KR101328037B1 - 클린룸용 자동창고와 자동창고에서의 물품 보관방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 스태커 크레인의 승강대에 물품의 이재장치를 설치하는 동시에, 승강대 상의 물품을 케이스로 둘러싸고, 케이스 내에 제 1 팬 필터 유닛으로부터 클린 에어를 공급하며, 또한 케이스 내로의 주행경로의 공기 침입을 차단한다. 선반 내부에 제 2 팬 필터 유닛으로부터 클린 에어를 공급하는 동시에, 선반 내부로의 주행경로의 공기 침입을 차단함으로써, 케이스 내부와 선반 내부를 국소적으로 높은 클린도로 유지한다.
본 발명에 따르면, 소량의 클린 에어로 보관물품의 오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

클린룸용 자동창고와 자동창고에서의 물품 보관방법{WAREHOUSE FOR CLEAN ROOM AND ARTICLE KEEPING METHOD THEREIN}
본 발명은, 클린룸용 자동창고에서의 물품의 보관에 관한 것이다.
특허문헌 1(일본특허 제2817605호)에 개시된 바와 같이, 클린룸용 자동창고에서는, 창고의 중앙에 스태커 크레인(stacker crane)의 주행경로를 설치하고, 좌우 양측에 한 쌍의 선반을 설치한다. 선반은 주행경로측이 개구되어 있어, 선반으로부터 주행경로로 분출되는 클린 에어의 흐름에 의해, 자동창고 전체를 높은 클린도로 유지한다.
그러나, 특허문헌 1에서는, 자동창고 전체를 높은 클린도로 유지하기 위해, 대량의 클린 에어를 필요로 한다. 또한, 스태커 크레인의 주행풍 등에 의해, 주행경로로부터 선반 내로 공기가 침입하는 경우가 있어, 선반 내의 물품이 오염될 가능성이 있다. 특히, 플랫 패널 디스플레이(FPD)의 제조에서는, 각 면이 개구된 스켈레톤(skeleton) 형상의 카세트에 기판을 수용하므로, 주행경로로부터 선반으로의 공기 침입을 확실히 방지할 필요가 있어, 클린 에어의 소비량이 많아진다. 이 때문에 클린 에어의 소비량을 줄이면서, 보관물품의 오염을 방지할 필요가 있다.
[특허문헌 1] 일본 특허 제2817605호
본 발명의 과제는, 보다 적은 양의 클린 에어로 보관물품의 오염을 방지하는 데 있다.
본 발명의 다른 과제는, 선반측의 설비 증가를 최소한으로 하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 과제는, 선반과 스태커 크레인과의 사이에서 물품을 전달할 때, 물품이 주행경로의 공기에 의해 오염되지 않도록 하는 데 있다.
본 발명은, 스태커 크레인의 주행경로를 따라 선반을 설치한 자동창고로서,
스태커 크레인의 승강대에, 물품의 이재장치와, 상기 이재장치에 의해 승강대 상으로 끌어들여진 물품을 둘러싸는 케이스와, 케이스 내에 클린 에어를 공급하는 제 1 팬 필터 유닛과, 상기 이재장치가 케이스로부터 물품을 입출하는 것을 허용하면서, 케이스 내로의 주행경로의 공기 침입을 차단하기 위한 제 1 차단수단을 설치하고,
상기 선반에는, 선반 내로 클린 에어를 공급하기 위한 제 2 팬 필터 유닛과, 상기 이재장치에 의한 선반으로의 물품의 입출을 허용하면서, 선반 내로의 주행경로의 공기 침입을 차단하기 위한 제 2 차단수단을 설치한 것을 특징으로 한다.
본 발명은 또한, 스태커 크레인의 주행경로를 따라 선반을 설치한 자동창고에서, 물품을 보관하는 방법으로서,
스태커 크레인의 승강대에 물품의 이재장치를 설치하는 동시에, 승강대 상의 물품을 케이스로 둘러싸고, 케이스 내에 제 1 팬 필터 유닛으로부터 클린 에어를 공급하고, 또한 케이스 내로의 주행경로의 공기 침입을 차단하며,
또한, 상기 선반의 내부에 제 2 팬 필터 유닛으로부터 클린 에어를 공급하는 동시에, 선반의 내부로의 주행경로의 공기 침입을 차단함으로써,
케이스의 내부와 선반의 내부를, 외부에 비해 국소적으로 높은 클린도로 유지하는 것을 특징으로 한다.
