TWI622473B - 傳輸物品的機器人 - Google Patents

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Abstract

本發明提供傳輸物品的機器人，其包括：機體，懸掛在行駛軌道上進行移動；夾持單元，夾持物品；雙方向滑動單元，連接於所述夾持單元，並使所述夾持單元向所述機體的兩側方向滑動：以及升降驅動單元，設置在所述機體並與所述雙方向滑動單元連接，沿所述機體的高度方向升降所述雙方向滑動單元。

Description

傳輸物品的機器人
本發明涉及沿著行駛軌道移動並傳輸物品的機器人。
一般地說，在半導體製造程序中生產晶圓，並將生產出的晶圓投入到下一生產步驟來製造半導體封裝。
這時，生產出的晶圓不會被直接投入到下一步驟，而是被儲存預定時間之後，根據需要按順序移動至下一步驟。所以需要用於儲存正在待機的晶圓的設備。上述用於儲存的設備設置在工廠的地面上，因此存在佔據空間大的問題。
作為這種問題的解決方案，有在移送晶圓的機器人的行駛路徑周邊設置晶圓臨時儲存設施，但是這種臨時儲存設施只提供暫時儲存少量晶圓的作用。
所以，可考慮改善作為儲存大量晶圓並處理的集成化設施的臨時儲存設施方案，在這一情況下，也需要在上述的集成化設施內有效地傳輸晶圓的改良形態的機器人。
本發明的一目的在於提供為了能夠在集成化的儲存空間中有效傳輸物品而使用之傳輸物品的機器人。
本發明的另一目的在於提供傳輸物品的機器人，其夾持物品向兩個方向滑動的同時也能夠升降用於兩個方向滑動的工具。
為了達成上述目的，根據本發明一實施態樣的傳輸物品的機器人可包括：機體，懸掛在行駛軌道上進行移動；夾持單元，夾持物品；雙方向滑 動單元，連接於所述夾持單元，並且使所述夾持單元向所述機體的兩側方向滑動；以及升降驅動單元，設置在所述機體並與所述雙方向滑動單元連接，沿所述機體的高度方向升降所述雙方向滑動單元。
在這裡，所述升降驅動單元可包括：升降塊；滑動基座，被所述升降塊支撐，並且連接所述雙方向滑動單元；以及升降移動部件，使所述升降塊沿著所述高度方向移動。
在這裡，所述機體包括沿著所述高度方向配置並且相互面對的一對柱部，所述升降移動部件內裝於所述柱部，而所述滑動基座可配置在所述一對柱部之間。
在這裡，所述柱部包括沿著所述高度方向延長形成的引導槽，所述升降塊通過所述引導槽可連接所述升降移動部件及所述滑動基座。
在這裡，所述升降驅動單元還可包括升降軌道，所述升降軌道設置在所述柱部，使其沿著所述高度方向延長，並且可滑動地支撐所述升降塊。
在這裡，所述升降移動部件可包括：一對升降滑輪，沿著所述高度方向進行配置；以及升降帶，圍繞所述一對升降滑輪，並連接所述升降塊。
在這裡，所述升降塊可包括：插入部，插入於所述引導槽；滑動部，在所述插入部的一端部彎曲延長，並被所述升降軌道支撐；以及連接部，在所述插入部的另一端部彎曲延長，並且連接於所述升降帶。
在這裡，所述滑動部與所述連接部對所述插入部能夠以相同的方向彎曲。
在這裡，所述升降軌道包括在所述柱部相互平行設置的第一升降軌道及第二升降軌道。所述升降滑輪包括：對應於所述第一升降軌道的第一升降滑輪；及對應於所述第二升降軌道的第二升降滑輪。所述升降移動部件還可包括驅動裝置，所述驅動裝置配置在所述第一升降滑輪與所述第二升降滑輪之間並旋轉驅動所述第一升降滑輪與所述第二升降滑輪。
在這裡，所述驅動裝置可包括：發動機，產生驅動力；以及減速器，減速所述發動機的驅動力以旋轉驅動所述第一升降滑輪及所述第二升降滑輪。
在這裡，所述雙方向滑動單元可包括：上部板件，可移動地結合於所述滑動基座；以及下部板件，可移動地結合於所述上部板件，並且連接於所述夾持單元。
在這裡，所述雙方向滑動單元還包括：第一滑動軌道，結合於所述上部板件的底面；以及第一滑動器，結合於所述下部板件的上面，並且可滑動地結合於所述第一滑動軌道。所述上部板件可包括：兩側邊緣區域；以及中央區域，比所述兩側邊緣區域遠離所述下部板件地凸出，並且安裝所述第一滑動軌道。
在這裡，所述雙方向滑動單元還可包括：第二滑動軌道，在所述上部板件的上面中設置在所述兩側邊緣區域；以及第二滑動器，設置在所述滑動基座，並且可滑動地結合於所述第二滑動軌道。
在這裡，所述夾持單元包括夾持板件，所述夾持板件配置在所述下部板件的下側，並且對於所述下部板件可移動地進行結合。所述雙方向滑動單元還可包括驅動模組，所述驅動模組產生用於所述上部板件、所述下部板件及所述夾持單元之間的相對滑動的驅動力。
在這裡，所述驅動模組可包括：一對第一滑動滑輪，設置在所述上部板件；第一滑動帶，形成為圍繞所述一對第一滑動滑輪，並且連接於所述滑動基座及所述下部板件；以及滑移部件，將所述第一滑動帶沿著其延伸方向的兩個方向中的其中之一方向移動。
