JPH05278810A

JPH05278810A - クリーン倉庫

Info

Publication number: JPH05278810A
Application number: JP11079092A
Authority: JP
Inventors: Masazumi Fukushima; 正純福島; Toshiaki Seto; 利昭瀬戸
Original assignee: Murata Machinery Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd
Priority date: 1992-04-02
Filing date: 1992-04-02
Publication date: 1993-10-26

Abstract

(57)【要約】【目的】円滑な空気の流れによって、塵埃の飛散をな
くす。【構成】物品収納棚１６の物品出し入れ口１７側か
ら物品収納棚１６の背面に向かって空気を流し、即ち、
物品出し入れ口１７の前方において上から下に流れる空
気を各物品収納棚１６に分岐して、物品出し入れ口１７
の前方において空気が衝突・合流することがないように
したので、物品出し入れ口１７の前方において塵埃が飛
散することを防止することが出来る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は半導体ウエハ等の塵埃
を嫌う物品を収納するクリーン倉庫に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来この種クリーン倉庫として以下の如
きものは知られている。即ち、クリーン倉庫内に設けら
れた、上下・左右に多数の物品収納棚を有するラック装
置と、このクリーン倉庫内において、ラック装置の前方
で左右動自在に設けられたスタッカークレーンとを有し
ており、前記スタッカークレーンが、走行台車と、この
走行台車に立設されたマストに昇降自在に設けられた昇
降台と、この昇降台に搭載されたロボットハンド等の物
品移載装置とを有しており、前記ラック装置の背面とク
リーン倉庫の垂直壁との間に、物品収納棚に向かって開
口した空気噴出口を有する空気ダクトが形成され、吸い
引み口から空気を吸引して空気ダクトに送り出すファン
がクリーン倉庫下部に設けられ、前記空気ダクトの空気
噴出口にフィルターが取り付けられたものは知られてい
る。

【０００３】

【従来技術の欠点】前記従来クリーン倉庫には以下の如
き欠点があった。即ち、物品収納棚の背面から空気を噴
出し、物品収納棚の物品出し入れ口側に空気を流し、そ
の空気をクリーン倉庫下部に設けられたファンによって
吸引するものであったため、各物品収納棚の物品出し入
れ口から流出する空気が物品出し入れ口の前方において
上から下に流れる空気の流れと衝突・合流し、その合流
点で空気の流れに乱れが発生し、塵埃が飛散し易いとい
う欠点があった。

【０００４】

【前記欠点を解消するための手段】この発明は前記欠点
を解消するために以下の如き手段を採用した。この発明
は、クリーン倉庫内に上下・左右に多数の物品収納棚を
有するラック装置が設けられ、前記クリーン倉庫の上部
に下向きの空気噴出口を有する天井ダクトが設けられ、
この天井ダクトに空気往路ダクトを経て空気を送り出す
ファンがクリーン倉庫下部に設けられ、前記ラック装置
の背面とクリーン倉庫の垂直壁との間に、物品収納棚に
向かって開口した空気吸引口を有する空気復路ダクトが
設けられているものである。

【０００５】

【発明の作用】この発明は以下の如き作用をなすもので
ある。物品収納棚の物品出し入れ口側から物品収納棚の
背面に向けて空気を流し、即ち、物品出し入れ口の前方
において上から下に流れる空気を各物品収納棚に分岐し
て、物品出し入れ口の前方において空気が衝突・合流す
ることがないようにしたので、物品出し入れ口の前方に
おいて塵埃が飛散することを防止することが出来る。

【０００６】

【実施例】以下にこの発明を図面に示す実施例に基づい
て説明する。なお、この明細書において、前とは図１下
側を、後とは同図上側をいい、左とは図１左側を、右と
は同右側をいう。クリーン倉庫１は、図示略の物品搬入
搬出口（図示略）及び下部に設けられた外気取入口３等
の所定の開口を除いて密閉室となされている。前記クリ
ーン倉庫１の床６の上方に間隔７をあけるようにして水
平壁８が設けられ、この水平壁８の前後方向中央に左右
方向に長い開口９が形成されている。また、水平壁８の
前端部とクリーン倉庫１の前壁との間及び水平壁８の後
端部とクリーン倉庫１の後壁との間には開口１０が形成
されている。前記水平壁８の、開口９の縁部とクリーン
倉庫１の床６との間に、垂直な仕切フィルター１１が渡
されている。

