, 차량 주행 방향을 따른 형상이면서, 상하 방향의 길이가 중앙 지지 기둥체(45)와 같거나 또는 실질적으로 같은 길이의 정류판으로서의 보조 지지 기둥체(49)를, 중앙 지지 기둥체(45)보다 차량 가로 폭 방향에서의 물품 수납 선반(S)이 존재하는 측으로 이격된 곳에, 중앙 지지 기둥체(45)가 위치하는 측과는 반대 측으로 향하는 외면이 평면에서 볼 때 차량 가로 폭 방향으로 팽출시킨 곡면 형상으로 형성된 상태로 설치되어 있다.

설명을 추가하면, 보조 지지 기둥체(49)는, 주행 대차(44)에서의 지지용 부분(44a)의 차량 가로 폭 방향의 중앙부에 세워져 설치된 중앙 지지 기둥체(45)로부터 차량 가로 폭 방향에서의 물품 수납 선반(S)이 존재하는 측으로 이격된 곳에 설치되도록, 주행 대차(44)에서의 지지용 부분(44a)의 차량 가로 폭 방향의 양 단부에 세워져 설치되어 있다.

또한, 보조 지지 기둥체(49)는, 내면을 차량 주행 방향 및 상하 방향을 따른 평탄면으로 형성하고, 평면에서 볼 때 외면을 차량 가로 폭 방향의 물품 수납 선반(S)이 위치하는 측에 원호형으로 팽출시킨 곡면 형상으로 형성하여, 평면에서 볼 때 차량 주행 방향의 단부 측일 수록 점차 가늘어지는 형상이면서, 차량 주행 방향 및 상하 방향을 따른 편평한 모양으로 형성하고 있다.

중앙 지지 기둥체(45)를, 물품 이송 탑재 장치(46)의 차량 주행 방향에서의 양 단부를 별도로 승강 가능하게 안내 지지하도록 전후 한쌍 설치되어 있다.

또한, 보조 지지 기둥체(49)를, 중앙 지지 기둥체(45)로부터 차량 가로 폭 방향으로 이격된 양쪽 개소 각각에 설치하고, 그 좌우 양쪽의 보조 지지 기둥 체(49) 각각이, 전후 한쌍의 중앙 지지 기둥체(45) 각각에 대응하여 전후 한쌍 설치되어 있다.

그리고, 중앙 지지 기둥체(45)와 좌우 양쪽의 보조 지지 기둥체(49)를 복수의 봉형의 연결체(50)에 의해 접속하고 있고, 중앙 지지 기둥체(45)와 좌우 양쪽의 보조 지지 기둥체(49)와 복수의 연결체(50)로 안내 지지 기둥을 구성하고 있다.

또한, 보조 지지 기둥체(49)를 중앙 지지 기둥체(45)보다 차량 주행 방향으로 길게 형성하고 있고, 보조 지지 기둥체(49)의 차량 주행 방향의 내측 단부가 중앙 지지 기둥체(45)의 차량 주행 방향의 내측 단부보다 차량 주행 방향의 내측에 위치하고, 보조 지지 기둥체(49)의 차량 주행 방향의 바깥쪽 단부가 중앙 지지 기둥체(45)의 차량 주행 방향의 바깥쪽 단부보다 차량 주행 방향의 바깥쪽에 위치하도록 설치되어 있다.

도 9에 나타낸 바와 같이, 물품 이송 탑재 장치(46)는 물품 수납부(14)에 대하여 용기(C)를 이송 탑재 가능하게 구성하고 있으므로, 중앙 지지 기둥체(45)에 의해 안내 지지되는 승강대(55), 상하 축심 주위에 선회 가능한 선회대(56), 및 선회대(56) 상에 설치된 탑재체(57)를 출퇴 이동 가능하게 지지하는 링크 기구(58)에 의해 포크식으로 이송 탑재 장치를 구성하고 있다.

그리고, 물품 이송 탑재 장치(46)는, 선회대(56)의 선회에 의해 탑재체(57)를 선회 이동 가능하고, 또한 링크 기구(58)의 신축에 의해 탑재체(57)를 승강대(55) 상에 퇴피시킨 상태[도 9의 (a)를 참조]와 탑재체(57)를 물품 수납부(14) 측으로 돌출된 상태[도 9의 (b)를 참조]로 전환 가능하게 구성하고 있다.

또한, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 탑재체(57)의 출퇴 이동 방향을 차량 주행 방향으로 한 상태에서는, 탑재체(57)의 출퇴 이동 방향을 차량 가로 폭 방향으로 한 상태에 비해, 물품 이송 탑재 장치(46)[특히, 링크 기구(58)나 탑재체(57)]의 차량 가로 폭 방향으로 향하는 면이 작으므로, 물품 이송 탑재 장치(46)를 탑재체(57)의 출퇴 이동 방향이 차량 주행 방향을 따른 상태에서 스태커 크레인(V)이 주행시키도록 구성하고 있다.