在這裡，所述滑移部件可包括：發動機，產生旋轉力；滾珠螺桿，接收所述發動機的旋轉力來進行運行；以及連接支架，連接所述滾珠螺桿的螺母與所述滑動帶。
在這裡，所述驅動模組還包括：一對第二滑動滑輪，設置在所述下部板件；以及第二滑動帶，圍繞所述一對第二滑動滑輪，並且連接於所述上部板件及所述夾持板件。
根據如上所述構成的本發明的傳輸物品的機器人，能夠以兩個方向滑動物品的同時也能夠升降用於兩個方向滑動的工具。
據此，對應於多個層的擱架，也能夠在各層的擱架中夾持物品或將物品下置於各個層的擱架。
根據這一點，傳輸物品的機器人能夠在集成化的保管空間中有效地傳輸物品。
100‧‧‧處理裝置
110‧‧‧內部軌道
111、113‧‧‧端部
130‧‧‧儲存系統
131‧‧‧第一列擱架
131a‧‧‧供應噴嘴
131b‧‧‧排氣噴嘴/回收噴嘴
131c‧‧‧載體感測器
132‧‧‧第二列擱架
135‧‧‧下部框架
136‧‧‧第一柱框架
136a‧‧‧底部部件
136b‧‧‧壁部件
137‧‧‧第二柱框架
137a‧‧‧底部部件
137b‧‧‧壁部件
139‧‧‧出入庫埠
150‧‧‧外部軌道
151、153‧‧‧端部
170‧‧‧設置架
171‧‧‧橫向框架
173‧‧‧豎向框架
175‧‧‧媒介框架
190‧‧‧吹掃單元
191‧‧‧氣罐
192‧‧‧供應閥
193‧‧‧供應流量計
194‧‧‧氣體過濾器
195‧‧‧回收泵
196‧‧‧排氣閥/回收閥
197‧‧‧排氣流量計/回收流量計
199‧‧‧控制器
200‧‧‧內部傳輸機器人
210‧‧‧機體
211‧‧‧基座部/柱部
212‧‧‧引導槽
216‧‧‧驅動部
230‧‧‧升降驅動單元
231‧‧‧滑動基座
233‧‧‧升降塊
233a‧‧‧插入部
233b‧‧‧滑動部
233c‧‧‧連接部
235‧‧‧升降移動部件
236‧‧‧升降滑輪
236a‧‧‧第一升降滑輪
236b‧‧‧第二升降滑輪
237‧‧‧升降帶
238‧‧‧滑動軌道/驅動裝置
238a‧‧‧發動機
238b‧‧‧減速器
239‧‧‧升降軌道
239a‧‧‧第一升降軌道
239b‧‧‧第二升降軌道
250‧‧‧雙方向滑動單元
251‧‧‧上部板件
251a‧‧‧邊緣區域
251b‧‧‧中央區域
252‧‧‧下部板件
253a‧‧‧第一滑動軌道
253b‧‧‧第一滑動器
254a‧‧‧第二滑動軌道
254b‧‧‧第二滑動器
255a‧‧‧第三滑動軌道
255b‧‧‧第三滑動器
256’‧‧‧驅動模組
256‧‧‧驅動模組
257‧‧‧滑動滑輪
257a‧‧‧第一滑動滑輪
257b‧‧‧第二滑動滑輪
258‧‧‧滑動帶
258a‧‧‧第一滑動帶
258b‧‧‧第二滑動帶
259‧‧‧滑移部件
259a‧‧‧發動機
259b‧‧‧滾珠螺桿
259b’‧‧‧螺母
259c‧‧‧連接支架
270‧‧‧夾持單元
271‧‧‧夾持板件
ER‧‧‧外部傳輸機器人
A‧‧‧儲存物品
第1圖是根據本發明一實施例之在天花板上儲存物品和處理裝置100的立體圖；第2圖是第1圖的裝置100的主要部分的側面圖；第3圖是第1圖的內部傳輸機器人200的立體圖；第4圖是用於說明第3圖的內部傳輸機器人200的運作的概念圖；第5圖是用於說明吹掃放置於第1圖的擱架131、132的物品A的吹掃單元190的方塊圖；第6圖是示出根據本發明一實施例之雙方向滑動單元250的主要構成的立體圖；第7圖是第6圖的雙方向滑動單元250的橫截面圖；第8圖是示出第6圖的雙方向滑動單元250以一個方向滑動的狀態的立體圖；第9圖是示出第7圖的雙方向滑動單元250夾持物品A在圖面上向左側滑動的狀態的概念圖；第10圖是示出第7圖的雙方向滑動單元250夾持物品A在圖面上向右側滑動的狀態的概念圖；第11圖是示出第2圖的升降驅動單元230與雙方向滑動單元250分別位於機體110的上部與下部的狀態的概念圖；以及第12圖是用於說明第11圖的升降驅動單元230的構成的立體圖。
以下，參照附圖詳細說明根據本發明較佳實施例的在天花板上儲存物品和處理裝置。在本說明書中就算是相互不同的實施例，對於相同、類似的構成賦予相同、類似的參照符號，並由最初的說明來代替。
第1圖是根據本發明一實施例之在天花板上儲存物品和處理裝置100的立體圖，第2圖是第1圖的處理裝置100的主要部分的側面圖。
參照圖面，在天花板儲存物品和處理裝置100可具有內部軌道110、儲存系統130、外部軌道150、設置架170以及內部傳輸機器人200。
內部軌道110為可行駛地支撐內部傳輸機器人200的結構。內部軌道110大致為桿形狀，其形成為內部傳輸機器人200的行駛路徑(傳輸路徑)。據此，內部軌道110也可稱為行駛軌道。