【０００７】前記水平壁８に、前後方向に所定間隔をあ
けて前後一対のラック装置１５が立設され、これらラッ
ク装置１５は上下・左右に多数の物品収納棚１６を有し
ており、これら前後の物品収納棚１６の物品出し入れ口
１７は相互に対向している。なお、水平壁８は物品収納
棚として使用される。

【０００８】前記ラック装置１５の背面（物品出し入れ
口１７と逆側の部分）とクリーン倉庫１の前壁後壁との
間に、空気往路ダクト１２と空気復路ダクト１９とが設
けられ、前記空気往路ダクト１２の上部は、クリーン倉
庫１の上部に設けられた、下向きの空気噴出口２９を有
する天井ダクト２８に接続されている。なお、天井ダク
ト２８は前側と後側との２つから構成されている。前記
空気噴出口２９にはフィルター３０が取り付けられてい
る。前記空気復路ダクト１９は物品収納棚１６に向かっ
て開口した空気吸引口２０を有しており、この空気吸引
口２０にはシルクスクリーン等からなる多孔シート２１
が設けられている。

【０００９】前記クリーン倉庫１の下部に、ファン２２
が、吸い込み口２３を間隙７に位置させるようにして、
且つ、空気噴出口２４を空気往路ダクト１２の下端開口
に接続させるようにして、設けられている。前記外気取
入口３にフィルター２６が取り付けられている。このよ
うな構成によって、吸い込み口２３から吸引された空気
は、空気噴出口２４、空気往路ダクト１２、天井ダクト
２８、フィルター３０を経てクリーン倉庫１の上部から
下向きに噴出される。そして、その噴出空気はラック装
置１５間を上から下に流れ、その間に空気復路ダクト１
９の空気吸引口２０に吸引されるため、物品収納棚１６
の物品出し入れ口１７から物品収納棚１６の背面に向か
う空気の流れが出来る。そして、空気復路ダクト１９内
の空気は空気復路ダクト１９の下端からファン２２の吸
い込み口２３に吸引される。他方、ラック装置１５間の
間隙を下まで流れた空気は仕切フィルター１１を経てフ
ァン２２の吸い込み口２３に吸引される。また、外気取
入口３からも所要量の外気が吸い込み口２３に吸引され
る。なお、ファン２２を２つ以上設けるようにしてもよ
い。

【００１０】前記開口９の下方に位置するようにして左
右方向に長い前後一対のケーシング３１が配され、これ
らケーシング３１は上部に左右方向に長いスリット３２
を有している。前記ケーシング３１内には左右方向に長
い前後一対のガイドレール３３が設けられ、これらガイ
ドレール３３に左右摺動体３４が左右動自在に案内さ
れ、これら左右摺動体３４は図示略の駆動装置によって
左右に摺動するようになされている。前記左右摺動体３
４は連結板３５によって連結されており、この連結板３
５と左右摺動体３４とによってスタッカークレーン３７
の走行台車３８が構成されている。

【００１１】前記連結板３５に筒状のマスト４０が立設
され、このマスト４０に昇降台４１が、マスト４０内に
収納されたタイミングベルト等を含む昇降装置４２によ
って、昇降自在となされている。

【００１２】前記昇降台４１に中空状の水平旋回テーブ
ル４４が水平旋回自在に設けられ、この水平旋回テーブ
ル４４にロボットハンド４６が、水平旋回テーブル４４
内に納められたボールねじ機構やベルト駆動機構等の公
知の駆動機構によって水平摺動自在に設けられ、このロ
ボットハンド４６は、本体ケース４７と、この本体ケー
ス４７に、相互近接・離隔自在となされた一対のハンド
アーム４８とを有している。これらハンドアーム４８は
本体ケース４７内に収納された駆動機構によって、相互
に接近したり、相互に離隔したりするようになされてい
る。なお、物品移載装置として実施例以外のロボットハ
ンド等を使用し得ることは云うまでもない。