[다른 실시예]

(1) 전술한 실시예에서는, 정류판(49)에서의 차량 가로 폭 방향의 외면만을 수평면에서 볼 때 차량 가로 폭 방향으로 팽출시킨 곡면 형상으로 형성하였으나, 정류판(49)에서의 차량 가로 폭 방향의 내면만을 수평면에서 볼 때 차량 가로 폭 방향으로 팽출시킨 곡면 형상으로 형성해도 되고, 정류판(49)에서의 차량 가로 폭 방향의 외면과 내면 양쪽을 차량 가로 폭 방향으로 팽출시킨 곡면 형상으로 형성해도 된다.

(2) 전술한 실시예에서는, 물품 이송 탑재 장치(46)의 차량 주행 방향의 양 단부를 별도로 승강 가능하게 안내 지지하도록 지지 기둥(45)을 전후 한쌍 설치하였으나, 물품 이송 탑재 장치(46)의 차량 주행 방향의 일단부를 승강 가능하게 안내 지지하도록 단일 지지 기둥(45)을 설치해도 된다.

(3) 전술한 실시예에서는, 공기 안내체(37)를, 물품 반송차(V)의 주행 방향에서 볼 때, 주행 대차(44)에서의 가로 폭 방향의 양단 측 부분의 상부에 중복되는 상태로 설치하였으나, 공기 안내체(37)를, 물품 반송차(V)의 주행 방향에서 볼 때, 주행 대차(44)에서의 가로 폭 방향의 양단 측 부분의 상부에 중복되지 않는 상태로 설치해도 된다.

(4) 전술한 실시예에서는, 공기 유통로(52)를, 주행 대차(44)의 바닥부에, 하향으로 개구된 오목 홈 모양으로 형성하였으나, 공기 유통로(52)를, 주행 대차(44)의 가로측부에, 가로 방향으로 개구된 오목 홈 모양으로 형성해도 되고, 또한, 주행 대차(44)에 차량 주행 방향으로 관통하는 관통 구멍 상태로 형성해도 된다.

(5) 전술한 실시예에서는, 공기 유통로(52) 내에 상하 방향을 따른 자세로 차량 주행 방향으로 연장되는 정류판(53)을 설치하였으나, 공기 유통로(52) 내에 차량 가로 폭 방향을 따른 자세로 차량 주행 방향으로 연장되는 정류판(53)을 설치해도 되고, 또한, 공기 유통로(52) 내에 정류판(53)을 설치하지 않아도 된다.

(6) 전술한 실시예에서는, 반송차 이동 공간(15)을 외부와 구획하는 구획벽(25)을, 반송차 이동 공간(15)의 선반 가로 폭 방향 단부에 설치하였으나, 구획벽(25)을 설치하지 않아도 된다.

(7) 전술한 실시예에서는, 주행 대차(44)에서의 차량 주행 방향의 양단 측 부분 각각을, 그 아래쪽 부분을 위쪽 부분보다 차량 내측 측에 오목하게 들어간 상태로 형성하였으나, 이 아래쪽 부분의 하면을 차량 내측에 위치할수록 낮아지도록 경사지게 하는 등, 형상을 적절하게 변경해도 된다.

또한, 전술한 실시예에서는, 주행 대차(44)에서의 차량 주행 방향의 양단 측 부분 각각을, 위쪽 부분의 상면을 차량 내측에 위치할수록 높아지도록 경사지도록 하였으나, 위쪽 부분을 아래쪽 부분보다 차량 내측에 오목하게 들어간 상태로 형성하는 등, 형상을 적절하게 변경해도 된다.

(8) 전술한 실시예에서는, 주행 대차(44)에 좌우 한쌍의 주행 레일(42) 각각에 대하여 전후 한쌍의 주행륜(41)을 설치하여 주행 대차(44)에 설치하는 주행륜(41)을 4륜으로 하였으나, 좌우 한쌍의 주행 레일(42) 각각에 대하여 3륜 이상의 주행륜(41)을 설치해도 되고, 예를 들면 주행 대차(44)에 좌우 한쌍의 주행 레일(42) 각각에 대하여 차량 전후 방향으로 배열된 4개의 주행륜(41)을 설치하여 주행 대차(44)에 설치하는 주행륜(41)을 8륜으로 해도 된다.

(9) 전술한 실시예에서는, 정화 공기 통풍 수단의 배기부를 주위벽에서의 공기 유동 공간 및 반송차 이동 공간에 대응하는 곳에 설치하고, 배기부를 공기 유동 공간이나 반송차 이동 공간의 측방에 형성하였으나, 마루부로부터 위쪽으로 간격을 둔 곳에 설치한 다공형의 그레이팅 판 상에 물품 수납 선반과 물품 반송차를 설치하고, 정화 공기 통풍 수단의 배기부를 그레이팅 판에 의해 구성하고, 배기부를 공기 유동 공간이나 반송차 이동 공간의 아래쪽에 형성해도 된다. 그리고, 이 경우, 주위벽에서의 공기 유동 공간 및 반송차 이동 공간에 대응되는 곳에도 정화 공기 통풍 수단의 배기부를 형성해도 된다.