內部軌道110可具有對應於後述的第一列擱架131及第二列擱架132的高度。例如，內部軌道110的兩端部111、113為延長至第一列擱架131及第二列擱架132的兩端部以上，兩端部111、113可稱為露出端部。因此，露出端部111、113沿著內部軌道110的延伸方向未被第一列擱架131及第二列擱架132阻斷。
並且，內部軌道110懸掛在天花板上。在本實施例中，內部軌道110連接於後述的設置架170並被懸掛在天花板。
儲存系統130為用於儲存物品A，例如儲存在半導體工廠中使用的晶圓傳輸盒(FOUP)的結構。儲存系統130構成為懸掛在天花板。儲存系統130可具有第一列擱架131、第二列擱架132、下部框架135、第一柱框架136、第二柱框架137以及出入庫埠139。
第一列擱架131與第二列擱架132為在內部軌道110的兩側相互面對配置的擱架。第一列擱架131與第二列擱架132相互間隔為能夠使內部傳輸機器人200通過的間隔距離。第一列擱架131與第二列擱架132分別可由多個個別的擱架構成。各個個別的擱架可具有對應於一個物品A的尺寸。
下部框架135可構成儲存系統130的最低部分。下部框架135整體可具有四角形的形狀。下部框架135可沿著內部軌道110的延伸方向延伸形成。下部框架135為第一列擱架131與第二列擱架132相互連接的媒介。
第一柱框架136與第二柱框架137能夠以相互間隔狀態直立在下部框架135的兩個邊緣位置側。這時，在第一柱框架136可設置第一列擱架131，在第二柱框架137可設置第二列擱架132。
第一柱框架136與第二柱框架137可具有底部部件136a、137a與壁部件136b、137b部件。
底部部件136a、137a為支撐第一列擱架131或第二列擱架132的結構。底部部件136a、137a可治著內部軌道110的延伸方向延長。這種底部部件136a、137a可具有多個個別的底部，以使底部部件136a、137a配置為構成多個層。對應於此，第一列擱架131或第二列擱架132也可具有對應於多個層的底部部件136a、137a而構成多個層的個別擱架。
壁部件136b、137b形成一對分別結合於底部部件136a、137a的兩端部，並且堅固地支撐底部部件136a、137a。壁部件136b、137b沿著與形成底部部件136a、137a的平面交叉的方向配置。
出入庫埠139為在第一列擱架131的一部分中凸出配置在外部軌道150下側的結構。在出入庫埠139臨時放置待放置於第一列擱架131或第二列擱架132的物品A或從於第一列擱架131或第二列擱架132拿出來的物品A。
外部軌道150為設置在儲存系統130的外部並且使其經過出入庫埠139的上側而配置的結構。外部軌道150為在對應於儲存系統130的區域中可大致與內部軌道110平行地進行設置。在外部軌道150可移動地設置與內部傳輸機器人200關聯而運行的外部傳輸機器人ER。外部軌道150可具有沿著其延伸方向延長至第一列擱架131或第二列擱架132的端部以上的露出端部151、153。
設置架170為懸掛在天花板上的結構。在設置架170可連接內部軌道110、儲存系統130及外部軌道150。
設置架170可具有橫向框架171與豎向框架173。橫向框架171與豎向框架173以相互交叉的方向配置並且可形成格子構造。並且，設置架170還可具有結合於豎向框架173的媒介框架175。媒介框架175作為連接內部軌道110的物件，由內部傳輸機器人200的行駛產生的震動通過豎向框架173等不會直接傳達於儲存系統130。
根據這種構成，設置架170利用連接棒(未圖示)等連接於天花板。在這一狀態下，在設置架170可連接內部軌道110、儲存系統130及外部軌道150。在內部軌道110可行駛地設置內部傳輸機器人200，在外部軌道150當然也可行駛地設置外部傳輸機器人ER。內部傳輸機器人200在第一柱框架136與第二柱框架137之間移動。
物品A被外部傳輸機器人ER傳輸並下達至出入庫埠139。內部傳輸機器人200夾住其物品A下達於第一列擱架131或第二列擱架132中的其中之一個，據此物品A被儲存在儲存系統130並且可進行吹掃處理(Purge)等。
相反地，儲存系統130內的物品A一端先被內部傳輸機器人200裝載向出入庫埠139移動之後，下達於出入庫埠139。在這一過程中，內部傳輸機器人200當然沿著內部軌道110移動。放置於出入庫埠139的物品A被外部傳輸機器人ER夾持並且可被傳輸至其他位置。據此，物品A會脫離儲存系統130。
內部傳輸機器人200能夠對應於相互面對的第一列擱架131與第二列擱架132來進行作業。具體地說，內部傳輸機器人200可將物品A全部下達放置於第一列擱架131與第二列擱架132，或者可從第一列擱架131與第二列擱架132夾持物品A。