참고로, 본 명세서에서, 클린룸용 자동창고에 관한 기재는, 그대로 자동창고에서의 물품 보관방법에도 적합하다.
차단수단으로서는, 개폐가능한 도어나 혹은 에어 셔터 등을 이용하면 된다.
바람직하게는, 제 1 차단수단과 제 2 차단수단은, 각각 개폐가능한 제 1 도어와 제 2 도어이며, 또한 스태커 크레인의 승강대에, 제 1 도어를 개폐하기 위한 제 1 개폐수단과 제 2 도어를 개폐하기 위한 제 2 개폐수단을 설치한다.
특히 바람직하게는, 제 1 및 제 2 개폐수단을 제어하여, 제 1 도어와 제 2 도어 중 한쪽의 도어를 다른 쪽 도어에 선행하여 개방함으로써 선반과 케이스 사이의 공기를 클린 에어에 의해 퍼지(purge)하고, 이어서 상기 다른 쪽의 도어를 개방함으로써 상기 이재장치에 의한 물품의 전달을 가능하게 하는 제어부를, 스태커 크레인에 설치한다.
가장 바람직하게는, 도어의 개폐시에, 선행하여 여는 제 1 도어를 구비한 측의 팬 필터 유닛으로부터의 클린 에어의 유량을 증가시켜, 선반과 케이스 사이의 공기가 도어로부터 역류하는 것을 방지한다.
본 발명에서는, 승강대 상에서 물품은 케이스에 둘러싸이고, 제 1 팬 필터 유닛으로부터 클린 에어가 케이스 내로 공급된다. 그리고, 제 1 차단수단에 의해, 케이스 내로의 주행경로의 공기 침입이 차단된다. 또한, 선반 내부에는 제 2 팬 필터 유닛으로부터 클린 에어가 공급되어, 선반 내로의 주행경로로부터의 공기 침입이 차단된다. 이 때문에, 스태커 크레인의 승강대 상의 케이스 내부와 선반 내부를, 외부에 비해 국소적으로 클린하게 하는 것만으로, 보관물품의 오염을 방지할 수 있다.
제 1 차단수단 및 제 2 차단수단이 각각 개폐가능한 제 1 도어와 제 2 도어이며, 스태커 크레인의 승강대에 설치한 제 1 개폐수단에 의해 제 1 도어를 개폐하고, 제 2 개폐수단에 의해 선반에 설치한 제 2 도어를 개폐하면, 선반에는 도어를 개폐하기 위한 구동기구를 설치할 필요가 없다.
제 1 도어와 제 2 도어 중 한쪽을 다른 쪽의 도어에 선행하여 개방하고, 선반과 케이스 사이의 공기를 클린 에어로 퍼지한다. 그런 다음, 다른 쪽의 도어를 개방하면, 제 1 도어측으로부터 분출되는 클린 에어의 흐름과, 제 2 도어측으로부터 분출되는 클린 에어의 흐름의 관계에 따라서는, 케이스의 내부, 혹은 선반의 내부로 공기가 역류하는 경우가 있다. 그러나 이 공기는 클린 에어로서, 보관물품을 오염시킬 우려가 적다.
이하에서는, 본 발명을 실시하기 위한 최적의 실시예에 대해 설명한다.
(실시예)
도 1 내지 도 7에는, 실시예와 그 변형에 대해 도시되어 있다. 도 1은 실시예의 자동창고(2)의 개요를 나타내고 있다. 4는 스태커 크레인으로서, 바닥면에 설치한 예컨대 좌우 한 쌍의 레일(6, 6)위를 주행하며, 스태커 크레인(4)이 주행하는 스페이스를 주행경로(8)라고 한다. 10은 대차로서, 예컨대 전후 한 쌍의 마스트(12)를 지지하며, 마스트(12)를 따라 승강대(14)가 승강한다. 승강대(14) 상에는 예컨대 고정 케이스(16)가 설치되는데, 케이스(16)는 그 상면과, 도 1에서의 전후 양면이 기밀상태이며, 팬 필터 유닛(18)을 예컨대 케이스(16)의 상부에 구비하고 있다. 또한, 케이스(16)의 좌우 양측에 한 쌍의 도어(20, 20)가 있는데, 도어(20)는 좌우의 어느 한쪽에만 설치해도 된다. 케이스(16)는 하부에 개구를 가지며, 팬 필터 유닛(18)으로부터의 클린 에어는 도 1의 속이 빈 화살표와 같이, 케이스(16) 내로부터 승강대(14)측으로 흐른다.