도 1은 클린룸용의 물품 보관 설비를 나타낸 평면도이다.

도 2는 도 1에서의 II-II로 절단한 단면도이다.

도 3은 도 1에서의 III-III으로 절단한 단면도이다.

도 4는 물품 보관 설비의 주요부를 나타낸 사시도이다.

도 5는 공기 유동 공간을 나타낸 횡단 평면도이다.

도 6은 스태커 크레인을 나타낸 측면도이다.

도 7은 스태커 크레인을 나타낸 정면도이다.

도 8은 스태커 크레인을 나타낸 평면도이다.

도 9는 스태커 크레인의 작용도이다.

도 10은 정화 공기의 유동을 나타낸 도면이다.

도 11은 정화 공기의 흐름을 나타낸 도면이다.

도 12는 정화 공기의 흐름을 나타낸 도면이다.

[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]

14: 물품 수납부 15: 반송차 이동 공간

25: 구획벽 31: 공기 유동 공간

34: 배기부 37: 공기 안내체

37a: 단부측 부분 44: 주행 대차

45: 지지 기둥 46: 물품 이송 탑재 장치

49: 정류판 52: 공기 유통로

52b: 개구부 53: 정류판

B: 정화 공기 통풍 수단 S: 물품 수납 선반

V: 물품 반송차

Claims (14)

1. 복수의 물품 수납부를 구비하는 물품 수납 선반;

   상기 물품 수납 선반의 전방의 반송차 이동 공간에서의 마루부를 주행하는 주행 대차와 상기 주행 대차에 대하여 승강 가능하게 지지된 물품 이송 탑재 장치를 구비하는 물품 반송차;

   정화 공기를 상기 물품 수납부의 뒤쪽으로부터 상기 반송차 이동 공간을 향하여 상기 물품 수납부를 통과하도록 유동시키고, 또한 정화 공기를 상기 반송차 이동 공간 내의 아래쪽으로 유동시킨 후 배기부로부터 배기하도록 유동시키는 정화 공기 통풍 수단;

   상기 물품 수납 선반에서의 상기 물품 수납부에 대하여 공기 유동이 불가능하게 구획되고, 또한 상기 반송차 이동 공간에 대해서는 공기 유동 가능한 상태로, 상기 물품 수납부의 아래쪽에서 상기 물품 수납 선반의 선반 가로 폭 방향의 실질적으로 전체 길이에 걸쳐서 형성된 공기 유동 공간; 및

   상기 물품 반송차의 주행 방향에서 볼 때, 상기 주행 대차에서의 차량 가로 폭 방향의 단부 측 부분의 상부의 높이와 같은 높이 또는 그보다 위쪽으로 위치하고 또한, 선반 전후 방향에서의 상기 반송차 이동 공간의 일단 영역으로부터 상기 반송차 이동 공간 내로 돌출한 상태로, 상기 물품 수납 선반의 선반 가로 폭 방향의 실질적으로 전체 길이에 걸쳐서 형성된 공기 안내체

   가 설치된 물품 수납 설비로서,

   상기 주행 대차의 차량 주행 방향의 양 단부에서 공기의 출입이 가능하게 개구되고, 또한 양단의 개구부 사이를 공기가 유동 가능하게 연통되는 공기 유통로가 상기 주행 대차의 바닥부에 하향으로 개구된 오목 홈 모양으로 형성되어 있는,

   물품 수납 설비.
2. 제1항에 있어서,

   상기 공기 유통로가, 상기 공기 안내체보다 낮은 위치에 형성되어 있는, 물품 수납 설비.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 공기 안내체가, 상기 주행 대차에서의 차량 가로 폭 방향의 단부와 평면에서 볼 때 중복되도록 구성되어 있는, 물품 수납 설비.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 공기 유통로 내에, 상하 방향과 차량 주행 방향으로 연장된 정류판이 설치되어 있는, 물품 수납 설비.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 주행 대차에서의 차량 주행 방향의 양 단부 각각이, 차량 주행 방향에서 차량 내측을 향할수록 높아지도록 경사지는 상면과, 상기 상면의 아래쪽에 위치 하고 상기 상면의 선단에 대하여 상기 차량 내측에 오목하게 들어간 부분을 포함하는, 물품 수납 설비.
6. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 반송차 이동 공간을 외부와 구획하는 구획벽이, 상기 반송차 이동 공간의 선반 가로 폭 방향 단부에 설치되고,

   상기 공기 안내체의 선반 가로 폭 방향에서의 단부 영역이, 그 외의 부분보다 상기 반송차 이동 공간 내를 향하여 많이 돌출하는 상태로 형성되어 있는, 물품 수납 설비.
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