根據這種內部傳輸機器人200，儲存系統130可構成為集成式，在一個內部軌道110的兩側分別配置第一列擱架131與第二列擱架132。並且，第一列擱架131及第二列擱架132各自可由多個層構成，因此能夠集成儲存更多的物品A。
並且，由於具有內部軌道110及沿著內部軌道110行駛的內部傳輸機器人200及出入庫埠139，因此構成對物品A的儲存及處理系統。這種系統可與沿著外部軌道150行駛的外部傳輸機器人ER獨立地進行運行。
參照第3圖及第4圖說明以上的內部傳輸機器人200。
第3圖是第1圖之內部傳輸機器人200的立體圖，第4圖是用於說明第3圖的內部傳輸機器人200的運作的概念圖。
參照圖面，內部傳輸機器人200可具有機體210、升降驅動單元230、雙方向滑動單元250以及夾持單元270。
機體210可具有基座部211與驅動部216。基座部211為設置升降驅動單元230等的部分。驅動部216為設置在基座部211並懸掛在內部軌道110(參第1圖)的部分。驅動部216具有滾動於內部軌道110的滾輪。
升降驅動單元230為沿著基座部211或第一列擱架131與第二列擱架132(以上參照第1圖)的高度方向升降雙方向滑動單元250的結構。為此，升降驅動單元230可具有發動機、聯動於所述發動機的旋轉的輸送帶。所述雙方向滑動單元250連接於所述輸送帶並且可被滑動軌道238支撐進行升降。
雙方向滑動單元250為設置在升降驅動單元230，並且以基座部211為基準向兩側方向滑動的結構。為了雙方向滑動單元250的滑動，雙方向滑動單元250可由多個板件構成。這時，所述多個板件的滑動方向可以是向著第一列擱架131與第二列擱架132中的其中之一個。
夾持單元270為連接於雙方向滑動單元250的自由端側並夾持物品A的結構。
根據這種結構，機體210的驅動部216以被內部軌道110支撐的狀態沿著內部軌道110行駛。據此，基座部211沿著內部軌道110可在儲存系統130(參第1圖)的一端移動至另一端。
在基座部211到達第一列擱架131與第二列擱架132中的其中之一的設定位置情況下，雙方向滑動單元250使夾持單元270向已設定的物品A滑動。
這時，如果物品A位於比夾持單元270更高或更低的位置的情況，則根據升降驅動單元230的運作可改變雙方向滑動單元250的高度。
在雙方向滑動單元250位於對應於物品A的高度的情況下，雙方向滑動單元250滑動的同時，夾持單元270被放置於物品A的上側。之後，加持單元270可進行運作來夾持物品A。
結果，夾持單元270在本實施例中在諸如左上位置(LU)、左下位置(LD)、右上位置(RU)、右下位置(RD)夾持物品A或將物品A放置於這四個位置。
與上述相反，在將放置於第一列擱架131或第二列擱架132的物品A拿到儲存系統130外部的情況下，內部傳輸機器人200進行與上述大致相反的運作。
以下，參照第5圖說明夾持放置於第一列擱架131與第二列 擱架132的物品A。
第5圖是用於說明吹掃放置於第1圖的擱架131、132的物品A的吹掃單元190的方塊圖。
首先，在擱架131、132(以下，只記載131)可設置供應噴嘴131a、排氣噴嘴131b、載體感測器131c。供應噴嘴131a與排氣噴嘴131b設置在擱架131的上面側與物品A的內部連通。載體感測器131c設置在擱架131的上面側，掌握物品A是否位於擱架131的狀態。
為了對以上物品A進行吹掃，還可具有吹掃單元190。吹掃單元190可具有氣罐191、回收泵195及控制器199。
氣罐191為連通於物品A向物品A內供應吹掃氣體的結構。具體地說，在氣罐191中向供應噴嘴131a流動吹掃氣體中，可經過供應閥192、供應流量計193及氣體過濾器194。
供應閥192形成為開閉用於供應流動吹掃氣體的流路。供應閥192作為電動閥，根據電氣性信號執行用於開閉的動作。供應流量計193配置在供應閥192與供應噴嘴131a之間，按照已設定的流量調節流向所述供應噴嘴131a的所述氣體的流量。氣體過濾器194為設置在供應流量計193與供應噴嘴131a之間，並且過濾通過供應噴嘴131a向物品A內供應的所述氣體中的異物。在這裡，供應閥192及供應流量計193可由數位品質流量計(Mass Flow Controller)合併。在這情況下，數位品質流量計可根據時間設置氣體的供應量，並且可被電腦電子控制。
回收泵195為連通於物品A以強制回收供應於物品A的吹掃氣體的結構。具體地說，在回收噴嘴131b中吹掃氣體向回收泵195流動，可經過排氣閥196及排氣流量計197。
回收閥196形成為開閉用於吹掃氣體的排氣流動的流路。回收閥196作為電動閥，根據電氣性信號進行開閉動作。回收流量計197為配置在回收閥196與回收噴嘴131b之間，按照已設定的流量通過所述回收噴嘴131b調節向物品A外部回收的所述氣體的流量。