예컨대, 케이스(16)에 부착시킨 좌우 한 쌍의 구동부(22, 22)는, 좌우 선반(30, 30)측의 도어(35)를 개폐한다. 또한, 마스트(12)의 상부에 좌우 한 쌍의 통신부(24, 24)가 있어, 선반(30)의 팬 필터 유닛(36)측의 통신부(38)와의 사이에서, 가시광이나 적외광 등으로 통신한다. 통신부(24)는, 구동부(22)에 의해 선반(30)측의 도어(35)를 개폐할 때, 그러한 취지의 신호를 팬 필터 유닛(36)측으로 송출한다. 팬 필터 유닛(36)은, 도어(35)를 여는 취지의 신호를 입력받으면, 클린 에어의 송풍량을 증가시킨다. 또한, 팬 필터 유닛(36)은 도 1의 깊이방향으로 복 수 개가 배치되어 있다. 그리고, 스태커 크레인(4)이 도어(35)를 개폐하는 위치의 부근에서, 예컨대 1대 내지 3대 정도의 팬 필터 유닛(36)의 송풍량을 증가시킨다. 통신부(24, 38)를 대신하여, 광전 센서 등을 도어(35)의 부근에 설치하고, 도어(35)의 개폐를 검지하여, 팬 필터 유닛(36)의 송풍량을 변화시켜도 좋다. 단, 이와 같이 할 경우, 선반(30) 내의 배선이 증가한다.
주행경로(8)의 예컨대 좌우 양측에 한 쌍의 선반(30, 30)이 있으며, 선반(30)의 예컨대 상부에 팬 필터 유닛(36)이 복수 개 설치되어 있다. 참고로, 팬 필터 유닛(36)을, 선반(30)의 상부가 아니라, 각 개구의 배면에 1개씩 설치해도 좋다. 또한, 선반(30)에는 주행경로(8)측을 향한 도어(35)가 개구마다 설치된다. 개구는 카세트의 보관장소의 단위이며, 예컨대 카세트 1개분의 보관장소가 1개의 개구이다. 그리고, 팬 필터 유닛(36)의 부근에 통신부(38)가 설치되어, 스태커 크레인(4)측 통신부(24)와의 사이에서 통신하고, 팬 필터 유닛(36)으로부터의 클린 에어의 풍량을 제어한다.
32는 보관물품으로서의 카세트이며, 여기서는 플랫 패널 디스플레이의 기판을 수용하는 스켈레톤 형상의 카세트이다. 플랫 패널 디스플레이용 카세트 대신에, 반도체 웨이퍼용 카세트, 혹은 의약품 또는 식품 등을 수용하는 카세트여도 좋다. 34는 선반받이로서, 도시되지 않은 지지기둥에 부착되어, 카세트(32)를 지지한다. 또한, 선반(30)의 일부의 개구에 롤러 컨베이어 등을 설치하여, 자동창고(2)의 내외로 카세트(32)를 반출/반입하는 스테이션으로 한다.
팬 필터 유닛(36)으로부터의 공기는, 선반(30) 내부를 도 1의 속이 빈 화살 표와 같이 하향으로 흐른다. 팬 필터 유닛(36)으로부터의 공기는, 예컨대 개구(40)로부터 스태커 크레인(4) 하부의 대차(10)의 높이위치 부근으로 유출되고, 개구(42, 44)를 지나 주위로 배기된다. 그리고, 케이스(16) 내부와 선반(30) 내부는, 팬 필터 유닛(18, 36)에 의해 C-10클래스로 유지되고, 주행경로(8)는 예컨대 C-1000클래스 등으로 유지되어 있다. 참고로, 자동창고(2)의 주위 공기가 더욱 오염되어 있을 경우, 주행경로(8)의 상부에 기밀한 천정 등을 설치하여, 주위의 공기로부터 주행경로(8)를 차단해도 좋다. 그리고 이 경우, 선반(30) 등으로부터 누출되는 클린 에어에 의해, 주행경로(8)의 클린도를, 선반(30) 및 케이스(16)와 자동창고 주위의 중간값으로 한다.