【００１３】

【実施例の作用】次に実施例のクリーン倉庫の作用を説
明する。まず、クリーン倉庫１内の空気の流れについて
説明する。吸い込み口２３から吸引された空気は、空気
噴出口２４、空気往路ダクト１２、天井ダクト２８、フ
ィルター３０を経てクリーン倉庫１の上部から下向きに
噴出される。そして、その噴出空気はラック装置１５間
を上から下に流れ、その間に空気復路ダクト１９の空気
吸引口２０に吸引される。そして、空気復路ダクト１９
内の空気は空気復路ダクト１９の下端からファン２２の
吸い込み口２３に吸引される。他方、ラック装置１５間
の間隙を下まで流れた空気は仕切フィルター１１を経て
ファン２２の吸い込み口２３に吸引される。また、外気
取入口３からも所要量の外気が吸い込み口２３に吸引さ
れる。空気はフィルター３０、仕切フィルター１１、フ
ィルター２６を通過する間に清浄化される。

【００１４】次に、物品Ｗを物品収納棚１６に収納する
作業について説明する。クリーン倉庫１内の物品搬入搬
出ステーションの台（図示略）上に物品Ｗが自動または
人手によって載置されると、その物品Ｗにハンドアーム
４８が対向するように、走行台車３８及び昇降台４１が
停止する。その後、ハンドアーム４８の自由端を物品Ｗ
に向けるように水平旋回テーブル４４が旋回する。その
後、ハンドアーム４８を離隔した状態でロボットハンド
４６が物品Ｗに向けて突出し、ハンドアーム４８を物品
Ｗの外側に位置させる。その後、ハンドアーム４８が相
互に接近して物品Ｗを挟持する。その後、昇降台４１が
やや上昇した後、ロボットハンド４６は物品Ｗを挟持し
たまま後退して、物品Ｗを水平旋回テーブル４４の上方
に引き込む。この説明から明らかなごとく、物品Ｗと水
平旋回テーブル４４とは衝突・干渉しないようになされ
ている。その後、走行台車３８が左右に走行し、昇降台
４１が昇降して、収納すべき物品収納棚１６の上面より
物品Ｗの底面がやや上方に位置するようにする。その間
に水平旋回テーブル４４が水平旋回して又はせずに、物
品Ｗを所定の物品収納棚１６に対向させる。その後、ロ
ボットハンド４６が当該物品収納棚１６に向かって突出
し、然る後、昇降台４１がやや下降して物品Ｗを物品収
納棚１６に降ろす。その後、ハンドアーム４８が相互に
離隔して物品Ｗを離す。その後、ロボットハンド４６は
水平旋回テーブル４４側に後退する。なお、前記と逆の
作動によって、物品Ｗを物品搬入搬出ステーションの台
（図示略）に搬出することが出来る。

【００１５】

【発明の効果】この発明は、前記した如き構成によっ
て、以下の如き効果を奏するものである。クリーン倉庫
の上部に下向きの空気噴出口を有する天井ダクトが設け
られ、この天井ダクトに空気往路ダクトを経て空気を送
り出すファンがクリーン倉庫下部に設けられ、前記ラッ
ク装置の背面とクリーン倉庫の垂直壁との間に、物品収
納棚に向かって開口した空気吸引口を有する空気復路ダ
クトが設けられていて、物品収納棚の物品出し入れ口側
から物品収納棚の背面に向かって空気を流し、即ち、物
品出し入れ口の前方において上から下に流れる空気を各
物品収納棚に分岐して、物品出し入れ口の前方において
空気が衝突・合流することがないようにしたので、物品
出し入れ口の前方において塵埃が飛散することを防止す
ることが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例を示す簡略水平断面図であ
る。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。

【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線拡大断面図である。

【符号の説明】

１クリーン倉庫１２空気往路ダクト１５ラック装置１６物品収納棚１９空気復路ダクト２０空気吸引口２２ファン２３吸い込み口２４空気噴出口２８天井ダクト２９空気噴出口

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】クリーン倉庫内に上下・左右に多数の物
品収納棚を有するラック装置が設けられ、前記クリーン
倉庫の上部に下向きの空気噴出口を有する天井ダクトが
設けられ、この天井ダクトに空気往路ダクトを経て空気
を送り出すファンがクリーン倉庫下部に設けられ、前記
ラック装置の背面とクリーン倉庫の垂直壁との間に、物
品収納棚に向かって開口した空気吸引口を有する空気復
路ダクトが設けられているクリーン倉庫。