控制器199控制氣罐191的開閉與回收泵195的運作。控制器199從供應流量計193與回收流量計197及載體感測器131c接收各種資訊，進而可控制供應閥192與回收閥196的動作。
例如，控制器199根據在供應流量計193測量的供應流量與在回收流量計197測量的回收流量的差異，可控制供應閥192與回收閥196的開閉。具體地說，在所述供應流量中減去所述回收流量，計算出填充於物品A內的所述氣體的量。若所述已填充的氣體量低於基準的量，則供應閥192在開放的狀態下可關閉回收閥196。相反地，若所述已充填的氣體的量超出基準的量，則供應閥192在關閉的狀態下可開放回收閥196。
在以上所述中，根據控制器199的回收閥196的開放及回收泵195的運行，在供應閥192的開放之後經過設定時間之後進行。這能夠對吹掃氣體進行能動性的回收。據此，使物品A被吹掃氣體吹掃，同時也能夠減少根據吹掃氣體持續停留在物品A內引起的晶圓的氧化或因為吹掃氣體的洩露引起的作業場所空氣污染。
並且，控制器199根據載體感測器131c的感應結果可控制供應閥192及/或回收閥196的開閉。具體地說，在載體感測器131c感應物品A存在於擱架131上的情況下，可開放供應閥192。控制器199若是在控制供應閥192的開放之後經過預定時間在物品A內填充預定量的所述氣體，則可控制回收閥196開放。
以下，將參照第6圖至第12圖更加詳細地說明在以上說明的內部傳輸機器人200(傳輸物品的機器人)。
第6圖是示出根據本發明一實施例的雙方向滑動單元250的主要結構的立體圖。第7圖是第6圖的雙方向滑動單元250的橫截面圖。
物品傳輸機器人200如上所述可具有機體210、升降驅動單元230、雙方向滑動單元250、夾持單元270。
其中，雙方向滑動單元250為連接升降驅動單元230與夾持單元270，將夾持單元270向機體210的兩側方向滑動構成。
具體地說，雙方向滑動單元250可具有上部板件251、下部板件252、第一滑動軌道253a/第一滑動器253b、第二滑動軌道254a/第二滑動器254b、第三滑動軌道255a/第三滑動器255b、以及驅動模組256。
上部板件251為連接於升降驅動單元230的滑動基座231，並且以滑動基座231為媒介結合於機體210。在這裡，上部板件251能夠可滑動地結合於滑動基座231。
上部板件251可具有邊緣區域251a與中央區域251b。邊緣區域251a位於中央區域251b的兩側部。中央區域251b可具有比邊緣區域251a更遠離下部板件252的凸出的形狀。
下部板件252為可移動地結合於上部板件251並且連接於夾持單元270的結構。下部板件252可與上部板件251大致平行地配置。據此，在上部板件251配置在滑動基座231的下側時，下部板件252可配置在上部板件251的下側。並且，下部板件252位於夾持單元270的夾持板件271的上側，並且能夠可滑動地結合於夾持板件271。
第一滑動軌道253a可結合於上部板件251的底面。第一滑動軌道253a能夠沿著對升降驅動單元230的升降方向大致垂直的方向排列。對應於第一滑動軌道253a，第一滑動器253b結合於下部板件252的上面。第一滑動器253b可滑動地結合於第一滑動軌道253a。第一滑動軌道253a與第一滑動器253b可分別配置在上部板件251的中央區域251b內。
第二滑動軌道254a可結合於上部板件251的上面中兩側邊緣區域251a。對應於此，第二滑動器254b可結合於機體210，具體地說可結合於滑動基座231的底面。在第二滑動軌道254a可滑動地結合第二滑動器254b。
第三滑動軌道255a可結合於下部板件252的底面。對應於此，第三滑動器255b可結合於夾持板件271的上面。在第三滑動軌道255a可滑動地結合第三滑動器255b。
驅動模組256為產生用於上部板件251與下部板件252及夾持單元270之間的相對滑動的驅動力的結構。具體地說，驅動模組256可具有滑動滑輪257、滑動帶258、滑移部件259。
以右側的驅動模組256(第6圖為基準)為基準滑動滑輪257，具體地說，第一滑動滑輪257a可配置成一對，分別設置在上部板件251的前端與後端。
具體地說，滑動帶258為第一滑動帶258a配置為圍繞一對第一滑動滑輪257a。這種第一滑動帶258a與滑動基座231及下部板件252連接。
滑移部件259為以其延伸方向的兩個方向的其中之一方向 移動第一滑動帶258a的結構。滑移部件259可具有發動機259a、滾珠螺桿259b、連接支架259c。發動機259a的旋轉力可利用滑輪與輸送帶傳達於滾珠螺桿259a。滾珠螺桿259b的螺母259b’由滑動帶258連接於連接支架259c。