도 2에는, 선반의 도어(35)의 개폐기구가 도시되어 있다. 참고로, 도 2에서는 각 부재간에 간격을 두고 도시하였다. 도어(35)는 예컨대 기밀하며 가요성을 가지는 시트로 구성되고, 베어링(46, 46)에 의해 지지되는 롤러(45)로 가이드된다. 롤러(45)의 축에는 예컨대 벨트(48)가 부착되며, 풀리(49, 50)에 의해 벨트(48)가 순환된다. 그리고, 승강대측의 구동부에 전후진이 가능하게 부착된 마찰차(58)에 의해, 롤러(45)의 축을 회동시킴으로써, 벨트(48)를 구동한다. 또한, 도어(35)의 예컨대 상단 한쪽을 고정부(51)로 벨트(48)에 부착시키고, 가이드(52∼54)에 의해, 도어(35)의 하단의 양측과 도어(35)의 상단에서 벨트(48)와는 반대측 위치를 가이드한다. 이들 가이드에는, 피(被)가이드체(56) 등을 이용한다.
마찰차(58)에 의해 롤러(45)가 회전하면, 벨트(48)가 순환되어, 고정부(51)가 수평이동한다. 그리고 도어(35)의 다른 세 꼭지점은 피가이드체(56) 등에 의 해, 가이드(52∼54)로 가이드된다. 또한, 도어(35)의 자중이나 혹은 도어(35)의 하단에 설치한 바(bar) 등의 중량으로 인해, 도어(35)가 아래로 처지는 일이 없고, 고정부(51)를 롤러(45)측에 접근시키면, 도어(35)의 하단이 하강한다. 이 때문에, 마찰차(58)로 도어(35)가 개폐된다.
실시예에서는 도어(35)를 상하로 개방하도록 하고 있으나, 좌우로 개방하도록 해도 되며, 이 경우, 개구의 중앙을 경계로 좌우 한 쌍의 도어를 설치하고, 이들이 함께 개폐되도록 해도 된다. 혹은 개구마다 1장의 도어를 설치하고, 도어가 좌우 한쪽으로 개방되도록 해도 된다. 도어(35)를 롤러(45) 등으로 권취하면, 도어(35)의 시트의 전면(주행경로를 향한 면)과 배면(선반의 내부를 향한 면)이 접촉하여, 배면측이 오염되는 경우가 있다. 따라서, 실시예에서는 권취를 피하였지만, 공간절약을 위해 도어(35)를 권취하도록 해도 된다.
도어(35)의 개폐기구는 다양하게 변형이 가능한데, 예컨대 도 3에서는 풍차(60)에 대해, 승강대측에 설치한 한 쌍의 노즐(61, 62) 중 어느 하나로부터 공기를 공급함으로써, 풍차를 회전시켜서 도어(35)를 개폐시킨다. 참고로, 풍차(60)는 도 2에서의 롤러(45)의 축에 부착시킨다. 64는 파이프로서, 노즐(61, 62)에 클린 에어 등의 공기를 공급한다.
도 4의 변형예에서는, 도어(35)의 하단에 예컨대 돌기(65)를 설치하고, 승강대측의 유지부재(66)에 끼워서 승강시킨다. 67은 솔레노이드로서, 유지부재(66)를 진퇴시켜, 돌기(65)를 유지하는 위치와, 돌기(65)와 간섭하지 않는 위치 사이에서 왕복시킨다. 또한, 솔레노이드(67)를 승강부재(68)에 부착시켜, 승강 가이드(69) 를 따라 승강시킨다. 도 3 및 도 4의 변형예는, 다른 점에서는 도 2의 실시예와 동일하다.
도 5에는 승강대(14)측의 구성이 도시되어 있다. 상기한 마찰차(58)는 구동부(22)에 의해 구동되며, 또한 선반측 도어를 구동하는 위치와 후퇴위치 사이에서, 도시되지 않은 출퇴기구에 의해 출퇴(出退)가 가능하다. 구동부(26)는 케이스(16)의 도어(20)를 개폐한다. 70은 롤러, 72a 및 72b는 벨트이다. 풀리(73a)는 도 5의 우측의 벨트(72a)에 부착되어 있고, 풀리(73b)는 좌측의 벨트(72b)에 부착되어 있다. 그리고 도어(20)는 고정부(74)에 의해 벨트(72a, 72b)에 부착되어 있다. 구동부(26)에 설치한 도시되지 않은 모터에 의해 롤러(70)를 회전시키면, 이에 따라 벨트(72a 또는 72b)가 구동된다. 그리고, 벨트에 부착된 고정부(74)도 이동하여, 도어(20)가 개폐된다. 또한, 도어(20)의 하단은 가이드(71)에 의해 가이드된다. 다른 점에서는 도 2와 동일한 기구이다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 승강대(14)에는 슬라이드 포크 혹은 스칼라 아암 등의 이재장치(80)가 설치되어 있다. 실시예에서는, 이재장치(80)가 좌우 양측으로 카세트(32)를 이재하도록 되어 있으나, 한쪽으로만 이재하도록 해도 된다. 팬 필터 유닛(18)으로부터의 클린 에어는, 승강대(14)의 틈으로부터 하부로 유출된다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 승강대(14)에 배기 팬(82)을 설치하고, 클린 에어의 배기량을 가변되도록 해도 된다. 84는 제어부로서, 예컨대 승강대(14)에 설치되어, 구동부(22, 26)를 구동하여, 도어(20, 35)의 개폐를 제어한다.
도 6 및 도 7에는, 실시예에 있어서의 카세트의 전달이 도시되어 있다. 스 태커 크레인이 정지되어, 승강대가 목적하는 개구에 면하여 정지하면, 통신부를 통해 선반의 팬 필터 유닛에 클린 에어의 풍량 증가를 요구한다. 실시예에서는 선반의 팬 필터 유닛 쪽이, 승강대의 팬 필터 유닛보다도, 클린 에어의 공급능력에 여유가 있는 것으로 하고, 선반의 도어(35)를 승강대의 케이스의 도어(20)에 선행하여 개방한다. 이에 따라 도 7의 1)에 나타낸 바와 같이, 케이스(16)와 선반(30) 사이의 틈은 클린 에어로 퍼지된다.
다음으로는, 도 7의 2)와 같이, 스태커 크레인의 승강대의 케이스의 도어(20)를 개방한다. 이 때 바람직하게는 승강대측의 팬 필터 유닛의 풍량을 증가시키거나, 혹은 승강대측의 배기 팬의 배기량을 증가시킨다. 승강대의 팬 필터 유닛으로부터의 클린 에어의 유량을 증가시키면, 선반측으로부터 클린 에어가 케이스 내로 침입하는 것을 방지할 수 있다. 또 승강대로부터의 배기풍량을 증가시키면, 선반측으로부터 침입한 클린 에어는 케이스로부터 신속하게 배기된다. 이로써, 선반으로부터의 클린 에어에 따라, 먼지가 조금이라도 케이스(16) 내로 침입하는 것을 방지할 수 있다. 다음으로, 스태커 크레인의 이재장치에 의해 카세트(32)를 이재한다.
이재가 완료되면, 도 7의 3)과 같이, 케이스측과 선반측에서 도어를, 예컨대 동시에, 혹은 시간을 두고 도어마다 개폐한다. 그리고 승강대측의 팬 필터 유닛의 풍량 등을 원래의 값으로 되돌리고, 통신부를 통해 선반의 팬 필터 유닛에 풍량을 원래의 값으로 복귀하도록 요구한다.
실시예에 따르면, 이하의 효과를 얻을 수 있다.