與上述不同，左側的驅動模組256’(以第6圖為基準)中，具體地說，滑動滑輪257為第二滑動滑輪257b設置在下部板件252。並且，具體地說，滑動帶258為第二滑動帶258b可分別連接於上部板件251及夾持板件271。
根據這種構成，以滑動基座231為基準上部板件251被相對滑動；對於上部板件251，下部板件252被相對滑動；對於下部板件252，夾持板件271可被相對滑動。據此，以滑動基座231為基準進行向多端滑動運行。這種滑動運行能夠以滑動基座231的兩側方向進行。
並且，根據右側的驅動模組256及左側的驅動模組256’之間的滑動滑輪257及滑動帶258的連接關係的差異，所述滑動運行可大於滑移部件259的運行速度。
在構造上，以位於上部板件251的中央區域251b內的第一滑動軌道253a及第一滑動器253b為基準，第二滑動軌道254a及第二滑動器254b與第三滑動軌道255a及第三滑動器255b上/下脫離中央區域251b，整體可構成鋸齒形狀的排列。據此，將雙方向滑動單元250的高度最小化的同時也能夠確保構造上的穩定性。
再參照第8圖至第10圖說明雙方向滑動單元250的基本運行。
第8圖是示出第6圖的雙方向滑動單元250以一個方向滑動的狀態的立體圖。第9圖是示出第7圖的雙方向滑動單元250夾持物品A在圖面上向左側滑動的狀態的概念圖。第10圖是示出第7圖的雙方向滑動單元250夾持物品A在圖面上向右側滑動的狀態的概念圖。
參照第8圖，雙方向滑動單元250在圖面上向左側滑動。據此，夾持板件271以滑動基座231為基準在圖面上最大限度的向左側滑動。
具體地說，根據圖面上前面側的驅動模組256，滑動基座231位於上部板件251的左側端部側。下部板件252沿著上部板件251的延伸 方向移動至超出上部板件251的左側端部的位置。
並且，根據在圖面後面側的驅動模組256，夾持板件271位於下部板件252的左側端部側。
參照第9圖，可以確認到根據如上所述的雙方向滑動單元250的滑動運行，物品A以滑動基座231為基準被最大限度地向左側滑動的狀態。
參照第10圖，可以確認到雙方向滑動單元250與上述相反地被滑動運行，因此物品A以滑動基座231為基準被最大限度地向右側滑動的狀態。
以下，參照第11圖及第12第圖說明升降驅動單元230。
第11圖是示出第2圖的升降驅動單元230與雙方向滑動單元250分別位於機體110的上部與下部的狀態的概念圖。第12第圖是用於說明第11圖的升降驅動單元230的構成的立體圖。
參照第11圖，升降驅動單元230可設置在機體210，具體地說可相互關聯地設置在一對柱部211。
升降驅動單元230可具有滑動基座231、升降塊233、升降移動部件235以及升降軌道239。
滑動基座231為連接雙方向滑動單元250的上部板件251(第6圖)的結構。滑動基座231位於一對柱部211之間。
升降塊233分別設置在一對柱部211，並且支撐滑動基座231並沿著升降方向被升降驅動。在這裡，升降方向可以是機體210高度方向，具體地說可以是柱部211的高度方向。並且對於一個柱部211可採用兩個升降塊233。
升降移動部件235為沿著升降方向移動升降塊233的結構。升降移動部件235可內裝於柱部211。具體地說，升降移動部件235可具有一對升降滑輪236、升降帶237及驅動裝置238。
一對升降滑輪236分別配置在柱部211的上端與下端。升降滑輪236可被驅動裝置238旋轉驅動。一對升降滑輪236對應於兩個升降塊233，可具有第一升降滑輪236a及第二升降滑輪236b。
升降帶237配置為圍繞一對升降滑輪236。具體地說，升降 帶237當然也具有兩個，分別圍繞第一升降滑輪236a及第二升降滑輪236b。
驅動裝置238為配置在第一升降滑輪236a與第二升降滑輪236b之間並使第一升降滑輪236a與第二升降滑輪236b全部旋轉驅動的結構。驅動裝置238可具有發動機238a與減速器238b。其具備一個發動機238a，並且當然也具備一個減速器238b。減速器238b使在發動機238a接收的驅動力減速，來旋轉驅動第一升降滑輪236a及第二升降滑輪236b。
升降軌道239為沿著升降方向設置在柱部211並可滑動地支撐升降塊233的結構。升降軌道239對應於兩個升降塊233，並可被區分為第一升降軌道239a及第二升降軌道239b。
參照第12圖，在柱部211可形成引導槽212。引導槽212可配置有兩個對應於第一升降軌道239a與第二升降軌道239b。引導槽212引導升降塊233的升降方向的移動。
升降塊233可具有插入部233a、滑動部233b、連接部233c。插入部233a插入於引導槽212，滑動部233b在插入部233a的一端彎曲，並且可滑動地結合於升降軌道239。連接部233c在插入部233a的另一端彎曲並連接於升降帶237。