(1) 케이스의 내부와 선반의 내부를, 외부에 비해 국소적으로 높은 클린도로 유지하면 되므로, 클린 에어의 소비량을 감소시킬 수 있다. 여기서 외부란, 케이스의 내부 및 선반의 내부에 대한 외부이며, 예컨대, 주행경로(8) 및 자동창고(2)의 외부보다도, 케이스의 내부와 선반의 내부를 높은 클린도로 유지한다.
(2) 승강대측에 설치한 구동부(22)로 선반의 도어(35)를 개폐하면, 선반의 개구마다 도어의 개폐구동부를 설치할 필요가 없다.
(3) 선반과 케이스 내부 간의 카세트(32)의 전달 경로를, 클린 에어에 의해 에어 터널로 할 수 있다.
(4) 여기서 한쪽 도어를 선행하여 개방하고, 케이스와 선반 사이의 공기를 클린 에어로 퍼지해 두면, 케이스 내부나 선반 내부의 오염을 보다 확실하게 방지할 수 있다. 즉, 양쪽 도어를 동시에 개방하면, 좌우 양측으로부터의 클린 에어의 기류 밸런스 등에 의해, 선반과 케이스 사이의 공기가 선반 내부 혹은 케이스 내부로 침입할 가능성이 있다.
(5) 물품을 전달할 때, 선반이나 스태커 크레인의 팬 필터 유닛으로부터의 클린 에어의 공급량을 증가시키면, 선반이나 케이스 내부의 오염을 보다 확실하게 방지할 수 있다.
(6) 마스트의 상부에 설치한 통신부에 의해, 팬 필터 유닛측의 통신부와 광통신 등에 의해 통신하면, 도어의 개폐를 광전센서 등으로 검출하여 팬 필터 유닛의 풍량을 변경하는 경우에 비해, 배선이 용이해진다.
실시예에서는, 도어로서 개폐가능한 시트형상의 셔터를 이용하였으나, 클린 에어의 다운 플로우 등의 에어셔터를 이용해도 된다. 또한 케이스와 선반 사이의 에어 터널을 형성하기 위해, 케이스(16)측에 에어 터널 형성용 클린 에어의 노즐 등을 설치해도 좋다.
실시예에서는, 승강대가 목적하는 개구에 정지한 후에, 선반의 도어 및 승강대의 도어를 개방하도록 하였다. 그러나, 선반의 개구마다 도어(35)의 개폐구동부를 설치하고, 승강대가 목적하는 개구에 정지하기 전부터, 팬 필터 유닛(18, 36)의 풍량을 증가시킴으로써, 주행경로(8)로부터의 공기의 침입을 방지한 상태에서, 도어(20, 35)를 개방하도록 해도 좋다. 이렇게 하면, 승강대가 정지하기 전에 도어를 개방하기 시작하므로, 카세트의 이재가 보다 신속하게 이루어질 수 있다.
도 1은 실시예의 자동창고를 정면에서 보고 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 실시예에서의 선반의 도어 개폐기구를, 부재 사이에 간격을 두고 도시한 사시도이다.
도 3은 풍압을 이용한 개폐기구의 변형예를 나타낸 도면이다.
도 4는 도어를 척킹하여 개폐하는 개폐기구의 변형예를 나타낸 도면이다.
도 5는 실시예에서의 스태커 크레인의 승강대를 나타낸, 실시예의 부분 정면도이다.
도 6은 실시예에서의 카세트의 전달 알고리즘을 나타낸 플로우 챠트이다.