根據這種構造的滑動部233b與連接部233c，進一步地說分別結合滑動部233b與連接部233c的升降軌道239與升降帶237全部集中配置在引導槽212的一側。也就是說，滑動部233b與連接部233c以插入部233a為基準彎曲相同方向。
再者，在一個柱部211可配置一對升降移動部件235。這時，對應於各個升降移動部件235的一對升降塊233的滑動部233b可相互面對地進行配置。據此，一對升降軌道239全部位於一對引導槽212之間。這樣能夠被一對升降塊233堅固地支撐滑動基座231，進一步地說能夠對雙方向滑動單元250進行堅固的支撐。
如上所述物品傳輸機器人並不被在以上說明的實施例的構成與運行方式限定。而是，上述實施例也可構成為選擇性地組合各個實施例的全部或一部分進行多種變化。

Claims (17)

  1. 一種傳輸物品的機器人，包括：機體，包括驅動部和柱部，所述驅動部構造為懸掛在內部軌道並沿內部軌道行駛，所述柱部沿著所述機體高度方向設置並連接於所述驅動部；夾持單元，夾持物品；雙方向滑動單元，連接於所述夾持單元，並且使所述夾持單元向所述機體的兩側方向滑動；以及升降驅動單元，設置在所述柱部並且與所述雙方向滑動單元連接，沿所述高度方向升降所述雙方向滑動單元；其中，所述升降驅動單元包括升降軌道，所述升降軌道設置所述柱部，沿著所述高度方向延長，並且引導雙方向滑動單元沿所述高度方向的升降運動，並且所述升降驅動單元被構造為不限制雙方向滑動單元向機體兩側的運動。
  2. 根據申請專利範圍第1項所述的傳輸物品的機器人，其中，所述升降驅動單元包括：升降塊；滑動基座，被所述升降塊支撐，並且連接所述雙方向滑動單元；以及升降移動部件，使所述升降塊沿著所述高度方向移動。
  3. 根據申請專利範圍第2項所述的傳輸物品的機器人，其中，所述柱部為一對柱部，所述升降移動部件內裝於所述柱部，而所述滑動基座配置在所述一對柱部之間。
  4. 根據申請專利範圍第3項所述的傳輸物品的機器人，其中，所述柱部包括沿著所述高度方向延伸形成的引導槽，所述升降塊通過所述引導槽連接所述升降移動部件及所述滑動基座。
  5. 根據申請專利範圍第4項所述的傳輸物品的機器人，其中，所述升降軌道可滑動地支撐所述升降塊。
  6. 根據申請專利範圍第5項所述的傳輸物品的機器人，其中，所述升降移動部件包括：一對升降滑輪，沿著所述高度方向進行配置；以及升降帶，圍繞所述一對升降滑輪，並連接所述升降塊。
  7. 根據申請專利範圍第6項所述的傳輸物品的機器人，其中，所述升降塊包括：插入部，插入於所述引導槽；滑動部，在所述插入部的一端部彎曲延長，並被所述升降軌道支撐；以及連接部，在所述插入部的另一端部彎曲延長，並且連接於所述升降帶。
  8. 根據申請專利範圍第7項所述的傳輸物品的機器人，其中，所述滑動部與所述連接部對所述插入部以相同的方向彎曲。
  9. 根據申請專利範圍第6項所述的傳輸物品的機器人，其中，所述升降軌道包括在所述柱部相互平行設置的第一升降軌道及第二升降軌道；所述升降滑輪包括：對應於所述第一升降軌道的第一升降滑輪，以及對應於所述第二升降軌道的第二升降滑輪；所述升降移動部件還包括驅動裝置，所述驅動裝置配置在所述第一升降滑輪與所述第二升降滑輪之間並旋轉驅動所述第一升降滑輪與所述第二升降滑輪。
  10. 根據申請專利範圍第9項所述的傳輸物品的機器人，其中，所述驅動裝置包括：發動機，產生驅動力；以及減速器，減速所述發動機的驅動力以旋轉驅動所述第一升降滑輪及所述第二升降滑輪。
  11. 根據申請專利範圍第2項所述的傳輸物品的機器人，其中，所述雙方向滑動單元包括：上部板件，可移動地結合於所述滑動基座；以及下部板件，可移動地結合於所述上部板件，並且連接於所述夾持單元。
  12. 根據申請專利範圍第11項所述的傳輸物品的機器人，其中，所述雙方向滑動單元還包括：第一滑動軌道，結合於所述上部板件的底面；以及第一滑動器，結合於所述下部板件的上面，並且可滑動地結合於所述 第一滑動軌道，所述上部板件包括：兩側邊緣區域；以及中央區域，比所述兩側邊緣區域遠離所述下部板件地凸出，並且安裝所述第一滑動軌道。
  13. 根據申請專利範圍第12項所述的傳輸物品的機器人，其中，所述雙方向滑動單元還包括：第二滑動軌道，在所述上部板件的上面中設置在所述兩側邊緣區域；以及第二滑動器，設置在所述滑動基座，並且可滑動地結合於所述第二滑動軌道。
  14. 根據申請專利範圍第11項所述的傳輸物品的機器人，其中，所述夾持單元包括：夾持板件，配置在所述下部板件的下側，並且對於所述下部板件可移動地進行結合；所述雙方向滑動單元還包括：驅動模組，產生用於所述上部板件、所述下部板件及所述夾持單元之間的相對滑動的驅動力。
  15. 根據申請專利範圍第14項所述的傳輸物品的機器人，其中，所述驅動模組包括：一對第一滑動滑輪，設置在所述上部板件；第一滑動帶，形成為圍繞所述一對第一滑動滑輪，並且連接於所述滑動基座及所述下部板件；以及滑移部件，將所述第一滑動帶沿著其延伸方向的兩個方向中的其中之一方向移動。
  16. 根據申請專利範圍第15項所述的傳輸物品的機器人，其中，所述滑移部件包括：發動機，產生旋轉力；滾珠螺桿，接收所述發動機的旋轉力以進行運行；以及連接支架，連接所述滾珠螺桿的螺母與所述滑動帶。
  17. 根據申請專利範圍第14項所述的傳輸物品的機器人，其中，所述驅動模組還包括：一對第二滑動滑輪，設置在所述下部板件；以及第二滑動帶，圍繞所述一對第二滑動滑輪，並且連接於所述上部板件及所述夾持板件。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6315098B2 (ja) * 2014-08-26 2018-04-25 村田機械株式会社 仕分けシステムと仕分け方法
BE1024185B1 (nl) * 2016-09-09 2017-11-30 Conteyor Int Nv Een spoor-reksysteem en kit voor het omzetten van een frame in een spoor-reksysteem
US11443268B2 (en) 2017-11-28 2022-09-13 Tulips Corporation System and method for intermodal materials delivery
KR102568707B1 (ko) * 2018-03-02 2023-08-22 삼성전자주식회사 다단적재 구조를 가지는 무인운반장치
TWI776412B (zh) * 2021-03-03 2022-09-01 迅得機械股份有限公司 物件容器的移載裝置
US20220315336A1 (en) * 2021-04-05 2022-10-06 Microsoft Technology Licensing, Llc Loader tool

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080069295A (ko) * 2007-01-23 2008-07-28 (주)인터노바 반도체 자재 처리를 위한 이송 시스템
KR20080082928A (ko) * 2007-03-09 2008-09-12 아시스트 테크놀로지스 재팬 가부시키가이샤 현수식 반송 캐리지 및 반송 시스템
TW201401405A (zh) * 2012-06-18 2014-01-01 Dainippon Screen Mfg 基板處理裝置
KR20140087293A (ko) * 2012-12-28 2014-07-09 주식회사 에스에프에이 대차장치 및 이를 구비한 반송시스템

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3716962B2 (ja) * 1998-08-31 2005-11-16 株式会社ダイフク 容器内物品取扱装置
KR101543681B1 (ko) * 2009-01-15 2015-08-11 주성엔지니어링(주) 기판 처리 시스템
JP2011029550A (ja) * 2009-07-29 2011-02-10 Muratec Automation Co Ltd 搬送システム及びその設定方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080069295A (ko) * 2007-01-23 2008-07-28 (주)인터노바 반도체 자재 처리를 위한 이송 시스템
KR20080082928A (ko) * 2007-03-09 2008-09-12 아시스트 테크놀로지스 재팬 가부시키가이샤 현수식 반송 캐리지 및 반송 시스템
TW201401405A (zh) * 2012-06-18 2014-01-01 Dainippon Screen Mfg 基板處理裝置
KR20140087293A (ko) * 2012-12-28 2014-07-09 주식회사 에스에프에이 대차장치 및 이를 구비한 반송시스템

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