도 7은 실시예에서의, 스태커 크레인과 선반 사이에서의 카세트의 전달을 나타낸 평면도로서, 1)은 최초에 선반의 도어를 개방한 상태를, 2)는 승강대와 선반의 양쪽 도어를 개방한 상태를, 3)은 카세트의 전달을 끝내고, 승강대와 선반의 양쪽 도어를 폐쇄한 상태를 나타낸 것이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
2 : 자동창고 4 : 스태커 크레인
6 : 레일 8 : 주행경로
10 : 대차 12 : 마스트
14 : 승강대 16 : 케이스
18, 36 : 팬 필터 유닛(FFU) 20, 35 : 도어
22, 26 : 구동부 24, 38 : 통신부
30 : 선반 32 : 카세트
34 : 선반받이 40∼44 : 개구
45, 70 : 롤러 46 : 베어링
48, 72 : 벨트 49, 50 : 풀리
51, 74 : 고정부 52∼54 : 가이드
56 : 피가이드체 58 : 마찰차
60 : 풍차 61, 62 : 노즐
64 : 파이프 65 : 돌기
66 : 유지부재 67 : 솔레노이드
68 : 승강부재 69 : 승강 가이드
71 : 가이드 73a, 73b : 풀리
80 : 이재장치 82 : 배기 팬
84 : 제어부

Claims (4)

  1. 스태커 크레인(stacker crane)의 주행경로를 따라 선반을 설치한 자동창고로서,
    스태커 크레인의 승강대에, 물품의 이재(移載)장치와, 상기 이재장치에 의해 승강대 상으로 끌어들여진 물품을 둘러싸는 케이스와, 케이스 내로 클린 에어를 공급하는 제 1 팬 필터 유닛과, 상기 이재장치가 케이스로부터 물품을 입출(出入)하는 것을 허용하면서, 케이스 내로의 주행경로의 공기 침입을 차단하기 위한 제 1 차단수단을 설치하고,
    상기 선반에는, 선반 내로 클린 에어를 공급하기 위한 제 2 팬 필터 유닛과, 선반으로의 상기 이재장치에 의한 물품의 입출을 허용하면서, 선반 내로의 주행경로의 공기 침입을 차단하기 위한 제 2 차단수단을 설치하며,
    또한, 상기 스태커 크레인에 제 1 통신부를 설치하는 동시에, 제 2 팬 필터 유닛측에 제 2 통신부를 설치하며, 제 2 차단 수단을 개방할 때 제 1 통신부로부터 제 2 통신부로 제 1 신호를 송출함으로써, 제 2 팬 필터 유닛으로부터의 클린 에어의 공급량을 증가시키도록 구성한 것을 특징으로 하는 클린룸용 자동창고.
  2. 제 1항에 있어서,
    제 1 차단수단과 제 2 차단수단은, 각각 개폐가능한 제 1 도어와 제 2 도어이며, 또한 스태커 크레인의 승강대에, 제 1 도어를 개폐하기 위한 제 1 개폐수단과 제 2 도어를 개폐하기 위한 제 2 개폐수단을 설치한 것을 특징으로 하는 클린룸용 자동창고.
  3. 제 2항에 있어서,
    제 1 및 제 2 개폐수단을 제어하여, 제 1 도어와 제 2 도어 중 한쪽의 도어를 다른 쪽 도어에 선행하여 개방함으로써 선반과 케이스 사이의 공기를 클린 에어에 의해 퍼지(purge)하고, 이어서 상기 다른 쪽 도어를 개방함으로써 상기 이재장치에 의한 물품의 전달을 가능하게 하는 제어부를, 스태커 크레인에 설치한 것을 특징으로 하는 클린룸용 자동창고.
  4. 스태커 크레인의 주행경로를 따라 선반을 설치한 자동창고에서, 물품을 보관하는 방법으로서,
    스태커 크레인의 승강대에 물품의 이재장치를 설치하며, 상기 이재장치에 의해 승강대 상으로 끌어들여진 물품을 제 1 차단 수단을 구비한 케이스로 둘러싸고, 케이스 내에 제 1 팬 필터 유닛으로부터 클린 에어를 공급하고, 또한 케이스 내로의 주행경로의 공기 침입을 차단하며,
    또한, 상기 선반의 내부에 제 2 팬 필터 유닛으로부터 클린 에어를 공급하는 동시에, 선반의 내부로의 주행경로의 공기 침입을 제 2 차단 수단에 의해 차단함으로써,
    케이스의 내부와 선반의 내부를, 외부에 비해 국소적으로 높은 클린도로 유지하고,
    또한, 상기 스태커 크레인에 제 1 통신부를 설치하는 동시에, 제 2 팬 필터 유닛측에 제 2 통신부를 설치하며,
    제 2 차단 수단을 개방할 때 제 1 통신부로부터 제 2 통신부로 제 1 신호를 송출함으로써, 제 2 팬 필터 유닛으로부터의 클린 에어의 공급량을 증가시키는 것을 특징으로 하는 자동창고에서의 물품 보관방법.
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